JPH078894A - Formation of coating film - Google Patents

Formation of coating film

Info

Publication number
JPH078894A
JPH078894A JP15732293A JP15732293A JPH078894A JP H078894 A JPH078894 A JP H078894A JP 15732293 A JP15732293 A JP 15732293A JP 15732293 A JP15732293 A JP 15732293A JP H078894 A JPH078894 A JP H078894A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flat plate
coating
coating film
paint
color filter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP15732293A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenji Sugimoto
賢司 杉本
Kazuhiko Abe
和彦 安部
Sadao Kobashi
貞夫 小橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toray Industries Inc filed Critical Toray Industries Inc
Priority to JP15732293A priority Critical patent/JPH078894A/en
Publication of JPH078894A publication Critical patent/JPH078894A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【構成】本発明は、平板上に塗料を塗布、乾燥して該平
板上に塗膜を形成する方法において、該平板上の周縁部
に塗料を塗布しない部分を残して、塗料をカーテンフロ
ーで塗布することを特徴とする塗膜およびカラーフィル
タ用塗膜の形成方法である。 【効果】本発明によると、透明平板のエッジ部および裏
面が塗料で汚染されないために、カラーフィルタの生産
性が著しく向上する。更に透明平板の面内のみに均一な
薄膜塗布を施すために、塗料のロスが非常に少なく、高
品位・低価格のカラーフィルタが生産可能である。
(57) [Summary] The present invention is a method of forming a coating film on a flat plate by applying a paint on a flat plate and drying the same, leaving a portion not coated with the paint on the peripheral portion of the flat plate. A method for forming a coating film and a coating film for a color filter, characterized in that the coating material is applied by a curtain flow. According to the present invention, since the edge portion and the back surface of the transparent flat plate are not contaminated with the paint, the productivity of the color filter is remarkably improved. Furthermore, since a thin film is applied uniformly only on the surface of the transparent flat plate, the loss of the paint is very small, and a high quality and low cost color filter can be produced.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、液晶を用いたカラーデ
ィスプレイや固体撮像素子などに用いられるカラーフィ
ルタ用塗膜に特に好適に用いられる塗膜の形成方法に関
するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for forming a coating film which is particularly preferably used as a coating film for a color filter used in a color display using a liquid crystal or a solid-state image pickup device.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に液晶を用いたディスプレイ等に利
用されるカラーフィルタは、ガラス基板等の透明基板上
に、赤、緑、青の3原色パターンがある一定の位置関係
を保って配列されている。この透明基板上への薄膜塗布
方式としては、従来スピンコータ、ロールコータ、バー
コータ等がある。
2. Description of the Related Art In general, a color filter used for a display using liquid crystal is arranged on a transparent substrate such as a glass substrate with a pattern of three primary colors of red, green and blue arranged in a fixed positional relationship. There is. As a thin film coating method on the transparent substrate, there are a conventional spin coater, roll coater, bar coater and the like.

【0003】スピンコータは、半導体ウエハのフォトレ
ジスト塗布に幅広く用いられている方法である。カラー
フィルタの製造では例えば特開昭63−107769号
公報に開示されており、回転するガラス基板の表面中央
に塗料を添加して塗膜を形成する。この塗布方法は、塗
膜の厚みが均一であるが、所定の膜厚を得るために塗料
の使用量が多く、経済性に欠けるという問題がある。更
にガラス基板のエッジ部および裏面に塗料が付着するた
めに、エッジ部および裏面をクリーンにするための余分
な工程が必要となるばかりか、品質低下の原因にもなり
やすい。また装置内に塗料を飛散させる構造であるため
に、装置内に付着した塗料が固形化され異物として発生
するなどの問題がある。
The spin coater is a method widely used for photoresist coating of semiconductor wafers. In the manufacture of a color filter, for example, it is disclosed in JP-A-63-107769, and a paint is added to the center of the surface of a rotating glass substrate to form a coating film. This coating method has a problem that the thickness of the coating film is uniform, but the amount of the coating material used is large in order to obtain a predetermined film thickness, and the economical efficiency is poor. Further, since the coating material adheres to the edge portion and the back surface of the glass substrate, not only an extra step for cleaning the edge portion and the back surface is required, but also the quality is easily deteriorated. Further, since the paint is scattered inside the device, there is a problem that the paint attached inside the device is solidified and is generated as a foreign substance.

【0004】ロールコータは、ゴムロールを介して塗料
をガラス基板に転写する方式のものであり、大型サイズ
基板の塗布に向いているため、サーマルヘッド,イメー
ジセンサ,フォトマスク等のパターニング目的でフォト
レジストの塗布に用いられる。しかし基本的にゴムロー
ルを用いているために塗膜の平滑性や耐久性に欠けると
いう問題がある。
The roll coater is of a type in which the coating material is transferred onto a glass substrate via a rubber roll, and is suitable for coating a large size substrate. Therefore, a photoresist is used for patterning a thermal head, an image sensor, a photomask or the like. It is used for coating. However, since a rubber roll is basically used, there is a problem that the coating film lacks smoothness and durability.

【0005】バーコータはロッドに細いワイヤを巻いた
バーを用いて、基板上に塗料を塗布する方法であり、例
えば特開平02−258081号公報に開示されてい
る。この方法はロッドを巻いたワイヤがガラス基板に接
するために塗膜にスジが入りやすいという欠点がある。
The bar coater is a method for applying a coating material on a substrate by using a bar in which a thin wire is wound around a rod, and is disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 02-258081. This method has a drawback in that the wire wound around the rod comes into contact with the glass substrate, so that streaks easily form in the coating film.

【0006】一方、カーテンフローコータは、ダイヘッ
ド、Tダイ、スリットダイと呼ばれる口金のリップ先端
から塗料をカーテン状に吐出し、基板に非接触で塗布す
る方式のものである。この方式は、吐出されるまでの塗
料供給経路が密閉されているために異物の混入がなく、
更に塗料の粘度変化が少ないなどの特徴を有している。
[0006] On the other hand, the curtain flow coater is a system in which paint is discharged in a curtain shape from the lip tip of a die called a die head, a T die, and a slit die, and is applied to a substrate in a non-contact manner. In this method, the paint supply path until it is discharged is sealed, so there is no mixing of foreign matter,
Furthermore, it has the feature that the viscosity of the paint does not change significantly.

【0007】しかしながら、カーテンフローコータによ
る長尺基板への薄膜塗布は、塗布開始部において数メー
トルの間膜厚精度が悪く、このために小さな平板への薄
膜塗布は困難とされてきた。また、カーテンフローコー
タによる平板への塗布としては、合板用、スレート用
等、20μm以上の厚膜塗布であり、スピンコータやロ
ールコータのように10μm未満の薄膜塗布を行うと、
面内の膜厚均一性に欠けるという問題がある。
However, in the thin film coating on a long substrate by a curtain flow coater, the film thickness accuracy is poor for several meters at the coating start portion, which makes it difficult to apply the thin film on a small flat plate. Further, as a coating on a flat plate by a curtain flow coater, it is a thick film coating of 20 μm or more for plywood, slate, etc. When a thin film coating of less than 10 μm is performed like a spin coater or a roll coater,
There is a problem of lacking in-plane film thickness uniformity.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、異物
の混入が少なく、塗料粘度の変化が少ない等の従来のカ
ーテンフローコートの特徴を保持したままで、これまで
の課題である透明平板への薄膜塗布を可能とすることに
ある。更に透明平板のエッジ部および裏面を口金から吐
出した塗料で汚すことなく、面内の膜厚均一性を高め、
経済性に優れたカラーフィルタ用塗膜の形成方法を提供
することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a transparent flat plate which is a subject up to now while keeping the characteristics of the conventional curtain flow coating, such as less contamination of foreign substances and less change in paint viscosity. It is to be able to apply a thin film to. Furthermore, the edge of the transparent plate and the back surface are not contaminated with the paint discharged from the die, and the in-plane film thickness uniformity is improved,
An object of the present invention is to provide a method for forming a coating film for a color filter, which is excellent in economic efficiency.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明は、次の構成を有
するものである。
The present invention has the following configuration.

【0010】(1) 平板上に塗料を塗布、乾燥して該平板
上に塗膜を形成する方法において、該平板上の周縁部に
塗料を塗布しない部分を残して、塗料をカーテンフロー
で塗布することを特徴とする塗膜の形成方法。
(1) In a method of forming a coating film on a flat plate by applying the paint on a flat plate and drying the same, the paint is applied by a curtain flow, leaving a non-application portion on the peripheral edge of the flat plate. A method for forming a coating film, comprising:

【0011】(2) 透明平板上に塗料を塗布、乾燥して該
透明平板上にカラーフィルタ用塗膜を形成する方法にお
いて、該透明平板上の周縁部に塗料を塗布しない部分を
残して、塗料をカーテンフローで塗布することを特徴と
するカラーフィルタ用塗膜の形成方法。
(2) In a method of applying a coating material on a transparent flat plate and drying it to form a coating film for a color filter on the transparent flat plate, leaving a portion not coated with the coating material on the peripheral edge of the transparent flat plate, A method for forming a coating film for a color filter, which comprises applying a paint by curtain flow.

【0012】次に本発明における塗膜の形成方法を図面
に従って説明する。
Next, a method for forming a coating film according to the present invention will be described with reference to the drawings.

【0013】第1図は、本発明にかかる塗料のカーテン
フローによる塗布(スリットダイコータ)の一例を示す
概略図である。すなわち、塗料10はポンプ9によって
配管8から口金6の内部に供給され、平板1の搬送(矢
印A方向)に従い、口金6の先端であるリップ5からカ
ーテン状態で吸着ステージ2上に吸着固定された平板1
上に塗布される。塗膜の均一性は、カーテン状に吐出さ
れる塗料を口金先端部にあるリップ5の間隔や、平板1
とリップ5の間隔すなわちクリアランス4を調整してコ
ントロールされる。
FIG. 1 is a schematic view showing an example of coating (slit die coater) of a coating material according to the present invention by curtain flow. That is, the paint 10 is supplied from the pipe 8 to the inside of the die 6 by the pump 9, and is adsorbed and fixed on the adsorption stage 2 in a curtain state from the lip 5 which is the tip of the die 6 as the flat plate 1 is conveyed (in the direction of arrow A). Flat plate 1
Applied over. The uniformity of the coating film depends on the distance between the lips 5 at the tip of the die and the flat plate
It is controlled by adjusting the distance between the lip 5 and the clearance 5, that is, the clearance 4.

【0014】本発明に使用される口金先端部のリップ5
の間隔は特に限定されるものでないが、20〜400μ
mの範囲が好ましく、より好ましくは50〜250μm
の範囲である。リップ5の間隔が20μm未満の場合ま
たは400μmをこえる場合はリップ5から吐出された
塗料の形状が不安定になり、塗膜に縦状のスジが入りや
すいという欠点がある。
Lip 5 at the tip of the base used in the present invention
Is not particularly limited, but is 20 to 400 μ
The range of m is preferable, and more preferably 50 to 250 μm.
Is the range. If the distance between the lips 5 is less than 20 μm or exceeds 400 μm, the shape of the paint discharged from the lips 5 becomes unstable, and vertical stripes are likely to appear in the coating film.

【0015】クリアランス4の間隔は、10〜500μ
mの範囲が好ましく、より好ましくは50〜250μm
の範囲である。10μm未満の場合、透明平板1の平滑
性が劣るために、リップ5の先端が透明平板1に接触し
て塗膜に縦状のスジが入りやすい欠点がある。一方、ク
リアランス4の間隔が500μmをこえる場合は、吐出
時のカーテン状塗膜に膜ギレが生じやすい。
The clearance 4 has an interval of 10 to 500 μm.
The range of m is preferable, and more preferably 50 to 250 μm.
Is the range. When the thickness is less than 10 μm, the flatness of the transparent flat plate 1 is inferior, so that the tip of the lip 5 comes into contact with the transparent flat plate 1 and vertical streaks are easily formed in the coating film. On the other hand, when the clearance 4 exceeds 500 μm, the film-like cracks are likely to occur on the curtain-shaped coating film at the time of ejection.

【0016】本発明のカーテンフローによる塗布は、ス
リットダイコータによる方法に限定されず、ダイヘッ
ド、Tダイ等による方法でも良い。また、塗料の供給手
段は、ポンプに限定されず、圧空等の方式によっても良
い。
The coating by the curtain flow according to the present invention is not limited to the method using a slit die coater, but may be a method using a die head, a T-die or the like. Further, the paint supply means is not limited to the pump, and may be a system such as compressed air.

【0017】平板上の周縁部に塗料を塗布しない部分を
残して塗料を塗布するには、例えば、以下の方法によれ
ば良い。
The coating can be applied, for example, by the following method, while leaving a portion of the flat plate on which the coating is not applied.

【0018】まず、平板1の幅方向については、第2図
に示すように口金6の内部に組み込んだフイルム11の
幅を塗膜幅と同等ないしは数mm短くすることによって
達成できる。このような方法によって、平板1の幅方向
の両側エッジ部12および平板1の裏面13の汚れが防
止可能である。第3図に、塗料を塗布、乾燥して塗膜を
形成した透明平板の一例を示す。
First, in the width direction of the flat plate 1, as shown in FIG. 2, the width of the film 11 incorporated in the die 6 can be made equal to the coating film width or a few mm shorter. By such a method, both side edges 12 of the flat plate 1 in the width direction and the back surface 13 of the flat plate 1 can be prevented from being soiled. FIG. 3 shows an example of a transparent flat plate on which a coating film is formed by applying a coating material and drying it.

【0019】一方、塗布開始部および塗布終了部は、シ
ーケンスを第4図および第5図のように調整することに
より達成できる。
On the other hand, the coating start portion and the coating end portion can be achieved by adjusting the sequence as shown in FIGS. 4 and 5.

【0020】塗布開始部に関しては、第4図に示すよう
に口金6の先端部であるリップ5の真下に平板1が搬送
され停止する。その後、平板上のエッジ部より内側でリ
ップ5の先端から塗料を吐出開始後、平板1の搬送を開
始し、塗布を行う。平板1の停止位置は、特に限定され
るものでないが、通常、吐出開始位置が平板1のエッジ
部12の端部1〜20mmの範囲にあることが好まし
く、より好ましくは、2〜10mmの範囲である。この
距離が1mm未満の場合は、平板1のエッジ部12を塗
料で汚染しやすく、異物の発生源となる。20mmをこ
える場合は、平板1のロスが大きいために不経済であ
る。
As for the coating start portion, as shown in FIG. 4, the flat plate 1 is conveyed immediately below the lip 5 which is the tip of the die 6 and stopped. Then, after starting the discharge of the coating material from the tip of the lip 5 inside the edge portion on the flat plate, the transport of the flat plate 1 is started and the coating is performed. The stop position of the flat plate 1 is not particularly limited, but normally, the discharge start position is preferably in the range of 1 to 20 mm at the end of the edge portion 12 of the flat plate 1, and more preferably in the range of 2 to 10 mm. Is. If this distance is less than 1 mm, the edge portion 12 of the flat plate 1 is likely to be contaminated with the coating material and becomes a source of foreign matter. When it exceeds 20 mm, it is uneconomical because the loss of the flat plate 1 is large.

【0021】塗布終了部に関しては、平板上のエッジ部
より内側でリップ5の先端からの吐出を終了後、第4図
に示すように平板1のエッジ部12から塗布開始部と同
様の位置で平板1の搬送を終了する。
Regarding the coating end portion, after the discharge from the tip of the lip 5 is completed inside the edge portion on the flat plate, as shown in FIG. 4, at the same position as the coating start portion from the edge portion 12 of the flat plate 1. The conveyance of the flat plate 1 is completed.

【0022】以上のごとくシーケンスを調整することに
よって、平板1の搬送方向の両側のエッジ部12および
裏面13を塗料で汚すことなく、面内のみに(周縁部に
塗料を塗布しない部分を残して)塗布可能である。
By adjusting the sequence as described above, the edge portion 12 and the back surface 13 on both sides of the flat plate 1 in the conveying direction are not contaminated with the paint, but only within the surface (the peripheral portion is left uncoated). ) Can be applied.

【0023】なお平板1の停止時間(吐出開始から平板
搬送開始まで、および吐出終了から平板搬送終了まで)
は、0.2〜10秒の範囲が好ましく、より好ましく
は、0.3〜3秒の範囲である。0.2秒未満では、塗
布開始部および塗布終了部の塗膜厚が薄く、10秒をこ
えるときは塗布開始部および塗布終了部の膜厚が厚すぎ
るために、面内の膜厚が不均一になる。
The stop time of the flat plate 1 (from the start of discharge to the start of flat plate transfer, and from the end of discharge to the end of flat plate transfer)
Is preferably in the range of 0.2 to 10 seconds, and more preferably in the range of 0.3 to 3 seconds. If it is less than 0.2 seconds, the coating thickness at the coating start portion and the coating end portion is small, and if it exceeds 10 seconds, the film thickness at the coating start portion and the coating end portion is too large. Be uniform.

【0024】以下、カラーフィルタ用塗膜に本発明の塗
膜の形成方法を適用した場合について説明する。
The case where the coating film forming method of the present invention is applied to a coating film for a color filter will be described below.

【0025】カラーフィルタ用塗膜の場合、平板として
透明平板を用いる。透明平板としては、特に限定される
ものでないが、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリ
レート等のプラスチック平板やプラスチックフイルムお
よびガラス板等全光線透過率が70%以上の透明平板が
好ましく用いる。なおこれらの中ではガラス板がより好
ましく用いられる。
In the case of a color filter coating film, a transparent flat plate is used. The transparent flat plate is not particularly limited, but a transparent flat plate having a total light transmittance of 70% or more, such as a plastic flat plate of polycarbonate, polymethylmethacrylate or the like, a plastic film or a glass plate is preferably used. Of these, a glass plate is more preferably used.

【0026】塗料の種類としては、特に限定されるもの
でないが、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリビニ
ールアルコール樹脂、ポリアミド酸樹脂、ポリイミド樹
脂等の一種ないしは二種以上の混合物およびこれらの感
光性樹脂等が好ましく用いられる。なおこれらの樹脂に
染料または顔料等の着色剤を分散混合して、使用するこ
ともできる。
The type of coating material is not particularly limited, but one or a mixture of two or more of acrylic resin, polyester resin, polyvinyl alcohol resin, polyamic acid resin, polyimide resin and the like, and photosensitive resins thereof, etc. Is preferably used. A colorant such as a dye or a pigment may be dispersed and mixed with these resins before use.

【0027】透明平板への塗布後の膜厚は、特に限定さ
れるものでないが、乾燥後の状態で0.1〜5.0μm
の範囲が好ましく、より好ましくは、0.2〜3μmで
ある。乾燥後の塗膜が0.1μm未満では、乾燥塗膜に
縦状のスジが発生し、品質上問題である。一方、5μm
をこえる場合は、塗料の使用量が多くなり、経済性に欠
ける。
The film thickness after coating on the transparent flat plate is not particularly limited, but is 0.1 to 5.0 μm in the dried state.
Is preferable, and more preferably 0.2 to 3 μm. If the coating film after drying is less than 0.1 μm, vertical streaks are generated in the dried coating film, which is a quality problem. On the other hand, 5 μm
If it exceeds the range, the amount of paint used will be large and the economy will be poor.

【0028】以上のごとく、本発明によってカラーフィ
ルタ用塗膜を形成することにより、透明平板のエッジ部
および裏面を塗布塗料で汚染することなく、面内のみに
薄膜均一塗布を可能とし、高品質で経済性に優れたカラ
ーフィルタを提供することが可能である。
As described above, by forming the color filter coating film according to the present invention, it is possible to uniformly coat the thin film only on the inside surface without contaminating the edge portion and the back surface of the transparent plate with the coating material, and to obtain high quality. Therefore, it is possible to provide a color filter having excellent economical efficiency.

【0029】カラーフィルタの製造方法については、例
えば、以下の方法が挙げられるが、これらに限定されな
い。まず、透明平板上に微細パターンからなる遮光層を
形成する。この遮光層上に着色剤を添加した熱硬化性の
塗料を塗布し、50〜150℃の温度で乾燥して、熱硬
化性塗膜を形成する。続いて該熱硬化性塗膜上にポジ型
フォトレジストを塗布し、超高圧水銀灯等を用いてマス
ク露光を行い、次いで該ポジ型フォトレジストを現像・
エッチングし、レリーフパターンを形成した後、該レリ
ーフパターンをマスクとして、該熱硬化性塗膜をエッチ
ングする。続いて該ポジ型フォトレジストを剥離した
後、200〜350℃程度に加熱焼成し、塗膜を熱硬化
する。以上の工程を赤色、緑色および青色についてくり
返し、所定の赤色、緑色および青色の微細パターンを形
成し、カラーフィルタとする。
Examples of the method for manufacturing the color filter include, but are not limited to, the following methods. First, a light shielding layer having a fine pattern is formed on a transparent flat plate. A thermosetting paint containing a colorant is applied onto the light shielding layer and dried at a temperature of 50 to 150 ° C. to form a thermosetting coating film. Subsequently, a positive photoresist is applied on the thermosetting coating film, mask exposure is performed using an ultra-high pressure mercury lamp or the like, and then the positive photoresist is developed.
After etching to form a relief pattern, the thermosetting coating film is etched using the relief pattern as a mask. Then, after peeling off the positive photoresist, the coating film is heat-baked at about 200 to 350 ° C. to thermally cure the coating film. The above steps are repeated for red, green, and blue to form predetermined red, green, and blue fine patterns to form a color filter.

【0030】塗料の乾燥温度は、50〜150℃の範囲
が好ましく、より好ましくは、80〜125℃の範囲で
ある。50℃未満では、乾燥時間が長く生産効率が悪く
なる。一方150℃をこえる場合は、熱硬化が進行して
しまい現像液に不溶化してしまう。
The drying temperature of the paint is preferably 50 to 150 ° C, more preferably 80 to 125 ° C. If the temperature is lower than 50 ° C, the drying time will be long and the production efficiency will be poor. On the other hand, when the temperature exceeds 150 ° C., thermosetting progresses and becomes insoluble in the developing solution.

【0031】一方着色剤を添加した感光性塗料の場合
は、透明平板上に微細パターンからなる遮光層を形成
し、該遮光層上に着色剤を添加した感光性塗料を塗布し
て、50〜150℃の温度で乾燥して、感光性塗膜を形
成する。続いて超高圧水銀灯等を用いてマスク露光を行
い、感光性塗膜を光硬化する。その後遮光層上の未硬化
感光性塗膜を現像・エッチングする。以上の工程を赤
色、緑色および青色についてくり返し、所定の赤色、緑
色および青色の微細パターンを形成し、カラーフィルタ
とする。
On the other hand, in the case of a photosensitive coating containing a colorant, a light-shielding layer consisting of a fine pattern is formed on a transparent flat plate, and the photosensitive coating containing a colorant is applied onto the light-shielding layer, and then 50 to 50 Dry at a temperature of 150 ° C. to form a photosensitive coating film. Subsequently, mask exposure is performed using an ultra-high pressure mercury lamp or the like to photo-cur the photosensitive coating film. Then, the uncured photosensitive coating film on the light shielding layer is developed and etched. The above steps are repeated for red, green, and blue to form predetermined red, green, and blue fine patterns to form a color filter.

【0032】なお必要に応じて、該赤色、緑色および青
色の微細パターン上に保護膜および平滑性を高める目的
で着色剤を含まない塗料を塗布して、カラーフィルタと
してもよい。
If necessary, a paint containing no colorant may be applied on the red, green and blue fine patterns to form a protective film and a smoothness to form a color filter.

【0033】本発明によるカーテンフローによる塗膜の
形成方法は、以上のカラーフィルタ製造工程における各
種塗料の塗布に有効である。
The method of forming a coating film by curtain flow according to the present invention is effective for coating various coating materials in the above color filter manufacturing process.

【0034】[0034]

【作用】以上説明したごとく、口金のリップ間に、塗布
膜の幅と同等ないしは数mm短い幅のフィルムを取りつ
けた口金を用いて、透明平板の一方のエッジ部により近
い面内から塗料をカーテンフロー状態で吐出、所定の時
間を経過後に透明平板を搬送して、塗布する。
[Function] As described above, a paint having a width equal to the width of the coating film or a width of a few millimeters shorter than the width of the coating film is used between the lips of the base to coat the paint from the surface closer to one edge of the transparent flat plate. Discharge in a flow state, and after a predetermined time has passed, a transparent flat plate is conveyed and applied.

【0035】塗布終了時は、口金先端のリップ部が透明
平板のもう一方のエッジ部により近づいた位置で透明平
板の搬送および塗料の吐出を停止する。この様な塗布方
法により透明平板の面内のみに均一な薄膜塗布が可能と
なった。
At the end of coating, the conveyance of the transparent flat plate and the discharge of the coating material are stopped at the position where the lip portion at the tip of the die comes closer to the other edge of the transparent flat plate. With such a coating method, a uniform thin film can be coated only on the surface of the transparent flat plate.

【0036】[0036]

【実施例】以下に、実施例を挙げて本発明を詳細に説明
するが、これらに限定されるものでない。
The present invention will be described in detail below with reference to examples, but the invention is not limited thereto.

【0037】実施例1 第1図に示す口金6と、第4図および第5図に示す透明
平板の面内塗布方法を用いて、大きさ300mm×40
0mm、厚さ1.1mmのガラス基板1上にNメチルピ
ロリドン溶剤と塩臭素化フタルシアニングリーン(C.
I.ピグメントグリーン36)とジスアゾイエローHR
(C.I.ピグメントイエロー83)顔料を添加・分散
したポリアミド酸塗料を固形分8wt%、粘度150c
pで塗布、110℃で10分乾燥した。
Example 1 Using the die 6 shown in FIG. 1 and the in-plane coating method of the transparent flat plate shown in FIGS. 4 and 5, a size of 300 mm × 40.
On a glass substrate 1 having a thickness of 0 mm and a thickness of 1.1 mm, an N-methylpyrrolidone solvent and chlorobrominated phthalcyanine green (C.
I. Pigment Green 36) and Disazo Yellow HR
(C. I. Pigment Yellow 83) Polyamic acid paint containing a pigment added and dispersed therein has a solid content of 8 wt% and a viscosity of 150 c.
The coating was carried out with p and dried at 110 ° C. for 10 minutes.

【0038】口金6のリップ5の間には、厚さ100μ
で幅290mmのポリエステルフイルム11をセット
し、この口金6のリップ5間隔を押し引きボルト7で1
00μmに微調整した。この状態の口金6をガラス基板
1のエッジ端部から5mmの位置上にクリアランス4が
100μmになるようにセットした。その後ポンプ9で
塗料10を0.5秒吐出し、ガラス基板1とリップ5の
間にカーテン状の膜を形成後、ガラス基板1を1m/
分、3m/分および5m/分の速度で搬送し、塗布を開
始した。塗布終了時は、ガラス基板1のエッジ端部から
5mmの位置で塗料10の吐出を停止し、0.3秒後、
ガラス基板1の搬送を停止し、塗布を終えた。その結
果、いずれの塗布速度でも縦スジがなく、良好な塗膜が
得られた。
A thickness of 100 μ is provided between the lips 5 of the base 6.
Set a polyester film 11 with a width of 290 mm with and press the space between the lip 5 of the mouthpiece 6 with the pulling bolt 7.
Finely adjusted to 00 μm. The die 6 in this state was set at a position 5 mm from the edge end of the glass substrate 1 so that the clearance 4 was 100 μm. After that, the coating material 10 is discharged by the pump 9 for 0.5 seconds to form a curtain-shaped film between the glass substrate 1 and the lip 5, and then the glass substrate 1 is moved to 1 m / m.
The application was started by transporting at a speed of 3 m / min and 5 m / min. At the end of coating, the discharge of the coating material 10 is stopped at a position 5 mm from the edge of the glass substrate 1, and 0.3 seconds later,
The conveyance of the glass substrate 1 was stopped and the coating was completed. As a result, there was no vertical stripe at any coating speed, and a good coating film was obtained.

【0039】なお塗料によるガラス基板の裏面およびエ
ッジ部の汚れもなく、4辺のエッジ端部から4mm以内
の面内に均一な塗膜が形成された。
There was no stain on the back surface and the edge portion of the glass substrate due to the paint, and a uniform coating film was formed within 4 mm from the edge ends of the four sides.

【0040】実施例2 実施例1と同一な方法で、セロソルブアセテート溶剤と
ジアントラキノンニルレッド(C.I.ピグメントレッ
ド177)顔料を添加・分散したアクリル樹脂(コータ
ックス、東レ製)を固形分30wt%、粘度25cpで
塗布、130℃で15分乾燥した。更に同一の溶剤およ
び樹脂中にフタルシアニンブルー(C.I.ピグメント
ブルー154)を固形分30wt%、粘度18cpで塗
布、130℃で15分乾燥した。その結果実施例1と同
様に良好な塗膜が得られた。なおガラス基板の裏面およ
びエッジ部の汚れもなく、面内に均一な塗布が可能であ
った。
Example 2 In the same manner as in Example 1, an acrylic resin (Cotax, manufactured by Toray) in which a cellosolve acetate solvent and a dianthraquinone nil red (CI Pigment Red 177) pigment were added and dispersed was used as a solid content. It was applied at 30 wt% and a viscosity of 25 cp and dried at 130 ° C. for 15 minutes. Further, phthalcyanine blue (CI Pigment Blue 154) was applied in the same solvent and resin at a solid content of 30 wt% and a viscosity of 18 cp, and dried at 130 ° C. for 15 minutes. As a result, a good coating film was obtained as in Example 1. It should be noted that there was no stain on the back surface and the edge portion of the glass substrate, and uniform coating was possible within the surface.

【0041】実施例3 実施例1と同一の方法で、大きさ300mm×350m
m、厚さ1.1mmのSiO2 付きのソーダライムガラ
ス基板1上に粘度30cpのフォトレジストを塗布、1
00℃で10分乾燥した。
Example 3 In the same manner as in Example 1, the size was 300 mm × 350 m.
m, 1.1 mm thick, soda lime glass substrate 1 with SiO 2 coated with a photoresist having a viscosity of 30 cp, 1
It was dried at 00 ° C for 10 minutes.

【0042】口金6のリップ5の間には、厚さ50μm
で幅290mmのポリエステルフイルム11をセット
し、この口金6のリップ5間隔を押し引きボルト7で5
0μに微調整した。この状態の口金6をガラス基板1の
エッジ端部から5mmの位置上にクリアランス4が50
μmになるようにセットした。その後ポンプ9で塗料1
0を0.7秒吐出し、SiO2 付きのソーダライムガラ
ス基板1とリップ5の間にカーテン状の膜を形成後、S
iO2 付きのソーダライムガラス基板1を3m/分の速
度で搬送し、塗布を開始した。塗布終了時は、ガラス基
板1のエッジ端部から5mmの位置で塗料10の吐出を
停止し、0.2秒後、SiO2 付きのソーダライムガラ
ス基板1の搬送を停止し、塗布を終えた。その結果、塗
膜幅は、296mmと若干広くなったが、面内のみの均
一な塗布が可能であった。なお縦スジもなく、良好な塗
膜が得られた。
There is a thickness of 50 μm between the lips 5 of the base 6.
Set a polyester film 11 with a width of 290 mm with and press the space between the lip 5 of the mouthpiece 6 with the pulling bolt 7.
Fine-tuned to 0μ. Place the die 6 in this state on the position 5 mm from the edge end of the glass substrate 1 so that the clearance 4 is 50
It was set so as to be μm. Then paint 1 with pump 9.
0 is discharged for 0.7 seconds to form a curtain-like film between the soda lime glass substrate 1 with SiO 2 and the lip 5, and then S
The soda lime glass substrate 1 with iO 2 was conveyed at a speed of 3 m / min to start coating. At the end of coating, the discharge of the coating material 10 was stopped at a position 5 mm from the edge of the glass substrate 1, and 0.2 seconds later, the transportation of the soda lime glass substrate 1 with SiO 2 was stopped and the coating was finished. . As a result, the coating film width was slightly widened to 296 mm, but uniform coating was possible only within the surface. A good coating film was obtained without vertical streaks.

【0043】[0043]

【発明の効果】本発明によると、異物の混入が少なく、
塗料粘度の変化が少ないという従来のカーテンフローコ
ートの特性を保持しつつ、透明平板のエッジ部および裏
面が塗料で汚染されないために、カラーフィルタの生産
性が著しく向上する。更に透明平板の面内のみに均一な
薄膜塗布を施すために、塗料のロスが非常に少なく、高
品位・低価格のカラーフィルタが生産可能である。
EFFECTS OF THE INVENTION According to the present invention, foreign matter is less mixed,
While maintaining the characteristic of the conventional curtain flow coat that the change in paint viscosity is small, the edge portion and the back surface of the transparent flat plate are not contaminated with the paint, so that the productivity of the color filter is significantly improved. Furthermore, since a thin film is applied uniformly only on the surface of the transparent flat plate, the loss of the paint is very small, and a high quality and low cost color filter can be produced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明にかかるカーテンフローによる塗布(ス
リットダイコータ)の一例を示す概略図である。
FIG. 1 is a schematic view showing an example of coating (slit die coater) by a curtain flow according to the present invention.

【図2】第1図に示したカーテンフローによる塗布の右
側面図を示す概略図である。
2 is a schematic diagram showing a right side view of coating by the curtain flow shown in FIG. 1. FIG.

【図3】塗料を塗布・乾燥して塗膜を形成した平板の概
略図である。
FIG. 3 is a schematic view of a flat plate on which a coating film is formed by applying and drying a paint.

【図4】平板の塗料塗布開始部の概略図である。FIG. 4 is a schematic view of a coating material application starting portion of a flat plate.

【図5】平板の塗料塗布終了部の概略図である。FIG. 5 is a schematic view of a coating application completion portion of a flat plate.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 平板 2 吸着ステージ 3 塗膜 4 クリアランス 5 リップ 6 口金 7 押し引きボルト 8 配管 9 ポンプ 10 塗料 11 フイルム 12 平板のエッジ部 13 平板の裏面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Flat plate 2 Adsorption stage 3 Coating film 4 Clearance 5 Lip 6 Base 7 Push / pull bolt 8 Piping 9 Pump 10 Paint 11 Film 12 Edge of flat plate 13 Back side of flat plate

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】平板上に塗料を塗布、乾燥して該平板上に
塗膜を形成する方法において、該平板上の周縁部に塗料
を塗布しない部分を残して、塗料をカーテンフローで塗
布することを特徴とする塗膜の形成方法。
1. A method of applying a coating material on a flat plate and drying it to form a coating film on the flat plate, wherein the coating material is applied by curtain flow, leaving a non-application portion on the peripheral portion of the flat plate. A method for forming a coating film characterized by the above.
【請求項2】平板上のエッジ部より内側で塗料を吐出開
始後、平板の搬送を開始することを特徴とする請求項1
記載の塗膜の形成方法。
2. The conveyance of the flat plate is started after the discharge of the paint is started inside the edge portion of the flat plate.
The method for forming a coating film as described above.
【請求項3】平板上のエッジ部より内側で塗料を吐出終
了後、平板の搬送を終了することを特徴とする請求項1
または2記載の塗膜の形成方法。
3. The conveyance of the flat plate is terminated after the paint is discharged inside the edge portion of the flat plate.
Or the method for forming a coating film according to 2.
【請求項4】透明平板上に塗料を塗布、乾燥して該透明
平板上にカラーフィルタ用塗膜を形成する方法におい
て、該透明平板上の周縁部に塗料を塗布しない部分を残
して、塗料をカーテンフローで塗布することを特徴とす
るカラーフィルタ用塗膜の形成方法。
4. A method for forming a color filter coating film on a transparent flat plate by applying the paint on the transparent flat plate and drying the paint, leaving a portion of the transparent flat plate to which no paint is applied, leaving the paint. A method for forming a coating film for a color filter, characterized in that the composition is applied by curtain flow.
【請求項5】透明平板上のエッジ部より内側で塗料を吐
出開始後、透明平板の搬送を開始することを特徴とする
請求項4記載のカラーフィルタ用塗膜の形成方法。
5. The method for forming a coating film for a color filter according to claim 4, wherein the coating of the transparent flat plate is started after the discharge of the paint is started inside the edge portion of the transparent flat plate.
【請求項6】透明平板上のエッジ部より内側で塗料を吐
出終了後、透明平板の搬送を終了することを特徴とする
請求項4または5記載のカラーフィルタ用塗膜の形成方
法。
6. The method for forming a coating film for a color filter according to claim 4, wherein the transport of the transparent plate is finished after the coating material is discharged inside the edge portion of the transparent plate.
【請求項7】透明平板上に形成されるカラーフィルタ用
塗膜の厚みが乾燥後0.1〜5.0μmの範囲であるこ
とを特徴とする請求項4〜6のいずれか記載のカラーフ
ィルタ用塗膜の形成方法。
7. The color filter according to claim 4, wherein the thickness of the color filter coating film formed on the transparent flat plate is in the range of 0.1 to 5.0 μm after drying. For forming coating film for automobile.
JP15732293A 1993-06-28 1993-06-28 Formation of coating film Pending JPH078894A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15732293A JPH078894A (en) 1993-06-28 1993-06-28 Formation of coating film

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15732293A JPH078894A (en) 1993-06-28 1993-06-28 Formation of coating film

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH078894A true JPH078894A (en) 1995-01-13

Family

ID=15647166

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15732293A Pending JPH078894A (en) 1993-06-28 1993-06-28 Formation of coating film

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH078894A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101426633B1 (en) * 2010-03-31 2014-08-05 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤 Method for producing laminate film, method for producing polarizing laminate film, and method for producing polarizing plate
JP2019005999A (en) * 2017-06-23 2019-01-17 東京応化工業株式会社 Manufacturing method of laminate, manufacturing method of electronic device, laminate, and laminate manufacturing system

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101426633B1 (en) * 2010-03-31 2014-08-05 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤 Method for producing laminate film, method for producing polarizing laminate film, and method for producing polarizing plate
JP2019005999A (en) * 2017-06-23 2019-01-17 東京応化工業株式会社 Manufacturing method of laminate, manufacturing method of electronic device, laminate, and laminate manufacturing system
TWI752230B (en) * 2017-06-23 2022-01-11 日商東京應化工業股份有限公司 Manufacturing method of laminated body, manufacturing method of electronic device, laminated body, and laminated body manufacturing system

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3093943B2 (en) Manufacturing method of liquid crystal display device
JP3306838B2 (en) CLEANING METHOD FOR CURTAIN FLOW COATER AND METHOD FOR PRODUCING COATING FILM FOR COLOR FILTER
JPH078894A (en) Formation of coating film
JP3139359B2 (en) Single-wafer coating method and color filter manufacturing method
JPH08173878A (en) Slit die coater die and method for producing coating film using the same
JP3163905B2 (en) Method for cleaning inside lip of mouthpiece of curtain flow coater and method for producing coating film for color filter
KR970007060B1 (en) Coating method and coating device for viscous liquid
JPH05241011A (en) Method for manufacturing color filter for liquid crystal display
JP2007069098A (en) Vacuum drying method for coating film
US6287636B1 (en) Coating apparatus and method utilizing a diluent and a method for producing a color filter substrate
JPH0852404A (en) Curtain flow coater, coating method using the same, and manufacturing method of coating film for color filter
JP3201195B2 (en) Film formation
JP2000157907A (en) Single-wafer coating method, single-wafer coating apparatus, and color filter manufacturing method
JPH08173891A (en) Coating film manufacturing method
JPH08155369A (en) Curtain flow coater and method for producing coating film using the same
CN1249462C (en) Method for manufacturing optical element
JP3033632B2 (en) Method for manufacturing color filter and liquid crystal display element
JPH01296201A (en) Production of color filter
JPH0486801A (en) Production of color filter
JPS6315204A (en) Color filter
US6841319B2 (en) Method for manufacturing optical devices
JPH06174911A (en) Color filter manufacturing method
JPH10221860A (en) Method of forming black resist pattern and method of manufacturing color filter
JPH11242106A (en) Manufacturing method of color filter
CN117111406A (en) A method for coating photoresist on curved surfaces based on profiling molds