JPH079407Y2 - レーザ発振装置 - Google Patents
レーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH079407Y2 JPH079407Y2 JP15323888U JP15323888U JPH079407Y2 JP H079407 Y2 JPH079407 Y2 JP H079407Y2 JP 15323888 U JP15323888 U JP 15323888U JP 15323888 U JP15323888 U JP 15323888U JP H079407 Y2 JPH079407 Y2 JP H079407Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- magnet
- resin
- laser oscillator
- tetrafluoroethylene
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Description
【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本考案は希ガスハライドを充填したレーザ管内でのレー
ザ発振装置に関するものである。
ザ発振装置に関するものである。
「従来の技術」 一般にこの種のレーザ発振装置は第４図に示すように、
レーザ管（１）内に、１対の細長い主電極（２）（３）
と、その両側の数10対の予備電離電極（４）（５），
（６）（７）を有し、内部に希ガス（Ａγ,Kγ,Xe），
ハロゲンガス（F2,Hcl）とバッファガス（He,Ne）の混
合ガスを２〜３気圧充填してファン（11）で循環しつ
つ、予備電離電極（４）（５），（６）（７）間での放
電で紫外線予備電離し、ついで主電極（２）（３）間で
の高電圧放電（均一なグロー放電）により希ガス原子と
ハロゲン原子を励起させた状態で結合させる。放電回路
は、コンデンサ（８）に充電されたエネルギーを、サイ
ラトロンなどのスイッチ（14）により、数10対のキーピ
ングコンデンサ（９）（10）に予備電離電極（４）
（５）、（６）（７）を通して充電し、主放電電極
（２）（３）間がブレークダウン電圧に達すると主放電
電極（２）（３）間で放電が始まり、レーザ発振をし、
主電極（２）（３）と同軸方向のレーザ管（１）の両端
のレーザ透過窓（21）（22）から出力する。
レーザ管（１）内に、１対の細長い主電極（２）（３）
と、その両側の数10対の予備電離電極（４）（５），
（６）（７）を有し、内部に希ガス（Ａγ,Kγ,Xe），
ハロゲンガス（F2,Hcl）とバッファガス（He,Ne）の混
合ガスを２〜３気圧充填してファン（11）で循環しつ
つ、予備電離電極（４）（５），（６）（７）間での放
電で紫外線予備電離し、ついで主電極（２）（３）間で
の高電圧放電（均一なグロー放電）により希ガス原子と
ハロゲン原子を励起させた状態で結合させる。放電回路
は、コンデンサ（８）に充電されたエネルギーを、サイ
ラトロンなどのスイッチ（14）により、数10対のキーピ
ングコンデンサ（９）（10）に予備電離電極（４）
（５）、（６）（７）を通して充電し、主放電電極
（２）（３）間がブレークダウン電圧に達すると主放電
電極（２）（３）間で放電が始まり、レーザ発振をし、
主電極（２）（３）と同軸方向のレーザ管（１）の両端
のレーザ透過窓（21）（22）から出力する。
なお、（12）は熱交換器、（13）はコイルである。
しかるに、希ガスハライドレーザ装置において、レーザ
管（１）のレーザ透過窓（21）（22）を清浄に保つこと
がレーザを長期間にわたって安定して発振させるために
重要である。
管（１）のレーザ透過窓（21）（22）を清浄に保つこと
がレーザを長期間にわたって安定して発振させるために
重要である。
しかし、レーザ媒質ガスの一部をなすハロゲンガスは反
応性が極めて強いためにレーザ管（１）内の構成材料と
反応しやすい。これを極力抑えるために従来は金属材料
としての１対の主電極（２）（３）や数10対の予備電離
電極（４）（５）、（６）（７）をハロゲンガスに安定
なニッケル単体を用いるか、他金属からなるときはその
表面にニッケルめっきして用いられていた。
応性が極めて強いためにレーザ管（１）内の構成材料と
反応しやすい。これを極力抑えるために従来は金属材料
としての１対の主電極（２）（３）や数10対の予備電離
電極（４）（５）、（６）（７）をハロゲンガスに安定
なニッケル単体を用いるか、他金属からなるときはその
表面にニッケルめっきして用いられていた。
「考案が解決しようとする課題」 特に希ガスハライドレーザ媒質ガス中で放電が行なわれ
るためレーザ管（１）内に収納されている１対の主電極
（２）（３）と、数10対の予備電離電極（４）（５）、
（６）（７）は放電によるイオンや電子衝撃を受けるた
めに負荷が大きくニッケル材料を用いたとしても、放電
回数と共に経時変化を起こし消耗飛散する。
るためレーザ管（１）内に収納されている１対の主電極
（２）（３）と、数10対の予備電離電極（４）（５）、
（６）（７）は放電によるイオンや電子衝撃を受けるた
めに負荷が大きくニッケル材料を用いたとしても、放電
回数と共に経時変化を起こし消耗飛散する。
このようにして生成した金属微粒子はレーザ管（１）内
で浮遊しレーザ管（１）のレーザ透過窓（21）（22）の
部分に付着してレーザ光出力の低下を生じたり、レーザ
管（１）内のコンデンサ（９）（10）部に付着しコンデ
ンサ（９）（10）の耐絶縁性の低下をまねいていた。
で浮遊しレーザ管（１）のレーザ透過窓（21）（22）の
部分に付着してレーザ光出力の低下を生じたり、レーザ
管（１）内のコンデンサ（９）（10）部に付着しコンデ
ンサ（９）（10）の耐絶縁性の低下をまねいていた。
本考案は、飛散する金属微粒子を捕捉してレーザ透過窓
の汚れを防止するようなものを得ることを目的とするも
のである。
の汚れを防止するようなものを得ることを目的とするも
のである。
「課題を解決するための手段」 本考案は希ガスとハロゲンガスを充填したレーザ管内
で、予備電離電極により放電して紫外線予備電離し、つ
いで主電極間でグロー放電してレーザ透過窓からレーザ
発振をするようにしたものにおいて、前記予備電離電極
と主電極との一部または全部をニッケルで構成し、前記
レーザ管内に、磁性金属粒子を捕捉するための磁石を具
備せしめてなるものである。この磁石として棒状フェラ
イト磁石を、主電極と略平行状態に設置するか、または
／およびレーザ透過窓に臨ませてリング状磁石を設置す
る。
で、予備電離電極により放電して紫外線予備電離し、つ
いで主電極間でグロー放電してレーザ透過窓からレーザ
発振をするようにしたものにおいて、前記予備電離電極
と主電極との一部または全部をニッケルで構成し、前記
レーザ管内に、磁性金属粒子を捕捉するための磁石を具
備せしめてなるものである。この磁石として棒状フェラ
イト磁石を、主電極と略平行状態に設置するか、または
／およびレーザ透過窓に臨ませてリング状磁石を設置す
る。
「作用」 レーザ管内に棒状磁石を設置すると、レーザ媒質ガスが
ファンで循環している間に、飛散する磁性体の微粒子が
磁石に付着する。また、リング状磁石を設置すると、レ
ーザ透過窓の付近を飛散している磁性金属微粒子を捕捉
してレーザ透過窓への付着を防止する。
ファンで循環している間に、飛散する磁性体の微粒子が
磁石に付着する。また、リング状磁石を設置すると、レ
ーザ透過窓の付近を飛散している磁性金属微粒子を捕捉
してレーザ透過窓への付着を防止する。
「実施例」 以下、本考案の一実施例を図面に基づき説明する。
第１図において、（１）はレーザ管で、このレーザ管
（１）の両端には透明ガラスで密閉されたレーザ透過窓
（21）（22）が形成されている。また、レーザ管（１）
内には、レーザ透過窓（21）（22）を結ぶ線上に、細長
い１対の主電極（２）（３）が設けられるとともに、こ
の主電極（２）（３）の両側に、数10対の予備電離電極
（４）（５）、（６）（７）が設けられている。これら
主電極（２）（３）と予備電離電極（４）（５）、
（６）（７）はハロゲンガスに安定なニッケル単体か、
他金属からなるときはその表面にニッケルめっきして構
成されている。また、このレーザ管（１）内には主電極
（２）（３）と略平行に棒状磁石（23）が設置される。
この棒状磁石（23）の全外面にはハロゲンガスと反応し
ないフッ素樹脂（24）を被覆する。
（１）の両端には透明ガラスで密閉されたレーザ透過窓
（21）（22）が形成されている。また、レーザ管（１）
内には、レーザ透過窓（21）（22）を結ぶ線上に、細長
い１対の主電極（２）（３）が設けられるとともに、こ
の主電極（２）（３）の両側に、数10対の予備電離電極
（４）（５）、（６）（７）が設けられている。これら
主電極（２）（３）と予備電離電極（４）（５）、
（６）（７）はハロゲンガスに安定なニッケル単体か、
他金属からなるときはその表面にニッケルめっきして構
成されている。また、このレーザ管（１）内には主電極
（２）（３）と略平行に棒状磁石（23）が設置される。
この棒状磁石（23）の全外面にはハロゲンガスと反応し
ないフッ素樹脂（24）を被覆する。
また、前記棒状磁石（23）に代えて、または、棒状磁石
（23）の他にさらにリング状磁石（25）を形成し、前記
レーザ透過窓（21）（22）の内側に、レーザ出力の邪魔
にならないように設置する。このリング状磁石（25）に
も前記同様フッ素樹脂（24）を被覆する。
（23）の他にさらにリング状磁石（25）を形成し、前記
レーザ透過窓（21）（22）の内側に、レーザ出力の邪魔
にならないように設置する。このリング状磁石（25）に
も前記同様フッ素樹脂（24）を被覆する。
なお、レーザ管（１）内の他の構成、放電回路は第４図
と同様である。
と同様である。
前記フッ素樹脂（24）として具体的にはつぎの樹脂が用
いられる。
いられる。
４フッ化エチレン樹脂（PTFE）， ６フッ化ポリプロピレン樹脂（FEP）， ４フッ化エチレン−パーフロロアルキル ビニルエーテル共重合樹脂（PFA）， ４フッ化エチレン・エチレン共重合樹脂 （ETFE）， またはポリフッ化ビニリデン樹脂（PVDF）。
前記実施例では棒状磁石（23）とリング状磁石（25）を
フッ素樹脂（24）で被覆した場合を説明したが、これに
限られるものではなく、ハロゲンガスに安定なニッケル
を10μｍ程度の厚さにめっきしてもよい。
フッ素樹脂（24）で被覆した場合を説明したが、これに
限られるものではなく、ハロゲンガスに安定なニッケル
を10μｍ程度の厚さにめっきしてもよい。
「考案の効果」 本考案は上述のように、レーザ管内に磁石を設置したの
で、レーザ管内に生成されて飛散しているニッケルの微
粒子が磁石により捕捉され、レーザ透過窓の汚れやレー
ザ管内のコンデンサの絶縁破壊を長期にわたって防止で
きる。
で、レーザ管内に生成されて飛散しているニッケルの微
粒子が磁石により捕捉され、レーザ透過窓の汚れやレー
ザ管内のコンデンサの絶縁破壊を長期にわたって防止で
きる。
第１図は本考案によるレーザ発振装置の一部切欠いた正
面図、第２図は棒状磁石の一部切欠いた正面図、第３図
はリング状磁石の断面図、第４図はレーザ発振装置の説
明図である。 （１）……レーザ管、（２）（３）……主電極、（４）
（５）（６）（７）……予備電離電極、（８）（９）
（10）……コンデンサ、（11）……ファン、（12）……
熱交換器、（13）……コイル、（14）……スイッチ、
（21）（22）……レーザ透過窓、（23）……棒状磁石、
（24）……フッ素樹脂、（25）……リング状磁石。
面図、第２図は棒状磁石の一部切欠いた正面図、第３図
はリング状磁石の断面図、第４図はレーザ発振装置の説
明図である。 （１）……レーザ管、（２）（３）……主電極、（４）
（５）（６）（７）……予備電離電極、（８）（９）
（10）……コンデンサ、（11）……ファン、（12）……
熱交換器、（13）……コイル、（14）……スイッチ、
（21）（22）……レーザ透過窓、（23）……棒状磁石、
（24）……フッ素樹脂、（25）……リング状磁石。
Claims (6)
- 【請求項１】希ガスとハロゲンガスを充填したレーザ管
内で、予備電離電極により放電して紫外線予備電離し、
ついで主電極間でグロー放電してレーザ透過窓からレー
ザ発振をするようにしたものにおいて、前記予備電離電
極と主電極との一部または全部をニッケルで構成し、前
記レーザ管内に、磁性金属粒子を捕捉するための磁石を
具備せしめてなることを特徴とするレーザ発振装置。 - 【請求項２】磁石は棒状フェライト磁石からなり、主電
極と略平行に設置してなる請求項（１）記載のレーザ発
振装置。 - 【請求項３】磁石はリング状フェライト磁石からなり、
レーザ透過窓の外周に臨ませて設置してなる請求項
（１）記載のレーザ発振装置。 - 【請求項４】磁石はフッ素樹脂で被覆してなる請求項
（１）、（２）または（３）記載のレーザ発振装置。 - 【請求項５】フッ素樹脂は ４フッ化エチレン樹脂（PTFE）， ６フッ化ポリプロピレン樹脂（FEP）， ４フッ化エチレン−パーフロロアルキル ビニルエーテル共重合樹脂（PFA）， ４フッ化エチレン・エチレン共重合樹脂 （ETFE）， またはポリフッ化ビニリデン樹脂（PVDF） からなる請求項（４）記載のレーザ発振装置。
- 【請求項６】磁石はニッケルでめっきしてなる請求項
（１）、（２）または（３）記載のレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15323888U JPH079407Y2 (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 | レーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15323888U JPH079407Y2 (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 | レーザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0273753U JPH0273753U (ja) | 1990-06-05 |
| JPH079407Y2 true JPH079407Y2 (ja) | 1995-03-06 |
Family
ID=31428896
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15323888U Expired - Lifetime JPH079407Y2 (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 | レーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH079407Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5605277B2 (ja) * | 2011-03-11 | 2014-10-15 | 株式会社島津製作所 | レーザ装置 |
-
1988
- 1988-11-25 JP JP15323888U patent/JPH079407Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0273753U (ja) | 1990-06-05 |
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