JPH079407Y2 - Laser oscillator - Google Patents
Laser oscillatorInfo
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- JPH079407Y2 JPH079407Y2 JP15323888U JP15323888U JPH079407Y2 JP H079407 Y2 JPH079407 Y2 JP H079407Y2 JP 15323888 U JP15323888 U JP 15323888U JP 15323888 U JP15323888 U JP 15323888U JP H079407 Y2 JPH079407 Y2 JP H079407Y2
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Description
【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本考案は希ガスハライドを充填したレーザ管内でのレー
ザ発振装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION "Industrial field of application" The present invention relates to a laser oscillator in a laser tube filled with a rare gas halide.
「従来の技術」 一般にこの種のレーザ発振装置は第４図に示すように、
レーザ管（１）内に、１対の細長い主電極（２）（３）
と、その両側の数10対の予備電離電極（４）（５），
（６）（７）を有し、内部に希ガス（Ａγ,Kγ,Xe），
ハロゲンガス（F2,Hcl）とバッファガス（He,Ne）の混
合ガスを２〜３気圧充填してファン（11）で循環しつ
つ、予備電離電極（４）（５），（６）（７）間での放
電で紫外線予備電離し、ついで主電極（２）（３）間で
の高電圧放電（均一なグロー放電）により希ガス原子と
ハロゲン原子を励起させた状態で結合させる。放電回路
は、コンデンサ（８）に充電されたエネルギーを、サイ
ラトロンなどのスイッチ（14）により、数10対のキーピ
ングコンデンサ（９）（10）に予備電離電極（４）
（５）、（６）（７）を通して充電し、主放電電極
（２）（３）間がブレークダウン電圧に達すると主放電
電極（２）（３）間で放電が始まり、レーザ発振をし、
主電極（２）（３）と同軸方向のレーザ管（１）の両端
のレーザ透過窓（21）（22）から出力する。"Prior Art" In general, a laser oscillator of this type is as shown in FIG.
In the laser tube (1), a pair of elongated main electrodes (2) (3)
And dozens of pairs of preionization electrodes (4) (5) on both sides of it,
(6) (7) with noble gas (Aγ, Kγ, Xe),
Pre-ionization electrodes (4), (5), (6) (while circulating a fan (11) with a mixed gas of a halogen gas (F 2 , Hcl) and a buffer gas (He, Ne) filled at 2 to 3 atmospheres Pre-ionization of ultraviolet rays is performed by the discharge between 7), and then the rare gas atom and the halogen atom are combined in the excited state by the high voltage discharge (uniform glow discharge) between the main electrodes (2) and (3). In the discharge circuit, the energy charged in the capacitor (8) is supplied to the tens of pairs of keeping capacitors (9) and (10) by the switch (14) such as a thyratron, and the preionization electrode (4).
When charging is performed through (5), (6) and (7) and a breakdown voltage is reached between the main discharge electrodes (2) and (3), discharge starts between the main discharge electrodes (2) and (3), causing laser oscillation. ,
It is output from the laser transmission windows (21) (22) at both ends of the laser tube (1) coaxial with the main electrodes (2) (3).
なお、（12）は熱交換器、（13）はコイルである。In addition, (12) is a heat exchanger and (13) is a coil.
しかるに、希ガスハライドレーザ装置において、レーザ
管（１）のレーザ透過窓（21）（22）を清浄に保つこと
がレーザを長期間にわたって安定して発振させるために
重要である。However, in the rare gas halide laser device, it is important to keep the laser transmission windows (21, 22) of the laser tube (1) clean for stable oscillation of the laser for a long period of time.
しかし、レーザ媒質ガスの一部をなすハロゲンガスは反
応性が極めて強いためにレーザ管（１）内の構成材料と
反応しやすい。これを極力抑えるために従来は金属材料
としての１対の主電極（２）（３）や数10対の予備電離
電極（４）（５）、（６）（７）をハロゲンガスに安定
なニッケル単体を用いるか、他金属からなるときはその
表面にニッケルめっきして用いられていた。However, the halogen gas, which forms a part of the laser medium gas, has an extremely strong reactivity and thus easily reacts with the constituent materials in the laser tube (1). In order to suppress this as much as possible, conventionally, a pair of main electrodes (2) and (3) as metallic materials and several tens of pairs of preionization electrodes (4), (5), (6) and (7) are stable against halogen gas. Nickel alone was used, or when it was made of another metal, its surface was nickel-plated.
「考案が解決しようとする課題」 特に希ガスハライドレーザ媒質ガス中で放電が行なわれ
るためレーザ管（１）内に収納されている１対の主電極
（２）（３）と、数10対の予備電離電極（４）（５）、
（６）（７）は放電によるイオンや電子衝撃を受けるた
めに負荷が大きくニッケル材料を用いたとしても、放電
回数と共に経時変化を起こし消耗飛散する。"Problems to be solved by the invention" Especially, since a discharge is performed in a rare gas halide laser medium gas, a pair of main electrodes (2) and (3) housed in the laser tube (1) and several tens of pairs. Pre-ionization electrode (4) (5),
(6) and (7) are subject to ion and electron impact due to discharge, so that even if a nickel material is used with a large load, it changes over time with the number of discharges and is consumed and scattered.
このようにして生成した金属微粒子はレーザ管（１）内
で浮遊しレーザ管（１）のレーザ透過窓（21）（22）の
部分に付着してレーザ光出力の低下を生じたり、レーザ
管（１）内のコンデンサ（９）（10）部に付着しコンデ
ンサ（９）（10）の耐絶縁性の低下をまねいていた。The metal fine particles generated in this way float in the laser tube (1) and adhere to the laser transmission windows (21) (22) of the laser tube (1) to cause a decrease in the laser light output, or It adhered to the capacitors (9) and (10) in (1), leading to deterioration of the insulation resistance of the capacitors (9) and (10).
本考案は、飛散する金属微粒子を捕捉してレーザ透過窓
の汚れを防止するようなものを得ることを目的とするも
のである。An object of the present invention is to obtain a metal particle which is scattered to prevent contamination of the laser transmission window.
「課題を解決するための手段」 本考案は希ガスとハロゲンガスを充填したレーザ管内
で、予備電離電極により放電して紫外線予備電離し、つ
いで主電極間でグロー放電してレーザ透過窓からレーザ
発振をするようにしたものにおいて、前記予備電離電極
と主電極との一部または全部をニッケルで構成し、前記
レーザ管内に、磁性金属粒子を捕捉するための磁石を具
備せしめてなるものである。この磁石として棒状フェラ
イト磁石を、主電極と略平行状態に設置するか、または
／およびレーザ透過窓に臨ませてリング状磁石を設置す
る。"Means for solving the problems" The present invention is to discharge a laser by a preionization electrode to preionize ultraviolet rays in a laser tube filled with a rare gas and a halogen gas, and then perform glow discharge between main electrodes to emit a laser from a laser transmission window. In the one that oscillates, a part or all of the preionization electrode and the main electrode are made of nickel, and a magnet for trapping magnetic metal particles is provided in the laser tube. . As this magnet, a rod-shaped ferrite magnet is installed in a state substantially parallel to the main electrode, and / or a ring-shaped magnet is installed facing the laser transmission window.
「作用」 レーザ管内に棒状磁石を設置すると、レーザ媒質ガスが
ファンで循環している間に、飛散する磁性体の微粒子が
磁石に付着する。また、リング状磁石を設置すると、レ
ーザ透過窓の付近を飛散している磁性金属微粒子を捕捉
してレーザ透過窓への付着を防止する。[Operation] When a rod-shaped magnet is installed in the laser tube, fine particles of a magnetic substance that scatter adhere to the magnet while the laser medium gas is circulated by the fan. Further, when the ring-shaped magnet is installed, the magnetic metal fine particles scattered around the laser transmission window are captured to prevent the magnetic metal particles from adhering to the laser transmission window.
「実施例」 以下、本考案の一実施例を図面に基づき説明する。[Embodiment] An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第１図において、（１）はレーザ管で、このレーザ管
（１）の両端には透明ガラスで密閉されたレーザ透過窓
（21）（22）が形成されている。また、レーザ管（１）
内には、レーザ透過窓（21）（22）を結ぶ線上に、細長
い１対の主電極（２）（３）が設けられるとともに、こ
の主電極（２）（３）の両側に、数10対の予備電離電極
（４）（５）、（６）（７）が設けられている。これら
主電極（２）（３）と予備電離電極（４）（５）、
（６）（７）はハロゲンガスに安定なニッケル単体か、
他金属からなるときはその表面にニッケルめっきして構
成されている。また、このレーザ管（１）内には主電極
（２）（３）と略平行に棒状磁石（23）が設置される。
この棒状磁石（23）の全外面にはハロゲンガスと反応し
ないフッ素樹脂（24）を被覆する。In FIG. 1, (1) is a laser tube, and laser transmission windows (21) (22) sealed with transparent glass are formed at both ends of the laser tube (1). Also, laser tube (1)
Inside, a pair of elongated main electrodes (2) and (3) are provided on the line connecting the laser transmission windows (21) and (22), and several tens of dozens of electrodes are provided on both sides of the main electrodes (2) and (3). A pair of preionization electrodes (4) (5), (6) (7) are provided. These main electrodes (2) and (3) and preionization electrodes (4) and (5),
(6) (7) is a halogen gas stable nickel simple substance,
When it is made of another metal, its surface is nickel-plated. A bar-shaped magnet (23) is installed in the laser tube (1) substantially in parallel with the main electrodes (2) and (3).
The entire outer surface of the rod-shaped magnet (23) is coated with a fluororesin (24) that does not react with halogen gas.
また、前記棒状磁石（23）に代えて、または、棒状磁石
（23）の他にさらにリング状磁石（25）を形成し、前記
レーザ透過窓（21）（22）の内側に、レーザ出力の邪魔
にならないように設置する。このリング状磁石（25）に
も前記同様フッ素樹脂（24）を被覆する。Further, instead of the rod-shaped magnet (23), or in addition to the rod-shaped magnet (23), a ring-shaped magnet (25) is further formed, and the laser output is provided inside the laser transmission windows (21) (22). Install it out of the way. The ring-shaped magnet (25) is coated with the fluororesin (24) as described above.
なお、レーザ管（１）内の他の構成、放電回路は第４図
と同様である。The other structure and discharge circuit in the laser tube (1) are the same as those in FIG.
前記フッ素樹脂（24）として具体的にはつぎの樹脂が用
いられる。The following resins are specifically used as the fluororesin (24).
４フッ化エチレン樹脂（PTFE）， ６フッ化ポリプロピレン樹脂（FEP）， ４フッ化エチレン−パーフロロアルキル ビニルエーテル共重合樹脂（PFA）， ４フッ化エチレン・エチレン共重合樹脂 （ETFE）， またはポリフッ化ビニリデン樹脂（PVDF）。Tetrafluoroethylene resin (PTFE), Hexafluoropolypropylene resin (FEP), Tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer resin (PFA), Tetrafluoroethylene-ethylene copolymer resin (ETFE), or Polyfluoride Vinylidene resin (PVDF).
前記実施例では棒状磁石（23）とリング状磁石（25）を
フッ素樹脂（24）で被覆した場合を説明したが、これに
限られるものではなく、ハロゲンガスに安定なニッケル
を10μｍ程度の厚さにめっきしてもよい。Although the rod-shaped magnet (23) and the ring-shaped magnet (25) are coated with the fluororesin (24) in the above embodiment, the present invention is not limited to this, and nickel stable to halogen gas with a thickness of about 10 μm is used. May be plated.
「考案の効果」 本考案は上述のように、レーザ管内に磁石を設置したの
で、レーザ管内に生成されて飛散しているニッケルの微
粒子が磁石により捕捉され、レーザ透過窓の汚れやレー
ザ管内のコンデンサの絶縁破壊を長期にわたって防止で
きる。[Advantage of Invention] Since the present invention has the magnet installed in the laser tube as described above, the nickel fine particles generated and scattered in the laser tube are captured by the magnet, and the dirt of the laser transmission window and the inside of the laser tube The dielectric breakdown of the capacitor can be prevented for a long time.
第１図は本考案によるレーザ発振装置の一部切欠いた正
面図、第２図は棒状磁石の一部切欠いた正面図、第３図
はリング状磁石の断面図、第４図はレーザ発振装置の説
明図である。 （１）……レーザ管、（２）（３）……主電極、（４）
（５）（６）（７）……予備電離電極、（８）（９）
（10）……コンデンサ、（11）……ファン、（12）……
熱交換器、（13）……コイル、（14）……スイッチ、
（21）（22）……レーザ透過窓、（23）……棒状磁石、
（24）……フッ素樹脂、（25）……リング状磁石。FIG. 1 is a partially cutaway front view of a laser oscillator according to the present invention, FIG. 2 is a partially cutaway front view of a bar magnet, FIG. 3 is a sectional view of a ring magnet, and FIG. 4 is a laser oscillator. FIG. (1) …… Laser tube, (2) (3) …… Main electrode, (4)
(5) (6) (7) ... Pre-ionization electrode, (8) (9)
(10) …… Condenser, (11) …… Fan, (12) ……
Heat exchanger, (13) …… coil, (14) …… switch,
(21) (22) …… Laser transmission window, (23) …… Bar magnet,
(24) …… Fluorine resin, (25) …… Ring-shaped magnet.
Claims (6)
内で、予備電離電極により放電して紫外線予備電離し、
ついで主電極間でグロー放電してレーザ透過窓からレー
ザ発振をするようにしたものにおいて、前記予備電離電
極と主電極との一部または全部をニッケルで構成し、前
記レーザ管内に、磁性金属粒子を捕捉するための磁石を
具備せしめてなることを特徴とするレーザ発振装置。1. A laser tube filled with a rare gas and a halogen gas is discharged by a preionization electrode to preionize ultraviolet rays,
Then, in the one in which glow discharge is caused between the main electrodes to cause laser oscillation from the laser transmission window, a part or all of the preionization electrode and the main electrode are made of nickel, and the magnetic metal particles are contained in the laser tube. A laser oscillating device, characterized in that it is provided with a magnet for capturing.
極と略平行に設置してなる請求項（１）記載のレーザ発
振装置。2. A laser oscillating device according to claim 1, wherein the magnet is a rod-shaped ferrite magnet and is installed substantially parallel to the main electrode.
レーザ透過窓の外周に臨ませて設置してなる請求項
（１）記載のレーザ発振装置。3. The magnet comprises a ring-shaped ferrite magnet,
The laser oscillator according to claim 1, wherein the laser oscillator is installed so as to face the outer periphery of the laser transmission window.
（１）、（２）または（３）記載のレーザ発振装置。4. A laser oscillator according to claim 1, wherein the magnet is coated with a fluororesin.
（１）、（２）または（３）記載のレーザ発振装置。6. The laser oscillator according to claim 1, wherein the magnet is plated with nickel.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15323888U JPH079407Y2 (en) | 1988-11-25 | 1988-11-25 | Laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15323888U JPH079407Y2 (en) | 1988-11-25 | 1988-11-25 | Laser oscillator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0273753U JPH0273753U (en) | 1990-06-05 |
| JPH079407Y2 true JPH079407Y2 (en) | 1995-03-06 |
Family
ID=31428896
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15323888U Expired - Lifetime JPH079407Y2 (en) | 1988-11-25 | 1988-11-25 | Laser oscillator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH079407Y2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5605277B2 (en) * | 2011-03-11 | 2014-10-15 | 株式会社島津製作所 | Laser equipment |
-
1988
- 1988-11-25 JP JP15323888U patent/JPH079407Y2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0273753U (en) | 1990-06-05 |
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