JPH0796454B2 - 感光性ガラスの加工方法及びこの方法によって製造したインクジェットヘッド - Google Patents
感光性ガラスの加工方法及びこの方法によって製造したインクジェットヘッドInfo
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- JPH0796454B2 JPH0796454B2 JP23978391A JP23978391A JPH0796454B2 JP H0796454 B2 JPH0796454 B2 JP H0796454B2 JP 23978391 A JP23978391 A JP 23978391A JP 23978391 A JP23978391 A JP 23978391A JP H0796454 B2 JPH0796454 B2 JP H0796454B2
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- 238000000034 method Methods 0.000 title description 10
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 16
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- 238000003672 processing method Methods 0.000 claims description 8
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
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- Glass Compositions (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、感光性ガラス板の表裏
両面に溝をエッチングにより形成する加工方法及びこの
方法によって製造したインクジェットヘッドに関する。
両面に溝をエッチングにより形成する加工方法及びこの
方法によって製造したインクジェットヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来よりインクジェットヘッドにはガラ
ス基板が用いられ、このガラス基板にインク射出口，加
圧室，インク溜り，インク供給口などが連通するインク
流路となる溝がエッチングにより形成してある。この様
な溝を設けた基板に振動板を接合し、加圧室に対向する
位置の振動板の表面に圧電素子を接着してヘッドとして
いる。近来ヘッドの小型化と印字品質の向上のために、
多数のインク射出口を備え、インク射出口を複数の列に
配置するものが提案されている。複数の列のインク射出
口に至る各インク流路を、各列で同一の位置に配置する
と、加圧室もほぼ同じ位置に重なった状態になるため
に、１つのインク射出口からのインクの噴出動作が、他
のインク射出口に影響するクロストーク現象を生じやす
い。そこでこれを避けるために、インク射出口を千鳥状
に配列し、加圧室の位置もずらして形成するものが提案
されている。そこでこの様な千鳥状配列のインク射出口
を有するヘッドの従来の加工方法について、図３及び図
４を参照して説明する。
ス基板が用いられ、このガラス基板にインク射出口，加
圧室，インク溜り，インク供給口などが連通するインク
流路となる溝がエッチングにより形成してある。この様
な溝を設けた基板に振動板を接合し、加圧室に対向する
位置の振動板の表面に圧電素子を接着してヘッドとして
いる。近来ヘッドの小型化と印字品質の向上のために、
多数のインク射出口を備え、インク射出口を複数の列に
配置するものが提案されている。複数の列のインク射出
口に至る各インク流路を、各列で同一の位置に配置する
と、加圧室もほぼ同じ位置に重なった状態になるため
に、１つのインク射出口からのインクの噴出動作が、他
のインク射出口に影響するクロストーク現象を生じやす
い。そこでこれを避けるために、インク射出口を千鳥状
に配列し、加圧室の位置もずらして形成するものが提案
されている。そこでこの様な千鳥状配列のインク射出口
を有するヘッドの従来の加工方法について、図３及び図
４を参照して説明する。
【０００３】図３の従来例では、中板１００の表裏の両
面に、インク射出口が千鳥状配列になるようにインク流
路となる溝１００ａ…，１００ｂ…を形成し、この溝を
覆うように中板１００の両面に基板１０１と、基板１０
２とを貼着している。
面に、インク射出口が千鳥状配列になるようにインク流
路となる溝１００ａ…，１００ｂ…を形成し、この溝を
覆うように中板１００の両面に基板１０１と、基板１０
２とを貼着している。
【０００４】図４の従来例では、基板２０１と基板２０
２とのそれぞれにインク流路となる溝２０１ａ…，２０
２ａ…を形成し、中板２００の両面に、インク射出口が
千鳥状配列になるように基板２０１と基板２０２とを貼
着している。
２とのそれぞれにインク流路となる溝２０１ａ…，２０
２ａ…を形成し、中板２００の両面に、インク射出口が
千鳥状配列になるように基板２０１と基板２０２とを貼
着している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記の図３に示す従来
例では、中板１００の表裏両面に溝１００ａ，１００ｂ
を形成する際に、両溝の位置を精度良く合わせることが
極めて困難である。この相対的位置がずれると高精度の
印字が困難となる。また複雑な流路の形成を容易にする
ために、基板の素材として感光性ガラスを用いる場合に
は、流路となる部分を露光するとき、光が反対側にまで
通過してしまい、表裏に異なる流路を形成することは不
可能である。
例では、中板１００の表裏両面に溝１００ａ，１００ｂ
を形成する際に、両溝の位置を精度良く合わせることが
極めて困難である。この相対的位置がずれると高精度の
印字が困難となる。また複雑な流路の形成を容易にする
ために、基板の素材として感光性ガラスを用いる場合に
は、流路となる部分を露光するとき、光が反対側にまで
通過してしまい、表裏に異なる流路を形成することは不
可能である。
【０００６】上記の図４に示す従来例では、基板２０１
と基板２０２とのそれぞれにインク流路となる溝２０１
ａ…，２０２ａ…を形成しなければならないので、工程
数が多くなり、また中板２００に両基板２０１，２０２
を貼着する際の位置合わせが難しい。
と基板２０２とのそれぞれにインク流路となる溝２０１
ａ…，２０２ａ…を形成しなければならないので、工程
数が多くなり、また中板２００に両基板２０１，２０２
を貼着する際の位置合わせが難しい。
【０００７】そこで本発明の目的は、感光性ガラス板の
表裏両面に異なるパターンの溝を容易に形成可能な加工
方法を提供し、インクジェットヘッドを高精度にしかも
安価に提供することにある。
表裏両面に異なるパターンの溝を容易に形成可能な加工
方法を提供し、インクジェットヘッドを高精度にしかも
安価に提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の感光性ガラスの加工方法は、感光性ガラス
板の表裏両面に溝をエッチングにより形成する加工方法
であって、感光性ガラス板の端面側からその板厚を２分
するように露光して光遮断層用露光部を形成し、光遮断
層用露光部を熱処理して感光性ガラス板の板厚方向中間
部に光遮断層を形成し、その後で感光性ガラス板の表面
および裏面側から露光して溝用露光部を形成し、表裏両
面の溝用露光部を熱処理して結晶部を形成し、結晶部を
エッチングすることを特徴としている。
に、本発明の感光性ガラスの加工方法は、感光性ガラス
板の表裏両面に溝をエッチングにより形成する加工方法
であって、感光性ガラス板の端面側からその板厚を２分
するように露光して光遮断層用露光部を形成し、光遮断
層用露光部を熱処理して感光性ガラス板の板厚方向中間
部に光遮断層を形成し、その後で感光性ガラス板の表面
および裏面側から露光して溝用露光部を形成し、表裏両
面の溝用露光部を熱処理して結晶部を形成し、結晶部を
エッチングすることを特徴としている。
【０００９】また上記の加工方法によって製造したイン
クジェットヘッドは、感光性ガラス板の端面側からその
板厚を２分するように露光した光遮断層用露光部を熱処
理し結晶化してなる光遮断層と、感光性ガラス板を表面
および裏面側から露光した溝用露光部を熱処理しエッチ
ングして形成した感光性ガラス板の表裏両面のインク流
路となる溝部とを有している。
クジェットヘッドは、感光性ガラス板の端面側からその
板厚を２分するように露光した光遮断層用露光部を熱処
理し結晶化してなる光遮断層と、感光性ガラス板を表面
および裏面側から露光した溝用露光部を熱処理しエッチ
ングして形成した感光性ガラス板の表裏両面のインク流
路となる溝部とを有している。
【００１０】上記の溝部は感光性ガラス板の表裏両面側
で異なる位置に形成しても良い。
で異なる位置に形成しても良い。
【００１１】
【作用】感光性ガラス板の端面側から感光性ガラス板を
露光して、その板厚を２分するように光遮断層を設ける
ので、感光性ガラス板の表面から溝用の露光を行った場
合に、光遮断層でその光が遮断され、裏面側には露光部
を生じないので、裏面から別の溝用の露光を行うことが
できる。
露光して、その板厚を２分するように光遮断層を設ける
ので、感光性ガラス板の表面から溝用の露光を行った場
合に、光遮断層でその光が遮断され、裏面側には露光部
を生じないので、裏面から別の溝用の露光を行うことが
できる。
【００１２】
【実施例】図１を参照して本発明の加工工程を説明する
と、まずＡ工程において、感光性ガラス板１の端面１ａ
に対向して、フォトマスク２を配置する。フォトマスク
２には感光性ガラス板の板厚を２分するように所定幅の
露光パターン２ａと、その両側に遮光部２ｂ，２ｂとが
形成してある。紫外線をこのフォトマスク２を通過させ
て板厚方向に直交する方向から感光性ガラス板１を露光
すると、感光性ガラス板の板厚方向中間部に露光部が形
成される。
と、まずＡ工程において、感光性ガラス板１の端面１ａ
に対向して、フォトマスク２を配置する。フォトマスク
２には感光性ガラス板の板厚を２分するように所定幅の
露光パターン２ａと、その両側に遮光部２ｂ，２ｂとが
形成してある。紫外線をこのフォトマスク２を通過させ
て板厚方向に直交する方向から感光性ガラス板１を露光
すると、感光性ガラス板の板厚方向中間部に露光部が形
成される。
【００１３】次にＢ工程において、この露光部を熱処理
して、結晶部である光遮断層１１を形成する。これは露
光部を結晶化すると結晶部は着色して紫外線を通さなく
なるので、これを光遮断層とし、板厚を２分するのに用
いたものである。
して、結晶部である光遮断層１１を形成する。これは露
光部を結晶化すると結晶部は着色して紫外線を通さなく
なるので、これを光遮断層とし、板厚を２分するのに用
いたものである。
【００１４】その後でＣ工程において、感光性ガラス板
１の表面１ｂに対向して、フォトマスク３を配置する。
フォトマスク３には、感光性ガラス板１の表面に形成す
る溝４、この例では図２に示すインクジェットヘッド１
０のインク射出口４ａ，図示しない加圧室，インク溜
り，インク供給口などを連通するインク流路となるため
の溝４の露光パターン３ａと、その周囲に遮光部３ｂと
が形成してある。このフォトマスク３の露光パターン３
ａは、反転することによりインク射出口４ａが反ピッチ
ずれた位置に来るように形成してあるので、裏面の露光
に使用することもできる。紫外線をこのフォトマスク３
を通過させて表面１ｂに直交する方向から感光性ガラス
板１を露光すると、感光性ガラス板の表面１ｂに溝４の
露光部が形成される。先に説明したように、光遮断層１
１が板厚を２分しているので、表面１ｂ側からの紫外線
は感光性ガラス板１の表面側の半分の深さで止まり、裏
面側を露光することはない。そこで感光性ガラス板１を
反転させ、裏面１ｃを紫外線の照射側に向け、再び上記
のフォトマスク３を通過させて上記と同様に裏面１ｃに
溝４の露光部を形成する。この場合にも裏面１ｃ側から
の紫外線は感光性ガラス板１の裏面側の半分の深さで止
まり、表面側を露光することはない。
１の表面１ｂに対向して、フォトマスク３を配置する。
フォトマスク３には、感光性ガラス板１の表面に形成す
る溝４、この例では図２に示すインクジェットヘッド１
０のインク射出口４ａ，図示しない加圧室，インク溜
り，インク供給口などを連通するインク流路となるため
の溝４の露光パターン３ａと、その周囲に遮光部３ｂと
が形成してある。このフォトマスク３の露光パターン３
ａは、反転することによりインク射出口４ａが反ピッチ
ずれた位置に来るように形成してあるので、裏面の露光
に使用することもできる。紫外線をこのフォトマスク３
を通過させて表面１ｂに直交する方向から感光性ガラス
板１を露光すると、感光性ガラス板の表面１ｂに溝４の
露光部が形成される。先に説明したように、光遮断層１
１が板厚を２分しているので、表面１ｂ側からの紫外線
は感光性ガラス板１の表面側の半分の深さで止まり、裏
面側を露光することはない。そこで感光性ガラス板１を
反転させ、裏面１ｃを紫外線の照射側に向け、再び上記
のフォトマスク３を通過させて上記と同様に裏面１ｃに
溝４の露光部を形成する。この場合にも裏面１ｃ側から
の紫外線は感光性ガラス板１の裏面側の半分の深さで止
まり、表面側を露光することはない。
【００１５】Ｄ工程において、露光部を熱処理して結晶
部１２…を形成する。図１（Ｅ）はこの状態をインク射
出口が整列すべき正面側から見たものである。
部１２…を形成する。図１（Ｅ）はこの状態をインク射
出口が整列すべき正面側から見たものである。
【００１６】最後にＦ工程において、エッチング処理に
より結晶部１２…を所望の深さまでエッチングし、感光
性ガラス板１の表面１ｂ及び裏面１ｃにインク流路とな
る溝４…を形成する。
より結晶部１２…を所望の深さまでエッチングし、感光
性ガラス板１の表面１ｂ及び裏面１ｃにインク流路とな
る溝４…を形成する。
【００１７】このようにして加工された感光性ガラス板
をインクジェットヘッド１０の流路基板として用い、図
２に示すように溝４…が形成されている表裏両面に振動
板５，５を接合し、この振動板５，５の表面であって各
溝の加圧室に対向する位置に圧電素子６…を接着するこ
とによって、インクジェットヘッド１０が形成できる。
をインクジェットヘッド１０の流路基板として用い、図
２に示すように溝４…が形成されている表裏両面に振動
板５，５を接合し、この振動板５，５の表面であって各
溝の加圧室に対向する位置に圧電素子６…を接着するこ
とによって、インクジェットヘッド１０が形成できる。
【００１８】上記の加工工程では、表面側を露光した後
で裏面側を露光するように説明しているが、表裏両面に
溝部が異なる位置に形成されるような露光パターンを設
けてあるそれぞれのフォトマスクを配設し、両面の露光
を同時に行っても良い。
で裏面側を露光するように説明しているが、表裏両面に
溝部が異なる位置に形成されるような露光パターンを設
けてあるそれぞれのフォトマスクを配設し、両面の露光
を同時に行っても良い。
【００１９】また光遮断層は板厚方向に直交するように
形成されたものに限られず、傾斜していても良く、この
光遮断層によって感光性ガラス板の板厚が２分され、そ
の両側でそれぞれ別の露光パターンによる露光が可能で
あればよい。
形成されたものに限られず、傾斜していても良く、この
光遮断層によって感光性ガラス板の板厚が２分され、そ
の両側でそれぞれ別の露光パターンによる露光が可能で
あればよい。
【００２０】なお、本発明の感光性ガラスの加工方法
は、インクジェットヘッドの基板の加工に限られず、マ
イクロマシーンの極微小部品の加工その他種々の感光性
ガラスの加工に適用可能である。
は、インクジェットヘッドの基板の加工に限られず、マ
イクロマシーンの極微小部品の加工その他種々の感光性
ガラスの加工に適用可能である。
【００２１】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明の感光性
ガラスの加工方法では、板厚を２分するように露光し熱
処理し結晶化して光遮断層を形成するので、感光性ガラ
スの表裏両面から露光しても、この光遮断層によって遮
断されて相互に反対側を露光することがなく、両面に別
々の露光を行って非対象の溝を形成することができる。
ガラスの加工方法では、板厚を２分するように露光し熱
処理し結晶化して光遮断層を形成するので、感光性ガラ
スの表裏両面から露光しても、この光遮断層によって遮
断されて相互に反対側を露光することがなく、両面に別
々の露光を行って非対象の溝を形成することができる。
【００２２】この溝は露光時に用いられるマスクによっ
てその位置が定められるので、位置精度を出すことが容
易である。また加工工程が少ないので加工が容易であ
り、低コスト化が達成できる。
てその位置が定められるので、位置精度を出すことが容
易である。また加工工程が少ないので加工が容易であ
り、低コスト化が達成できる。
【００２３】更にこの方法によって製造されたインクジ
ェットヘッドは、流路基板の両面にインク流路である溝
が形成してあり、かつ高精度に所望の位置にインク射出
口を整列させることができるので、インク射出口の高密
度化が可能で、ヘッドの小型化が達成でき、しかもクロ
ストークを防止でき、印字品質の向上に有効である。
ェットヘッドは、流路基板の両面にインク流路である溝
が形成してあり、かつ高精度に所望の位置にインク射出
口を整列させることができるので、インク射出口の高密
度化が可能で、ヘッドの小型化が達成でき、しかもクロ
ストークを防止でき、印字品質の向上に有効である。
【図１】本発明の加工方法の加工工程を示す説明図であ
る。
る。
【図２】本発明のインクジェットヘッドの拡大正面図で
ある。
ある。
【図３】従来の加工方法を説明する正面図である。
【図４】従来の他の加工方法を説明する正面図である。
１ 感光性ガラス板 １ａ 端面 １ｂ 表面 １ｃ 裏面 ４ 溝部 １０ インクジェットヘッド １１ 光遮断層 １２ 結晶部
Claims (3)
- 【請求項１】 感光性ガラス板の表裏両面に溝をエッチ
ングにより形成する加工方法であって、 上記感光性ガラス板の端面側からその板厚を２分するよ
うに露光して光遮断層用露光部を形成し、 上記光遮断層用露光部を熱処理して上記感光性ガラス板
の板厚方向中間部に光遮断層を形成し、 その後で上記感光性ガラス板の表面および裏面側から露
光して溝用露光部を形成し、 上記表裏両面の溝用露光部を熱処理して結晶部を形成
し、 上記結晶部をエッチングすることを特徴とする感光性ガ
ラスの加工方法。 - 【請求項２】 感光性ガラス板の端面側からその板厚を
２分するように露光した光遮断層用露光部を熱処理し結
晶化してなる光遮断層と、 上記感光性ガラス板を表面および裏面側から露光した溝
用露光部を熱処理しエッチングして形成した上記感光性
ガラス板の表裏両面のインク流路となる溝部とを有する
ことを特徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項３】 請求項２において、上記溝部は上記感光
性ガラス板の表裏両面側で異なる位置に形成されている
ことを特徴とするインクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23978391A JPH0796454B2 (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 感光性ガラスの加工方法及びこの方法によって製造したインクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23978391A JPH0796454B2 (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 感光性ガラスの加工方法及びこの方法によって製造したインクジェットヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0578146A JPH0578146A (ja) | 1993-03-30 |
| JPH0796454B2 true JPH0796454B2 (ja) | 1995-10-18 |
Family
ID=17049824
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23978391A Expired - Fee Related JPH0796454B2 (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 感光性ガラスの加工方法及びこの方法によって製造したインクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0796454B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9067268B2 (en) | 2009-08-14 | 2015-06-30 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive articles including abrasive particles bonded to an elongated body |
| US9211634B2 (en) | 2011-09-29 | 2015-12-15 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive articles including abrasive particles bonded to an elongated substrate body having a barrier layer, and methods of forming thereof |
| US9248583B2 (en) | 2010-12-30 | 2016-02-02 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive article and method of forming |
| US9254552B2 (en) | 2012-06-29 | 2016-02-09 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive article and method of forming |
| US9278429B2 (en) | 2012-06-29 | 2016-03-08 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive article for abrading and sawing through workpieces and method of forming |
| US9375826B2 (en) | 2011-09-16 | 2016-06-28 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive article and method of forming |
| US9409243B2 (en) | 2013-04-19 | 2016-08-09 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive article and method of forming |
-
1991
- 1991-09-19 JP JP23978391A patent/JPH0796454B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9067268B2 (en) | 2009-08-14 | 2015-06-30 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive articles including abrasive particles bonded to an elongated body |
| US9248583B2 (en) | 2010-12-30 | 2016-02-02 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive article and method of forming |
| US9375826B2 (en) | 2011-09-16 | 2016-06-28 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive article and method of forming |
| US9211634B2 (en) | 2011-09-29 | 2015-12-15 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive articles including abrasive particles bonded to an elongated substrate body having a barrier layer, and methods of forming thereof |
| US9254552B2 (en) | 2012-06-29 | 2016-02-09 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive article and method of forming |
| US9278429B2 (en) | 2012-06-29 | 2016-03-08 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive article for abrading and sawing through workpieces and method of forming |
| US9409243B2 (en) | 2013-04-19 | 2016-08-09 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive article and method of forming |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0578146A (ja) | 1993-03-30 |
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