JPH079496B2 - 光導波路デバイスの形成方法 - Google Patents
光導波路デバイスの形成方法Info
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- JPH079496B2 JPH079496B2 JP61165723A JP16572386A JPH079496B2 JP H079496 B2 JPH079496 B2 JP H079496B2 JP 61165723 A JP61165723 A JP 61165723A JP 16572386 A JP16572386 A JP 16572386A JP H079496 B2 JPH079496 B2 JP H079496B2
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- optical waveguide
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- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
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Description
【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 光学素子と光導波路との接続は間にレンズを介在せしめ
たり、数10μｍ以下に加工した光学素子を光導波路の隙
間に挿入することにより行われる。この場合前者では光
学基板上にそれ等の光学素子とレンズを組込む作業は極
めて困難であり、後者では光学素子を薄く加工すること
が困難で損失が大きい。そこで光導波路を形成する際に
レンズも同時に形成せしめ、それ等の光学素子と光導波
路の接続を簡略化したものである。
たり、数10μｍ以下に加工した光学素子を光導波路の隙
間に挿入することにより行われる。この場合前者では光
学基板上にそれ等の光学素子とレンズを組込む作業は極
めて困難であり、後者では光学素子を薄く加工すること
が困難で損失が大きい。そこで光導波路を形成する際に
レンズも同時に形成せしめ、それ等の光学素子と光導波
路の接続を簡略化したものである。
本発明は光通信システムを構成するデバイスに係り、特
に光学素子との接続を簡略化できる光導波路デバイスの
形成方法に関する。
に光学素子との接続を簡略化できる光導波路デバイスの
形成方法に関する。
光を用いた通信システムは情報化社会における最適の通
信システムとして広い分野に普及しつつある。しかしこ
れまでに提供されていた光デバイスは高い精度や信頼性
が要求され量産化できないものが多く、光を用いた通信
システムの低価格化を阻害する原因になっている。
信システムとして広い分野に普及しつつある。しかしこ
れまでに提供されていた光デバイスは高い精度や信頼性
が要求され量産化できないものが多く、光を用いた通信
システムの低価格化を阻害する原因になっている。
そこで通信システムの低価格化を実現するための手段と
して、高い精度や信頼性を維持しながら量産化できるよ
うに部品や装置の形態を改良すると共に、それを量産化
するための製造技術の開発が望まれている。
して、高い精度や信頼性を維持しながら量産化できるよ
うに部品や装置の形態を改良すると共に、それを量産化
するための製造技術の開発が望まれている。
第５図は従来の光導波路と光ファイバの接続を示す側断
面図、第６図は従来の個別光素子による光分波器の構成
を示す平面図である。
面図、第６図は従来の個別光素子による光分波器の構成
を示す平面図である。
第５図において光ファイバ１はクラッド層11およびコア
層12からなり、一方光導波路デバイス２は光学基板21と
クラッド層22およびコア層23からなる光導波路24とで形
成されている。この両者は従来同図（ａ）または（ｂ）
に示す方法で接続されていた。
層12からなり、一方光導波路デバイス２は光学基板21と
クラッド層22およびコア層23からなる光導波路24とで形
成されている。この両者は従来同図（ａ）または（ｂ）
に示す方法で接続されていた。
第５図（ａ）は光ファイバ１と光導波路デバイス２とを
直接接続する方法で、光導波路24の端面に光ファイバ１
の端面を当接せしめた後例えば樹脂31等によって接着し
ている。また第５図（ｂ）は光ファイバ１と光導波路デ
バイス２とをレンズ32を介して接続する方法で、光導波
路24の端面にレンズ32を当接せしめた後例えば樹脂31等
によって接着し、これを光ファイバ１の端面と対向せし
めて基板３に固定することによって接続している。
直接接続する方法で、光導波路24の端面に光ファイバ１
の端面を当接せしめた後例えば樹脂31等によって接着し
ている。また第５図（ｂ）は光ファイバ１と光導波路デ
バイス２とをレンズ32を介して接続する方法で、光導波
路24の端面にレンズ32を当接せしめた後例えば樹脂31等
によって接着し、これを光ファイバ１の端面と対向せし
めて基板３に固定することによって接続している。
また従来の個別光素子による光分波器は第６図に示す如
く、基板４上に配置された複数個の光ファイバ１と光フ
ァイバ１に対応して設けられたレンズ42と、それぞれ対
になる光ファイバ１の間に設置された干渉フィルタ43か
らなり、図示のごとく１個の光ファイバ１を伝播してき
たλ１とλ２の二つの波長を有する光は、干渉フィルタ
43によって波長λ１の光と波長λ２の光とに分波され、
分波された光はそれぞれ別の光ファイバ１を経由して伝
播される。
く、基板４上に配置された複数個の光ファイバ１と光フ
ァイバ１に対応して設けられたレンズ42と、それぞれ対
になる光ファイバ１の間に設置された干渉フィルタ43か
らなり、図示のごとく１個の光ファイバ１を伝播してき
たλ１とλ２の二つの波長を有する光は、干渉フィルタ
43によって波長λ１の光と波長λ２の光とに分波され、
分波された光はそれぞれ別の光ファイバ１を経由して伝
播される。
従来の光導波路はその端面に光ファイバを直接当接させ
る場合であっても、またレンズを介して光ファイバやそ
の他の光学素子と接続する場合であっても、光の損失を
少なくするためにその端面は必ず鏡面状に研摩しなけれ
ばならない。しかし光学基板上に形成された光導波路を
途中で切断しその端面を鏡面研摩するすることは極めて
難しい。したがって光導波路デバイスを光ファイバやそ
の他の光学素子と共に、別の基板状に配置しその間に別
に形成したレンズを装着する必要が生じる。
る場合であっても、またレンズを介して光ファイバやそ
の他の光学素子と接続する場合であっても、光の損失を
少なくするためにその端面は必ず鏡面状に研摩しなけれ
ばならない。しかし光学基板上に形成された光導波路を
途中で切断しその端面を鏡面研摩するすることは極めて
難しい。したがって光導波路デバイスを光ファイバやそ
の他の光学素子と共に、別の基板状に配置しその間に別
に形成したレンズを装着する必要が生じる。
その結果従来の光導波路デバイスと光ファイバやその他
の光学素子からなる光デバイスの形成は、高精度な位置
合わせや光軸合わせが多くなり組立てが困難であると共
に高価になるという問題があった。
の光学素子からなる光デバイスの形成は、高精度な位置
合わせや光軸合わせが多くなり組立てが困難であると共
に高価になるという問題があった。
上記目的を達成するために本発明は、第１図に例示した
ように、光学素子に光結合する、光学基板６と光学基板
６の上に形成された光導波路７とからなる光導波路デバ
イスの形成方法において、 光学基板６を光導波路７と異なる光学材料で形成するこ
とにより、エッチング手法により光導波路７の先端部を
光学基板６から突出せしめる。
ように、光学素子に光結合する、光学基板６と光学基板
６の上に形成された光導波路７とからなる光導波路デバ
イスの形成方法において、 光学基板６を光導波路７と異なる光学材料で形成するこ
とにより、エッチング手法により光導波路７の先端部を
光学基板６から突出せしめる。
次に、光学基板６から突出した光導波路７の先端部を覆
うように、CVD法により光学膜８を形成し、光導波路７
の端面に光学膜８からなるレンズ81を設ける構成とす
る。
うように、CVD法により光学膜８を形成し、光導波路７
の端面に光学膜８からなるレンズ81を設ける構成とす
る。
本発明によれば、光学基板から突出した光導波路の先端
部に、CVD法により光導波路の表面に光学膜を形成する
と、光導波路の先端部が光学基板から突出しているの
で、光導波路の端面には凸レンズ状に光学膜が被着す
る。即ち光導波路の端面にレンズが形成される。
部に、CVD法により光導波路の表面に光学膜を形成する
と、光導波路の先端部が光学基板から突出しているの
で、光導波路の端面には凸レンズ状に光学膜が被着す
る。即ち光導波路の端面にレンズが形成される。
したがって、従来の光導波路デバイスでは不可欠な作業
であった光導波路の端面を鏡面状に研摩する作業が不要
になる。また同一光学基板上に光導波路とレンズを同時
に形成することが可能になり、従来の光導波路デバイス
では別に形成し光導波路に対応させて装着していたレン
ズが不要になる。そして光導波路とレンズを同時に形成
した光学基板上に、光ファイバやその他の光学素子を装
着することが可能になり、光導波路と光ファイバやその
他の光学素子との接続が簡略化されて、高精度な位置合
わせや光軸合わせを低減することができる。
であった光導波路の端面を鏡面状に研摩する作業が不要
になる。また同一光学基板上に光導波路とレンズを同時
に形成することが可能になり、従来の光導波路デバイス
では別に形成し光導波路に対応させて装着していたレン
ズが不要になる。そして光導波路とレンズを同時に形成
した光学基板上に、光ファイバやその他の光学素子を装
着することが可能になり、光導波路と光ファイバやその
他の光学素子との接続が簡略化されて、高精度な位置合
わせや光軸合わせを低減することができる。
以下添付図により本発明の実施例について説明する。第
２図乃至第４図は本発明になる光導波路デバイスの応用
例を示す図で、第２図は光導波路デバイスと光ファイバ
の接続を示す側断面図、第３図は光導波路デバイスによ
る光分波器の構成を示す平面図、第４図は光導波路デバ
イスと光学素子との接続を示す側断面図である。なお全
図を通し同じ対象物は同一記号で表している。
２図乃至第４図は本発明になる光導波路デバイスの応用
例を示す図で、第２図は光導波路デバイスと光ファイバ
の接続を示す側断面図、第３図は光導波路デバイスによ
る光分波器の構成を示す平面図、第４図は光導波路デバ
イスと光学素子との接続を示す側断面図である。なお全
図を通し同じ対象物は同一記号で表している。
第１図（ａ）においてクラッド層71およびコア層72から
なる光導波路７と、その光導波路７を支持する光学基板
６とは異なる光学材料で形成されており、ドライエッチ
ングやケミカルエッチング等のエッチング手法により、
光導波路７の蔭になる光学基板６の一部までエッチング
することができる。その結果光導波路７の先端部が光学
基板６から突出する。
なる光導波路７と、その光導波路７を支持する光学基板
６とは異なる光学材料で形成されており、ドライエッチ
ングやケミカルエッチング等のエッチング手法により、
光導波路７の蔭になる光学基板６の一部までエッチング
することができる。その結果光導波路７の先端部が光学
基板６から突出する。
第１図（ｂ）に示す如くその上にCVD法等によってSiやS
iO2等の光学膜８を被着させると、光学膜８は光導波路
７の先端部に回り込み光導波路７の端面を覆う。この光
導波路７の端面を覆う光学膜８は端面における疵の部分
にまず充填されるため、光学膜８の被着に先立って端面
を鏡面状に研摩する必要はない。なお光導波路７の上に
光学膜８を被着させるため、光学膜８とコア層72との間
に形成したクラッド層71は省略或は薄くすることが可能
である。
iO2等の光学膜８を被着させると、光学膜８は光導波路
７の先端部に回り込み光導波路７の端面を覆う。この光
導波路７の端面を覆う光学膜８は端面における疵の部分
にまず充填されるため、光学膜８の被着に先立って端面
を鏡面状に研摩する必要はない。なお光導波路７の上に
光学膜８を被着させるため、光学膜８とコア層72との間
に形成したクラッド層71は省略或は薄くすることが可能
である。
光導波路７の端面を覆う光学膜８が更に厚くなると光導
波路７の端面にレンズ81を形成する。因にこのレンズ81
の曲率半径ひいてはレンズ81の焦点距離は、光導波路７
の端面の面積と光導波路７の端面に披着させる光学膜８
の厚さを変えることにより制御できる。
波路７の端面にレンズ81を形成する。因にこのレンズ81
の曲率半径ひいてはレンズ81の焦点距離は、光導波路７
の端面の面積と光導波路７の端面に披着させる光学膜８
の厚さを変えることにより制御できる。
かかる光導波路デバイスと光ファイバとの接続は第２図
に示す如く、光導波路７を形成した光学基板６に光ファ
イバ１を装着することによって、光導波路７のコア層72
と光ファイバ１のコア層12がレンズ81を介して接続され
る。このようにレンズ81を介して接続することによって
位置合わせや光軸合わせが容易になり、光導波路７と光
ファイバ１との接続が簡略される。
に示す如く、光導波路７を形成した光学基板６に光ファ
イバ１を装着することによって、光導波路７のコア層72
と光ファイバ１のコア層12がレンズ81を介して接続され
る。このようにレンズ81を介して接続することによって
位置合わせや光軸合わせが容易になり、光導波路７と光
ファイバ１との接続が簡略される。
また本発明になる光導波路デバイスによる光分波器は第
３図に示す如く、複数個の光導波路７は同一光学基板６
に同時に形成され、それぞれの光導波路７が端面にレン
ズ81を具えていれため、光導波路７を形成した光学基板
６に干渉フィルタ43を設置し、光導波路７と干渉フィル
タ43の位置合わせを行うだけで容易に形成することがで
きる。
３図に示す如く、複数個の光導波路７は同一光学基板６
に同時に形成され、それぞれの光導波路７が端面にレン
ズ81を具えていれため、光導波路７を形成した光学基板
６に干渉フィルタ43を設置し、光導波路７と干渉フィル
タ43の位置合わせを行うだけで容易に形成することがで
きる。
更に本発明になる光導波路デバイスと光学素子との接続
は第７図に示す如く、端面にレンズ81を具えた光導波路
７とリレーレンズ82、83が同一光学基板６に同時に形成
されているため、光導波路７を形成した光学基板６に光
学素子51を装着することによって、光導波路７と光学素
子51とを容易に接続することができる。
は第７図に示す如く、端面にレンズ81を具えた光導波路
７とリレーレンズ82、83が同一光学基板６に同時に形成
されているため、光導波路７を形成した光学基板６に光
学素子51を装着することによって、光導波路７と光学素
子51とを容易に接続することができる。
このように本発明になる光導波路デバイスの形成方法に
よって、光導波路とレンズを同時に形成した光学基板上
に、光ファイバやその他の光学素子装着することが可能
になり、光導波路と光ファイバやその他の光学素子との
接続が簡略化されて、高精度な位置合わせや光軸合わせ
を低減することができる。
よって、光導波路とレンズを同時に形成した光学基板上
に、光ファイバやその他の光学素子装着することが可能
になり、光導波路と光ファイバやその他の光学素子との
接続が簡略化されて、高精度な位置合わせや光軸合わせ
を低減することができる。
上述の如く本発明によれば光学素子との接続を簡略化で
きる、光導波路デバイスの形式方法を提供することがで
きる。
きる、光導波路デバイスの形式方法を提供することがで
きる。
第１図は本発明になる光導波路デバイスの形成方法を示
す側断面図、 第２図は光導波路デバイスと光ファイバの接続を示す側
断面図、 第３図は光導波路デバイスによる光分波器の構成を示す
平面図、 第４図は光導波路デバイスと光学素子との接続を示す側
断面図、 第５図は従来の光導波路と光ファイバの接続を示す側断
面図、 第６図は従来の個別光素子による光分波器の構成を示す
平面図、 である。図において １は光ファイバ、６は光学基板、 ７は光導波路、８は光学膜、 11はクラッド層、12はコア層、 43は干渉フィルタ、51は光学素子、 71はクラッド層、72はコア層、 81はレンズ、82、83はリレーレンズ、 をそれぞれ表す。
す側断面図、 第２図は光導波路デバイスと光ファイバの接続を示す側
断面図、 第３図は光導波路デバイスによる光分波器の構成を示す
平面図、 第４図は光導波路デバイスと光学素子との接続を示す側
断面図、 第５図は従来の光導波路と光ファイバの接続を示す側断
面図、 第６図は従来の個別光素子による光分波器の構成を示す
平面図、 である。図において １は光ファイバ、６は光学基板、 ７は光導波路、８は光学膜、 11はクラッド層、12はコア層、 43は干渉フィルタ、51は光学素子、 71はクラッド層、72はコア層、 81はレンズ、82、83はリレーレンズ、 をそれぞれ表す。
Claims (1)
- 【請求項１】光学素子に光結合する、光学基板（６）と
該光学基板（６）上に形成された光導波路（７）とから
なる光導波路デバイスの形成方法において、 該光学基板（６）を該光導波路（７）と異なる光学材料
で形成することにより、エッチング手法により該光導波
路（７）の先端部を該光学基板（６）から突出せしめ、 該光学基板（６）から突出した該光導波路（７）の先端
部を覆うように、CVD法により光学膜（８）を形成し、
該光導波路（７）の端面に該光学膜（８）からなるレン
ズ（81）を設けることを特徴とする光導波路デバイスの
形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61165723A JPH079496B2 (ja) | 1986-07-15 | 1986-07-15 | 光導波路デバイスの形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61165723A JPH079496B2 (ja) | 1986-07-15 | 1986-07-15 | 光導波路デバイスの形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6321610A JPS6321610A (ja) | 1988-01-29 |
| JPH079496B2 true JPH079496B2 (ja) | 1995-02-01 |
Family
ID=15817847
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61165723A Expired - Lifetime JPH079496B2 (ja) | 1986-07-15 | 1986-07-15 | 光導波路デバイスの形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH079496B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20220057580A1 (en) * | 2019-04-15 | 2022-02-24 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Optical Connecting Structure |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4904249B2 (ja) * | 2007-11-15 | 2012-03-28 | 日東電工株式会社 | タッチパネル用光導波路およびそれを用いたタッチパネル |
| JP5063510B2 (ja) | 2008-07-01 | 2012-10-31 | 日東電工株式会社 | 光学式タッチパネルおよびその製造方法 |
| JP4891952B2 (ja) * | 2008-07-03 | 2012-03-07 | 日東電工株式会社 | タッチパネル用光導波路およびそれを用いたタッチパネル |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4874242A (ja) * | 1971-12-29 | 1973-10-06 | ||
| JPS6111708A (ja) * | 1984-06-28 | 1986-01-20 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 端面レンズ付チヤネル光導波路およびその製造方法 |
-
1986
- 1986-07-15 JP JP61165723A patent/JPH079496B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20220057580A1 (en) * | 2019-04-15 | 2022-02-24 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Optical Connecting Structure |
| US11934011B2 (en) * | 2019-04-15 | 2024-03-19 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Optical connecting structure |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6321610A (ja) | 1988-01-29 |
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