JPH079371Y2 - 真空容器窓用掃除具 - Google Patents
真空容器窓用掃除具Info
- Publication number
- JPH079371Y2 JPH079371Y2 JP11673489U JP11673489U JPH079371Y2 JP H079371 Y2 JPH079371 Y2 JP H079371Y2 JP 11673489 U JP11673489 U JP 11673489U JP 11673489 U JP11673489 U JP 11673489U JP H079371 Y2 JPH079371 Y2 JP H079371Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- window
- cleaning tool
- vacuum container
- shaft
- window cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、半導体薄膜を成長装置に用いられる真空容器
窓用掃除具に関する。
窓用掃除具に関する。
（従来の技術） オプトエレクトロニクス用をはじめとした半導体素子の
高度化，高機能化に伴い、その作製プロセスは複雑化の
一途をたどっている。そのプロセスの簡易化のため、素
子構造の提案のみならず、半導体薄膜製造プロセスの提
案もなされている。たとえばアプライドフィジクスレタ
ーズ（Applied Physics Letters）52巻13号（1988年）1
065頁にあるように、半導体薄膜を形成する際に、有機
金属分子線エピタキー（MOMBE）装置内の半導体基板上
に、部分的に光を照射することにより、半導体基板上の
一部に選択的に半導体薄膜を形成する技術が開発されて
いる。
高度化，高機能化に伴い、その作製プロセスは複雑化の
一途をたどっている。そのプロセスの簡易化のため、素
子構造の提案のみならず、半導体薄膜製造プロセスの提
案もなされている。たとえばアプライドフィジクスレタ
ーズ（Applied Physics Letters）52巻13号（1988年）1
065頁にあるように、半導体薄膜を形成する際に、有機
金属分子線エピタキー（MOMBE）装置内の半導体基板上
に、部分的に光を照射することにより、半導体基板上の
一部に選択的に半導体薄膜を形成する技術が開発されて
いる。
（考案が解決しようとする課題） 半導体薄膜形成方法において、所望の半導体薄膜パター
ンを得るために、成長装置に設置された窓を通してレー
ザービームを、基板上に照射することが必要である。し
かるに、成長中にレーザー光を照射するためには、薄膜
成長中に長時間にわたり、窓を半導体材料ガスに曝す必
要があり、その結果、半導体材料の付着により数回の成
長で窓が不透明となり、レーザー光を入射できなくなる
という不便さがあった。
ンを得るために、成長装置に設置された窓を通してレー
ザービームを、基板上に照射することが必要である。し
かるに、成長中にレーザー光を照射するためには、薄膜
成長中に長時間にわたり、窓を半導体材料ガスに曝す必
要があり、その結果、半導体材料の付着により数回の成
長で窓が不透明となり、レーザー光を入射できなくなる
という不便さがあった。
この種の薄膜成長装置、たとえば分子線エピタキシー
（MBE）装置,MOMBE装置は、半導体材料の付着による窓
の曇りを防止するため、外部から操作可能で窓に接触し
て動く部分が設置されている。
（MBE）装置,MOMBE装置は、半導体材料の付着による窓
の曇りを防止するため、外部から操作可能で窓に接触し
て動く部分が設置されている。
第２図は従来の掃除具をMOMBE装置に装着した場合の断
面図である。図において、１はMOMBE装置本体、２は
窓、３はベローズ、４は取っ手、５は軸の先端に取りつ
けられた可動部、６はレーザー光、７は基板、８は板状
ポリイミドよりなるプラスチック材を示す。窓２におい
て基板７に対向する面に付着した半導体材料は、取っ手
４をもって、プラスチック材８を窓に押し当てこするこ
とにより行われていた。しかし、この掃除具では、付着
物を完全に、かつ全面一様に除去することはできなかっ
た。その理由は、第一に窓に接触して動くプラスチック
材には、弾力性のないすなわち曲げ弾性の大きいポリイ
ミド（30000Kg/cm2）などの硬質の高分子が用いられ、
第二にプラスチック材を窓に対して密着性良く外部から
押し付けることができない構造であったからである。
面図である。図において、１はMOMBE装置本体、２は
窓、３はベローズ、４は取っ手、５は軸の先端に取りつ
けられた可動部、６はレーザー光、７は基板、８は板状
ポリイミドよりなるプラスチック材を示す。窓２におい
て基板７に対向する面に付着した半導体材料は、取っ手
４をもって、プラスチック材８を窓に押し当てこするこ
とにより行われていた。しかし、この掃除具では、付着
物を完全に、かつ全面一様に除去することはできなかっ
た。その理由は、第一に窓に接触して動くプラスチック
材には、弾力性のないすなわち曲げ弾性の大きいポリイ
ミド（30000Kg/cm2）などの硬質の高分子が用いられ、
第二にプラスチック材を窓に対して密着性良く外部から
押し付けることができない構造であったからである。
本考案は上記の欠点を改善するために提案されたもの
で、その目的は、レーザー光をMOMBE装置内に導入する
ための窓への半導体材料の付着物を全面一様に完全に除
去できる掃除具を提供することにある。
で、その目的は、レーザー光をMOMBE装置内に導入する
ための窓への半導体材料の付着物を全面一様に完全に除
去できる掃除具を提供することにある。
（課題を解決するための手段） 上記の目的を達成するため、本考案は真空フランジ，ベ
ローズと取っ手が溶接して形成された握り部と、前記握
り部に結合された軸と、前記軸の先端に取り付けられた
固定部と、この固定部に間隙を介して対向する可動部と
よりなり、かつ双方の間隙にはバネが介在されて、両者
が弾性的に結合された支持部と、前記可動部の側縁に取
りつけられたプラスチック板とを備え、前記プラスチッ
ク板は曲げ弾性率がほぼ20000Kg/cm2以下で、かつ側縁
に複数の切り込みが形成された耐熱性高分子材料よりな
ることを特徴とする真空容器窓用掃除具を考案の要旨と
するものである。
ローズと取っ手が溶接して形成された握り部と、前記握
り部に結合された軸と、前記軸の先端に取り付けられた
固定部と、この固定部に間隙を介して対向する可動部と
よりなり、かつ双方の間隙にはバネが介在されて、両者
が弾性的に結合された支持部と、前記可動部の側縁に取
りつけられたプラスチック板とを備え、前記プラスチッ
ク板は曲げ弾性率がほぼ20000Kg/cm2以下で、かつ側縁
に複数の切り込みが形成された耐熱性高分子材料よりな
ることを特徴とする真空容器窓用掃除具を考案の要旨と
するものである。
（作用） 本考案によれば、真空容器窓用掃除具において、第一に
プラスチック材に軟質すなわち曲げ弾性率が小さいテフ
ロン（7000Kg/cm2）を用いたこと、第二に取っ手に対し
てプラスチック材を弾性的に支持し、かつプラスチック
材の側縁に切り込みを設けたことにより、テフロンを窓
ガラスに一様に密着させることができる。
プラスチック材に軟質すなわち曲げ弾性率が小さいテフ
ロン（7000Kg/cm2）を用いたこと、第二に取っ手に対し
てプラスチック材を弾性的に支持し、かつプラスチック
材の側縁に切り込みを設けたことにより、テフロンを窓
ガラスに一様に密着させることができる。
（実施例） 次に本考案の実施例について説明する。なお、実施例は
一つの例示であって、本考案の精神を逸脱しない範囲
で、種々の変更あるいは改良を行いうることは言うまで
もない。
一つの例示であって、本考案の精神を逸脱しない範囲
で、種々の変更あるいは改良を行いうることは言うまで
もない。
第１図は本考案の掃除具の一実施例を示す。
図において、11はベローズ、12は取っ手、13はフラン
ジ、14は軸、15はプラスチック材の支持部、16は凹部、
17はバネ、18はテフロン、18aは切り込みを示す。
ジ、14は軸、15はプラスチック材の支持部、16は凹部、
17はバネ、18はテフロン、18aは切り込みを示す。
しかして取っ手12の先端にベローズ11が溶接され、この
ベローズの先端にフランジ13が溶接されて握り部が形成
され、この握り部に軸14が一体に結合され、この軸14の
先端には支持部15の固定部15aが結合されている。さら
にこの固定部15aに対して可動部15bが弾性的に結合され
ている。すなわち図示の場合は、固定部15aに凸部が形
成され、可動部15bには凹部16が形成され、さらに前記
凸部の両側にはバネ17が設けられ、両者は弾性的に結合
されている。さらに前記可動部15bの側縁にはテフロン
よりなるプラスチック材18が取りつけられ、このプラス
チック板の側縁（窓の接触する部分）には、複数の切り
込み18aが設けられている。
ベローズの先端にフランジ13が溶接されて握り部が形成
され、この握り部に軸14が一体に結合され、この軸14の
先端には支持部15の固定部15aが結合されている。さら
にこの固定部15aに対して可動部15bが弾性的に結合され
ている。すなわち図示の場合は、固定部15aに凸部が形
成され、可動部15bには凹部16が形成され、さらに前記
凸部の両側にはバネ17が設けられ、両者は弾性的に結合
されている。さらに前記可動部15bの側縁にはテフロン
よりなるプラスチック材18が取りつけられ、このプラス
チック板の側縁（窓の接触する部分）には、複数の切り
込み18aが設けられている。
このプラスチック材の側縁、いいかえれば窓に接触する
部分には切り込みが入っているので、取っ手12を押し上
げた状態で前後に移動させることにより窓の掃除が可能
となる。この掃除具をMOMBE真空装置と取り付け、窓の
付着物の除去の効果をしらべた結果についてのべる。
部分には切り込みが入っているので、取っ手12を押し上
げた状態で前後に移動させることにより窓の掃除が可能
となる。この掃除具をMOMBE真空装置と取り付け、窓の
付着物の除去の効果をしらべた結果についてのべる。
まず、プラスチック材であるテフロンの厚さの最適値を
しらべた。テフロンの厚さが5mm以上の場合は弾性がな
くほとんど付着物を除去できなかった。厚さ1mmの場合
にはかなり除去できたが、全面一様に除去することは不
可能であった。厚さを1mmとし、かつ、切り込みをいれ
た場合には一様にかつ完全に付着物を除去できた。本実
施例では窓２との接触部の材質としてテフロンを用いた
が、真空中でガスが少なく、窓２に傷をつけることな
く、窓２に十分密着するための適度の弾性性すなわち20
000Kg/cm2以下の曲げ弾性率を持つものであればよい。
しらべた。テフロンの厚さが5mm以上の場合は弾性がな
くほとんど付着物を除去できなかった。厚さ1mmの場合
にはかなり除去できたが、全面一様に除去することは不
可能であった。厚さを1mmとし、かつ、切り込みをいれ
た場合には一様にかつ完全に付着物を除去できた。本実
施例では窓２との接触部の材質としてテフロンを用いた
が、真空中でガスが少なく、窓２に傷をつけることな
く、窓２に十分密着するための適度の弾性性すなわち20
000Kg/cm2以下の曲げ弾性率を持つものであればよい。
次に、本考案の掃除具を装着して光照射MOMBE成長実験
を行い窓のレーザー光透過率を調べた結果を述べる。レ
ーザー光の透過率は窓への入射光強度と透過光強度の比
である。GaAs膜を成長した。１回の成長時間は１時間と
した。原料とその流量は、トリエチルガリウムの流量が
1cc/分，アルシンが6cc/分である。窓は１回の成長が終
了する度に、毎回、本考案の掃除具を用いてクリーニン
グを行った。その結果、成長回数が60回後でもレーザー
光の透過率が90％以上であった。
を行い窓のレーザー光透過率を調べた結果を述べる。レ
ーザー光の透過率は窓への入射光強度と透過光強度の比
である。GaAs膜を成長した。１回の成長時間は１時間と
した。原料とその流量は、トリエチルガリウムの流量が
1cc/分，アルシンが6cc/分である。窓は１回の成長が終
了する度に、毎回、本考案の掃除具を用いてクリーニン
グを行った。その結果、成長回数が60回後でもレーザー
光の透過率が90％以上であった。
（考案の効果） 叙上のように本考案によれば、真空フランジ，ベローズ
と取っ手が溶接して形成された握り部と、前記握り部に
結合された軸と、前記軸の先端に取り付けられた固定部
と、この固定部に間隙を介して対向する可動部とよりな
り、かつ双方の間隙にはバネが介在されて、両者が弾性
的に結合された支持部と、前記可動部の側縁に取りつけ
られたプラスチック板とを備え、前記プラスチック板は
曲げ弾性率がほぼ20000Kg/cm2以下で、かつ側縁に複数
の切り込みが形成された耐熱性高分子材料よりなること
により、窓をつねに曇りのない状態に維持できる。
と取っ手が溶接して形成された握り部と、前記握り部に
結合された軸と、前記軸の先端に取り付けられた固定部
と、この固定部に間隙を介して対向する可動部とよりな
り、かつ双方の間隙にはバネが介在されて、両者が弾性
的に結合された支持部と、前記可動部の側縁に取りつけ
られたプラスチック板とを備え、前記プラスチック板は
曲げ弾性率がほぼ20000Kg/cm2以下で、かつ側縁に複数
の切り込みが形成された耐熱性高分子材料よりなること
により、窓をつねに曇りのない状態に維持できる。
したがって、本掃除具は光照射MOMBE装置に特に有用で
ある。真空蒸着装置は内部観察用に窓を設けているが、
膜成長を行うごとに窓に蒸着物が付着するため内部観察
がしだいに困難となる。本考案はこのように一般的薄膜
蒸着装置の窓掃除具として応用可能である効果を有す
る。
ある。真空蒸着装置は内部観察用に窓を設けているが、
膜成長を行うごとに窓に蒸着物が付着するため内部観察
がしだいに困難となる。本考案はこのように一般的薄膜
蒸着装置の窓掃除具として応用可能である効果を有す
る。
第１図は本考案の真空容器窓用掃除具の一実施例、第２
図は従来例を示す。 １……MOMBE装置本体 ２……窓 ３……ペローズ ４……取っ手 ５……可動部 ６……レーザー光 ７……基板 ８……板状ポリイミド 11……ベローズ 12……取っ手 13……フランジ 14……軸15 ……支持部 15a……固定部 15b……可動部 16……凹部 17……バネ 18……プラスチック材 18a……切り込み
図は従来例を示す。 １……MOMBE装置本体 ２……窓 ３……ペローズ ４……取っ手 ５……可動部 ６……レーザー光 ７……基板 ８……板状ポリイミド 11……ベローズ 12……取っ手 13……フランジ 14……軸15 ……支持部 15a……固定部 15b……可動部 16……凹部 17……バネ 18……プラスチック材 18a……切り込み
Claims (1)
- 【請求項１】真空フランジ，ベローズと取っ手が溶接し
て形成された握り部と、前記握り部に結合された軸と、
前記軸の先端に取り付けられた固定部と、この固定部に
間隙を介して対向する可動部とよりなり、かつ双方の間
隙にはバネが介在されて、両者が弾性的に結合された支
持部と、前記可動部の側縁に取りつけられたプラスチッ
ク板とを備え、前記プラスチック板は曲げ弾性率がほぼ
20000Kg/cm2以下で、かつ側縁に複数の切り込みが形成
された耐熱性高分子材料よりなることを特徴とする真空
容器窓用掃除具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11673489U JPH079371Y2 (ja) | 1989-10-04 | 1989-10-04 | 真空容器窓用掃除具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11673489U JPH079371Y2 (ja) | 1989-10-04 | 1989-10-04 | 真空容器窓用掃除具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0356131U JPH0356131U (ja) | 1991-05-30 |
| JPH079371Y2 true JPH079371Y2 (ja) | 1995-03-06 |
Family
ID=31665000
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11673489U Expired - Lifetime JPH079371Y2 (ja) | 1989-10-04 | 1989-10-04 | 真空容器窓用掃除具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH079371Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-10-04 JP JP11673489U patent/JPH079371Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0356131U (ja) | 1991-05-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |