JPH0793249B2 - 金属化フィルムの製造方法 - Google Patents
金属化フィルムの製造方法Info
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- JPH0793249B2 JPH0793249B2 JP3058531A JP5853191A JPH0793249B2 JP H0793249 B2 JPH0793249 B2 JP H0793249B2 JP 3058531 A JP3058531 A JP 3058531A JP 5853191 A JP5853191 A JP 5853191A JP H0793249 B2 JPH0793249 B2 JP H0793249B2
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- evaporation source
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- metallized film
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- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コンデンサ用電極の厚
さ変動の抑制に有効な蒸発源装置を用いてフィルムの表
面に電極を形成する金属化フィルムの製造方法に関す
る。
さ変動の抑制に有効な蒸発源装置を用いてフィルムの表
面に電極を形成する金属化フィルムの製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、真空蒸着法による金属化フィルム
の製造方法においては、図８に示すような蒸発源装置２
１の上部にスリット状の開口２２を設け、内部に発生し
た蒸発金属、例えば亜鉛の蒸気をその開口部から吐出さ
せ、その上部に走行しているフィルム（誘電体）に亜鉛
を蒸着する方法が一般的に知られている。
の製造方法においては、図８に示すような蒸発源装置２
１の上部にスリット状の開口２２を設け、内部に発生し
た蒸発金属、例えば亜鉛の蒸気をその開口部から吐出さ
せ、その上部に走行しているフィルム（誘電体）に亜鉛
を蒸着する方法が一般的に知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の技術
において、フィルムの幅方向の金属膜厚を均一化するた
めには、開口部の幅を均一に調整する必要があるが、従
来の方法では、蒸発源装置の熱影響により伸びが発生し
て開口部のスリット幅が変化し、中央部付近が狭くなる
傾向にある。このスリット状開口部の幅は５mm前後と狭
く、開口幅の変化が金属膜厚の均一性に大きく起因し、
金属膜圧のばらつきが発生した。特にフィルム幅が５０
０mm以上になる場合にはこの現象が顕著に現れていた。
において、フィルムの幅方向の金属膜厚を均一化するた
めには、開口部の幅を均一に調整する必要があるが、従
来の方法では、蒸発源装置の熱影響により伸びが発生し
て開口部のスリット幅が変化し、中央部付近が狭くなる
傾向にある。このスリット状開口部の幅は５mm前後と狭
く、開口幅の変化が金属膜厚の均一性に大きく起因し、
金属膜圧のばらつきが発生した。特にフィルム幅が５０
０mm以上になる場合にはこの現象が顕著に現れていた。
【０００４】本発明は、上記従来の技術における問題点
を解決するとともに、金属膜厚を精度よく制御すること
を目的とする。
を解決するとともに、金属膜厚を精度よく制御すること
を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、溶融金属が真空中に噴出するスリット状の
開口部の長さ方向に沿ってスリットの短形方向を橋絡す
るマスクを任意の間隔で設けた蒸発源装置を用いてフィ
ルムの片面または両面に電極を形成するものである。
に本発明は、溶融金属が真空中に噴出するスリット状の
開口部の長さ方向に沿ってスリットの短形方向を橋絡す
るマスクを任意の間隔で設けた蒸発源装置を用いてフィ
ルムの片面または両面に電極を形成するものである。
【０００６】
【作用】上記手段により、蒸発源装置の熱膨脹による開
口幅の寸法変化が抑制され、併せて、橋絡マスクを電極
の薄手化用マスキングにも兼用することができる。
口幅の寸法変化が抑制され、併せて、橋絡マスクを電極
の薄手化用マスキングにも兼用することができる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【０００８】図１は蒸発源装置１の構造を示したもの
で、エバポレーターチューブ２の内部にるつぼ３および
蒸発金属４を配している。エバポレーターチューブ２の
外周にはヒーター５が設けられ、幅方向に長細いスリッ
ト状の開口部６が形成され、その開口部６の長さ方向に
沿ってその短形方向を任意の間隔で橋絡するマスク７が
配されている。エバポレーターチューブ２内の金属４は
ヒーター５からの熱により溶融，帰化し開口部６を介し
て蒸発される構造となっている。
で、エバポレーターチューブ２の内部にるつぼ３および
蒸発金属４を配している。エバポレーターチューブ２の
外周にはヒーター５が設けられ、幅方向に長細いスリッ
ト状の開口部６が形成され、その開口部６の長さ方向に
沿ってその短形方向を任意の間隔で橋絡するマスク７が
配されている。エバポレーターチューブ２内の金属４は
ヒーター５からの熱により溶融，帰化し開口部６を介し
て蒸発される構造となっている。
【０００９】図２は上記蒸発源装置１を真空蒸着機に設
置した概略正面図で、巻出し部８から出たフィルム９は
オイルマージンノズル１０を介してオイルを塗布され、
その後蒸着核形成用の蒸発源１１を通過し、本蒸発源装
置１上を通り巻取り部１２に巻取られる。
置した概略正面図で、巻出し部８から出たフィルム９は
オイルマージンノズル１０を介してオイルを塗布され、
その後蒸着核形成用の蒸発源１１を通過し、本蒸発源装
置１上を通り巻取り部１２に巻取られる。
【００１０】図３は蒸発源装置１上を通過したフィルム
９と蒸発源装置１との関係を示した図であり、図におい
て、４ａはフィルム９の片面に蒸着された蒸着金属（電
極）、１０ａは幅５mm程度のオイルマージン部であり、
マスク７の幅は２mm程度である。
９と蒸発源装置１との関係を示した図であり、図におい
て、４ａはフィルム９の片面に蒸着された蒸着金属（電
極）、１０ａは幅５mm程度のオイルマージン部であり、
マスク７の幅は２mm程度である。
【００１１】金属化フィルムの製造方法において、図８
に示すような従来の蒸発源装置２１を使用すると、その
開口部は熱影響により破線のような変形が発生し、フィ
ルム幅方向の蒸着膜厚（表面抵抗値）のばらつきは例え
ば平均膜厚９Ω／cm2の時、図４（ａ）に示すように±
３０％にも達するが、本発明による蒸着源装置１の開口
部６について試験したところ、変動は図４（ｂ）に示す
ように±１０％以内と大幅に改良することができた。
に示すような従来の蒸発源装置２１を使用すると、その
開口部は熱影響により破線のような変形が発生し、フィ
ルム幅方向の蒸着膜厚（表面抵抗値）のばらつきは例え
ば平均膜厚９Ω／cm2の時、図４（ａ）に示すように±
３０％にも達するが、本発明による蒸着源装置１の開口
部６について試験したところ、変動は図４（ｂ）に示す
ように±１０％以内と大幅に改良することができた。
【００１２】図５，図６はともに本発明の応用を示した
ものである。各図において、（ａ）は蒸発源装置の平面
図、（ｂ）は金属化フィルムの正面図である。一方、図
７のように蒸発源装置の開口部を広げることにより段つ
き形状の蒸着パターンが得られることが知られている
が、この方法では蒸発源装置と走行するフィルムの間の
間隙で図７（ｂ）のように段つき部が広がる欠点があ
る。しかし、開口部を図５（ａ）のようなパターンにす
ることにより極細の段つき部および薄膜部を得ることが
できる。また図６（ｂ）のように逆に蒸着膜の薄い部分
を設けることもできる。
ものである。各図において、（ａ）は蒸発源装置の平面
図、（ｂ）は金属化フィルムの正面図である。一方、図
７のように蒸発源装置の開口部を広げることにより段つ
き形状の蒸着パターンが得られることが知られている
が、この方法では蒸発源装置と走行するフィルムの間の
間隙で図７（ｂ）のように段つき部が広がる欠点があ
る。しかし、開口部を図５（ａ）のようなパターンにす
ることにより極細の段つき部および薄膜部を得ることが
できる。また図６（ｂ）のように逆に蒸着膜の薄い部分
を設けることもできる。
【００１３】なお、本発明の実施例で説明したフィルム
９はプラスチックフィルムに限らず、フィルム状の誘電
体であれば何でもよい。
９はプラスチックフィルムに限らず、フィルム状の誘電
体であれば何でもよい。
【００１４】
【発明の効果】以上の実施例から明らかなように本発明
は、蒸発源装置から溶融金属が蒸気となって噴出するス
リット状の開口部に長さ方向に沿って任意の間隔で橋絡
するマスクを設けることにより、スリットの幅方向寸法
変化を抑制し、膜厚さの変動が減少するコンデンサ電極
ひいては特性のよい金属化フィルムを得ることができ、
また、橋絡マスクを応用して電極膜厚さを精度よく制御
することも可能である。
は、蒸発源装置から溶融金属が蒸気となって噴出するス
リット状の開口部に長さ方向に沿って任意の間隔で橋絡
するマスクを設けることにより、スリットの幅方向寸法
変化を抑制し、膜厚さの変動が減少するコンデンサ電極
ひいては特性のよい金属化フィルムを得ることができ、
また、橋絡マスクを応用して電極膜厚さを精度よく制御
することも可能である。
【図１】本発明の金属化フィルムの製造方法に使用する
蒸発源装置の斜視図
蒸発源装置の斜視図
【図２】同蒸発源装置を使用する真空蒸着機のフィルム
走行系の概略正面図
走行系の概略正面図
【図３】同蒸発源装置とその蒸発源装置によって製造さ
れた金属化フィルムとの関係を示す図
れた金属化フィルムとの関係を示す図
【図４】（ａ）従来の蒸発源装置とその蒸発源装置によ
って製造された金属化フィルムとその金属化フィルムの
電極の表面抵抗値との関係を示す図 （ｂ）本発明による蒸発源装置とその蒸発源装置によっ
て製造された金属化フィルムとその金属化フィルムの電
極の表面抵抗値との関係を示す図
って製造された金属化フィルムとその金属化フィルムの
電極の表面抵抗値との関係を示す図 （ｂ）本発明による蒸発源装置とその蒸発源装置によっ
て製造された金属化フィルムとその金属化フィルムの電
極の表面抵抗値との関係を示す図
【図５】（ａ）本発明による蒸発源装置の他の実施例の
平面図 （ｂ）同蒸発源装置によって製造された金属化フィルム
の正面図
平面図 （ｂ）同蒸発源装置によって製造された金属化フィルム
の正面図
【図６】（ａ）本発明による蒸発源装置のさらに他の実
施例の平面図 （ｂ）同蒸発源装置によって製造された金属化フィルム
の正面図
施例の平面図 （ｂ）同蒸発源装置によって製造された金属化フィルム
の正面図
【図７】（ａ）従来の蒸発源装置の平面図 （ｂ）同蒸発源装置によって製造された金属化フィルム
の正面図
の正面図
【図８】従来の蒸発源装置の他の例の平面図
１ 蒸発源装置 ３ るつぼ ４ 蒸発金属 ６ スリット状の開口部 ７ マスク ９ フィルム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｇ 4/015 4/18 (72)発明者 武藤 博之 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 内村 登 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 錦織 由朋 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 山本 佐太郎 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 溶融金属が真空中に噴出するスリット状
の開口部の長さ方向に沿ってスリットの短形方向を橋絡
するマスクを任意の間隔で設けた蒸発源装置を用いてフ
ィルムの片面または両面に電極を形成することを特徴と
する金属化フィルムの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3058531A JPH0793249B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 | 金属化フィルムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3058531A JPH0793249B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 | 金属化フィルムの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04293222A JPH04293222A (ja) | 1992-10-16 |
| JPH0793249B2 true JPH0793249B2 (ja) | 1995-10-09 |
Family
ID=13087017
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3058531A Expired - Lifetime JPH0793249B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 | 金属化フィルムの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0793249B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107735509A (zh) * | 2015-07-28 | 2018-02-23 | 夏普株式会社 | 蒸镀源、蒸镀装置和蒸镀膜制造方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| MX2007014483A (es) * | 2005-05-31 | 2008-02-05 | Corus Technology Bv | Aparato y metodo para revestir un sustrato. |
| JP7355348B1 (ja) * | 2022-08-09 | 2023-10-03 | マシン・テクノロジー株式会社 | 蒸発装置 |
-
1991
- 1991-03-22 JP JP3058531A patent/JPH0793249B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107735509A (zh) * | 2015-07-28 | 2018-02-23 | 夏普株式会社 | 蒸镀源、蒸镀装置和蒸镀膜制造方法 |
| CN107735509B (zh) * | 2015-07-28 | 2019-12-13 | 夏普株式会社 | 蒸镀源、蒸镀装置和蒸镀膜制造方法 |
| US10597770B2 (en) | 2015-07-28 | 2020-03-24 | Sharp Kabushiki Kaisha | Vapor deposition source, vapor deposition apparatus and method for producing vapor-deposited film |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04293222A (ja) | 1992-10-16 |
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