JPH0852404A - Curtain flow coater, coating method using the same, and manufacturing method of coating film for color filter - Google Patents

Curtain flow coater, coating method using the same, and manufacturing method of coating film for color filter

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JPH0852404A
JPH0852404A JP18720994A JP18720994A JPH0852404A JP H0852404 A JPH0852404 A JP H0852404A JP 18720994 A JP18720994 A JP 18720994A JP 18720994 A JP18720994 A JP 18720994A JP H0852404 A JPH0852404 A JP H0852404A
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curtain flow
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伸二 富松
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Abstract

(57)【要約】 【構成】本発明は、カーテンフローコータの口金リップ
部の形状において、バックアップリップの先端のみが基
板と平行になっていることを特徴とする口金形状および
それを用いた塗布方法である。 【効果】本発明によると、口金のドクターリップ部に所
定の角度を持たせ、さらにバックアップリップ部を基板
と平行な形状にすることにより、塗布開始部からの膜厚
均一化が可能となった。更に、塗膜外観もムラ、スジの
ない良好なものが得られるようになった。
(57) [Summary] [Construction] According to the present invention, in the shape of the die lip portion of the curtain flow coater, only the tip of the backup lip is parallel to the substrate, and the die shape and coating using the same. Is the way. [Effect] According to the present invention, the doctor lip portion of the die has a predetermined angle, and the backup lip portion has a shape parallel to the substrate, so that the film thickness can be made uniform from the coating start portion. . Furthermore, it has become possible to obtain a good coating appearance without unevenness or streaks.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、液晶を用いたカラーデ
ィスプレイや固体撮像素子などに用いられる、カラーフ
ィルタ用塗膜形成に好適に用いられるカーテンフローコ
ータ、それを用いた塗料の塗布方法およびカラーフィル
タ用塗膜の製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a curtain flow coater suitable for forming a coating film for a color filter, which is used for a color display using a liquid crystal, a solid-state image pickup device, etc., a coating method using the same, and The present invention relates to a method for manufacturing a color filter coating film.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に液晶を用いたディスプレイ等に利
用されるカラーフィルタは、ガラス基板等の透明基板上
に、赤、緑、青の3原色パターンがある一定の位置関係
を保って配列されている。この透明基板上への薄膜塗布
方式の1つにカーテンフローコータがある。
2. Description of the Related Art In general, a color filter used for a display using liquid crystal is arranged on a transparent substrate such as a glass substrate with a pattern of three primary colors of red, green and blue arranged in a fixed positional relationship. There is. A curtain flow coater is one of the thin film coating methods on the transparent substrate.

【0003】この塗布方法としては、例えば特開平5−
11105号公報に公開されており、ダイヘッド、Tダ
イ、スリットダイと呼ばれる口金のリップ先端から塗料
をカーテン状に吐出し、基板に非接触で塗布する方式の
ものである。この方式は、吐出されるまでの塗料供給経
路が密閉されているために、異物の混入が少なく、さら
に塗料の粘度変化が少ないなどの特徴を有している。
As this coating method, for example, Japanese Unexamined Patent Publication No.
It is disclosed in Japanese Laid-Open Patent Publication No. 11105, and is a system in which a paint is ejected in a curtain shape from a lip end of a die called a die head, a T die, and a slit die, and is applied to a substrate in a non-contact manner. This method is characterized in that the paint supply path until it is discharged is sealed, so that foreign matter is less mixed in and the viscosity of the paint is less likely to change.

【0004】しかしながら、カーテンフローコータによ
る薄膜塗布は、塗布開始部において数メートルの間膜厚
精度が悪く、薄くなる傾向がある。このために、小さな
平板への薄膜塗布は困難とされてきた。しかしながら、
カラーフィルタの場合、平板への塗布において、塗布開
始部から均一膜厚を有する物を得ることは、品質上欠か
せない問題である。
However, in the thin film coating by the curtain flow coater, the film thickness accuracy is poor for several meters at the coating start portion and the film tends to be thin. For this reason, it has been difficult to apply a thin film to a small flat plate. However,
In the case of a color filter, in coating on a flat plate, obtaining a product having a uniform film thickness from the coating start portion is an essential problem in terms of quality.

【0005】塗布開始部の膜厚均一性の向上の手段とし
て、口金形状の最適化があげられる。現状の口金形状と
して、Tダイが一般的である。Tダイは、リップ先端部
の液だまりが大きく、安定した液だまりになるまでに時
間がかかる。そのために、塗布開始部の膜厚安定性が悪
く、また、縦スジなどの塗布欠陥が発生しやすいなどの
問題点がある。
As a means for improving the film thickness uniformity at the coating start portion, there is optimization of the die shape. The T-die is generally used as the present die shape. The T-die has a large liquid pool at the tip of the lip, and it takes time to form a stable liquid pool. Therefore, there are problems that the film thickness stability at the coating start portion is poor, and coating defects such as vertical stripes are likely to occur.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、カー
テンフローコータのこれまでの課題である塗布開始部の
膜厚均一化を可能にすることにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to make it possible to achieve a uniform film thickness at the coating start portion, which has been a subject of the curtain flow coater.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、次の構成を有
するものである。
The present invention has the following configuration.

【0008】(1)平板上に塗料を塗布する際に用いら
れるカーテンフローコータであって、該カーテンフロー
コータの口金のドクターリップ部およびバックアップリ
ップ部の少なくとも一方の先端の角度が90度未満であ
ることを特徴とするカーテンフローコータ。
(1) A curtain flow coater used when applying a coating material on a flat plate, wherein the angle of the tip of at least one of the doctor lip portion and the backup lip portion of the die of the curtain flow coater is less than 90 degrees. A curtain flow coater characterized by being present.

【0009】(2)カーテンフローコータを用いて平板
上に塗料を塗布する方法において、該カーテンフローコ
ータの口金のドクターリップ部およびバックアップリッ
プ部の少なくとも一方の先端が、該平板と平行でない状
態で塗布することを特徴とする塗料の塗布方法。
(2) In a method of applying a coating material on a flat plate using a curtain flow coater, at least one tip of a doctor lip portion and a backup lip portion of a die of the curtain flow coater is not parallel to the flat plate. A method for applying a paint, characterized by applying.

【0010】(3)カーテンフローコータを用いて平板
上にカラーフィルタ用塗膜形成用塗料を塗布する工程を
含むカラーフィルタ用塗膜の製造方法において、該カー
テンフローコータの口金のドクターリップ部およびバッ
クアップリップ部の少なくとも一方の先端が、該平板と
平行でない状態で塗布することを特徴とするカラーフィ
ルタ用塗膜の製造方法。
(3) In a method for producing a coating film for a color filter, which comprises a step of applying a coating material for forming a coating film for a color filter onto a flat plate using a curtain flow coater, a doctor lip portion of a die of the curtain flow coater and A method for producing a coating film for a color filter, characterized in that at least one tip of the backup lip portion is applied in a state not parallel to the flat plate.

【0011】本発明におけるカーテンフローコータにつ
いて説明する。
The curtain flow coater of the present invention will be described.

【0012】本発明にかかるカーテンフローコータの口
金は、ドクターリップ部およびバックアップリップ部の
少なくとも一方の先端が90度未満であることを特徴と
する。両方のリップ部の先端が90度であると塗布開始
部の膜厚が安定しないためである。塗布開始部の膜厚の
安定性をより高めるためには、ドクターリップ部の先端
の角度が90度未満であり、バックアップリップ部の先
端の角度が90度であることが好ましい。ドクターリッ
プ部の先端の角度はより好ましくは30〜80度、さら
に好ましくは40〜70度である。30度未満になる
と、リップ部の先端の液だまりの量が多くなり、塗布開
始部の膜厚が薄くなる。また、80度をこえると、Tダ
イとほぼ同様な形状になるため、塗布開始部の膜厚均一
性に欠ける。一方、バックアップリップ部の先端の角度
は実質的に90度であることが好ましく、塗料を塗布す
る平板に平行な状態で塗布することが好ましい。この基
板と平行な部分がないと、塗料塗布時に、リップの先端
の液だまりが安定しなくなるため、幅方向の塗布むらが
発生しやすい。この平板に平行な部分の長さは0.5〜
20mmの範囲が好ましく、より好ましくは1〜5mm
の範囲が好適である。0.5mm未満では、幅方向の塗
布むらが発生しやすく、また20mmをこえると、口金
が重くなるために口金がたわみ、基板とのクリアランス
が一定に保てないために幅方向の膜厚均一性に欠ける。
The die of the curtain flow coater according to the present invention is characterized in that the tip of at least one of the doctor lip portion and the backup lip portion is less than 90 degrees. This is because the film thickness at the coating start portion is not stable when the tips of both lip portions are 90 degrees. In order to further improve the stability of the film thickness at the coating start portion, it is preferable that the angle of the tip of the doctor lip is less than 90 degrees and the angle of the tip of the backup lip is 90 degrees. The angle of the tip of the doctor lip is more preferably 30 to 80 degrees, and even more preferably 40 to 70 degrees. If it is less than 30 degrees, the amount of liquid pool at the tip of the lip portion increases and the film thickness at the coating start portion becomes thin. Further, if it exceeds 80 degrees, the shape becomes almost the same as that of the T-die, so that the film thickness uniformity at the coating start portion is insufficient. On the other hand, the angle of the tip of the backup lip portion is preferably substantially 90 degrees, and it is preferable that the backup lip portion is applied in a state parallel to the flat plate on which the paint is applied. If there is no portion parallel to this substrate, the liquid pool at the tip of the lip will not be stable when the coating material is applied, and thus uneven coating in the width direction is likely to occur. The length of the part parallel to this flat plate is 0.5 ~
20 mm range is preferable, more preferably 1-5 mm
Is preferred. If it is less than 0.5 mm, coating unevenness in the width direction tends to occur, and if it exceeds 20 mm, the die becomes heavy and the die is bent, and the clearance with the substrate cannot be kept constant. Lacks sex.

【0013】第2図に、本発明におけるカーテンフロー
コータの口金の一例を表す概略図を示す。すなわち、口
金6の先端は、ドクターリップ12とバックアップリッ
プ13とから構成されており、ドクターリップ12の先
端の角度は約50度、バックアップリップ13の先端の
角度は実質的に90度となっている。なお、7は押し引
きボルト、11はフィルムを表す。
FIG. 2 is a schematic view showing an example of a die of the curtain flow coater according to the present invention. That is, the tip of the mouthpiece 6 is composed of the doctor lip 12 and the backup lip 13, the angle of the tip of the doctor lip 12 is about 50 degrees, and the angle of the tip of the backup lip 13 is substantially 90 degrees. There is. In addition, 7 represents a push-pull bolt, and 11 represents a film.

【0014】次に本発明における塗料の塗布方法を説明
する。
Next, the coating method of the present invention will be described.

【0015】本発明にかかる塗料の塗布方法は、上記で
説明したようなカーテンフローコータを用いて平板上に
塗料を塗布する方法である。あるいは、カーテンフロー
コータの口金のドクターリップ部およびバックアップリ
ップ部の少なくとも一方の先端が、平板と平行でない状
態で塗料を塗布する方法である。塗布開始部の膜厚安定
性向上のためには、ドクターリップ部の先端が平板と平
行ではなく、かつバックアップリップ部の先端が平板と
平行となっている状態で塗布することが好ましい。
The coating method of the present invention is a method of coating a flat plate with the curtain flow coater as described above. Alternatively, it is a method of applying the paint in a state where at least one tip of the doctor lip portion and the backup lip portion of the die of the curtain flow coater is not parallel to the flat plate. In order to improve the film thickness stability of the coating start portion, it is preferable that the doctor lip portion is not parallel to the flat plate and the backup lip portion is parallel to the flat plate.

【0016】第1図に、本発明におけるカーテンフロー
コータ(スリットダイコータ)による塗布の一例を表す
概略図を示す。すなわち、塗料10はポンプ9によって
配管8から口金6の内部に供給され、平板1の搬送(矢
印A方向)に従い、口金6の先端であるリップ5(ドク
ターリップ12とバックアップリップ13から構成され
る)からカーテン状態で吸着ステージ2上に吸着固定さ
れた平板1上に塗布され、塗膜3が形成される。幅方向
の塗膜の均一性は、カーテン状に吐出される塗料を口金
先端部にあるリップ5の間隔や、平板1とリップの間隔
すなわちクリアランス4を調整してコントロールされ
る。
FIG. 1 is a schematic view showing an example of coating with a curtain flow coater (slit die coater) according to the present invention. That is, the paint 10 is supplied from the pipe 8 to the inside of the mouthpiece 6 by the pump 9, and the lip 5 (the doctor lip 12 and the backup lip 13) which is the tip of the mouthpiece 6 is formed in accordance with the conveyance of the flat plate 1 (direction of arrow A). From the above), it is applied in a curtain state on the flat plate 1 suction-fixed on the suction stage 2 to form a coating film 3. The uniformity of the coating film in the width direction is controlled by adjusting the distance between the lip 5 at the tip of the die and the distance between the flat plate 1 and the lip, that is, the clearance 4 for the paint discharged in a curtain shape.

【0017】本発明のカーテンフローコータによる塗料
の塗布は、スリットダイコータによる方法に限定され
ず、ダイヘッド、Tダイ等による方法でもよい。また塗
料の供給手段はポンプに限定されず、圧空などの方式に
よるものでもよい。
The coating of the coating material by the curtain flow coater of the present invention is not limited to the method using the slit die coater, but may be a method using a die head, a T-die or the like. Further, the paint supply means is not limited to a pump, and may be a method such as compressed air.

【0018】塗料がカラーフィルタ用塗膜形成用塗料で
ある場合には、特に塗膜の外観が良好であることが要求
されるので、本発明のカーテンフローコータによる塗料
の塗布方法は特に好適に用いられる。
When the paint is a paint for forming a paint film for a color filter, it is particularly required that the paint film has a good appearance. Therefore, the method for applying the paint by the curtain flow coater of the present invention is particularly suitable. Used.

【0019】以下、カラーフィルタ用塗膜形成に本発明
の塗料の塗布方法を適用した場合について説明する。
The case where the coating method of the present invention is applied to the formation of a color filter coating film will be described below.

【0020】カラーフィルタ用塗膜形成の場合、平板と
して透明平板を用いる。透明平板としては、特に限定さ
れるものではないが、ポリカーボネート、ポリメチルメ
タクリレート等のプラスチック平板やプラスチックフィ
ルムおよびガラス板等全光透過率が70%以上の透明平
板が好ましく用いられる。なおこれらの中ではガラス板
がより好ましく用いられる。
When forming a coating film for a color filter, a transparent flat plate is used. The transparent flat plate is not particularly limited, but a transparent flat plate having a total light transmittance of 70% or more, such as a plastic flat plate made of polycarbonate, polymethylmethacrylate or the like, a plastic film, a glass plate or the like is preferably used. Of these, a glass plate is more preferably used.

【0021】塗料の種類としては、特に限定されるもの
ではないが、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリビ
ニールアルコール樹脂、ポリアミド酸樹脂、ポリイミド
樹脂等の一種ないし二種以上の混合物およびこれらの感
光性樹脂等が好ましく用いられる。なおこれらの樹脂に
染料または顔料などの着色材を分散混合して、使用する
こともできる。
The type of coating material is not particularly limited, but one or a mixture of two or more of acrylic resin, polyester resin, polyvinyl alcohol resin, polyamic acid resin, polyimide resin and the like, and photosensitive resins thereof are used. Etc. are preferably used. A coloring material such as a dye or a pigment may be dispersed and mixed with these resins before use.

【0022】透明平板への塗布後の膜厚は、特に限定さ
れるものではないが、乾燥塗膜の状態で、0.1〜5.
0μmの範囲が好ましく、より好ましくは、0.2〜
3.0μmの範囲が好適に用いられる。乾燥後の塗膜が
0.1μm未満では、乾燥塗膜に縦状のスジが発生し、
品質上問題である。一方5.0μmを越える場合は、乾
燥塗膜の平滑性が劣る。さらに塗料の使用量も多くな
り、経済性に欠ける。
The film thickness after coating on the transparent flat plate is not particularly limited, but it is 0.1-5.
The range is preferably 0 μm, more preferably 0.2 to
A range of 3.0 μm is preferably used. If the coating film after drying is less than 0.1 μm, vertical streaks occur in the dried coating film,
This is a quality problem. On the other hand, when it exceeds 5.0 μm, the smoothness of the dried coating film is poor. In addition, the amount of paint used increases, which is not economical.

【0023】カラーフィルタの製造方法については、た
とえば、以下の方法があげられるが、これらに限定され
るものではない。まず透明平板上に微細パターンからな
る遮光層を形成する。この遮光層上に接着剤を添加した
熱硬化性の塗料を塗布し、50〜150℃の温度で乾燥
して、熱硬化性塗膜を形成する。続いて該熱硬化性塗膜
上にポジ型フォトレジストを塗布し、超高圧水銀灯など
を用いて、マスク露光を行い、次いで該レリーフパター
ンをマスクとして、該熱硬化性塗膜をエッチングする。
続いて該ポジ型フォトレジストを剥離した後、200〜
350℃に加熱焼成し、塗膜を熱硬化する。以上の工程
を赤色、緑色および青色につて繰り返し、所定の赤色、
緑色および青色の微細パターンを形成し、カラーフィル
タとする。
The method of manufacturing the color filter includes, for example, the following methods, but is not limited to these. First, a light shielding layer having a fine pattern is formed on a transparent flat plate. A thermosetting paint to which an adhesive is added is applied onto the light shielding layer and dried at a temperature of 50 to 150 ° C. to form a thermosetting coating film. Subsequently, a positive photoresist is applied on the thermosetting coating film, mask exposure is performed using an ultra-high pressure mercury lamp or the like, and then the thermosetting coating film is etched using the relief pattern as a mask.
Then, after removing the positive type photoresist,
The coated film is heat-cured by heating to 350 ° C. Repeat the above steps for red, green and blue,
Fine patterns of green and blue are formed to serve as color filters.

【0024】塗料の乾燥温度は、50〜160℃の範囲
が好ましく、より好ましくは、80〜130℃の範囲が
好適である。50℃未満では、乾燥時間が長く、生産効
率が悪くなる。一方160℃以上では、熱硬化が進行し
てしまい、現像液に不溶化してしまう。
The drying temperature of the coating material is preferably in the range of 50 to 160 ° C, more preferably in the range of 80 to 130 ° C. If it is less than 50 ° C, the drying time is long and the production efficiency is poor. On the other hand, when the temperature is 160 ° C. or higher, thermosetting progresses and becomes insoluble in the developer.

【0025】一方着色剤を添加した感光性塗料の場合
は、透明平板上に微細パターンからなる遮光層を形成
し、該遮光層上に着色材を添加した感光性塗料を塗布し
て、50〜150℃の温度で乾燥して、感光性塗膜を形
成する。続いて超高圧水銀灯などを用いてマスク露光を
行い、感光性塗料を光硬化する。その後遮光層上の未硬
化感光性塗膜を現像、エッチングする。以上の工程を赤
色、緑色および青色につて繰り返し、所定の赤色、緑色
および青色の微細パターンを形成し、カラーフィルタと
する。
On the other hand, in the case of a photosensitive coating containing a colorant, a light-shielding layer having a fine pattern is formed on a transparent flat plate, and the photosensitive coating containing a colorant is applied onto the light-shielding layer, and the coating is applied at 50 to 50%. Dry at a temperature of 150 ° C. to form a photosensitive coating film. Subsequently, mask exposure is performed using an ultra-high pressure mercury lamp or the like to photo-cur the photosensitive coating. Then, the uncured photosensitive coating film on the light shielding layer is developed and etched. The above steps are repeated for red, green and blue to form a predetermined red, green and blue fine pattern to form a color filter.

【0026】なお必要に応じて、該赤色、緑色および青
色の微細パターン上に保護膜および平滑性を高める目的
で着色剤を含まない塗料を塗布して、カラーフィルタと
しても良い。
If necessary, a colorant-free paint may be applied to the red, green and blue fine patterns to form a protective film and a colorant-free paint for the purpose of improving smoothness.

【0027】本発明による塗料の塗布方法は、以上のカ
ラーフィルタ製造工程における各種塗料カラーフィルタ
用塗膜形成用塗料の塗布に有効である。すなわち、赤
色、緑色、青色の微細パターン形成用塗料、遮光層形成
用塗料、保護層形成用塗料などである。
The coating material coating method according to the present invention is effective for coating a coating material for forming a coating film for various coating materials in the above color filter manufacturing process. That is, it is a red, green or blue fine pattern forming paint, a light shielding layer forming paint, a protective layer forming paint or the like.

【0028】[0028]

【実施例】以下に、実施例を挙げて本発明を詳細に説明
するが、これらに限定されるものではない。
The present invention will be described in detail below with reference to examples, but the invention is not limited thereto.

【0029】実施例1・比較例1 第1図および第2図に示す塗布装置および口金を用い
て、ガラス基板上に塗布を実施した。ガラス基板の大き
さは300×400mm、厚さ1.1mmのものを使用
した。また塗料としては、Nメチルピロリドン溶剤と塩
臭素化フタルシアニングリーン(C.I.ピグメントグ
リーン36)とジスアゾイエローHR(C.I.PIピ
グメントイエロー83)顔料を添加、分散したポリアミ
ド酸塗料を固形分8wt%、粘度100cpの状態で、
塗布速度2m/分の速度で塗布し、120℃で10分乾
燥した。
Example 1 / Comparative Example 1 Coating was carried out on a glass substrate using the coating apparatus and the die shown in FIGS. 1 and 2. A glass substrate having a size of 300 × 400 mm and a thickness of 1.1 mm was used. As the paint, a polyamic acid paint in which N-methylpyrrolidone solvent, chlorobrominated phthalcyanine green (CI Pigment Green 36) and disazo yellow HR (CI PI Pigment Yellow 83) pigment were added and dispersed was solidified. Min 8wt%, viscosity 100cp,
The coating was performed at a coating speed of 2 m / min and dried at 120 ° C. for 10 minutes.

【0030】一方、第3図に示す従来のカーテンフロー
コータ(ドクターリップおよびバックアップリップの先
端が90度であり、両方の先端が平板と平行である)を
使用して、実施例1と同様な方法で塗布を行った(比較
例1)。
On the other hand, using the conventional curtain flow coater shown in FIG. 3 (the tips of the doctor lip and the backup lip are 90 degrees and both tips are parallel to the flat plate), the same as in Example 1 is used. Application was performed by the method (Comparative Example 1).

【0031】第4図に、実施例1で得られた塗布基板
と、比較例1で得られた塗布基板の膜厚分布結果を比較
して示した。
FIG. 4 shows the film thickness distribution results of the coated substrate obtained in Example 1 and the coated substrate obtained in Comparative Example 1 for comparison.

【0032】比較例1では塗布基板中心部に対して、塗
布開始部から200mmまで膜厚が薄く、膜厚が不均一
である。一方実施例1では、比較例1のような膜厚分布
にならず、塗布開始部から10mmですでに膜厚が安定
している。更に塗布時には塗布ムラもなく、良好な塗膜
が得られた。
In Comparative Example 1, the film thickness is thin from the coating start portion to 200 mm with respect to the central portion of the coated substrate, and the film thickness is not uniform. On the other hand, in Example 1, the film thickness distribution is not the same as in Comparative Example 1, and the film thickness is already stable 10 mm from the coating start portion. Further, there was no coating unevenness during coating, and a good coating film was obtained.

【0033】[0033]

【発明の効果】本発明にかかるカーテンフローコータ、
塗料の塗布方法を適用することにより、塗布開始部から
の膜厚均一性が著しく向上させることができるので、従
来発生していた塗布時の縦スジがほとんど発生せず、品
質の良い塗膜を得ることができる。したがって、外観が
良好であることが要求されるカラーフィルタ用塗膜を形
成する場合、特に塗布開始部からの膜厚の安定性が要求
される枚葉塗布の場合には、特に好適に用いることがで
きる。
The curtain flow coater according to the present invention,
By applying the coating method, it is possible to remarkably improve the film thickness uniformity from the coating start part, so vertical stripes at the time of coating that have occurred in the past are hardly generated, and a high quality coating film can be obtained. Obtainable. Therefore, when forming a coating film for a color filter that is required to have a good appearance, particularly preferably for single-wafer coating where stability of the film thickness from the coating start portion is required You can

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明にかかるカーテンフローコータによる塗
布の一例を表す概略図である。
FIG. 1 is a schematic view showing an example of coating by a curtain flow coater according to the present invention.

【図2】本発明のにかかるカーテンフローコータの口金
の一例を表す概略図である。
FIG. 2 is a schematic view showing an example of a die of a curtain flow coater according to the present invention.

【図3】従来のカーテンフローコータの口金の一例を表
す概略図である。
FIG. 3 is a schematic diagram showing an example of a die of a conventional curtain flow coater.

【図4】実施例1で得られた塗布基板と比較例1で得ら
れた塗布基板の膜厚分布図である。
FIG. 4 is a film thickness distribution diagram of a coated substrate obtained in Example 1 and a coated substrate obtained in Comparative Example 1.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:平板 2:吸着ステージ 3:塗膜 4:クリアランス 5:リップ 6:口金 7:押し引きボルト 8:配管 9:ポンプ 10:塗料 11:フイルム 12:ドクターリップ 13:バックアップリップ 1: Flat plate 2: Adsorption stage 3: Coating film 4: Clearance 5: Lip 6: Clasp 7: Push / pull bolt 8: Piping 9: Pump 10: Paint 11: Film 12: Doctor lip 13: Backup lip

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】平板上に塗料を塗布する際に用いられるカ
ーテンフローコータであって、該カーテンフローコータ
の口金のドクターリップ部およびバックアップリップ部
の少なくとも一方の先端の角度が90度未満であること
を特徴とするカーテンフローコータ。
1. A curtain flow coater used for applying a paint on a flat plate, wherein an angle of at least one tip of a doctor lip portion and a backup lip portion of a die of the curtain flow coater is less than 90 degrees. Curtain flow coater characterized by
【請求項2】該ドクターリップ部の先端の角度が90度
未満であり、かつ該バックアップリップ部の先端の角度
は90度であることを特徴とする請求項1記載のカーテ
ンフローコータ。
2. The curtain flow coater according to claim 1, wherein the angle of the tip of the doctor lip is less than 90 degrees, and the angle of the tip of the backup lip is 90 degrees.
【請求項3】該ドクターリップ部の先端の角度が30〜
80度であることを特徴とする請求項1記載のカーテン
フローコータ。
3. The angle of the tip of the doctor lip is 30 to 30.
The curtain flow coater according to claim 1, wherein the curtain flow coater is 80 degrees.
【請求項4】カーテンフローコータを用いて平板上に塗
料を塗布する方法において、該カーテンフローコータと
して請求項1〜4のいずれかに記載のカーテンフローコ
ータを用いることを特徴とする塗料の塗布方法。
4. A method of applying a coating material on a flat plate using a curtain flow coater, wherein the curtain flow coater according to any one of claims 1 to 4 is used as the curtain flow coater. Method.
【請求項5】カーテンフローコータを用いて平板上に塗
料を塗布する方法において、該カーテンフローコータの
口金のドクターリップ部およびバックアップリップ部の
少なくとも一方の先端が、該平板と平行でない状態で塗
布することを特徴とする塗料の塗布方法。
5. A method of applying a coating material on a flat plate using a curtain flow coater, wherein the tip of at least one of a doctor lip portion and a backup lip portion of a die of the curtain flow coater is not parallel to the flat plate. A method of applying a paint characterized by:
【請求項6】該ドクターリップ部の先端が該平板と平行
ではなく、かつ該バックアップリップ部の先端が該平板
と平行となっていることを特徴とする請求項5記載の塗
料の塗布方法。
6. The coating method according to claim 5, wherein the tip of the doctor lip is not parallel to the flat plate, and the tip of the backup lip is parallel to the flat plate.
【請求項7】塗料がカラーフィルタ用塗膜形成用塗料で
あることを特徴とする請求項4〜7のいずれかに記載の
塗料の塗布方法。
7. The coating method according to any one of claims 4 to 7, wherein the coating material is a coating material for forming a coating film for a color filter.
【請求項8】カーテンフローコータを用いて平板上にカ
ラーフィルタ用塗膜形成用塗料を塗布する工程を含むカ
ラーフィルタ用塗膜の製造方法において、該カーテンフ
ローコータとして請求項1〜4のいずれかに記載のカー
テンフローコータを用いることを特徴とするカラーフィ
ルタ用塗膜の製造方法。
8. A method for producing a coating film for a color filter, which comprises a step of applying a coating material for forming a coating film for a color filter onto a flat plate by using a curtain flow coater, wherein the curtain flow coater is any one of claims 1 to 4. A method for producing a coating film for a color filter, which comprises using the curtain flow coater described in 1.
【請求項9】カーテンフローコータを用いて平板上にカ
ラーフィルタ用塗膜形成用塗料を塗布する工程を含むカ
ラーフィルタ用塗膜の製造方法において、該カーテンフ
ローコータの口金のドクターリップ部およびバックアッ
プリップ部の少なくとも一方の先端が、該平板と平行で
ない状態で塗布することを特徴とするカラーフィルタ用
塗膜の製造方法。
9. A method for producing a coating film for a color filter, which comprises the step of applying a coating material for forming a coating film for a color filter onto a flat plate by using a curtain flow coater, and a doctor lip portion of a die of the curtain flow coater and a backup. A method for producing a coating film for a color filter, characterized in that at least one tip of the lip portion is applied in a state not parallel to the flat plate.
【請求項10】該ドクターリップ部の先端が該平板と平
行ではなく、かつ該バックアップリップ部の先端が該平
板と平行となっていることを特徴とする請求項9記載の
カラーフィルタ用塗膜の製造方法。
10. The coating film for a color filter according to claim 9, wherein a tip of the doctor lip portion is not parallel to the flat plate, and a tip of the backup lip portion is parallel to the flat plate. Manufacturing method.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2024503150A (en) * 2021-11-15 2024-01-25 武漢華星光電技術有限公司 Liquid crystal display panels and automotive liquid crystal display devices

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