JPH0792111A - 欠陥深さ位置検出装置及びその方法 - Google Patents
欠陥深さ位置検出装置及びその方法Info
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- JPH0792111A JPH0792111A JP5234452A JP23445293A JPH0792111A JP H0792111 A JPH0792111 A JP H0792111A JP 5234452 A JP5234452 A JP 5234452A JP 23445293 A JP23445293 A JP 23445293A JP H0792111 A JPH0792111 A JP H0792111A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 43
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 2
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- Y02E60/50—Fuel cells
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被検体中の欠陥の深さを求めることができる
欠陥深さ位置検出装置及びその方法を提供することを目
的とする。 【構成】 被検体５におけるＸ線の透過量の違いを利用
して被検体５の探傷を行なう欠陥深さ位置検出装置であ
って、Ｘ線源１、このＸ線源１を移動する線源移動機構
２、Ｘ線源１の移動量検出用の変位センサ３、Ｘ線源１
と被検体５やＸ線カメラ６との距離を図る距離計４、Ｘ
線カメラ６、欠陥画像抽出手段７及び欠陥位置演算手段
８を有しており、Ｘ線源１を被検体５の表面と平行に移
動させて被検体５の像をＸ線カメラ６で撮影するととも
に、欠陥画像抽出手段６により抽出した複数の撮影画像
上に写る欠陥５ａの像の移動距離から被検体５の欠陥５
ａの深さを欠陥位置演算手段８により求めるようにした
ものである。
欠陥深さ位置検出装置及びその方法を提供することを目
的とする。 【構成】 被検体５におけるＸ線の透過量の違いを利用
して被検体５の探傷を行なう欠陥深さ位置検出装置であ
って、Ｘ線源１、このＸ線源１を移動する線源移動機構
２、Ｘ線源１の移動量検出用の変位センサ３、Ｘ線源１
と被検体５やＸ線カメラ６との距離を図る距離計４、Ｘ
線カメラ６、欠陥画像抽出手段７及び欠陥位置演算手段
８を有しており、Ｘ線源１を被検体５の表面と平行に移
動させて被検体５の像をＸ線カメラ６で撮影するととも
に、欠陥画像抽出手段６により抽出した複数の撮影画像
上に写る欠陥５ａの像の移動距離から被検体５の欠陥５
ａの深さを欠陥位置演算手段８により求めるようにした
ものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は欠陥深さ位置検出装置及
びその方法に関し、特にプラント等の機器の非破壊検査
に用いられる放射線を利用した欠陥の検査に用いて有用
なものである。
びその方法に関し、特にプラント等の機器の非破壊検査
に用いられる放射線を利用した欠陥の検査に用いて有用
なものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、プラント等の機器の非破壊検
査には、放射線を利用した欠陥検出装置を利用してい
る。
査には、放射線を利用した欠陥検出装置を利用してい
る。
【０００３】従来技術に係る欠陥検出装置を図３に示
す。同図に示すように、この欠陥検出装置では、Ｘ線源
１を被検体５に対し一定の距離ａ離して設置し、被検体
５の裏側にＸ線に感光するフィルム１０を置いて欠陥５
ａの撮像を行なっている。
す。同図に示すように、この欠陥検出装置では、Ｘ線源
１を被検体５に対し一定の距離ａ離して設置し、被検体
５の裏側にＸ線に感光するフィルム１０を置いて欠陥５
ａの撮像を行なっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述の如き従来技術に
よれば、フィルム１０に得られる欠陥５ａの像からは、
欠陥５ａの像の長さｄのみが求められ、欠陥５ａの深さ
ｘの情報については求められていない。すなわち、前記
欠陥検出装置では、被検体５の幅方向を積分した平面上
のＸ線の透過量の分布しか得られていないため、欠陥５
ａの平面上での位置情報は得られるが、欠陥５ａの深さ
方向に関しては情報が得られず、欠陥５ａの深さｘを求
めることができない。
よれば、フィルム１０に得られる欠陥５ａの像からは、
欠陥５ａの像の長さｄのみが求められ、欠陥５ａの深さ
ｘの情報については求められていない。すなわち、前記
欠陥検出装置では、被検体５の幅方向を積分した平面上
のＸ線の透過量の分布しか得られていないため、欠陥５
ａの平面上での位置情報は得られるが、欠陥５ａの深さ
方向に関しては情報が得られず、欠陥５ａの深さｘを求
めることができない。
【０００５】本発明は、上記従来技術に鑑み、被検体中
の欠陥の深さ位置を求めることができる欠陥深さ位置検
出装置及びその方法を提供することを目的とする。
の欠陥の深さ位置を求めることができる欠陥深さ位置検
出装置及びその方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明に係る装置の構成は、被検体におけるＸ線等の放射線
の透過量の違いを利用して被検体の探傷を行なう欠陥深
さ位置検出装置において、Ｘ線等の放射線を放射する線
源と、この線源を被検体の表面と平行に移動する線源移
動機構と、前記線源の移動量を検出する変位センサと、
被検体を透過した放射線による被検体の像を撮影するカ
メラと、このカメラの画像情報から被検体中の欠陥を抽
出する欠陥画像抽出手段と、前記線源と被検体及びカメ
ラとの間の距離を計測する距離計と、前記変位センサ、
距離計及び欠陥画像抽出手段の出力信号に基づき線源を
移動して撮影したそれぞれの位置における欠陥の像の移
動量、線源の移動量、線源と被検体との間の距離及び被
検体とカメラとの間の距離に基づき被検体中の欠陥の深
さ位置を演算する欠陥位置演算手段とを有することを特
徴とする。
明に係る装置の構成は、被検体におけるＸ線等の放射線
の透過量の違いを利用して被検体の探傷を行なう欠陥深
さ位置検出装置において、Ｘ線等の放射線を放射する線
源と、この線源を被検体の表面と平行に移動する線源移
動機構と、前記線源の移動量を検出する変位センサと、
被検体を透過した放射線による被検体の像を撮影するカ
メラと、このカメラの画像情報から被検体中の欠陥を抽
出する欠陥画像抽出手段と、前記線源と被検体及びカメ
ラとの間の距離を計測する距離計と、前記変位センサ、
距離計及び欠陥画像抽出手段の出力信号に基づき線源を
移動して撮影したそれぞれの位置における欠陥の像の移
動量、線源の移動量、線源と被検体との間の距離及び被
検体とカメラとの間の距離に基づき被検体中の欠陥の深
さ位置を演算する欠陥位置演算手段とを有することを特
徴とする。
【０００７】上記目的を達成する本発明に係る方法の構
成は、被検体におけるＸ線等の放射線の透過量の違いを
利用して被検体の探傷を行なう欠陥深さ位置検出装置に
おいて、Ｘ線等の放射線を被検体に向けて放射する線源
を被検体の表面に平行に移動してそれぞれの位置で被検
体をカメラで撮影するとともに、このときの被検体中の
欠陥の像の移動量、線源の移動量、線源と被検体との間
の距離及び被検体とカメラとの間の距離に基づき被検体
中の欠陥の深さ位置を求めることを特徴とする。
成は、被検体におけるＸ線等の放射線の透過量の違いを
利用して被検体の探傷を行なう欠陥深さ位置検出装置に
おいて、Ｘ線等の放射線を被検体に向けて放射する線源
を被検体の表面に平行に移動してそれぞれの位置で被検
体をカメラで撮影するとともに、このときの被検体中の
欠陥の像の移動量、線源の移動量、線源と被検体との間
の距離及び被検体とカメラとの間の距離に基づき被検体
中の欠陥の深さ位置を求めることを特徴とする。
【０００８】
【作用】上記構成の本発明によれば、線源を線源移動機
構によって移動させることができ、その移動量は移動量
検出用の変位センサで検出する。線源と被検体等との距
離は距離計で測定でき、カメラで得られた欠陥の像は、
欠陥画像抽出手段によってその位置の抽出を行う。この
ようにして得られる線源の移動量と欠陥像の移動量、及
び線源と被検体，線源とカメラまでの距離関係に基づき
欠陥位置演算手段により欠陥の深さ位置を求める。
構によって移動させることができ、その移動量は移動量
検出用の変位センサで検出する。線源と被検体等との距
離は距離計で測定でき、カメラで得られた欠陥の像は、
欠陥画像抽出手段によってその位置の抽出を行う。この
ようにして得られる線源の移動量と欠陥像の移動量、及
び線源と被検体，線源とカメラまでの距離関係に基づき
欠陥位置演算手段により欠陥の深さ位置を求める。
【０００９】
【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づき詳細に説
明する。
明する。
【００１０】図１に示すように、Ｘ線源１は線源移動機
構２により被検体５の表面と平行に移動するとともに、
被検体５に向かってＸ線を放射するように構成してあ
る。ある位置にＸ線源１を固定して被検体５を撮影した
像はＸ線カメラ６により画像情報として取り込む。
構２により被検体５の表面と平行に移動するとともに、
被検体５に向かってＸ線を放射するように構成してあ
る。ある位置にＸ線源１を固定して被検体５を撮影した
像はＸ線カメラ６により画像情報として取り込む。
【００１１】変位センサ３は線源移動機構２によるＸ線
源１の移動量を検出してこの移動量の情報を欠陥位置演
算手段８に供給する。距離計４はＸ線源１に固定してあ
り、Ｘ線源１と被検体５との間の距離及びＸ線源１とＸ
線カメラ６との間の距離を検出してこれらの距離の情報
を欠陥位置演算手段８に供給する。欠陥画像抽出手段７
は、Ｘ線カメラ６によって取り込んだ画像を処理する。
すなわち、Ｘ線カメラ６で取り込んだ画像は、欠陥が存
在する場合、周辺と輝度が異なるので、このことを利用
して欠陥像の位置を抽出する。結果表示出力装置９は、
欠陥画像抽出手段７で演算した結果を表示する。
源１の移動量を検出してこの移動量の情報を欠陥位置演
算手段８に供給する。距離計４はＸ線源１に固定してあ
り、Ｘ線源１と被検体５との間の距離及びＸ線源１とＸ
線カメラ６との間の距離を検出してこれらの距離の情報
を欠陥位置演算手段８に供給する。欠陥画像抽出手段７
は、Ｘ線カメラ６によって取り込んだ画像を処理する。
すなわち、Ｘ線カメラ６で取り込んだ画像は、欠陥が存
在する場合、周辺と輝度が異なるので、このことを利用
して欠陥像の位置を抽出する。結果表示出力装置９は、
欠陥画像抽出手段７で演算した結果を表示する。
【００１２】かかる本実施例に係る欠陥深さ位置検出装
置を用いて被検体５の欠陥５ａの深さ位置を検出する場
合には、図２に示すように、ある位置にＸ線源１を固定
し、被検体５を撮影した結果を、Ｘ線カメラ６によって
画像情報として取り込むとともに、この画像情報におい
て欠陥５ａが存在する場合、周辺と輝度が異なること等
を利用し、欠陥５ａの位置を欠陥画像抽出手段７によっ
て抽出する。また、Ｘ線源１に取り付けた距離計４によ
って、Ｘ線源１と被検体５間の距離：ａ、及びＸ線源１
とＸ線カメラ６間の距離：ａ＋ｂの計測を行う。
置を用いて被検体５の欠陥５ａの深さ位置を検出する場
合には、図２に示すように、ある位置にＸ線源１を固定
し、被検体５を撮影した結果を、Ｘ線カメラ６によって
画像情報として取り込むとともに、この画像情報におい
て欠陥５ａが存在する場合、周辺と輝度が異なること等
を利用し、欠陥５ａの位置を欠陥画像抽出手段７によっ
て抽出する。また、Ｘ線源１に取り付けた距離計４によ
って、Ｘ線源１と被検体５間の距離：ａ、及びＸ線源１
とＸ線カメラ６間の距離：ａ＋ｂの計測を行う。
【００１３】次に、Ｘ線源１の位置を線源移動機構２に
よって移動する。この時の移動量は、変位センサ３によ
って測定する。そして、先と同様に、このＸ線源１の位
置での被検体５の撮影情報をＸ線カメラ６によって取り
込み、欠陥画像抽出手段７によって、欠陥５ａの像の位
置の抽出を行う。
よって移動する。この時の移動量は、変位センサ３によ
って測定する。そして、先と同様に、このＸ線源１の位
置での被検体５の撮影情報をＸ線カメラ６によって取り
込み、欠陥画像抽出手段７によって、欠陥５ａの像の位
置の抽出を行う。
【００１４】欠陥位置演算手段８は、以上の結果得られ
る次の値をそれぞれ取り込み、欠陥５ａの深さ位置を演
算処理し求める。 （１）Ｘ線源１と被検体５との距離：ａ （２）Ｘ線源１とＸ線カメラ６間の距離：ａ＋ｂ （３）Ｘ線源１の移動量：ｄ （４）各Ｘ線源１の位置での被検体５の検査結果の欠陥
５ａの像の位置：ｆ１，ｆ２
る次の値をそれぞれ取り込み、欠陥５ａの深さ位置を演
算処理し求める。 （１）Ｘ線源１と被検体５との距離：ａ （２）Ｘ線源１とＸ線カメラ６間の距離：ａ＋ｂ （３）Ｘ線源１の移動量：ｄ （４）各Ｘ線源１の位置での被検体５の検査結果の欠陥
５ａの像の位置：ｆ１，ｆ２
【００１５】欠陥位置演算手段８によって求められた欠
陥５ａの位置は、結果表示出力装置９によって出力・表
示される。
陥５ａの位置は、結果表示出力装置９によって出力・表
示される。
【００１６】欠陥位置演算手段８は、Ｘ線源１が、被検
体５の表面及びＸ線カメラ６の表面と平行に移動して次
のような欠陥深さの演算処理を行う。 （１）欠陥像の移動量：ｆｄを求める。各Ｘ線源１の位
置での欠陥像の位置：ｆ１，ｆ２より、欠陥像の移動
量：ｆｄを求める。 ｆｄ＝ｆ２−ｆ１ ・・・・（１） （２）欠陥深さ位置：ｘを求める。Ｘ線源１の移動量：
ｄ，欠陥５ａの像の移動量：ｆｄ，Ｘ線源１から被検体
５までの距離：ａ，被検体５からＸ線カメラ６までの距
離：ｂより、欠陥の深さ：ｘは、次式の関係から求めら
れる。 ａ＋ｘ：ｂ−ｘ＝ｄ：ｆｄ ・・・・（２） ｘ＝（ｂ×ｄ−ａ×ｆｄ）／（ｄ＋ｆｄ） ・・・・（３） 上記式（３）を用い、被検体５の板厚：ｔが不明でも、
被検体５表面からの欠陥深さ：ｘが求められる。
体５の表面及びＸ線カメラ６の表面と平行に移動して次
のような欠陥深さの演算処理を行う。 （１）欠陥像の移動量：ｆｄを求める。各Ｘ線源１の位
置での欠陥像の位置：ｆ１，ｆ２より、欠陥像の移動
量：ｆｄを求める。 ｆｄ＝ｆ２−ｆ１ ・・・・（１） （２）欠陥深さ位置：ｘを求める。Ｘ線源１の移動量：
ｄ，欠陥５ａの像の移動量：ｆｄ，Ｘ線源１から被検体
５までの距離：ａ，被検体５からＸ線カメラ６までの距
離：ｂより、欠陥の深さ：ｘは、次式の関係から求めら
れる。 ａ＋ｘ：ｂ−ｘ＝ｄ：ｆｄ ・・・・（２） ｘ＝（ｂ×ｄ−ａ×ｆｄ）／（ｄ＋ｆｄ） ・・・・（３） 上記式（３）を用い、被検体５の板厚：ｔが不明でも、
被検体５表面からの欠陥深さ：ｘが求められる。
【００１７】なお、被検体５の深さ方向に垂直な平面方
向の欠陥位置については、一方の欠陥５ａの像の抽出位
置より求められる。
向の欠陥位置については、一方の欠陥５ａの像の抽出位
置より求められる。
【００１８】
【発明の効果】以上実施例とともに具体的に説明したよ
うに、本発明によれば被検体の正確な板厚が不明でも、
被検体中の欠陥の深さ位置を検出することができる。
うに、本発明によれば被検体の正確な板厚が不明でも、
被検体中の欠陥の深さ位置を検出することができる。
【図１】本発明の実施例装置を示すブロック図である。
【図２】本発明の測定原理を示すブロック図である。
【図３】従来技術に係る装置を示すブロック図である。
１ Ｘ線源 ２ 線源移動機構 ３ 変位センサ ４ 距離計 ５ 被検体 ５ａ 欠陥 ６ Ｘ線カメラ ７ 欠陥画像抽出手段 ８ 欠陥位置演算手段
Claims (2)
- 【請求項１】 被検体におけるＸ線等の放射線の透過量
の違いを利用して被検体の探傷を行なう欠陥深さ位置検
出装置において、 Ｘ線等の放射線を放射する線源と、この線源を被検体の
表面と平行に移動する線源移動機構と、前記線源の移動
量を検出する変位センサと、被検体を透過した放射線に
よる被検体の像を撮影するカメラと、このカメラの画像
情報から被検体中の欠陥を抽出する欠陥画像抽出手段
と、前記線源と被検体及びカメラとの間の距離を計測す
る距離計と、前記変位センサ、距離計及び欠陥画像抽出
手段の出力信号に基づき線源を移動して撮影したそれぞ
れの位置における欠陥の像の移動量、線源の移動量、線
源と被検体との間の距離及び被検体とカメラとの間の距
離に基づき被検体中の欠陥の深さ位置を演算する欠陥位
置演算手段とを有することを特徴とする欠陥深さ位置検
出装置。 - 【請求項２】 被検体におけるＸ線等の放射線の透過量
の違いを利用して被検体の探傷を行なう欠陥深さ位置検
出装置において、 Ｘ線等の放射線を被検体に向けて放射する線源を被検体
の表面に平行に移動してそれぞれの位置で被検体をカメ
ラで撮影するとともに、このときの被検体中の欠陥の像
の移動量、線源の移動量、線源と被検体との間の距離及
び被検体とカメラとの間の距離に基づき被検体中の欠陥
の深さ位置を求めることを特徴とする欠陥深さ位置検出
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23445293A JP3219565B2 (ja) | 1993-09-21 | 1993-09-21 | 欠陥深さ位置検出装置及びその方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23445293A JP3219565B2 (ja) | 1993-09-21 | 1993-09-21 | 欠陥深さ位置検出装置及びその方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0792111A true JPH0792111A (ja) | 1995-04-07 |
| JP3219565B2 JP3219565B2 (ja) | 2001-10-15 |
Family
ID=16971225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23445293A Expired - Fee Related JP3219565B2 (ja) | 1993-09-21 | 1993-09-21 | 欠陥深さ位置検出装置及びその方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3219565B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7680623B2 (en) | 2004-12-21 | 2010-03-16 | National University Corporation Gunma University | Measuring system, computing device and computer readable medium having program executing to perform measuring a region-in-object |
| JP2011169711A (ja) * | 2010-02-18 | 2011-09-01 | Nagoya Electric Works Co Ltd | 放射線検査処理装置、放射線検査処理方法および放射線検査処理プログラム |
| CN104655658A (zh) * | 2015-02-10 | 2015-05-27 | 西安交通大学 | 一种大型高温叶片内部缺陷三维无损检测方法 |
| WO2018122028A1 (en) * | 2016-12-28 | 2018-07-05 | Asml Holding N.V. | Multi-image particle detection system and method |
| CN114199905A (zh) * | 2021-12-13 | 2022-03-18 | 中国航发南方工业有限公司 | 一种机匣内部缺陷的空间定位方法及系统 |
| CN114965519A (zh) * | 2022-05-24 | 2022-08-30 | 上海神剑精密机械科技有限公司 | 基于射线数字成像物体内部结构位置定位方法及系统 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5557271B2 (ja) * | 2009-06-03 | 2014-07-23 | 名古屋電機工業株式会社 | 放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラム |
| JP5557272B2 (ja) * | 2009-06-03 | 2014-07-23 | 名古屋電機工業株式会社 | 放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラム |
-
1993
- 1993-09-21 JP JP23445293A patent/JP3219565B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN104655658A (zh) * | 2015-02-10 | 2015-05-27 | 西安交通大学 | 一种大型高温叶片内部缺陷三维无损检测方法 |
| CN104655658B (zh) * | 2015-02-10 | 2017-04-05 | 西安交通大学 | 一种大型高温叶片内部缺陷三维无损检测方法 |
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| CN110140085A (zh) * | 2016-12-28 | 2019-08-16 | Asml控股股份有限公司 | 多图像粒子检测系统和方法 |
| JP2020518786A (ja) * | 2016-12-28 | 2020-06-25 | エーエスエムエル ホールディング エヌ．ブイ． | 複数イメージ粒子検出のシステム及び方法 |
| CN114199905A (zh) * | 2021-12-13 | 2022-03-18 | 中国航发南方工业有限公司 | 一种机匣内部缺陷的空间定位方法及系统 |
| CN114199905B (zh) * | 2021-12-13 | 2024-02-20 | 中国航发南方工业有限公司 | 一种机匣内部缺陷的空间定位方法及系统 |
| CN114965519A (zh) * | 2022-05-24 | 2022-08-30 | 上海神剑精密机械科技有限公司 | 基于射线数字成像物体内部结构位置定位方法及系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3219565B2 (ja) | 2001-10-15 |
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