JPS63282945A - 光熱磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、例えば光磁気メモリ、磁気記録、表示素子
などに用いられる光熱磁気記録媒体に関する。

〔従来の技術〕

従来、光熱磁気記録媒体としては、ＭｎＢ１　、　Ｍｎ
ＣｕＢ１などの多結晶体薄膜、ＧｄＣｏ　、ＧｄＦｅ　
、　ＴｂＦｅ％ＤｙＦｅ。

ＧｄＴｂＦｅ　、　ＴｂＤｙＦｅなどの非晶質薄膜、Ｇ
ＩＧなどの単結晶薄膜などが知られている。これらの薄
膜のうち、大面積の薄膜を室温近傍の温度で製作する製
膜性、信号を小さな光熱エネル千−で書込むための書込
み効率、書込まれた信号をＳＮ比よく読出すための読出
し効率などの点から、最近では上記の非晶質薄膜が優れ
ていると考えられている。

しかしながら、これらの非晶質薄膜においても種々の欠
点が指摘されている。例えば、ＧｄＦｅは保磁力が小さ
く、記録された情報が不安定である。

また、ＧｄＦｅ　、　ＧｄＣｏは磁気的補償点を利用し
た書込みを行なってお）、書込み効率を均一にするため
に、製膜の際、膜組成を厳しく管理しなければならない
という問題点がある。また、ＴｂＦｅ　、　ＤｙＦｅ、
ＴｂＤｙＦ　ｅは士ユーり点書込みのため、膜組成をそ
れほど激しく管理する必要はないが、＋ユリ一点が１０
０℃前後と低いために、信号を読出す時にパワーの強い
光を用いることができないという問題点がある。＋ユリ
一温度は低ければ書込み効率は向上するが、書込まれた
信号が、周囲の温度とか読出し光によシ乱されてしまう
。従って牛ユリ一温度は、書込み可能であれば高い程よ
く、実用上の状態を考慮すれば２００°Ｃ前後が望まし
い。

また、反射光による読出しＳＮ比は、反射率をＲカー回
転角をθにとすると、Ｊπθｋに比例する。従って、　
ＳＮ比よく読出すためには、カー回転角を大きくすれば
よい。そのため、ＴｂＦｅＣｏ、　ＤｙＦｅＣｏといっ
たＣＯを添加したものが、例えば特開昭５８−７３７４
６号公報に報告されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ＴｂＦａＣｏ膜は、牛ユリ一温度が２００　’Ｃ前後で
望ましく、カー回転角も大きく、ＳＮ比よく読み出すこ
とができる。しかしこのＴｂＦｅＣｏ膜においてもカー
回転角、＋ユリ一温度は組成に依存しておシ、最大のカ
ー回転角を得る念めにはＴｂ量は少ない方がよい。しか
しＴｂ量が少ない場合、飽和磁化（Ｍ８）の温度依存性
のためＮ（ノイズ）レベルが上昇し、ＳＮ比が低下する
という欠点がある。そのためＴｂ量が２２〜３５　ｉｔ
％程度のＴｂＦｅＣｏ膜が適当であった。又Ｃ。

量を多くしていくにつれカー回転角は大きくなるが、牛
ユリ一温度が上昇し、書き込みに大きなエネル甲−を必
要とする欠点がある。

この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、得られる最大のカー回転角を有効に利用して効率
よく光再生出力をとシ出し得る光熱磁気記録媒体を提供
するものである。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明の光熱磁気記録媒体は、膜面に垂直方向に磁化
容易軸を有し、一般式Ｔｂｘ　（Ｆｅ１−ｙ　Ｃｏｙ　
）１−ｘで示されるＴｂ−Ｆ・−Ｃｏ三元系非晶質磁性
合金層を基板に設けるものにおいて、上記磁性層を０．
１５＜Ｘ≦０．３５．０　＜　ｙ　＜　０．５の範囲で
、光の入射面から順次Ｘが増加し、ｙが減少するように
積層したものである。

〔作用〕

この発明における光熱磁気記録媒体は、膜の深さ方向に
組成を順次変化させたことによシ、光が入射する面にＴ
ｂ量が少な（Ｃｏ量が多くなシ、得られる最大のカー回
転角を有する膜が存在し、大きなシグナルレベルが得ら
れる。また、膜の底面ではＴｂ量が多く、Ｃｏ量が少な
くなるので、ノイズレベルの上昇をおさえることができ
る。そのため、書きこみ感度もよく、効率よく光再生出
力をとシ出し得ることができるようになる。

〔実施例〕

第１図はこの発明の一実施例の光熱磁気記録媒体の断面
図であり、（１）は基板、（２）は深さ方向に順次組成
を変化させたＴｂ−Ｆｅ−Ｃｏ三元系非晶質磁性合金層
である。基板（１）としては、プラスチックス、ガラス
、ｔラミックス等の非磁性体が材料として用いられる。

Ｔｂ　−Ｆｅ−Ｃｏ三元系非晶質磁性層［２１ｔｉＴｂ
ｘ（Ｆｅｌ　−ｙ　Ｃｏｙ　）　１−１としたときＸが
０．１５≦ｘ≦０．３５の範囲で、ｙが０　（ｙ　＜　
０．５００節囲範囲シ基板側から光を入射して記録・再
生を行なう場合は、基板側の膜面から深さ方向に順次Ｘ
が増加し、ｙが減少している層である。

この層の作成方法としては、例えばスパッタリンク法や
真空蒸着法などがある。スパッタリンク法の場合Ｔｂ、
　Ｆｅ　、　Ｃｏ、それぞれの単一金属ターゲットに投
入する電力を順次変化させてやることにより、組成を膜
厚方向に変化させる。又、上記磁性合金層を構成する順
次組成の変化する隣接した層間は、交換結合されている
と思われる。

以下、この発明を実施例によシ具体的に説明する。

実施例 基板：　１．２＋ｉｍ厚溝付きプラスチック基板Ｔｂ−
Ｆ　ｅ−Ｃｏ三元系非晶質磁性合金層：膜厚　１０００
　’Ａ基板側の膜面の組成　Ｔｂ１ａ、ａ（Ｆｅ７ｏＣ
ｏ３ｏ）ｓｘ、＋膜の底面の組成　　　Ｔｂ３３　（Ｆ
ｅｅ、Ｃ０１５）　６７上記構成の第１図に示すこの発
明の一実施例の光熱磁気記録媒体を得た。

第２図は、上記この発明の一実施例の光熱磁気記録媒体
に係わるＴｂ−Ｆ　ｅ−Ｃｏ三元系非晶質磁性層を、オ
ージェ電子分光分析装置によシ分析して得られた、光の
入射面からの膜厚内による各組成元素の変化（ａ十％）
を示す特性図であシ、図において、（３）はＴｂ、（４
）はＦｅ、（５）はＣｏの特性である。

次に、上記この発明の一実施例の光熱磁気記録媒体につ
いて、光再生出力を測定した。ディスクスピードは９．
８ｍ／ｓ　、記録周波数ＩＭＥ（、である。膜厚方向に
、組成の一定なＴｂＦ　ｅＣｏ三元系非晶質磁性合金層
を用いた記録媒体と比較すると、ＳＮ比は５ｄＢ大きい
ことが示された。

なお、上記実施例ではプラスチック基板に直接磁性層を
設けたものを示したがプラスチック基板上にＳｉ３Ｎ４
膜などの誘電体膜を設けた後この発明に係わる膜厚方向
に組成を変化させたものを設け、最後に保護膜を成膜し
た記録媒体においても大きなＳＮ比が得られている。

また、実施例においては組成を連続的に変化させたが、
組成の変化をステップ伏（階段状）に変化させても、Ｅ
記実施例と同様の効果を奏する。

第３図は、この発明の他の実施例の光熱磁気記録媒体の
断面図であ）、図において、　（２ｍ）〜（２ｊ）は磁
性層であり、Ｔｂｘ（Ｆ＠１−ｙＣｏｙ）　ｌ−ｘとし
たとき、（２ａ）はＸ＝１８．７＝３０、（２ｂ）はＸ
＝１９．５．７＝２８、（２ｃ）は！＝２１．ｙ＝２６
、（２ｄ）ｉｔｘ＝２２．５　、７＝２４、（２ｅ）は
！＝２４．ｙ＝２２、（２ｆ）はｘ＝２５．５．７＝２
０．　（２ｇ）はＸ−２７，７＝１８、（２ｈ）は！＝
２８．５．７＝１６、（２１）はＸ＝３０゜７＝１４、
（２ｊ）けｘ＝３１．５＋ｙ＝１２である。

〔発明の効果〕

以上説明したとお）、この発明は、膜面に垂直方向に磁
化容易軸を有し、一般式Ｔｂｘ（Ｆｅｌ−ｙＣｏｙ）ｌ
−ｘで示されるＴｂＦｅＣｏ三元糸非晶三元性非晶質磁
性合金層けるものにおいて、上記磁性合金層を０．１５
＜Ｘ＜０．３５．０　（ｙ（０，５の範囲で、光の入射
面から順次Ｘが増加し、ｙが減少するように積層したも
のを用いることによシ、“得られる最大のカー回転角を
有効に利用して効率良く光再生出力をとシ出し得る光熱
磁気記録媒体を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例の光熱磁気記録媒体の断面
図、第２図はこの発明の一実施例の光熱磁気記録媒体に
係わる三元系磁性合金層の膜厚（５）による各組成元素
の変化（ａ十％）を示す特性図、第３図は、この発明の
他の実施例の光熱磁気記録媒体の断面図である。 図において、（１）は基板、（２）はＴ　ｂ−Ｆ　ｅ−
Ｃｏ三元系非晶質磁性合金層である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 膜面に垂直方向に磁化容易軸を有し、一般式Ｔｂ＿ｘ（
   Ｆｅ＿１＿−＿ｙＣｏ＿ｙ）＿１＿−＿ｘで示されるＴ
   ｂ−Ｆｅ−Ｃｏ三元系非晶質磁性合金層を基板に設ける
   ものにおいて、上記磁性層を、０．１５≦ｘ≦０．３５
   、０＜ｙ＜０．５の範囲で、光の入射面から順次ｘが増
   加し、ｙが減少するように積層したことを特徴とする光
   熱磁気記録媒体。