JPH0795825B2 - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
- Publication number
- JPH0795825B2 JPH0795825B2 JP60063975A JP6397585A JPH0795825B2 JP H0795825 B2 JPH0795825 B2 JP H0795825B2 JP 60063975 A JP60063975 A JP 60063975A JP 6397585 A JP6397585 A JP 6397585A JP H0795825 B2 JPH0795825 B2 JP H0795825B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photoconductive film
- light
- pixel
- layer
- imaging device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Facsimile Heads (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、映像信号を電気信号に変換する固体撮像装置
に関する。
に関する。
従来の固体撮像装置は、光電変換部と走査部とが同一平
面上にあり、画素数を増する開口率が下り感度が低下し
てしまうという欠点があつた、また、素子配列が複雑な
ため、大口径化すると歩留りが落ちてしまい、生産性が
無くなるという問題点があつた。
面上にあり、画素数を増する開口率が下り感度が低下し
てしまうという欠点があつた、また、素子配列が複雑な
ため、大口径化すると歩留りが落ちてしまい、生産性が
無くなるという問題点があつた。
本発明は、上述の問題点に着目してなされたもので、撮
像部を透明電極，光導電膜，微小電極から、また、走査
部を該微小電極，光導電膜，透明電極からそれぞれ構成
するとともに前記電極間を遮光絶縁体で埋めたものと
し、光ビームを走査に使用するようにして、これらの問
題点を解決することを目的としている。
像部を透明電極，光導電膜，微小電極から、また、走査
部を該微小電極，光導電膜，透明電極からそれぞれ構成
するとともに前記電極間を遮光絶縁体で埋めたものと
し、光ビームを走査に使用するようにして、これらの問
題点を解決することを目的としている。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
まず、構成を述べる。
この固体撮像装置は、第１図の構成図に示すように、レ
ンズ１に面する撮像部２と、これに接合し、光ビーム発
生器（図示省略）からの光ビーム４を受ける走査部３と
からなる。なお、Ｅは、該走査部３に接続された電源、
RLは、撮像部２からアンプAMPを介して出力端子５に至
る回路から分岐して設けられた負荷抵抗である。
ンズ１に面する撮像部２と、これに接合し、光ビーム発
生器（図示省略）からの光ビーム４を受ける走査部３と
からなる。なお、Ｅは、該走査部３に接続された電源、
RLは、撮像部２からアンプAMPを介して出力端子５に至
る回路から分岐して設けられた負荷抵抗である。
撮像部２は、レンズ１側から透明電極6,光導電膜7,微小
電極８から構成されており、該電極８は、遮光も兼ねて
おり、画素９と同数作られていて、それぞれの間は遮光
絶縁体10で埋められて前記電極８は、電気的にフローテ
イング状態にある。
電極８から構成されており、該電極８は、遮光も兼ねて
おり、画素９と同数作られていて、それぞれの間は遮光
絶縁体10で埋められて前記電極８は、電気的にフローテ
イング状態にある。
走査部３は、前記微小電極8,該電極８と同数の画素９を
有する光導電膜11及び透明電極12とで構成されている。
そして、図中その右側から当てられる走査用の光ビーム
４のスポツトサイズは、前記微小電極８の径よりも通常
は小さいものとしてある。
有する光導電膜11及び透明電極12とで構成されている。
そして、図中その右側から当てられる走査用の光ビーム
４のスポツトサイズは、前記微小電極８の径よりも通常
は小さいものとしてある。
この光ビーム４の走査手段は、機械的でも電気的でもよ
く、走査パターンは、その適用状況に応じて行う。
く、走査パターンは、その適用状況に応じて行う。
次に、第２図に示す等価回路により作用を述べる。
まず、１番地の画素91について説明すると、走査の光ビ
ーム４が該画素91に当たると、その部分の光導電膜11が
導通状態になり、等価回路における、光によつて作動す
るスイツチング素子SW-1がONとなり電流が流れて、コン
デンサC1は電源Ｅによつて充電される。また、光ビーム
４が消えるとスイツチング素子SW-1はOFFして撮像状態
となる。撮像部２に被写体の光学像が結像されている
と、この画素91に照射されている光の強さによつて抵抗
R1の値が変化し、C1に充電された電荷が放電する。一定
時間経過後に走査用光ビーム４を当てると再び前記スイ
ツチング素子SW-1がONとなり、失われた電荷が補充され
るが、この電流は抵抗RLを通るので光の強弱に対応した
信号として取り出される。そして他の番地の画素9nにつ
いても同様に所要の信号が取り出されるわけである。
ーム４が該画素91に当たると、その部分の光導電膜11が
導通状態になり、等価回路における、光によつて作動す
るスイツチング素子SW-1がONとなり電流が流れて、コン
デンサC1は電源Ｅによつて充電される。また、光ビーム
４が消えるとスイツチング素子SW-1はOFFして撮像状態
となる。撮像部２に被写体の光学像が結像されている
と、この画素91に照射されている光の強さによつて抵抗
R1の値が変化し、C1に充電された電荷が放電する。一定
時間経過後に走査用光ビーム４を当てると再び前記スイ
ツチング素子SW-1がONとなり、失われた電荷が補充され
るが、この電流は抵抗RLを通るので光の強弱に対応した
信号として取り出される。そして他の番地の画素9nにつ
いても同様に所要の信号が取り出されるわけである。
したがつて、これらの画素９を一次元、又は、二次元に
配列することにより、一次元、又は、二次元の画像信号
が得られる。
配列することにより、一次元、又は、二次元の画像信号
が得られる。
以上説明してきたように本発明は、薄膜技術を用いて固
体撮像装置が構成されるので、低コスト化が図られ、か
つ、多画素化が容易に得られる。また、自在に走査用光
ビームを制御することができ、そのスポツトサイズの拡
大によつて、複数個の画素の読み出しや、あるいは、全
面照射により一括リセツトも可能となり、その応用範囲
は、従来の装置に比べ、大幅に拡張することができる。
体撮像装置が構成されるので、低コスト化が図られ、か
つ、多画素化が容易に得られる。また、自在に走査用光
ビームを制御することができ、そのスポツトサイズの拡
大によつて、複数個の画素の読み出しや、あるいは、全
面照射により一括リセツトも可能となり、その応用範囲
は、従来の装置に比べ、大幅に拡張することができる。
さらに、光導電膜の材料の選択により、希望の波長に適
したものができるという数々の効果が得られる。
したものができるという数々の効果が得られる。
第１図は、本発明の実施例を示す全体構成図、第２図
は、同じく等価回路図である。 １……レンズ ２……撮像部 ３……走査部 ４……光ビーム ６……透明電極 ７……光導電膜 ８……微小電極 ９……画素 10……遮光絶縁体 11……光導電膜 12……透明電極
は、同じく等価回路図である。 １……レンズ ２……撮像部 ３……走査部 ４……光ビーム ６……透明電極 ７……光導電膜 ８……微小電極 ９……画素 10……遮光絶縁体 11……光導電膜 12……透明電極
Claims (1)
- 【請求項１】被写体光が入射する第１の透明電極と、該
第１の透明電極に接する第１の光導電膜と、遮光絶縁体
で仕切って配設された、各画素に対応した遮光性の複数
の微小電極とを有する撮像層と、 該撮像層に対して被写体光の入射面と反対側に設けら
れ、前記複数の微小電極に接続された第２の光導電膜
と、該第２の光導電膜に接する第２の透明電極とからな
る走査層と、 前記走査層に対して光ビームを順次入射することにより
各画素に対応した第２の光導電膜部分を導通することに
より第１の光導電膜部分に所定の電荷を蓄積し、その後
被写体像を前記第１の光導電膜に入射することにより前
記各画素に蓄積された電荷を変化させ、その後再び前記
走査層に対して光ビームを順次入射することにより前記
電荷のパターンを検出する駆動手段と、を有することを
特徴とする固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60063975A JPH0795825B2 (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60063975A JPH0795825B2 (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | 固体撮像装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61224676A JPS61224676A (ja) | 1986-10-06 |
| JPH0795825B2 true JPH0795825B2 (ja) | 1995-10-11 |
Family
ID=13244790
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60063975A Expired - Fee Related JPH0795825B2 (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0795825B2 (ja) |
-
1985
- 1985-03-29 JP JP60063975A patent/JPH0795825B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61224676A (ja) | 1986-10-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4672454A (en) | X-ray image scanner and method | |
| US4603356A (en) | Imaging system with light valve and photodetector | |
| EP1302986B1 (en) | Photodetector with high dynamic range and increased operating temperature | |
| JP2000501919A (ja) | 短時間露光用カラー映像センサ | |
| EP0893915A2 (en) | Compact image sensor with display integrally attached | |
| JPS60240285A (ja) | 電子的輻射感知装置及び方法 | |
| JPS6156912B2 (ja) | ||
| EP0260824B1 (en) | Circuit for a photosensitive pixel with exposed blocking element | |
| US5225696A (en) | Focal plane array with charge transfer gate | |
| JPH0784055A (ja) | 放射線２次元検出器 | |
| JPS6313348B2 (ja) | ||
| US4652926A (en) | Solid state imaging technique | |
| JPH0414510B2 (ja) | ||
| US3748485A (en) | Optical-to-electrical signal transducer apparatus | |
| US5351209A (en) | Apparatus for converting optical information into electrical information signal, information storage element and method for storing information in the information storage element | |
| JPH0815303B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
| JP2519412B2 (ja) | 光学像情報対電気信号変換装置 | |
| JPS61224676A (ja) | 固体撮像装置 | |
| JPH1152058A (ja) | ２次元放射線検出器 | |
| JPH0738437B2 (ja) | イメ−ジセンサ | |
| JP2591120B2 (ja) | 撮像装置 | |
| US4827346A (en) | Electronic camera tube utilizing an array of charge storage cells for image storage and tunneling devices for readout | |
| US20040086204A1 (en) | Method and apparatus for image readout | |
| US6756603B2 (en) | Imaging apparatus | |
| JPH1020295A (ja) | 画像記録装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |