JPH0795377B2 - 光熱磁気記録媒体 - Google Patents
光熱磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH0795377B2 JPH0795377B2 JP11977787A JP11977787A JPH0795377B2 JP H0795377 B2 JPH0795377 B2 JP H0795377B2 JP 11977787 A JP11977787 A JP 11977787A JP 11977787 A JP11977787 A JP 11977787A JP H0795377 B2 JPH0795377 B2 JP H0795377B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- film
- composition
- magneto
- magnetic recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、例えば光磁気メモリ、磁気記録、表示素子
などに用いられる光熱磁気記録媒体に関する。
などに用いられる光熱磁気記録媒体に関する。
従来、光熱磁気記録媒体としては、MnBi、MnCuBiなどの
多結晶体薄膜、GdCo、GdFe、TbFe、DyFe、GdTbFe、TbDy
Feなどの非晶質薄膜、GIGなどの単結晶薄膜などが知ら
れている。これらの薄膜のうち、大面積の薄膜を室温近
傍の温度で製作する製膜性、信号を小さな光熱エネルギ
ーで書込むための書込み効率、書込まれた信号をSN比よ
く読出すための読出し効率などの点から、最近では上記
の非晶質薄膜が優れていると考えられている。
多結晶体薄膜、GdCo、GdFe、TbFe、DyFe、GdTbFe、TbDy
Feなどの非晶質薄膜、GIGなどの単結晶薄膜などが知ら
れている。これらの薄膜のうち、大面積の薄膜を室温近
傍の温度で製作する製膜性、信号を小さな光熱エネルギ
ーで書込むための書込み効率、書込まれた信号をSN比よ
く読出すための読出し効率などの点から、最近では上記
の非晶質薄膜が優れていると考えられている。
しかしながら、これらの非晶質薄膜においても種々の欠
点が指摘されている。例えば、GdFeは保磁力が小さく、
記録された情報が不安定である。また、GdFe、GdCoは磁
気的補償点を利用した書込みを行なつており、書込み効
率を均一にするために、製膜の際、膜組成を厳しく管理
しなければならないという問題点がある。また、TbFe、
DyFe、TbDyFeはキユリー点書込みのため、膜組成をそれ
ほど激しく管理する必要はないが、キユリー点が100℃
前後と低いために、信号を読出す時にパワーの強い光を
用いることができないという問題点がある。キユリー温
度は低ければ書込み効率は向上するが、書込まれた信号
が、周囲の温度とか読出し光により乱されてしまう。従
つてキユリー温度は、書込み可能であれば高い程よく、
実用上の状態を考慮すれば200℃前後が望ましい。
点が指摘されている。例えば、GdFeは保磁力が小さく、
記録された情報が不安定である。また、GdFe、GdCoは磁
気的補償点を利用した書込みを行なつており、書込み効
率を均一にするために、製膜の際、膜組成を厳しく管理
しなければならないという問題点がある。また、TbFe、
DyFe、TbDyFeはキユリー点書込みのため、膜組成をそれ
ほど激しく管理する必要はないが、キユリー点が100℃
前後と低いために、信号を読出す時にパワーの強い光を
用いることができないという問題点がある。キユリー温
度は低ければ書込み効率は向上するが、書込まれた信号
が、周囲の温度とか読出し光により乱されてしまう。従
つてキユリー温度は、書込み可能であれば高い程よく、
実用上の状態を考慮すれば200℃前後が望ましい。
また、反射光による読出しSN比は、反射率をＲカー回転
角をθｋとすると、√θｋに比例する。従つて、SN比
よく読出すためには、カー回転角を大きくすればよい。
そのため、TbFeCo、DyFeCoといつたCoを添加したもの
が、例えば特開昭58−73746号公報に報告されている。
角をθｋとすると、√θｋに比例する。従つて、SN比
よく読出すためには、カー回転角を大きくすればよい。
そのため、TbFeCo、DyFeCoといつたCoを添加したもの
が、例えば特開昭58−73746号公報に報告されている。
TbFeCo膜は、キユリー温度が200℃前後で望ましく、カ
ー回転角も大きく、SN比よく読み出すことができる。し
かしこのTbFeCo膜においてもカー回転角、キユリー温度
は組成に依存しており、最大のカー回転角を得るために
はTb量は少ない方がよい。しかしTb量が少ない場合、飽
和磁化（Ms）の温度依存性のためＮ（ノイズ）レベルが
上昇し、SN比が低下するという欠点がある。そのためTb
量が22〜35at％程度のTbFeCo膜が適当であつた。又Co量
を多くしていくにつれカー回転角は大きくなるが、キユ
リー温度が上昇し、書き込みに大きなエネルギーを必要
とする欠点がある。
ー回転角も大きく、SN比よく読み出すことができる。し
かしこのTbFeCo膜においてもカー回転角、キユリー温度
は組成に依存しており、最大のカー回転角を得るために
はTb量は少ない方がよい。しかしTb量が少ない場合、飽
和磁化（Ms）の温度依存性のためＮ（ノイズ）レベルが
上昇し、SN比が低下するという欠点がある。そのためTb
量が22〜35at％程度のTbFeCo膜が適当であつた。又Co量
を多くしていくにつれカー回転角は大きくなるが、キユ
リー温度が上昇し、書き込みに大きなエネルギーを必要
とする欠点がある。
この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、得られる最大のカー回転角を有効に利用して効率
よく光再生出力をとり出し得る光熱磁気記録媒体を提供
するものである。
ので、得られる最大のカー回転角を有効に利用して効率
よく光再生出力をとり出し得る光熱磁気記録媒体を提供
するものである。
この発明の光熱磁気記録媒体は、膜面に垂直方向に磁化
容易軸を有し、一般式Tbx（Fe1-yCoy）1-xで示されるTb
−Fe−Co三元系非晶質磁性合金層を基板に設けるものに
おいて、上記磁性層を、0.18ｘ0.33,0.12＜ｙ＜0.3
0の範囲で、光の入射面から順次ｘが増加し、ｙが減少
するように積層したものである。
容易軸を有し、一般式Tbx（Fe1-yCoy）1-xで示されるTb
−Fe−Co三元系非晶質磁性合金層を基板に設けるものに
おいて、上記磁性層を、0.18ｘ0.33,0.12＜ｙ＜0.3
0の範囲で、光の入射面から順次ｘが増加し、ｙが減少
するように積層したものである。
この発明における光熱磁気記録媒体は、膜の深さ方向に
組成を順次変化させたことにより、光が入射する面にTb
量が少なくCo量が多くなり、得られる最大のカー回転角
を有する膜が存在し、大きなシグナルレベルが得られ
る。また、膜の底面ではTb量が多く、Co量が少なくなる
ので、ノイズレベルの上昇をおさえることができる。そ
のため、書きこみ感度もよく、効率よく光再生出力をと
り出し得ることができるようになる。
組成を順次変化させたことにより、光が入射する面にTb
量が少なくCo量が多くなり、得られる最大のカー回転角
を有する膜が存在し、大きなシグナルレベルが得られ
る。また、膜の底面ではTb量が多く、Co量が少なくなる
ので、ノイズレベルの上昇をおさえることができる。そ
のため、書きこみ感度もよく、効率よく光再生出力をと
り出し得ることができるようになる。
第１図はこの発明の一実施例の光熱磁気記録媒体の断面
図であり、（１）は基板、（２）は深さ方向に順次組成
を変化させたTb−Fe−co三元系非晶質磁性合金層であ
る。基板（１）としては、プラスチツクス、ガラス、セ
ラミツクス等の非磁性体が材料として用いられる。Tb−
Fe−Co三元系非晶質磁性層（２）はTbx（Fe1-yCoy）1-x
としたときｘが0.18ｘ0.33の範囲で、ｙが0.12＜ｙ
＜0.30の範囲であり基板側から光を入射して記録・再生
を行なう場合は、基板側の膜面から深さ方向に順次ｘが
増加し、ｙが減少している層である。
図であり、（１）は基板、（２）は深さ方向に順次組成
を変化させたTb−Fe−co三元系非晶質磁性合金層であ
る。基板（１）としては、プラスチツクス、ガラス、セ
ラミツクス等の非磁性体が材料として用いられる。Tb−
Fe−Co三元系非晶質磁性層（２）はTbx（Fe1-yCoy）1-x
としたときｘが0.18ｘ0.33の範囲で、ｙが0.12＜ｙ
＜0.30の範囲であり基板側から光を入射して記録・再生
を行なう場合は、基板側の膜面から深さ方向に順次ｘが
増加し、ｙが減少している層である。
この層の作成方法としては、例えばスパツタリング法や
真空蒸着法などがある。スパツタリング法の場合Tb、F
e、Co、それぞれの単一金属ターゲツトに投入する電力
を順次変化させてやることにより、組成を膜厚方向に変
化させる。又、上記磁性合金層を構成する順次組成の変
化する隣接した層間は、交換結合されていると思われ
る。
真空蒸着法などがある。スパツタリング法の場合Tb、F
e、Co、それぞれの単一金属ターゲツトに投入する電力
を順次変化させてやることにより、組成を膜厚方向に変
化させる。又、上記磁性合金層を構成する順次組成の変
化する隣接した層間は、交換結合されていると思われ
る。
以下、この発明を実施例により具体的に説明する。
実施例 基板:1.2mm厚溝付きプラスチツク基板 Tb−Fe−Co三元系非晶質磁性合金層：膜厚 1000Å 基板側の膜面の組成 Tb0.186（Fe0.7Co0.3）0.814 膜の底面の組成 Tb0.33（Fe0.85Co0.15）0.67 上記構成の第１図に示すこの発明の一実施例の光熱磁気
記録媒体を得た。
記録媒体を得た。
第２図は、上記この発明の一実施例の光熱磁気記録媒体
に係わるTb−Fe−Co三元系非晶質磁性層を、オージエ電
子分光分析装置により分析して得られた、光の入射面か
らの膜厚（Å）による各組成元素の変化（at％）を示す
特性図であり、図において、（３）はTb、（４）はFe、
（５）はCoの特性である。
に係わるTb−Fe−Co三元系非晶質磁性層を、オージエ電
子分光分析装置により分析して得られた、光の入射面か
らの膜厚（Å）による各組成元素の変化（at％）を示す
特性図であり、図において、（３）はTb、（４）はFe、
（５）はCoの特性である。
次に、上記この発明の一実施例の光熱磁気記録媒体につ
いて、光再生出力を測定した。デイスクスピードは9.8m
/S、記録周波数1MHzである。膜厚方向に、組成の一定な
TbFeCo三元系非晶質磁性合金層を用いた記録媒体と比較
すると、SN比は5dB大きいことが示された。
いて、光再生出力を測定した。デイスクスピードは9.8m
/S、記録周波数1MHzである。膜厚方向に、組成の一定な
TbFeCo三元系非晶質磁性合金層を用いた記録媒体と比較
すると、SN比は5dB大きいことが示された。
なお、上記実施例ではプラスチツク基板に直接磁性層を
設けたものを示したがプラスチツク基板上にSi3N4膜な
どの誘電体膜を設けた後この発明に係わる膜厚方向に組
成を変化させたものを設け、最後に保護膜を成膜した記
録媒体においても大きなSN比が得られている。
設けたものを示したがプラスチツク基板上にSi3N4膜な
どの誘電体膜を設けた後この発明に係わる膜厚方向に組
成を変化させたものを設け、最後に保護膜を成膜した記
録媒体においても大きなSN比が得られている。
また、実施例においては組成を連続的に変化させたが、
組成の変化をステツプ状（階段状）に変化させても、上
記実施例と同様の効果を奏する。
組成の変化をステツプ状（階段状）に変化させても、上
記実施例と同様の効果を奏する。
第３図は、この発明の他の実施例の光熱磁気記録媒体の
断面図であり、図において、（2a）〜（2j）は磁性層で
あり、Tbx（Fe1-yCoy）1-xとしたとき、（2a）はｘ＝1
8,y＝30、（2b）はｘ＝19.5,y＝28、（2c）はｘ＝21,y
＝26、（2d）はｘ＝22,5,y＝24、（2e）はｘ＝27,y＝2
2、（2f）はｘ＝25.5,y＝20、（2g）はｘ＝27,y＝18、
（2h）はｘ＝28.5,y＝16、（2i）はｘ＝30,y＝14、（2
j）はｘ＝31.5,y＝12である。
断面図であり、図において、（2a）〜（2j）は磁性層で
あり、Tbx（Fe1-yCoy）1-xとしたとき、（2a）はｘ＝1
8,y＝30、（2b）はｘ＝19.5,y＝28、（2c）はｘ＝21,y
＝26、（2d）はｘ＝22,5,y＝24、（2e）はｘ＝27,y＝2
2、（2f）はｘ＝25.5,y＝20、（2g）はｘ＝27,y＝18、
（2h）はｘ＝28.5,y＝16、（2i）はｘ＝30,y＝14、（2
j）はｘ＝31.5,y＝12である。
以上説明したとおり、この発明は、膜面に垂直方向に磁
化容易軸を有し、一般式Tbx（Fe1-yCoy）1-xで示される
TbFeCo三元系非晶質磁性合金層を基板に設けるものにお
いて、上記磁性合金層を0.18ｘ0.33、0.12ｙ0.
30の範囲で、光の入射面から順次ｘが増加し、ｙが減少
するように積層したものを用いることにより、得られる
最大のカー回転角を有効に利用して効率良く光再生出力
をとり出し得る光熱磁気記録媒体を得ることができる。
化容易軸を有し、一般式Tbx（Fe1-yCoy）1-xで示される
TbFeCo三元系非晶質磁性合金層を基板に設けるものにお
いて、上記磁性合金層を0.18ｘ0.33、0.12ｙ0.
30の範囲で、光の入射面から順次ｘが増加し、ｙが減少
するように積層したものを用いることにより、得られる
最大のカー回転角を有効に利用して効率良く光再生出力
をとり出し得る光熱磁気記録媒体を得ることができる。
第１図はこの発明の一実施例の光熱磁気記録媒体の断面
図、第２図はこの発明の一実施例の光熱磁気記録媒体に
係わる三元系磁性合金層の膜厚（Ａ）による各組成元素
の変化（at％）を示す特性図、第３図は、この発明の他
の実施例の光熱磁気記録媒体の断面図である。 図において、（１）は基板、（２）はTb−Fe−Co三元系
非晶質磁性合金層である。 なお、各図中同一符号は同一又は相当部分を示す。
図、第２図はこの発明の一実施例の光熱磁気記録媒体に
係わる三元系磁性合金層の膜厚（Ａ）による各組成元素
の変化（at％）を示す特性図、第３図は、この発明の他
の実施例の光熱磁気記録媒体の断面図である。 図において、（１）は基板、（２）はTb−Fe−Co三元系
非晶質磁性合金層である。 なお、各図中同一符号は同一又は相当部分を示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭57−150157（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−121719（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−276148（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−243840（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】膜面に垂直方向に磁化容易軸を有し、一般
式Tbx（Fe1-yCoy）1-xで示されるTb−Fe−Co三元系非晶
質磁性合金層を基板に設けるものにおいて、上記磁性層
を、0.18≦ｘ≦0.33,0.12≦ｙ≦0.30の範囲で、光の入
射面から順次ｘが増加し、ｙが減少するように積層した
ことを特徴とする光熱磁気記録媒体。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11977787A JPH0795377B2 (ja) | 1987-05-14 | 1987-05-14 | 光熱磁気記録媒体 |
| US07/752,976 US5248565A (en) | 1987-01-26 | 1991-09-03 | Optical-thermal magnetic storage medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11977787A JPH0795377B2 (ja) | 1987-05-14 | 1987-05-14 | 光熱磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63282945A JPS63282945A (ja) | 1988-11-18 |
| JPH0795377B2 true JPH0795377B2 (ja) | 1995-10-11 |
Family
ID=14769960
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11977787A Expired - Lifetime JPH0795377B2 (ja) | 1987-01-26 | 1987-05-14 | 光熱磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0795377B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0362340A (ja) * | 1989-07-28 | 1991-03-18 | Ricoh Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JP2664330B2 (ja) * | 1993-09-02 | 1997-10-15 | 富士通株式会社 | 光磁気記録媒体 |
| DE19535994C2 (de) * | 1994-10-14 | 1998-07-16 | Sharp Kk | Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium und Herstellverfahren für dieses |
-
1987
- 1987-05-14 JP JP11977787A patent/JPH0795377B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63282945A (ja) | 1988-11-18 |
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