JPH0791949A - 測定装置 - Google Patents

測定装置

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JPH0791949A
JPH0791949A JP5301920A JP30192093A JPH0791949A JP H0791949 A JPH0791949 A JP H0791949A JP 5301920 A JP5301920 A JP 5301920A JP 30192093 A JP30192093 A JP 30192093A JP H0791949 A JPH0791949 A JP H0791949A
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 形状の測定を迅速かつ効率的に行なうことの
できる測定装置を提供する。 【較成】 測定装置は、ワークピースサポート４と、ワ
ークピースの表面を感知するセンサ１２，１４と、ワー
クピースとセンサ１２，１４との間に相対的移動をもた
らす駆動手段と、測定データを得るためのコンピュータ
手段とを含む。コンピュータ手段は、データ入力手段２
４を有するホストコンピュータ２２と、マスタコンピュ
ータと、スレーブコンピュータとを含む。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は測定装置に関し、かつ
特に真円度および直線度のような形状、またはその誤差
を測定する装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】既知
の測定装置は、ワークピースを受けるための回転可能部
材と、前記部材を回転させるための第１の駆動手段と、
その回転の間回転可能部材上でワークピースの表面を感
知するためのセンサと、前記ワークピース受け部材に関
する移動のために前記センサを支持する手段と、前記セ
ンサの前記移動をもたらすための第２の駆動手段と、測
定データを与えるために前記センサから得られた信号を
受取るように配置されたディジルコンピュータ手段とを
含む。
【０００３】既知の装置の利用では、ワークピースが回
転可能支持上で位置決めされ、もし必要であるならばセ
ンタリングおよびレベリング動作が行なわれ、かつセン
サがその表面を横切るようにワークピースの回転により
形態測定がなされる。センサはワークピース表面を横切
るとき、それはワークピースの形態の関数として変化す
る信号を出力する。形態測定の間、センサは、それが形
態の最も微小の変化を検出するのを可能にする高い分解
能、たとえば２０ナノメータより優れた分解能、および
形態の比較的大きい特徴が調節されるのを可能にする広
範囲の動作という相反する条件を受ける。このように、
理想的センサはスタイラスおよび変換器を含み、そのた
め変換器は少なくとも数ミリメータの距離にわたりかつ
好ましくは非常に実質的にそれよりも大きい距離にわた
りしかもその動作の範囲を通じて上記の高い分解能でス
タイラスの移動に線形的に関連する信号を出力する。現
在までこれらの必要条件を十分に満たす変換器を製造す
ることは不可能であった。その結果、形態の測定は形態
の大きな特徴を調節するためにオペレータが繰返しセン
サを再位置決めする必要がある比較的遅くかつ厄介な手
順であった。
【０００４】先行技術の装置に関するさらなる問題は、
センタリングおよびレベリング動作が変換器の動作の制
限された範囲により必然的に困難なことである。特に、
センタリングおよびレベリングが完了され得るまで、任
意のセンタリング誤差が変換器の範囲内にあるようにワ
ークピースがワークピース受け部材上に位置決めされる
ことを確実にすることが必要である。この位置決めは、
目分量でなされなければならない。これらのセンタリン
グ誤差が変換器の動作の範囲内にはなくかつセンタリン
グ動作が開始される場合、センタリング動作および表面
センサの再位置決めまたはワークピースの再位置決めの
いずれかを阻止することが必要である。このように、こ
の動作はまた時間を浪費しかつ厄介である。
【０００５】この発明の目的の１つは、上記の問題を解
決することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】１つの局面では、この発
明は上記の問題を解決する。なぜならコンピュータ手段
がセンサから得られた信号に応答してワークピースとセ
ンサとの間の相対的移動を制御し、そのため前記センサ
が前記ワークピース表面に追従し、かつ前記信号および
前記センサの前記移動の両方に依存して前記測定データ
を与えるように動作可能であるからである。
【０００７】こうして、このように２０ナノメータより
優れた、好ましくは１２ナノメータの分解能のような、
極めて高い分解能、しかし０．４ｍｍ未満のような狭い
動作の範囲を有するセンサは形態の最も微小の変化の感
知を可能にするように採用され得て、形態の大きい特徴
はディジタルコンピュータの制御の下で駆動手段の駆動
により調節され得て、かつ測定データの誘導は変換器出
力およびセンサの移動の両方に依存する。センサの位置
はそれゆえに、実際この分解能がセンサ自体により与え
られるものと同じ高さである必要はないが、高い分解能
でも決定可能であるべきである。このように、たとえば
上記のようにセンサは好ましくは２０ナノメータより優
れた分解能を有するべきであるが、第２の駆動手段によ
り移動されるときセンサの位置が決定され得る分解能は
たとえば５００ナノメータより優れて、好ましくはたと
えば２００ナノメータにすぎないが、これは少なくと
も、先行技術の装置と比較した大きさのオーダの改良で
さえある。
【０００８】センサの移動により調節され得る特徴の大
きさは、センサの移動範囲に依存する。実際、センサは
半径方向に少なくとも１００ｍｍおよび軸方向に少なく
とも１００ｍｍ移動可能であり得る。好ましい特定の例
では、センサは２００ｍｍの距離を介して半径方向に、
かつ５００ｍｍの距離を介して軸方向に移動可能であ
る。
【０００９】
【実施例】この発明は、添付の図面を参照して例として
さらに述べられる。
【００１０】図１を参照すると、測定装置はワークピー
ス（図示せず）を支持するためのターンテーブル４が設
けられたベンチ２を含む。キャリッジ６は柱８上の垂直
移動のために支持され、かつ水平に移動可能なアーム１
０を保持する。ワークピースの表面を係合させるスタイ
ラス１２は線形変換器１４に含まれ、それはたとえば誘
導性または容量性であってもよく、アーム１６の一方の
端部で保持され、その他方端部は、水平位置から４５゜
の軸２０のまわりを矢印１８で示された方向に枢軸的に
移動するためにアーム１０の自由端に装着される。
【００１１】図２で最良にわかるように、図２にそれぞ
れ実線および一点鎖線で示される端部位置間でアーム１
６は軸２０のまわりを１８０゜旋回可能である。実線位
置では、スタイラス１２は垂直であり、かつ破線位置で
はスタイラス１２は水平である。この配置によりスタイ
ラスの先端１２ａは、アーム１６が図２で示される２つ
の位置のいずれかにあるときターンテーブル４の半径方
向の平面において実質的に同じ位置に置かれる。アーム
１０に装着された電気モータ３は、その２つの端部位置
間でアーム１６を駆動するためにウォームおよび車輪伝
動を介してアーム１６に結合される。スタイラス１２お
よび変換器１４は、スタイラス１２が一方向にのみ変換
器１４に関して偏向され得るように配置される。しかし
ながら、変換器１４は好ましくは３０゜単位で２７０゜
にわたり軸７のまわりを回転するためにアーム１６に装
着される。このようにたとえば、もし変換器１４が９０
゜にわたり軸７のまわりを回転されるならば、これはス
タイラス１２が偏向可能である平面を９０゜だけ変化さ
せる。モータ９は、変換器１４の回転をもたらすために
アームに装着される。アーム１６は図２で示される実線
位置にあり、スタイラス１２がたとえばターンテーブル
４上に置かれたワークピースの内部表面を感知するため
に垂直であるとき、変換器１４は一般にスタイラス１２
がターンテーブル４に関して半径方向の平面において偏
向可能である位置に維持される。しかしながら、アーム
１６は図２で示される破線位置にあり、スタイラス１２
が水平であるとき、変換器１４はスタイラス１２が水平
平面において偏向可能である位置またはスタイラス１２
が垂直平面において偏向可能である位置のいずれかまで
回転され得る。前者の位置では、ワークピースの側面の
表面は都合良く感知され得て、かつ後者の位置では上部
に面する表面が都合良く感知され得る。他の方向に面す
る表面は、スタイラス１２が感知されるべき表面に対し
て一般に垂直である平面において偏向可能である位置ま
で変換器１４を軸７のまわりで回転させることにより感
知され得る。
【００１２】図３でわかるように、モータ３５は矢印１
１で示される水平方向にアーム１０を駆動するためにキ
ャリッジ６内に設けられ、駆動はラックとピニオン配置
１３またはボールねじのような他の適当な手段を介して
モータ３５からアーム１１に伝動される。矢印１１の方
向のアーム１０の移動により、スタイラス１２の先端１
２ａがターンテーブル４の軸に関して半径方向に内部に
または外部に移動され、先端１２ａがこの移動を通じて
半径方向の平面に残るように変換器１４は水平方向に移
動される。キャリッジ６に装着された光源１５からの光
は、アーム１１により保持された線形光学格子１９に向
けられ、かつそこから、アーム１１の位置および速度が
得られる出力信号、好ましくは直角信号を与えるフォト
変換器２１に反射される。図３でもわかるように、さら
なるフォト変換器２３は信号を与え、そこからモータ３
３により駆動されるターンテーブル４の位置および回転
速度がターンテーブル４とともに移動可能な光源２５お
よび光学格子２７の援助で得られる。
【００１３】図４でわかるように、キャリッジ６により
保持されたモータ３７は矢印４１の方向に垂直にキャリ
ッジ６を駆動するためにラックとピニオン配置３９（ま
たはスプロケット車輪およびチェーンのような他の適当
な手段）とともに協働する。一定の力ばね（図示せず）
が、この移動と平衡させるために与えられる。柱８に装
着されたさらなる光学格子４３は、キャリッジ６により
保持された光源２７からまたキャリッジ６により保持さ
れたフォト変換器３１まで光を反射し、そのため変換器
３１は信号、好ましくは直角信号を与え、そこからキャ
リッジ６の移動の位置および速度が得られる。
【００１４】図１および図５でわかるように、キーボー
ド２４が設けられたホストコンピュータ２２、ディスク
ドライブ２６およびプリンタ２８はベンチ２上に置か
れ、かつ測定装置を制御し、得られた測定値を処理しか
つ所要の測定データを出力するために用いられる。ホス
トコンピュータはたとえば、ＩＢＭコンパティブルＰＣ
であってもよい。
【００１５】図５で示されるように、装置は多くのマイ
クロプロセッサ３０、３２、３４、３６、３８および４
０を含む。マイクロプロセッサ３０はマスタコントロー
ラとして用いられ、かつ装置により行なわれるべきであ
る動作に関してホスト２２から命令を受取る。このよう
な命令はマスタコントローラ３０によりストアされ、そ
れはマスタコントローラに相関のメモリにストアされた
プログラムに従って、ホスト２２により与えられる命令
を実行するためにとられるべきである作用に関してスレ
ーブドライバプロセッサ３０ａを介して残余のマイクロ
プロセッサを命令しかつ制御する。残余のマイクロプロ
セッサの各々はまた、それに相関のメモリを有し、マス
タコントローラ３０から受取られた命令の性能に必要な
ルーチンをストアする。こうして、マイクロプロセッサ
３２、３４、３６および３８はスレーブとして示され
る。
【００１６】スレーブ３２は、ターンテーブル４の回転
の速度を制御する。スレーブ３４はアーム１０の半径方
向の移動を制御する。スレーブ３６は、キャリッジ６の
垂直方向の移動を制御する。スレーブ３２、３４および
３６はすべて、好ましくは以下の同時係属中の特許出願
の教示に従ってそれぞれのモータ３３、３５および３７
の速度を制御する。
【００１７】国 出願番号 英国 ８５３０５７７ 中国 ８６１０７４３３ デンマーク ５５３１／８６ ヨーロッパ ８６３０９６８１．４ 東ドイツ Ｐ／２９７ ３８５／４ インド ８９２／ＭＡＳ／８６ 日本 未定 米国 ９４０５０６ ソ連 ４０２８６０２．２４ スレーブ３８は通信回路網４５からの命令を受取り、か
つセンタリングおよびレベリングモータ３８ａを制御
し、そこでターンテーブル４は測定を行なう前にワーク
ピースのセンタリングおよびレベリングのために水平方
向にかつ／または枢軸方向に変位される。センタリング
およびレベリングのための配置は、好ましくは、発明者
がアンソニー・ブルース・バーナビー（Anthony Bruce
Barnaby）およびマイケル・ワルター・ミルズ（Micha
el Walter Mills）である英国特許出願番号第８６０５
３２５号および第８６２４３９６号の、これと同時に出
願されかつ優先権を主張する特許出願の開示に従う。
【００１８】マイクロプロセッサ４０はゲージ回路４１
からデータを受取り、それは変換器１４により、かつタ
ーンテーブル４の回転移動、アーム１０の半径方向（水
平）移動およびキャリッジ６の垂直移動をそれぞれ検出
する光電変換器２３、２１および３１からの信号をそれ
ぞれ受取る３個の補間器４２、４４および４６の各々か
ら信号出力を受取りかつそれをディジタル化する。補間
器は分解能に対するターンテーブル４、アーム１０およ
びキャリッジ６の正確な位置を表わすデータを光学格子
２７、１９および４３のピッチの小さい破面に与えるよ
うに作用する。好ましい実施例では、補間器は半径方向
（水平方向）において約２００ナノメータの、かつ軸方
向（垂直方向）において約５００ナノメータの、変換器
１４の位置の分解能を与え、かつワークピースの回転位
置が約３アークセカンドに分解され得る。この発明は任
意の特定の分解能に制限されないが、半径方向および垂
直方向の分解能が１ミクロンより優れ、かつ回転分解能
が１００アークセカンドより優れ、好ましくは１０アー
クセカンドより優れているべきであることが好ましい。
上記のように、変換器１４は、好ましくは、２０ナノメ
ータより優れた、好ましくは１２ナノメータまで、スタ
イラス１２の先端１２ａの位置を分解する出力信号を与
える。このように、スタイラス１２の偏向と、半径方向
（Ｒ）および垂直方向（Ｚ）における変換器１４の配置
と、ターンテーブル４の正確な回転位置（Ｏ）に関する
高い分解能データは、測定動作の間マイクロプロセッサ
４０に連続して与えられる。このデータはマイクロプロ
セッサ４０により記録されかつストアされ、かつホスト
２２に相関のメモリにストアされたプログラムに従って
このデータの所要の計算を行なうためにホスト２２に与
えられる。
【００１９】したがって、要約すると図５で示されたア
ーキテクチャによりコンピュータは３つのレベルに配置
される。ホスト２２は第１のレベルを表わし、かつオペ
レータからの命令の入力、マスタコントローラへの適当
な命令の伝送、およびデータロガー４０からのデータの
受取りを可能にする。ホスト２２は、所要の情報を与え
るためにそのデータについて計算を行なう。第２のレベ
ルはマスタコントローラ３０により表わされ、それはホ
スト２２からの命令を受けてマスタコントローラ３０に
相関のメモリ内にストアされたプログラムに従って、ホ
ストにより命令された動作を行なうように必要に応じて
スレーブドライバ３０ａを介して種々のスレーブに適当
な命令を送信する。スレーブ３２、３４、３６および３
８、ならびにデータロガー４０は第３のレベルを表わ
し、かつそれぞれそれらに相関のメモリ内にストアされ
たプログラムに従ってホスト２２の命令についてマスタ
コントローラにより命令された動作を行なうのに必要な
詳細な機能を行なう。好ましくはマスタコントローラ
は、ホスト２２から受取られた連続する命令が相関のメ
モリの異なる部分に同時にストアされるように配置さ
れ、そのためこれらの命令はマスタコントローラ３０に
より順に作用され得る。
【００２０】変換器１４は線形変換器であることが既に
述べられた。このように、それが出力する信号はスタイ
ラス１２の偏向の度合を表わす。しかしながら、上記の
ように所要の高度の分解能、たとえば２０ナノメータよ
り優れた分解能を与える変換器には、その動作範囲、す
なわち所要の分解能を有する線形出力信号が与えられる
スタイラス１２の先端１２ａの移動範囲がかなり限定さ
れるという問題がある。特に、適当な分解能を有する変
換器はわずか０．４ｍｍの範囲しか有さない可能性があ
る。この発明の重要な好ましい局面に従ってこの問題を
克服するために、マスタコントローラ３０はゲージ回路
４１からの信号が予め定められたしきい値を越えるとい
う情報を受けてモータ３５を駆動するようにスレーブ３
４に命令を送信し、それによってゲージ回路１４による
信号出力が０の値（たとえば０であってもよい）として
規定された予め定められた値に戻されるまでアーム１１
が変位される。スタイラス１２が図２で示された位置の
いずれかでアーム１６とともに半径方向の平面で偏向可
能である位置に変換器１４があるとき、このような命令
が送られる。もしアーム１６が図２で示された破線位置
にありスタイラス１２が水平であるならば、かつもしス
タイラスが垂直平面において偏向可能である（すなわち
ターンテーブル４の軸に対して平行である）位置まで変
換器１４が回転されるならば、マスタコントローラ３０
はゲージ回路１４からの出力が予め定められたしきい値
を越えるときモータ３７を駆動するようにスレーブ３６
に命令を送る。さらに、適当な環境では、ターンテーブ
ルを回転させるためのモータ３３の駆動が変換器１４か
らの信号の制御の下でもたらされ、そのためそこからの
信号が予め定められたしきい値を越えるとき、水平方向
および／または垂直方向に移動するように変換器１４が
ワークピースの表面に追従するのを可能にするように必
要に応じてワークピースが移動されるようにモータ３３
が駆動されるようにマスタコントローラ３０が配置され
る。こうしてこれらのすべての場合、スタイラス１２は
ターンテーブル４上のワークピースの回転の間ワークピ
ースの表面に追従するようにされる。その結果、形態の
大きな特徴を調節するにもかかわらず高い分解能測定値
が得られる、なぜならこのような大きな特徴にスタイラ
スが遭遇するとき、スタイラスの先端がワークピース表
面に追従し、スタイラスがその動作範囲を越えて偏向さ
れることがないように適当にアーム１０またはキャリッ
ジ６が移動されるからである。ホストコンピュータ２２
は、たとえば形態または形態の誤差に関して変換器１４
から得られる信号およびフォト変換器２３、２１、３１
および相関の補間器４２、４４および４６から得られる
信号の両方から必要とされる測定情報を得る。
【００２１】代わりにまたはさらに、たとえば一定の表
面帯域幅を与えるように好ましい態様でデータを集める
ことが可能であり、それによって異なる半径での同一の
表面特徴を測定する結果がまた同一でありかつ選択され
た表面速度のみに依存するように、スタイラスがワーク
ピース表面を横切る速度はターンテーブル４および／ま
たはアーム１０および／またはキャリッジ６を駆動する
モータの速度を変化させることにより変化され得る。特
に、固定距離離れたワークピースの表面上の点でデータ
がとられるのが好ましく、かつしたがって上記の配置で
たとえば曲率の差を補償するために上記の１つまたはそ
れ以上の速度を変化させることによりデータ収集率を変
化させることなく、たとえば表面の異なる部分の異なる
曲率にかかわらずこれが達成されてもよい。これを達成
するために、マスタコントローラ３０は補間器４２、４
４および４６ならびにゲージ回路４１からの位置上のデ
ータを読み出し、適当なモータの速度はこの受取られた
データに従って、かつマスタコントローラ３０に相関の
メモリにストアされたプログラムを用いて変化される。
【００２２】上記の例として、図６はカム５０を例示
し、そのプロファイルは距離ｄｓだけ離れて間隔をおか
れた位置での測定値をとることにより測定されるべきで
ある。距離ｄｓが回転の中心５４から半径ｒｌにありか
つ角度ａに対するカムの部分５２では、ターンテーブル
４の回転速度は一定の率でのデータの収集を可能にする
ために、カムの部分５３を測定するとき利用されるもの
とは異ならなければならず、そこではｄｓは半径ｒ２で
ありかつ角度ｂに対する。このように、マスタコントロ
ーラは測定される表面上のスタイラスの一定した増分位
置で一定速度でデータが収集されるようにこれらのパラ
メータを考慮してターンテーブル４の回転速度を変化さ
せるためにプログラムをそれに関連づける。これを達成
するために、ターンテーブルの回転速度は以下の方程式
に従って制御され得る、すなわち
【００２３】
【数１】
【００２４】となり、ここではＶはワークピース表面に
わたる変換器の横方向の所要の一定速度であり、Ｓは線
形出力変換器１４からの信号であり、かつＲは変換器１
４の半径方向の位置を示す変換器２１からの補間器４４
により得られる信号である。
【００２５】図７を参照すると、平坦度を測定するため
の好ましい動作が例示される。図７では、ターンテーブ
ル４上に置かれたワークピース（図示せず）の表面６０
はうず巻状の形経路６２においてスタイラス１２により
横切られる。これは、ターンテーブル４を回転させなが
ら、測定が表面６０の中心近くで開始されるかまたはそ
の周囲近くで開始されるかによってアーム１０が半径方
向に内部にまたは外部に移動されることにより達成され
る。動作の１つの好ましいモードでは、ターンテーブル
の回転速度は、表面にわたるスタイラスの横方向の線形
速度が一定のままであるように回転の中心からのスタイ
ラスの距離の線形関数として変化される。スタイラス１
２からのデータは、固定された時間または距離間隔で記
録される。たとえば回転速度が一定のままである、動作
の他のモードが可能である。
【００２６】図８を参照すると、表面６４の円筒度はス
タイラス１２が渦巻状の（螺旋形の）経路６６を横切る
ことにより測定される。これは、センタリングおよびレ
ベリングの後キャリッジ６を垂直方向に移動させながら
ターンテーブル４を回転させることにより達成される。
この測定では、移動速度は一定のままでありかつ固定時
間間隔で再度データが記録され、この固定間隔は表面に
わたるスタイラスの移動の経路に沿って固定した増分距
離で再度データを記録する。表面６４のまわりを数回回
転することにより測定がなされる、すなわち渦巻または
螺旋は多数の回転を有する。スタイラスが円筒の軸を決
定する目的のために円筒形表面６４にわたり渦巻または
螺旋形経路を横切るようにされ得ることが注目され得
る。
【００２７】図９の例では、表面７０の円錐度はいくつ
かの回転を有する渦巻状の経路７２をスタイラス１２が
横切ることにより測定される。これは、センタリングお
よびレベリングの後キャリッジ６を垂直方向にかつアー
ム１０を半径方向に（水平に）移動させながらターンテ
ーブル４を回転させることにより達成される。もしスタ
イラスが表面７０の比較的広い部分から比較的狭い部分
に移動するならば半径方向の移動は内向きであり、かつ
逆もまた同様である。アーム１０の半径方向の移動は変
換器１４による信号出力の大きさに依存して制御され、
そのためスタイラス１２は測定が進行するとき円錐表面
７０と連続して接触したままである。さらに、ターンテ
ーブル４の角速度は変換器４４により示されたアーム１
０の半径方向の位置の線形関数として制御され得て、そ
のためスタイラスが表面７０を横切る線形速度は一定の
ままである。データは、一定の時間間隔で記録される。
【００２８】或る好ましい測定方法が述べられたが、機
械は表面の粗さ、真円度、直線度、平坦度、直角度、テ
ーパ度、同軸度、平行度、規則的な形および不規則的な
形の大きさのような実に様々な測定を行なうためにプロ
グラムされ得ることが理解されるべきである。
【００２９】好ましい実施例では、変換器の位置および
／または１つまたはそれ以上のモータの速度がシーケン
スでまたは同時に変化され、そのため変換器が測定され
るプロファイルに追従しかつ／または測定値が一定の表
面間隔でとられ得る場合、測定は先行技術の装置よりも
迅速にかつ効率的に行なわれ得る。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施例による測定装置の透視図であ
る。
【図２】図１のの装置の部分をより詳細に示す透視図で
ある。
【図３】図２の矢印ＩＩＩの方向の立面図である。
【図４】図２の矢印ＩＶの方向の立面図である。
【図５】図１の装置に組込まれたコンピュータシステム
を例示するブロック図である。
【図６】この発明の好ましい局面に従って行なわれ得る
好ましい機能を例示するためのカムの図面である。
【図７】平坦度を測定する方法を例示する図面である。
【図８】円筒度を測定する方法を例示する図面である。
【図９】円錐度を測定する方法を例示する図面である。
【符号の説明】
４ ターンテーブル １０ アーム １２ スタイラス １４ 変換器 ２２ ホストコンピュータ ３０，４０ マイクロプロセッサ ３３，３５，３７ モータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ピーター・ディーン・オンヨン イギリス、エル・イー・11 ２・ビー・キ ュー、ラフバラ、ビーコン・ロード、20

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ワークピースサポート（４）と、前記サ
    ポート（４）上のワークピースの表面を感知するための
    センサ（１２，１４）と、前記センサ（１２，１４）が
    ワークピースの表面を横切るように前記サポート（４）
    上のワークピースと前記センサ（１２，１４）との間に
    相対的移動をもたらすための複数個の駆動手段（３３，
    ３５，３７）と、前記測定動作中に測定データを得るた
    めのコンピュータ手段（２２，３０，３２，３４，３
    ６）とを含む測定装置であって、前記コンピュータ手段
    が、所要の測定動作を行なうための命令を入力するため
    のデータ入力手段（２４）を有しかつ前記センサ（１
    ２，１４）の援助で得られたデータ上で計算を行なうよ
    うに配置されたホストコンピュータ（２２）と、行なわ
    れるべき測定動作を規定する命令を前記ホストコンピュ
    ータ（２２）から受取るために配列されたマスターコン
    ピュータ（３０）と、異なった前記駆動手段（３３，３
    ５，３７）を制御するために配置された複数個のスレー
    ブコンピュータ（３２，３４，３６）とを含み、前記マ
    スタコンピュータ（３０）が行なわれるべき測定動作に
    依存して前記動作を行なうための前記駆動手段を制御す
    るように前記スレーブコンピュータ（３２，３４，３
    ６）に命令を送るために配置されることを特徴とする、
    測定装置。
  2. 【請求項２】 前記測定動作の間、得られたデータを記
    録しかつ前記記録されたデータを前記ホストコンピュー
    タ（２２）に送信するための付加的コンピュータ（４
    ０）によって特徴付けられる、請求項１に記載の装置。
  3. 【請求項３】 前記マスタコンピュータ（３０）が、セ
    ンサ（１２，１４）からセンサ（１２，１４）の位置に
    関する情報を受取ることを特徴とする、請求項１または
    ２に記載の装置。
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