JPH0789066B2 - 静電容量型変位検出器 - Google Patents
静電容量型変位検出器Info
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- JPH0789066B2 JPH0789066B2 JP1208582A JP20858289A JPH0789066B2 JP H0789066 B2 JPH0789066 B2 JP H0789066B2 JP 1208582 A JP1208582 A JP 1208582A JP 20858289 A JP20858289 A JP 20858289A JP H0789066 B2 JPH0789066 B2 JP H0789066B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、静電容量型変位検出器、特に位相のずれた交
流電圧を印加して静電容量結合信号の位相を分析するこ
とにより、回転角度等の変位を検出する静電容量型変位
検出器の改良に関する。
流電圧を印加して静電容量結合信号の位相を分析するこ
とにより、回転角度等の変位を検出する静電容量型変位
検出器の改良に関する。
［従来の技術］ 一の部材に対する他の部材の角度や長さの相対変位量を
測定する装置として、対向する電極間の静電容量結合信
号の位相を分析して変位を検出する静電容量型変位検出
器が知られている（例えば、特公昭64-11883）。
測定する装置として、対向する電極間の静電容量結合信
号の位相を分析して変位を検出する静電容量型変位検出
器が知られている（例えば、特公昭64-11883）。
この静電容量型変位検出器を、第５図に示す。第３図
（Ｂ）に示す様に、規則的に配列された送信電極14と、
送信電極14に対して帯状に配列された受信電極16とが、
ステーター10の裏面上にある。ステーター10に対向して
回転可能なローター12の面上には、第４図（Ａ）に示す
様に、送信電極14と受信電極16とにまたがって対向配置
された結合電極18がある。送信電極14の各々には所定量
だけ位相のシフトした交流電圧源20が接続されている。
ステーター10に対して相対的にローター12が回転変位す
ると、送信電極14とそれに対向する結合電極18とで構成
される静電容量の静電容量結合が変化する。そして、そ
の静電容量結合の変化は結合電極18と受信電極16とで構
成される容量に伝達され、静電容量結合信号として静電
容量結合信号検出器22によって検出される。静電容量結
合信号検出器22では、静電容量結合信号の位相を、送信
電極14に印加される交流電圧の基準位相と比較してその
遅延又は前進を検出し、ステーター10とローター12の変
位量を計数する。
（Ｂ）に示す様に、規則的に配列された送信電極14と、
送信電極14に対して帯状に配列された受信電極16とが、
ステーター10の裏面上にある。ステーター10に対向して
回転可能なローター12の面上には、第４図（Ａ）に示す
様に、送信電極14と受信電極16とにまたがって対向配置
された結合電極18がある。送信電極14の各々には所定量
だけ位相のシフトした交流電圧源20が接続されている。
ステーター10に対して相対的にローター12が回転変位す
ると、送信電極14とそれに対向する結合電極18とで構成
される静電容量の静電容量結合が変化する。そして、そ
の静電容量結合の変化は結合電極18と受信電極16とで構
成される容量に伝達され、静電容量結合信号として静電
容量結合信号検出器22によって検出される。静電容量結
合信号検出器22では、静電容量結合信号の位相を、送信
電極14に印加される交流電圧の基準位相と比較してその
遅延又は前進を検出し、ステーター10とローター12の変
位量を計数する。
これらの静電容量型変位検出器においては、所定位相だ
けシフトした交流電圧をステーター12上に配設された各
々の送信電極14へ接続する、リード線24を敷設するにあ
たり、浮遊容量や漏洩電流等に起因する静電ノイズ等の
不良信号を除去するために、次のような工夫がなされて
いる。即ち、第２図に示されるように、リード線24はス
テーター10の表面に敷設され、スルーホール28をへてス
テーター10の裏面にある各送信電極14に導かれ、その
際、相互に逆位相の関係にある交流電圧に接続されるリ
ード線24は相互に隣接して敷設されていることである。
このようにすることにより、各リード線24と他の導体と
の間で構成される浮遊容量等に起因する不良信号は、相
互に逆位相の関係にある不良信号として相殺せんとする
ものである。
けシフトした交流電圧をステーター12上に配設された各
々の送信電極14へ接続する、リード線24を敷設するにあ
たり、浮遊容量や漏洩電流等に起因する静電ノイズ等の
不良信号を除去するために、次のような工夫がなされて
いる。即ち、第２図に示されるように、リード線24はス
テーター10の表面に敷設され、スルーホール28をへてス
テーター10の裏面にある各送信電極14に導かれ、その
際、相互に逆位相の関係にある交流電圧に接続されるリ
ード線24は相互に隣接して敷設されていることである。
このようにすることにより、各リード線24と他の導体と
の間で構成される浮遊容量等に起因する不良信号は、相
互に逆位相の関係にある不良信号として相殺せんとする
ものである。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、従来のリード線24の敷設においては、第
２図に示されるように、相互に逆位相の関係にある２本
のリード線24は、一方が他方の内側または外側にある位
置関係にあった。例えば、第２図において、位相０度の
交流電圧を印加するリード線24−１は、リード電圧26−
１から送信電極28−１−１、28−１−２、28−１−３、
28−１−４及び28−１−５に至り、略円を構成する。一
方、それと逆位相の関係にある位相180度の交流電圧を
印加するリード線24−２は、リード線24−１の内側に略
円を構成する様に、リード電極26−２から送信電極28−
２−１、28−２−２、28−２−３、28−２−４及び28−
２−５に接続されている。
２図に示されるように、相互に逆位相の関係にある２本
のリード線24は、一方が他方の内側または外側にある位
置関係にあった。例えば、第２図において、位相０度の
交流電圧を印加するリード線24−１は、リード電圧26−
１から送信電極28−１−１、28−１−２、28−１−３、
28−１−４及び28−１−５に至り、略円を構成する。一
方、それと逆位相の関係にある位相180度の交流電圧を
印加するリード線24−２は、リード線24−１の内側に略
円を構成する様に、リード電極26−２から送信電極28−
２−１、28−２−２、28−２−３、28−２−４及び28−
２−５に接続されている。
また、リード線24と他の導体とで構成される種々の浮遊
容量のうちリード線24と受信電極16とで構成される浮遊
容量が、変位検出の際の不良信号として極めて影響が大
きいことが実験的に考察されている。
容量のうちリード線24と受信電極16とで構成される浮遊
容量が、変位検出の際の不良信号として極めて影響が大
きいことが実験的に考察されている。
従って、従来は、２組のリード線、例えばリード電極24
−１と24−２とは、受信電極16にたいして内側、外側の
関係にあり受信電極16との距離に差があって、受信電極
16とで構成する浮遊容量の静電容量を等しくすることは
出来なかった。そのため、不良信号を逆位相にしても完
全には相殺することは出来ないという問題点があった。
−１と24−２とは、受信電極16にたいして内側、外側の
関係にあり受信電極16との距離に差があって、受信電極
16とで構成する浮遊容量の静電容量を等しくすることは
出来なかった。そのため、不良信号を逆位相にしても完
全には相殺することは出来ないという問題点があった。
本発明は係る事情に鑑み成されたものであり、リード線
24の敷設に伴う不良信号を有効に相殺することをできる
ようにすることにより、精度の高い静電容量型変位検出
器を提供することを目的とするものである。
24の敷設に伴う不良信号を有効に相殺することをできる
ようにすることにより、精度の高い静電容量型変位検出
器を提供することを目的とするものである。
［課題を解決するための手段］ そのため、本発明では、等間隔に配列された送信電極14
と、前記送信電極14に対して帯状に配列された受信電極
16とを裏面上に有するステーター10と、前記送信電極14
と前記受信電極16とにまたがって対向配置された結合電
極18を有する、前記ステーターと回転可能なローター12
と、順次所定位相ずらして前記各送信電極14に印加され
る交流電圧源20とを有し、前記送信電極14と前記受信電
極16との静電容量結合信号の位相を分析することにより
前記ステーター10と前記ローター12との相対変位量を検
出する静電容量型変位検出器において、前記ステーター
10の表面上に敷設された、前記送信電極14に交流電圧を
導くためのリード線24のうちの、相互に逆位相の交流信
号を導く各１組のリード線24の敷設に改良を加え、一方
のリード線が略円を形成するのに対して、他方のリード
線は前記一方のリード線に対して相互に反対側に２個の
略半円を形成するように敷設したことを特徴とする。
と、前記送信電極14に対して帯状に配列された受信電極
16とを裏面上に有するステーター10と、前記送信電極14
と前記受信電極16とにまたがって対向配置された結合電
極18を有する、前記ステーターと回転可能なローター12
と、順次所定位相ずらして前記各送信電極14に印加され
る交流電圧源20とを有し、前記送信電極14と前記受信電
極16との静電容量結合信号の位相を分析することにより
前記ステーター10と前記ローター12との相対変位量を検
出する静電容量型変位検出器において、前記ステーター
10の表面上に敷設された、前記送信電極14に交流電圧を
導くためのリード線24のうちの、相互に逆位相の交流信
号を導く各１組のリード線24の敷設に改良を加え、一方
のリード線が略円を形成するのに対して、他方のリード
線は前記一方のリード線に対して相互に反対側に２個の
略半円を形成するように敷設したことを特徴とする。
［作用］ 本来の変位検出に寄与すべき、送信電極14と受信電極16
との間の静電容量結合信号は、送信電極14と結合電極18
とで誘起される静電容量結合信号であって、結合電極18
を経て受信電極16に伝達されたものである。従って、送
信電極14またはそれに接続されているリード線24から、
結合電極18を経ずに直接に受信電極16へ届く信号は、変
位検出に寄与すべきでない不良信号である。
との間の静電容量結合信号は、送信電極14と結合電極18
とで誘起される静電容量結合信号であって、結合電極18
を経て受信電極16に伝達されたものである。従って、送
信電極14またはそれに接続されているリード線24から、
結合電極18を経ずに直接に受信電極16へ届く信号は、変
位検出に寄与すべきでない不良信号である。
リード線24と受信電極16とは不良信号の原因となる浮遊
容量を形成している。本発明によれば、相互に逆位相の
交流電圧を導く１組のリード線と、受信電極16とで構成
する浮遊容量は、略同一となる。
容量を形成している。本発明によれば、相互に逆位相の
交流電圧を導く１組のリード線と、受信電極16とで構成
する浮遊容量は、略同一となる。
［実施例］ 本発明に係る一実施例を、添付図面を参照して詳細に説
明する。しかし、これによって本発明がこの実施例に限
定されるものではない。
明する。しかし、これによって本発明がこの実施例に限
定されるものではない。
第５図において、本実施例の全体の構成図を示す。交流
電圧源20は、45度ずつ等位相ずれた８個の位相、０度、
45度…345度の位相を持つ各交流電圧をステーター10上
の送信電極14に供給する。ステーター10とローター12は
対向配置され、ローター12はステーター10に対向して回
転が出来るように軸受で支持されている。
電圧源20は、45度ずつ等位相ずれた８個の位相、０度、
45度…345度の位相を持つ各交流電圧をステーター10上
の送信電極14に供給する。ステーター10とローター12は
対向配置され、ローター12はステーター10に対向して回
転が出来るように軸受で支持されている。
第３図にステーター10の詳細な構成を示す。第３図
（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）は、各々ステーター10の表
面、裏面及び、IIOIIにおける断面を示す図である。ス
テーター10は、エポキシ樹脂等の基盤等より成る。
（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）は、各々ステーター10の表
面、裏面及び、IIOIIにおける断面を示す図である。ス
テーター10は、エポキシ樹脂等の基盤等より成る。
第３図（Ａ）で示されるステーター10の表面上には、交
流電圧源20からの交流電圧信号を中継する８個のリード
電極26、各リード電極26から各送信電極14の相当位置ま
で敷設された８本のリード線24、各リード線24の端部を
ステーター10の裏面にある送信電極14に接続案内するス
ルーホール28、及びアース電極40とが設けられている。
リード電極26を構成する８個のリード電極26−１、26−
２…26−８には、逆位相の関係にある、０度と180度、4
5度と225度、90度と270度、及び135度と315度との各々
の組の交流電圧が隣接して接続されている。
流電圧源20からの交流電圧信号を中継する８個のリード
電極26、各リード電極26から各送信電極14の相当位置ま
で敷設された８本のリード線24、各リード線24の端部を
ステーター10の裏面にある送信電極14に接続案内するス
ルーホール28、及びアース電極40とが設けられている。
リード電極26を構成する８個のリード電極26−１、26−
２…26−８には、逆位相の関係にある、０度と180度、4
5度と225度、90度と270度、及び135度と315度との各々
の組の交流電圧が隣接して接続されている。
本願発明の特徴的内容であるリード線24の敷設について
は、第３図（Ａ）にリード線24の全体の敷設について示
されているが、解りやすくするため第１図を用いて説明
する。第１図では、逆位相の関係にある０度と180度の
１組についてのみ表示してある。０度に対応するリード
線24−１は、リード電極26−１から始まり、スルーホー
ル28−１−１、28−１−２…28−１−５に至る略円を描
く。一方、180度に対応するリード線24−２は、リード
電極26−２から始まり、スルーホール28−２−１、28−
２−２…28−２−３に至る略半円のリード線24−２−１
と、スルーホール28−２−３の近傍から始まりスルーホ
ール28−２−４及び28−２−５を経てスルーホール28−
１−５の近傍に至る略半円のリード線24−２−２とから
構成されている。リード線24−１における、リード電極
26−１から位置ａに至る部分は、受信電極16に略直交し
ているので受信電極16に対向する実行的面積は小さく、
また受信電極16からの距離も大きいので、不良信号の原
因となる浮遊容量への奇与はほとんど無視し出来ると考
えられる。従って、本実施例では、リード線24−１の中
には、リード電極26−１から位置ａに至る部分は含まれ
ないものとする。同様にして、リード線24−２−１にお
ける、リード電極26−２から位置ｂに至る部分、及びリ
ード線24−２−２における、位置ｃからリード補助線32
を経てリード電極26−２に至る部分は、各リード線24−
２−１、24−２−２に含まれないものとしている。リー
ド線24−２−１とリード線24−２−２との長さの和は、
リード線24−１の長さに略同一となっている。更に、リ
ード線24−２−１とリード線24−２−２とを、リード線
24−１に対して反対側に敷設することにより、リード線
24−２−１とリード線24−２−２の線長に渡る、受信電
極16に対する平均的距離は、リード線24−１の受信電極
16に対する平均的距離と略同一となっている。ここで、
平均的距離とは、次のものを言う。即ち、リード線24の
微小長さ部分から受信電極16に至る距離とリード線24の
微小長さとの積の値を求め、リード線24の各微小長さ部
分についてその積の値の和を、その和の値をリード線24
の全長の値で除算して求められたものを言う。第１図で
は、１組のリード線24−１と24−２について示したが、
他の組についても同様である。
は、第３図（Ａ）にリード線24の全体の敷設について示
されているが、解りやすくするため第１図を用いて説明
する。第１図では、逆位相の関係にある０度と180度の
１組についてのみ表示してある。０度に対応するリード
線24−１は、リード電極26−１から始まり、スルーホー
ル28−１−１、28−１−２…28−１−５に至る略円を描
く。一方、180度に対応するリード線24−２は、リード
電極26−２から始まり、スルーホール28−２−１、28−
２−２…28−２−３に至る略半円のリード線24−２−１
と、スルーホール28−２−３の近傍から始まりスルーホ
ール28−２−４及び28−２−５を経てスルーホール28−
１−５の近傍に至る略半円のリード線24−２−２とから
構成されている。リード線24−１における、リード電極
26−１から位置ａに至る部分は、受信電極16に略直交し
ているので受信電極16に対向する実行的面積は小さく、
また受信電極16からの距離も大きいので、不良信号の原
因となる浮遊容量への奇与はほとんど無視し出来ると考
えられる。従って、本実施例では、リード線24−１の中
には、リード電極26−１から位置ａに至る部分は含まれ
ないものとする。同様にして、リード線24−２−１にお
ける、リード電極26−２から位置ｂに至る部分、及びリ
ード線24−２−２における、位置ｃからリード補助線32
を経てリード電極26−２に至る部分は、各リード線24−
２−１、24−２−２に含まれないものとしている。リー
ド線24−２−１とリード線24−２−２との長さの和は、
リード線24−１の長さに略同一となっている。更に、リ
ード線24−２−１とリード線24−２−２とを、リード線
24−１に対して反対側に敷設することにより、リード線
24−２−１とリード線24−２−２の線長に渡る、受信電
極16に対する平均的距離は、リード線24−１の受信電極
16に対する平均的距離と略同一となっている。ここで、
平均的距離とは、次のものを言う。即ち、リード線24の
微小長さ部分から受信電極16に至る距離とリード線24の
微小長さとの積の値を求め、リード線24の各微小長さ部
分についてその積の値の和を、その和の値をリード線24
の全長の値で除算して求められたものを言う。第１図で
は、１組のリード線24−１と24−２について示したが、
他の組についても同様である。
第３図（Ｂ）に示されるステーター10の裏面上には、送
信電極14、結合電極16、及びアース電極40とがある。
信電極14、結合電極16、及びアース電極40とがある。
送信電極14は、45度ずつずれた位相をもつ交流電圧が印
加される８個の電極の組、14−１、14−２…14−８が５
組、順次配列されている。各送信電極14は、スルーホー
ル28によりステーター10の表面にあるリード線24に接続
される。
加される８個の電極の組、14−１、14−２…14−８が５
組、順次配列されている。各送信電極14は、スルーホー
ル28によりステーター10の表面にあるリード線24に接続
される。
受信電極16は、送信電極14の内側にに帯状に配列されて
いる。スルーホール28を経てステーター10の表面にある
受信リード電極30に導かれ、そこから静電容量結合信号
検出器22に接続されている。受信電極16と送信電極14と
の間には、アース電極40が配設されている。アース電極
40はそのシールド効果により、受信電極16と送信電極14
との間の直接的な静電容量結合をできるだけ排除するた
めのものである。裏面にあるアース電極40は、スルーホ
ール28により、表面にあるアース電極40に接続されてい
る。
いる。スルーホール28を経てステーター10の表面にある
受信リード電極30に導かれ、そこから静電容量結合信号
検出器22に接続されている。受信電極16と送信電極14と
の間には、アース電極40が配設されている。アース電極
40はそのシールド効果により、受信電極16と送信電極14
との間の直接的な静電容量結合をできるだけ排除するた
めのものである。裏面にあるアース電極40は、スルーホ
ール28により、表面にあるアース電極40に接続されてい
る。
第４図に、ローター12の構成を示す。第４図（Ａ）、
（Ｂ）は各々、裏面図及びIOIにおける断面図である。
ローテーター12の表面は、全面がアース電極である。ロ
ーター12の裏面（第４図（Ａ））には、結合電極18とア
ース電極40とがある。結合電極18は、アース電極40と交
互に配列された５個の電極から構成されており、５個の
結合電極は電気的に一体となっている。結合電極18は、
ステーター10上にある送信電極14と受信電極16とにまた
がって対向配置されている。この結合電極18の電極幅
は、送信電極14の電極の４個分に相当する幅に設定され
ている。
（Ｂ）は各々、裏面図及びIOIにおける断面図である。
ローテーター12の表面は、全面がアース電極である。ロ
ーター12の裏面（第４図（Ａ））には、結合電極18とア
ース電極40とがある。結合電極18は、アース電極40と交
互に配列された５個の電極から構成されており、５個の
結合電極は電気的に一体となっている。結合電極18は、
ステーター10上にある送信電極14と受信電極16とにまた
がって対向配置されている。この結合電極18の電極幅
は、送信電極14の電極の４個分に相当する幅に設定され
ている。
次に、実施例の作用について説明する。ステーター10に
対してローター12が静止しているとき、静電容量結合信
号検出器22において検出される信号は、印加交流電圧の
周波数に等しい静電容量結合信号である。ステーター10
に対してローター12が回転すると、各位相の交流電圧が
印加される送信電極と結合電極16との静電容量結合の重
みずけが変化する結果、検出される交流電圧信号は、そ
の周波数が変化する。又は言い換えれば、静電容量結合
信号の位相は回転変位前に比べて、ローテーター12の回
転変位方向に依存して、遅延又は前進する。そして、こ
の静電容量結合信号の位相の遅延又は前進を検出するこ
とによって変位量を計数する。
対してローター12が静止しているとき、静電容量結合信
号検出器22において検出される信号は、印加交流電圧の
周波数に等しい静電容量結合信号である。ステーター10
に対してローター12が回転すると、各位相の交流電圧が
印加される送信電極と結合電極16との静電容量結合の重
みずけが変化する結果、検出される交流電圧信号は、そ
の周波数が変化する。又は言い換えれば、静電容量結合
信号の位相は回転変位前に比べて、ローテーター12の回
転変位方向に依存して、遅延又は前進する。そして、こ
の静電容量結合信号の位相の遅延又は前進を検出するこ
とによって変位量を計数する。
次に、実施例の効果について説明する。第１図に示した
ように、相互に逆位相の関係にある交流電圧を導く１組
のリード線24を敷設することにより、各リード線と受信
電極16との間で存在してしまう浮遊容量の容量値を等し
くすることができ、その結果その浮遊容量に基ずく不良
信号を極めて有効に相殺することができ、精度の高い変
位検出が可能となる。
ように、相互に逆位相の関係にある交流電圧を導く１組
のリード線24を敷設することにより、各リード線と受信
電極16との間で存在してしまう浮遊容量の容量値を等し
くすることができ、その結果その浮遊容量に基ずく不良
信号を極めて有効に相殺することができ、精度の高い変
位検出が可能となる。
以上の説明では、１組のリード電圧24と受信電極16との
平均的距離を略同一にすると共に、１組のリード線の線
長を略同一にした場合の一例であった。しかし、本発明
では、これに限られるものではない。リード線24と受信
電極16との間に存在する浮遊容量の値は、両者の間の距
離に反比例し、リード線24の線長に比例すると考えられ
る。従って、両者の間の距離を大きくした場合は、リー
ド線の線長を長くすることにより、１組のリード線24に
ついて受信電極16との浮遊容量の値を略等しくすればよ
い。また、逆に、両者の間の距離を小さくした場合は、
リード線の線長を短くすればよい。本発明には、これら
のことを想定してリード線24を敷設した場合はすべて含
まれるものである。
平均的距離を略同一にすると共に、１組のリード線の線
長を略同一にした場合の一例であった。しかし、本発明
では、これに限られるものではない。リード線24と受信
電極16との間に存在する浮遊容量の値は、両者の間の距
離に反比例し、リード線24の線長に比例すると考えられ
る。従って、両者の間の距離を大きくした場合は、リー
ド線の線長を長くすることにより、１組のリード線24に
ついて受信電極16との浮遊容量の値を略等しくすればよ
い。また、逆に、両者の間の距離を小さくした場合は、
リード線の線長を短くすればよい。本発明には、これら
のことを想定してリード線24を敷設した場合はすべて含
まれるものである。
更に、本実施例では、回転変位を検出する静電容量型変
位検出器について示したが、本発明は、直線変位を検出
する静電容量型変位検出器についても適用出来るもので
ある。
位検出器について示したが、本発明は、直線変位を検出
する静電容量型変位検出器についても適用出来るもので
ある。
［効果］ 以上の通り本発明によれば、リード線24が他の導体、特
に受信電極16との間で構成してしまう浮遊容量の容量値
を、逆位相の交流電圧を印加する１組のリード線26毎に
略同一にすることができる。その結果、その浮遊容量に
起因する不良信号を有効に相殺することが可能となり、
従来に増して、精度の高い静電容量型変位検出器を提供
することが出来る。
に受信電極16との間で構成してしまう浮遊容量の容量値
を、逆位相の交流電圧を印加する１組のリード線26毎に
略同一にすることができる。その結果、その浮遊容量に
起因する不良信号を有効に相殺することが可能となり、
従来に増して、精度の高い静電容量型変位検出器を提供
することが出来る。
第１図は、本発明の実施例に係るステーター10の表面上
にあるリード線24の敷設について示す図である。第２図
は、従来例における、第１図に対応する図である。第３
図は、本発明の実施例に係るステーター10を示す図であ
り、（Ａ）はその表面を、（Ｂ）はその裏面を、（Ｃ）
はその断面を示す図である。第４図は、ローター12の裏
面及び断面を示す図である。第５図は静電容量型変位検
出器の概要を示す図である。 10……ステーター、12……ローター、14……送信電極、
16……受信電極、18……結合電極、20……交流電圧源、
22……静電容量結合信号検出器、24……リード線
にあるリード線24の敷設について示す図である。第２図
は、従来例における、第１図に対応する図である。第３
図は、本発明の実施例に係るステーター10を示す図であ
り、（Ａ）はその表面を、（Ｂ）はその裏面を、（Ｃ）
はその断面を示す図である。第４図は、ローター12の裏
面及び断面を示す図である。第５図は静電容量型変位検
出器の概要を示す図である。 10……ステーター、12……ローター、14……送信電極、
16……受信電極、18……結合電極、20……交流電圧源、
22……静電容量結合信号検出器、24……リード線
Claims (1)
- 【請求項１】等間隔に配列された送信電極と前記送信電
極に対して帯状に配列された受信電極とを裏面上に有す
るステーターと、 前記送信電極と前記受信電極とにまたがって対向配置さ
れた結合電極を有する、前記ステーターと回転可能なロ
ーターと、 順次所定位相ずらして前記各送信電極に印加される交流
信号源とを有し、 前記送信電極と前記受信電極との静電容量結合信号の位
相を分析することにより前記ステーターと前記ローター
との相対変位量を検出する静電容量型変位検出器におい
て、 前記ステーターの表面上に敷設された、前記送信電極に
交流信号を導く複数のリード線のうちの、相互に逆位相
の交流信号を導く各一組のリード線は、一方のリード線
が略円を形成するのに対して、他方のリード線は前記一
方のリード線に対して相互に反対側に２個の略半円を形
成するように敷設されていることを特徴とする静電容量
型変位検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1208582A JPH0789066B2 (ja) | 1989-08-11 | 1989-08-11 | 静電容量型変位検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1208582A JPH0789066B2 (ja) | 1989-08-11 | 1989-08-11 | 静電容量型変位検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0372215A JPH0372215A (ja) | 1991-03-27 |
| JPH0789066B2 true JPH0789066B2 (ja) | 1995-09-27 |
Family
ID=16558572
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1208582A Expired - Fee Related JPH0789066B2 (ja) | 1989-08-11 | 1989-08-11 | 静電容量型変位検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0789066B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102661704A (zh) * | 2012-05-14 | 2012-09-12 | 浙江大学 | 一种提高关节臂式坐标测量机测量精度的方法 |
| CN109211092B (zh) * | 2017-12-15 | 2019-06-21 | 重庆理工大学 | 一种基于交变电场的绝对式时栅角位移传感器 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61105421A (ja) * | 1984-10-29 | 1986-05-23 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 静電容量型エンコ−ダ |
-
1989
- 1989-08-11 JP JP1208582A patent/JPH0789066B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0372215A (ja) | 1991-03-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |