JPH0791712A - クリ−ンル−ムの室温制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 クリ−ンル−ムの熱負荷が小さい場合には不
必要な搬送動力を消費しないでクリ−ンル−ムの室温を
設定温度に制御することができるクリ−ンル−ムの室温
制御装置を提供すること。 【構成】 室内温度Ｔｉを室温センサ４５で検出し、室
内温度Ｔｉと設定温度Ｔｏとの差がある場合で冷水弁４
０あるいは温水弁４１が全開の場合には循環風量を調節
すべくインバ−タ３５ｉの出力周波数を変化させ、、冷
水弁４０あるいは温水弁４１が全開でない場合には冷水
弁４０あるいは温水弁４１の開度を調整することにより
クリ−ンル−ム３２の室内温度Ｔｉを設定温度Ｔｏにな
るように制御している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、クリ−ンル−ムの室内
温度を設定温度に保つように制御するクリ−ンル−ムの
室温制御装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体製造装置が設置されてい
るクリ−ンル−ムでは、半導体製造装置により製造され
る半導体の精度を維持するために、クリ−ンル−ムの室
温を一定温度に保ち、かつクリ−ンル−ムのクリ−ン度
（清浄度）を維持する必要がある。ここで、クリ−ン度
を維持するためにはクリ−ンル−ム内の空気を入れ替え
る必要があり、単位時間に入れ替える空気量を循環風量
（ｍ³ ／ｈ）として定義し、以下に原則により循環風量
を決定していた。

【０００３】つまり、クリ−ンル−ム内に設置されてい
る装置の熱負荷計算から逆算して循環風量を求める一
方、クリ−ン度維持のための循環風量を求め、両循環風
量のうち多い方を循環風量とし、この循環風量を一定と
して、図７に示した装置により、クリ−ンル−ムの室温
を一定温度に保つと共に、クリ−ン度を維持していた。

【０００４】以下、図７ないし図９を参照して従来のク
リ−ンル−ムの室温制御装置について説明する。図７に
おいて、１１は外気を導入するダクトである。このダク
ト１１は途中においてクリ−ンル−ム１２から環気され
た空気を導く循環ダクト１３と合流された後、室温調節
部１４に接続されている。

【０００５】この室温調節部１４において、上記ダクト
１１は送風用ファン１５の吸込み口に接続され、このフ
ァン１５の吹出し口より下流に向かって冷却コイル１
６、加熱コイル１７の順で設置されている。

【０００６】冷却コイル１６内には配管１８を介して供
給される冷水（例えば、７゜Ｃ）が導入され、加熱コイ
ル１７には配管１９を介して供給される温水（例えば、
４０゜Ｃ）が導入されている。

【０００７】配管１８の途中には供給する冷水量を制御
する冷水弁２０が設けられ、配管１９の途中には供給す
る温水量を制御する温水弁２１が設けられている。これ
ら冷水弁２０及び温水弁２１の開度はコントロ−ラ２２
からの信号により連続的に制御される。この冷水弁２０
及び温水弁２１の開度を増減することにより、配管１８
及び１９を介して供給する冷水量及び温水量をそれぞれ
独立して増減制御することが可能である。例えば、冷水
弁２０の開度を増減すれば、配管１８を介して供給され
る冷水量は増減するため、ファン１５の吹出し口から吹
き出される空気（つまり、外気とクリ−ンル−ム１２か
らの循環空気を混合した空気）を冷却する度合いが増減
する。また、温水弁２１の開度を増減すれば、配管１９
を介して循環する温水量は増減するため、ファン１５の
吹出し口から吹き出される空気（つまり、外気とクリ−
ンル−ム１２からの循環空気を混合した空気）を加熱す
る度合いが増減する。

【０００８】そして、室温調整部１４から供給される空
気はダクト２３を介してクリ−ンル−ム１２の天井に設
けられた吹き出し口２４を介してクリ−ンル−ム１２内
に吹き出される。

【０００９】また、クリ−ンル−ム１２内にはクリ−ン
ル−ム１２の室内温度Ｔｉを検出する室温センサ２５が
設置されており、この温度センサ２５で検出された室内
温度Ｔｉは前述したコントロ−ラ２２に出力される。

【００１０】ところで、コントロ−ラ２２はマイクロコ
ンピュ−タを中心にして構成されているもので、クリ−
ンル−ム１２の設定温度Ｔｏを設定する操作部を備える
と共に、図８のフロ−チャ−トに示す制御プログラムを
記憶するメモリを備えている。

【００１１】次に、動作について図８のフロ−チャ−ト
を参照しながら説明する。まず、室温センサ２５で検出
されたクリ−ンル−ム１２の室内温度Ｔｉがコントロ−
ラ２２に読み込まれ（ステップＳ１）、この室内温度Ｔ
ｉが設定温度Ｔｏに対して高いか低いかが判定される
（ステップＳ２）。

【００１２】このステップＳ２の判定で『室内温度Ｔｉ
が設定温度Ｔｏより高い』と判定された場合には、冷水
弁２０の開度がコントロ−ラ２２からの信号により調整
される（ステップＳ３）。

【００１３】一方、ステップＳ２の判定で『室内温度Ｔ
ｉが設定温度Ｔｏより低い』と判定された場合には、温
水弁２１の開度がコントロ−ラ２２からの信号により調
整される（ステップＳ４）。

【００１４】ここで、『室内温度Ｔｉが設定温度Ｔｏに
等しい』と判定された場合にはステップＳ３，Ｓ４の処
理をスキップしてステップＳ１の処理に戻る。このよう
にして、室内温度Ｔｉが設定温度Ｔｏより高いか否かに
より、冷水弁２０あるいは温水弁２１の開度が制御さ
れ、一定回転数で回転することにより前述した循環風量
を得ているファン１５から送られる外気とクリ−ンル−
ム１２からの循環空気は冷却コイル１６により冷却され
た後、加熱コイル１７で暖められた後、クリ−ンル−ム
１２内に送風される。冷却コイル１６での空気が冷却さ
れる量は冷水弁２０の開度に比例し、加熱コイル１７で
の空気の加熱される量は温水弁２１の開度に比例し、し
かも室内温度Ｔｉをフィ−ドバックして室内温度Ｔｉと
設定温度Ｔｏとの比較に応じて冷水弁２０あるいは温水
弁２１の開度を制御するようにして、室内温度Ｔｉを図
９に示すように設定温度Ｔｏに保つように制御してい
る。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のクリ−
ンル−ムの室温制御装置は前述したように循環風量を決
定し、この循環風量を得るようにファン１５の回転を一
定回転数に制御し、冷水弁２０あるいは温水弁２１の開
度を制御することにより室内温度Ｔｉを設定温度Ｔｏに
なるように制御していた。

【００１６】このため、クリ−ンル−ム１２の熱負荷が
小さい場合でも循環風量は一定であるため、必要以上の
循環風量を得ることにより不必要に搬送動力を消費して
いるという問題があった。

【００１７】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、その目的はクリ−ンル−ムの熱負荷が小さい場合に
は不必要な搬送動力を消費しないでクリ−ンル−ムの室
温を設定温度に制御することができるクリ−ンル−ムの
室温制御装置を提供することにある。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明は、外気とクリ−
ンル−ムからの循環空気をファンを介して混合した後、
適宜冷却コイルで冷却あるいは加熱コイルで加熱した後
に上記クリ−ンル−ムに送風してクリ−ンル−ムの室温
Ｔｉを設定温度Ｔｏに保つように温度制御するクリ−ン
ル−ムの室温制御装置において、上記冷却コイルに供給
する冷水量を制御する冷水弁と、上記加熱コイルに供給
する温水量を制御する温水弁と、上記ファンの回転数Ｎ
ｆを制御する回転数可変手段と、上記クリ−ンル−ムの
室内温度Ｔｉを検出する温度検出手段と、上記温度検出
手段で検出された室内温度Ｔｉと上記設定温度Ｔｏとを
比較する比較手段と、この比較手段により室内温度Ｔｉ
が設定温度Ｔｏより高いと判定された場合には、上記冷
水弁が全開であれば上記回転数可変手段により上記ファ
ンの回転数を制御してクリ−ンル−ムへの送風量を制御
することによりクリ−ンル−ムの室内温度を制御する第
１の温度制御手段と、上記比較手段により室内温度Ｔｉ
が設定温度Ｔｏより高いと判定された場合には、上記冷
水弁が全開でなければ上記冷水弁の開度を制御して冷却
コイルに流れる冷水量を制御することによりクリ−ンル
−ムの室内温度を制御する第２の温度制御手段と、上記
比較手段により室内温度Ｔｉが設定温度Ｔｏより低いと
判定された場合には、上記温水弁が全開であれば上記回
転数可変手段により上記ファンの回転数を制御してクリ
−ンル−ムへの送風量を制御することによりクリ−ンル
−ムの室内温度を制御する第３の温度制御手段と、上記
比較手段により室内温度Ｔｉが設定温度Ｔｏより低いと
判定された場合には、上記温水弁が全開でなければ上記
温水弁の開度を制御して温水コイルを流れる温水量を制
御することによりクリ−ンル−ムの室内温度を制御する
第４の温度制御手段とから構成されている。

【００１９】

【作用】本発明は上記のように構成することにより、室
内温度Ｔｉと設定温度Ｔｏとの差がある場合で冷水弁あ
るいは温水弁が全開の場合には風量を調節し、冷水弁あ
るいは温水弁が全開でない場合には冷水弁あるいは温水
弁の開度を調整することによりクリ−ンル−ムの室内温
度を制御するようにしている。

【００２０】

【実施例】以下図面を参照して本発明の第１実施例に係
わるクリ−ンル−ムの室温制御装置について説明する。
図１はクリ−ンル−ムの室温制御装置の構成を示すブロ
ック図、図２は第１実施例の動作を示すフロ−チャ−ト
である。

【００２１】図１において、３１は外気を導入するダク
トである。このダクト３１は途中においてクリ−ンル−
ム３２から環気された空気を導く循環ダクト３３と合流
された後、室温調節部３４に接続されている。

【００２２】この室温調節部３４において、上記ダクト
３１は送風用ファン３５の吸込み口に接続され、このフ
ァン３５の吹出し口より下流に向かって冷却コイル３
６、加熱コイル３７の順で設置されている。このファン
３５はインバ−タ３５ｉによりその回転周波数が制御さ
れている。つまり、インバ−タ３５ｉの出力周波数によ
りファン３５の回転数が制御される。

【００２３】冷却コイル３６内には配管３８を介して供
給される冷水（例えば、７゜Ｃ）が導入され、加熱コイ
ル３７には配管３９を介して供給される温水（例えば、
４０゜Ｃ）が導入されている。

【００２４】配管３８の途中には供給する冷水量を制御
する冷水弁４０が設けられ、配管３９の途中には供給す
る温水量を制御する温水弁４１が設けられている。これ
ら冷水弁４０及び温水弁４１の開度はコントロ−ラ４２
からの信号により連続的に制御される。この冷水弁４０
及び温水弁４１の開度を増減することにより、配管３８
及び３９を介して供給する冷水量及び温水量をそれぞれ
独立して増減制御することが可能である。例えば、冷水
弁４０の開度を増減すれば、配管３８を介して供給する
冷水量は増減するため、ファン３５の吹出し口から吹き
出される空気（つまり、外気とクリ−ンル−ム３２から
の循環空気を混合した空気）を冷却する度合いが増減す
る。また、温水弁４１の開度を増減すれば、配管３９を
介して供給する温水量は増減するため、ファン３５の吹
出し口から吹き出される空気（つまり、外気とクリ−ン
ル−ム３２からの循環空気を混合した空気）を加熱する
度合いが増減する。

【００２５】そして、室温調整部３４から供給される空
気はダクト４３を介してクリ−ンル−ム４２の天井に設
けられた吹き出し口４４を介してクリ−ンル−ム３２内
に吹き出される。

【００２６】また、クリ−ンル−ム３２内にはクリ−ン
ル−ム３２の室内温度Ｔｉを検出する室温センサ４５が
設置されており、この温度センサ４５で検出された室内
温度Ｔｉは前述したコントロ−ラ４２に出力される。

【００２７】ところで、コントロ−ラ４２はマイクロコ
ンピュ−タを中心にして構成されているもので、クリ−
ンル−ム３２の設定温度Ｔｏを設定する操作部を備える
と共に、図８のフロ−チャ−トに示す制御プログラムを
記憶するメモリを備えている。

【００２８】次に、上記のように構成された本発明の第
１実施例の動作を図２を参照して説明する。まず、室温
センサ４５で検出されるクリ−ンル−ム３２の室温Ｔｉ
を読み込み（ステップＳ１１）、室温Ｔｉと設定温度Ｔ
ｏとを比較判定する（ステップＳ１２）。

【００２９】このステップＳ１２の判定で「Ｔｉ＞Ｔ
ｏ」と判定されると、冷水弁４０が全開であるかどうか
を判定する（ステップＳ１３）。このステップＳ１３の
判定で「ＹＥＳ」と判定された場合には、インバ−タ３
５ｉの出力周波数が増加あるいは減少されてファン３５
の回転数が増加あるいは減少制御されることにより循環
風量が増加あるいは減少制御される（第１の温度制御手
段）（ステップＳ１４）。このようにして、冷水弁４０
が全開である場合には循環風量を増減させてクリ−ンル
−ム３２の温度調整を行っている。

【００３０】一方、ステップＳ１３の判定で「ＮＯ」と
判定された場合には、冷水弁４０の開度が調整されて冷
却コイル３６を介して供給する冷水量が増減制御される
（第２の温度制御手段）（ステップＳ１５）。

【００３１】ところで、上記ステップＳ１２の判定で
「Ｔｉ＜Ｔｏ」と判定された場合には温水弁４１が全開
であるかどうかを判定する（ステップＳ１６）。このス
テップＳ１６の判定で「ＹＥＳ」と判定された場合に
は、インバ−タ３５ｉの出力周波数が増加あるいは減少
されてファン３５の回転数が増加あるいは減少制御され
ることにより循環風量が増加あるいは減少制御される
（第３の温度制御手段）（ステップＳ１７）。このよう
にして、温水弁４１が全開である場合には循環風量を増
減させてクリ−ンル−ム３２の温度調整を行っている。

【００３２】一方、ステップＳ１６の判定で「ＮＯ」と
判定された場合には、温水弁４１の開度が調整されて加
熱コイル３７を介して供給する冷水量が増減制御される
（第４の温度制御手段）（ステップＳ１８）。このよう
にして、冷水弁４０が全開である場合には循環風量を増
減させてクリ−ンル−ム３２の温度調整を行っている。

【００３３】以上のようにして、室内温度Ｔｉと設定温
度Ｔｏとの差がある場合で冷水弁あるいは温水弁が全開
の場合には風量を調節し、冷水弁あるいは温水弁が全開
でない場合には冷水弁あるいは温水弁の開度を調整する
ことによりクリ−ンル−ムの室内温度を制御するように
している。

【００３４】次に本発明の第２実施例に係わるクリ−ン
ル−ムの室温制御装置について説明する。この第２実施
例においては、図１と同じ構成を有し、コントロ−ラ４
２には図３及び図４に示した制御プログラムが記憶され
ている。

【００３５】次に、図３及び図４を参照して本発明の第
２実施例の動作について説明する。まず、初期設定とし
てコントロ−ラ４２のメモリ内の領域Ａ〜Ｄが零クリア
される（ステップＳ２１）。そして、室温センサ４５で
検出される室温Ｔｉを読み込み（ステップＳ２２）、室
内温度Ｔｉと設定温度Ｔｏとを比較判定する（第１の比
較手段）（ステップＳ２３）。このステップＳ２３の判
定で「Ｔｉ＞Ｔｏ」と判定された場合には、室温Ｔｉと
設定温度Ｔｏとの差Ａを算出する（ステップＳ２４）。

【００３６】そして、ステップＳ２５において、ＡとＢ
とを比較判定する（第２の比較手段）。ここで、Ｂは前
回の制御サイクルで算出された室温Ｔｉと設定温度Ｔｏ
との差を意味しており、初めてこのステップＳ２５に来
たときにはＢは初期設定で設定された「０」に設定され
ている。

【００３７】従って、「Ａ＞０」であるので、ステップ
Ｓ２５の判定で「Ａ≧Ｂ」と判定され、ステップＳ２６
の判定に進む。このステップＳ２６において、冷水弁４
０が全開であるかどうかを判定する。このステップＳ２
６の判定で「ＹＥＳ」と判定された場合には、インバ−
タ３５ｉの出力周波数が増加されてファン３５の回転数
が増加制御されることにより循環風量が増加制御される
（第３の温度制御手段）（ステップＳ２７）。このよう
にして、冷水弁４０が全開である場合には循環風量を増
加させてクリ−ンル−ム３２の温度調整を行っている。

【００３８】一方、ステップＳ２６の判定で「ＮＯ」と
判定された場合には、冷水弁４０の開度が調整されて配
管３８を介して冷却コイル３６に供給する冷水量が増加
制御される（第４の温度制御手段）（ステップＳ２
８）。

【００３９】ところで、ステップＳ２５の判定で「Ａ＜
Ｂ」と判定された場合には、ファン３５の回転により送
り出される循環風量が最小循環風量となったかを判定す
る（ステップＳ２９）。ここで、この最小循環風量はク
リ−ンル−ム３２のクリ−ン度を維持するために必要最
低限の循環風量に設定されているもので、インバ−タ２
５ｉの出力周波数が設定周波数となると最小循環風量で
あると判定している。

【００４０】このステップＳ２９において、「ＮＯ」と
判定された場合には、インバ−タ３５ｉの出力周波数を
減少させる制御を行うことによりファン３５の回転数を
減少させることにより、循環風量を減少させている（第
１の温度制御手段）（ステップＳ３０）。

【００４１】一方、ステップＳ２９の判定で「ＹＥＳ」
と判定された場合には冷水弁４０の開度が調整されて配
管３８を介して冷却コイル３６に供給する冷水量が減少
制御される（第２の温度制御手段）（ステップＳ３
１）。

【００４２】そして、前述したステップＳ２７及びＳ２
８、ステップＳ３０及びＳ３１の処理の後に室温Ｔｉと
設定温度Ｔｏとの差ＡはＢに設定される（ステップＳ３
２）。このことにより、前回の制御サイクルでの室温Ｔ
ｉと設定温度Ｔｏとの差がＢに記憶されることになる。

【００４３】ところで、ステップＳ２３において「Ｔｉ
＜Ｔｏ」と判定された場合には、設定温度Ｔｏと室温Ｔ
ｉとの差Ｃを算出する（ステップＳ３３）。そして、ス
テップＳ３４において、ＣとＤとを比較判定する。ここ
で、Ｄは前回の制御サイクルで算出された設定温度Ｔｏ
と室温Ｔｉとの差を意味しており、初めてこのステップ
Ｓ３４に来たときにはＤは初期設定で設定された「０」
に設定されている。

【００４４】従って、「Ｃ＞０」であるので、ステップ
Ｓ３４の判定で「Ｃ≧Ｄ」と判定され、ステップＳ３５
の判定に進む。このステップＳ３５において、温水弁４
１が全開であるかどうかを判定する。このステップＳ３
５の判定で「ＹＥＳ」と判定された場合には、インバ−
タ３５ｉの出力周波数が増加されてファン３５の回転数
が増加制御されることにより循環風量が増加制御される
（第７の温度制御手段）（ステップＳ３６）。このよう
にして、温水弁４１が全開である場合には循環風量を増
加させてクリ−ンル−ム３２の温度調整を行っている。

【００４５】一方、ステップＳ３６の判定で「ＮＯ」と
判定された場合には、温水弁４１の開度が調整されて配
管３９を介して加熱コイル３７に供給する温水量が増加
制御される（第８の温度制御手段）（ステップＳ３
７）。

【００４６】ところで、ステップＳ３４の判定で「Ｃ＜
Ｄ」と判定された場合には、ファン３５の回転により送
り出される循環風量が最小循環風量となったかを判定す
る（ステップＳ３８）。

【００４７】このステップＳ３８において、「ＮＯ」と
判定された場合には、インバ−タ３５ｉの出力周波数を
減少させる制御を行うことによりファン３５の回転数を
減少させることにより、循環風量を減少させている（第
５の温度制御手段）（ステップＳ３９）。

【００４８】一方、ステップＳ３８の判定で「ＹＥＳ」
と判定された場合には温水弁４１の開度が調整されて配
管３９を介して加熱コイル３７に供給する温水量が減少
制御される（第６の温度制御手段）（ステップＳ４
０）。

【００４９】そして、前述したステップＳ３６及びＳ３
７、ステップＳ３９及びＳ４０の処理の後に設定温度Ｔ
ｏと室温Ｔｉとの差ＣはＤに設定される（ステップＳ４
１）。このことにより、前回の制御サイクルでの設定温
度Ｔｏと室温Ｔｉとの差がＤに記憶されることになる。

【００５０】つまり、熱負荷がＱｏより大きい領域では
矢印Ａで示すように循環風量を増減させることにより温
度制御するようにし、熱負荷がＱｏより小さい領域では
循環風量を一定（クリ−ン度を維持するために必要最小
限度の循環風量）に保ち、図６に示すように室内温度Ｔ
ｉが設定温度Ｔｏより高い場合には冷水弁４０の開度を
制御することにより、室内温度Ｔｉが設定温度Ｔｏより
低い場合には温水弁４１の開度を制御することにより温
度制御を行っている。例えば、従来、一定であった循環
風量が図５のＣで示す風量であったとすると、Ｄ領域の
低熱負荷領域では従来より小さい循環風量により温度制
御を行うことができるので、不必要な搬送動力を消費し
ないでクリ−ンル−ムの室温を設定温度に制御すること
ができる。

【００５１】さらに、前回の室内温度Ｔｉと設定温度Ｔ
ｏとの差を制御サイクル毎に記憶しておくようにし、そ
の差Ａ（＝Ｔｉ−Ｔｏ）が増加する傾向（Ａ＞Ｂ）にあ
る場合と、減少する傾向（Ａ＜Ｂ）とで温度制御を異な
らせることによりきめの細かい温度制御を行うことがで
きる。

【００５２】また、同様に前回の設定温度Ｔｏと室内温
度Ｔｉとの差を制御サイクル毎に記憶しておくように
し、その差Ｃ（＝Ｔｏ−Ｔｉ）が増加する傾向（Ｃ＞
Ｄ）にある場合と、減少する傾向（Ｃ＜Ｄ）とで温度制
御を異ならせることによりきめの細かい温度制御を行う
ことができる。なお、上記実施例において、配管３８を
介して供給する冷水あるいは配管３９を介して供給する
温水は水でなくても冷流体あるいは温流体であっても良
い。

【００５３】

【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、ク
リ−ンル−ムの熱負荷が小さい場合には、ファンの回転
数をクリ−ンル−ムの清浄度を維持するために必要な循
環風量を達成するため要求される最小回転数とするよう
にしたので、不必要な搬送動力を消費しないでクリ−ン
ル−ムの室温を設定温度に制御することができるクリ−
ンル−ムの室温制御装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例と第２実施例に共通なクリ−ンル−
ムの室温制御装置の構成を示すブロック図。

【図２】第１実施例の動作を示すフロ−チャ−ト。

【図３】第２実施例の動作を示すフロ−チャ−トの一
部。

【図４】第２実施例の動作を示すフロ−チャ−トの一
部。

【図５】クリ−ンル−ムの熱負荷と循環風量との関係を
示す図。

【図６】室温Ｔｉと冷水弁あるいは温水弁の開度及びイ
ンバ−タ回転数を示す図。

【図７】従来のクリ−ンル−ムの室温制御装置の構成を
示すブロック図。

【図８】従来装置の動作を示すフロ−チャ−ト。

【図９】従来装置の動作を示す図。

【符号の説明】

３１…ダクト、３２…クリ−ンル−ム、３３…循環ダク
ト、３４…室温調整部、３５…ファン、３５ｉ…インバ
−タ、３６…冷却コイル、３７…加熱コイル、３８，３
９…配管、４０…冷水弁、４１…温水弁、４２…コント
ロ−ラ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 昆野 功 東京都千代田区神田須田町２丁目25番地２ 東芝空調株式会社内 (72)発明者 新井 芳明 東京都千代田区神田須田町２丁目25番地２ 東芝空調株式会社内 (72)発明者 原田 光朗 東京都中央区日本橋本石町４丁目４番20号 新日本空調株式会社内 (72)発明者 隅田 彰 東京都中央区日本橋本石町４丁目４番20号 新日本空調株式会社内 (72)発明者 佐々木 岑夫 東京都港区芝浦一丁目１番１号 株式会社 東芝本社事務所内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 外気とクリ−ンル−ムからの循環空気を
   ファンを介して混合した後、適宜冷却コイルで冷却ある
   いは加熱コイルで加熱した後に上記クリ−ンル−ムに送
   風してクリ−ンル−ムの室温Ｔｉを設定温度Ｔｏに保つ
   ように温度制御するクリ−ンル−ムの室温制御装置にお
   いて、 上記冷却コイルに供給する冷水量を制御する冷水弁と、 上記加熱コイルに供給する温水量を制御する温水弁と、 上記ファンの回転数Ｎｆを制御する回転数可変手段と、 上記クリ−ンル−ムの室内温度Ｔｉを検出する温度検出
   手段と、 上記温度検出手段で検出された室内温度Ｔｉと上記設定
   温度Ｔｏとを比較する比較手段と、 この比較手段により室内温度Ｔｉが設定温度Ｔｏより高
   いと判定された場合には、上記冷水弁が全開であれば上
   記回転数可変手段により上記ファンの回転数を制御して
   クリ−ンル−ムへの送風量を制御することによりクリ−
   ンル−ムの室内温度を制御する第１の温度制御手段と、 上記比較手段により室内温度Ｔｉが設定温度Ｔｏより高
   いと判定された場合には、上記冷水弁が全開でなければ
   上記冷水弁の開度を制御して冷却コイルに流れる冷水量
   を制御することによりクリ−ンル−ムの室内温度を制御
   する第２の温度制御手段と、 上記比較手段により室内温度Ｔｉが設定温度Ｔｏより低
   いと判定された場合には、上記温水弁が全開であれば上
   記回転数可変手段により上記ファンの回転数を制御して
   クリ−ンル−ムへの送風量を制御することによりクリ−
   ンル−ムの室内温度を制御する第３の温度制御手段と、 上記比較手段により室内温度Ｔｉが設定温度Ｔｏより低
   いと判定された場合には、上記温水弁が全開でなければ
   上記温水弁の開度を制御して温水コイルを流れる温水量
   を制御することによりクリ−ンル−ムの室内温度を制御
   する第４の温度制御手段とを具備したことを特徴とする
   クリ−ンル−ムの室温制御装置。
2. 【請求項２】 外気とクリ−ンル−ムからの循環空気を
   ファンを介して混合した後、適宜冷却コイルで冷却ある
   いは加熱コイルで加熱した後に上記クリ−ンル−ムに送
   風してクリ−ンル−ムの室温Ｔｉを設定温度Ｔｏに保つ
   ように温度制御するクリ−ンル−ムの室温制御装置にお
   いて、 上記冷却コイルに供給する冷水量を制御する冷水弁と、 上記加熱コイルに供給する温水量を制御する温水弁と、 上記ファンの回転数Ｎｆを制御する回転数可変手段と、 上記クリ−ンル−ムの室内温度Ｔｉを検出する温度検出
   手段と、 上記温度検出手段で検出された室内温度Ｔｉと上記設定
   温度Ｔｏとを比較する第１の比較手段と、 この第１の比較手段により室内温度Ｔｉが設定温度Ｔｏ
   より大きいと判定された場合に、室内温度Ｔｉと設定温
   度Ｔｏとの偏差Ａと前回の制御サイクルにおける室内温
   度Ｔｉと設定温度Ｔｏとの偏差Ｂとを比較する第２に比
   較手段と、 この第２の比較手段により偏差Ａが前回の制御サイクル
   における偏差Ｂより小さいと判定された場合でしかも上
   記ファンの回転数Ｎｆが設定回転数Ｎｏより大きければ
   上記回転数可変手段により上記ファンの回転数を減じる
   制御をして送風量を減じることによりクリ−ンル−ムの
   室内温度を制御する第１の温度制御手段と、 上記第２の比較手段により偏差Ａが前回の制御サイクル
   における偏差Ｂより小さいと判定された場合でしかも上
   記ファンの回転数Ｎｆが設定回転数Ｎｏとなれば上記冷
   水弁の開度を減じる制御をして冷却コイルに流れる冷水
   量を減じることによりクリ−ンル−ムの室内温度を制御
   する第２の温度制御手段と、 上記第２の比較手段により偏差Ａが前回の制御サイクル
   における偏差Ｂより大きいと判定された場合でしかも上
   記冷水弁が全開であれば上記回転数可変手段により上記
   ファンの回転数を増加制御してクリ−ンル−ムの室内温
   度を制御する第３の温度制御手段と、 上記第２の比較手段により偏差Ａが前回の制御サイクル
   における偏差Ｂより大きいと判定された場合でしかも上
   記冷水弁が全開でなければ上記冷水弁の開度を増加制御
   してクリ−ンル−ムの室内温度を制御する第４の温度制
   御手段と、 上記第１の比較手段により室内温度Ｔｉが設定温度Ｔｏ
   より低いと判定された場合に、設定温度Ｔｏと室内温度
   Ｔｉとの偏差Ｃと前回の制御サイクルにおける設定温度
   Ｔｏと室内温度Ｔｉとの偏差Ｄとを比較する第３の比較
   手段と、 この第３の比較手段により偏差Ｃが前回の制御サイクル
   における偏差Ｄより小さいと判定された場合でしかも上
   記ファンの回転数Ｎｆが設定回転数Ｎｏより大きければ
   上記回転数可変手段により上記ファンの回転数を減じる
   制御をして送風量を減じることによりクリ−ンル−ムの
   室内温度を制御する第５の温度制御手段と、 上記第３の比較手段により偏差Ｃが前回の制御サイクル
   における偏差Ｄより小さいと判定された場合でしかも上
   記ファンの回転数Ｎｆが設定回転数Ｎｏとなれば上記温
   水弁の開度を減じる制御をして温水コイルに流れる温水
   量を減じることによりクリ−ンル−ムの室内温度を制御
   する第６の温度制御手段と、 上記第３の比較手段により偏差Ｃが前回の制御サイクル
   における偏差Ｄより大きいと判定された場合でしかも上
   記温水弁が全開であれば上記回転数可変手段により上記
   ファンの回転数を増加制御してクリ−ンル−ムの室内温
   度を制御する第７の温度制御手段と、 上記第３の比較手段により偏差Ｃが前回の制御サイクル
   における偏差Ｄより大きいと判定された場合でしかも上
   記温水弁が全開でなければ上記温水弁の開度を増加制御
   してクリ−ンル−ムの室内温度を制御する第８の温度制
   御手段とを具備したことを特徴とするクリ−ンル−ムの
   室温制御装置。
3. 【請求項３】 上記設定回転数は上記クリ−ル−ムの清
   浄度を維持するのに必要な循環風量を得るに必要な回転
   数であることを特徴とする請求項２記載のクリ−ンル−
   ムの室温制御装置。
4. 【請求項４】 上記回転数可変手段は上記ファンを駆動
   するインバ−タであり、上記インバ−タの周波数を設定
   周波数とすることにより上記クリ−ル−ムの清浄度を維
   持するのに必要な循環風量を得るに必要なファンの最小
   回転数を得ていることを特徴とする請求項２記載のクリ
   −ンル−ムの室温制御装置。