JPH0797599B2 - 基板検出装置 - Google Patents

基板検出装置

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JPH0797599B2 JP11258290A JP11258290A JPH0797599B2 JP H0797599 B2 JPH0797599 B2 JP H0797599B2 JP 11258290 A JP11258290 A JP 11258290A JP 11258290 A JP11258290 A JP 11258290A JP H0797599 B2 JPH0797599 B2 JP H0797599B2
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    • B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
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Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は、例えばディスク枚葉処理装置の搬送機構に
好適な基板検出装置に関する。
（従来の技術） デジタル化された音声情報や画像情報を大量に記録する
のにコンパクトディスク（以下、CDと略称する）が広く
使用されるようになってきた。
CDは、ポリカーボネート等の透明な合成樹脂性基板の表
面にスパッタリングにより光反射率の高いアルミニュー
ム（Al）薄膜層が形成されて構成され、「１」か「０」
のデジタル情報に合わせて開けられたピット（pit）と
称する小さな孔の有無を、レーザ光の反射波あるいは透
過波の有無によりその記録情報を読み出し得るものであ
る。
１枚のディスクへの薄膜形成は比較的短時間で可能なこ
とから、多数のディスクに連続的にスパッタ成膜するた
めに、第３図に示す構成が採用されている。
第３図は連続スパッタリング装置の主要な機構のみを取
出して示した構成図で、まずベルトコンベア等の外部搬
送装置１で次々と搬送されくるCD等の基板２は、軸中心
に回転及び上下方向に移動可能な円盤状の搬送装置３の
吸着パット21に吸着され、スパッタ室４に搬送される。
スパッタ室４では、同じく軸中心に回転及び上下方向に
移動可能な搬送テーブル41に載置され、順次スパッタ源
42によりスパッタ成膜が行われる。
スパッタ成膜後の基板２は再び搬送テーブル41に載置さ
れ、搬送装置３を経て外部に取出される。
ところで、連続的にスパッタ膜を形成する場合、搬送を
円滑に行うためにも基板２が吸着パット21上に正常に載
置されているかどうかを確認することが要求される。
従来の基板検出装置は、一般に第４図に示すように構成
されている。なお、説明上、吸着パット21の取付け方法
を上下逆にして示している。
即ち、基板２を吸着する吸着パット21と、この吸着パッ
ト21連結された配管51と、この配管51とはバルブ52を介
して接続された真空ポンプ53と、基板２に向け光を照射
する光発生器54と、この光発生器54からの光が基板２面
の光反射膜で反射されたのを検知する光検知器55とで構
成される。なお、バルブ52の開閉制御及び大気に連なる
バルブ56の開閉制御は制御器57によって行われ、基板２
の吸着解除はバルブ56を制御することによって行われ
る。
この基板検出装置は、基板２が吸着パット21上の正規位
置に載置されていれば、基板２面の反射光が光検知器55
で検知される。もっとも、この場合は、基板２に形成さ
れたAl等の光反射膜を利用した光反射形であるが、これ
とは別に光発生器54からの光の透過の有無によって識別
する光透過形の基板検出装置もある。いずれにしても、
この種の基板検出装置は、単に基板２が吸着パット21上
の位置に物理的に存在するか否かを検知するものであ
る。しかし、吸着パット21を利用して基板２の搬送を行
う構成では、仮に基板２が吸着パット21上に載置され、
光検知器55によって基板２の存在が確認されたとして
も、例えば吸着パット21と基板２との間に異物が介在し
て、吸着が正しく行われていないこともあった。そのよ
うな場合でも、従来の基板検出装置ては基板２が「有
（存在）」との検出を行い、そのまま以後の搬送ステッ
プに移行させることにより、搬送途中で基板２が脱落し
たり、あるいは位置ずれして、正常な成膜操作が得られ
ないという欠点があった。
また、連続的にスパッタ成膜が行われる場合は、６秒程
度のサイクルで成膜が行われるので、単に、該当基板２
の成膜不良だけで止どまらず、スパッタリング装置全体
の稼働に大きな障害を与えた。このことは、CDの枚葉処
理に限らないので、例えば半導体ウェハーの処理装置等
でも同様である。
（発明が解決しようとする課題） 従来の基板検知装置は、基板が吸着パットに正常に補捉
されてはいなくとも、基板が存在するものと判断するの
で、実際に運用した場合不都合が生じる欠点があった。
この発明は、上記従来の欠点を解消し、単に基板の存在
の有無だけでなく、吸着パットに確実に補捉されている
ことを確認できる基板検知装置を提供することを目的と
する。
［発明の構成］ （課題を解決するための手段） この発明による基板検知装置は、基板を吸引する吸着パ
ットと、この吸着パットに連結された配管と、この配管
とはバルブを介して接続された真空ポンプと、前記配管
に接続され配管内の圧力を検出する圧力検出器とを具備
し、圧力検出器の出力レベルによて前記基板の有無を識
別することを特徴とする。
（作用） この発明は、吸着パットに接続の配管途中に圧力を検出
する検出器を備えたので、基板を吸着したときの管内圧
と非吸着時の管内圧とを識別することによって、基板の
有無を検出するものである。
また管内圧によって、単に基板が吸着パット上に載置さ
れているか否かだけにとどまらず、確実に吸着されてい
るか否かをも識別できるものである。
（実施例） 以下、第１図及び第２図を参照し、この発明による基板
検出装置の一実施例を説明する。なお、第３図及び第４
図に示した従来の基板検出装置と同一構成には同一符号
を付して詳細な説明は省略する。
即ち、基板２を吸着する吸着パット21と、この吸着パッ
ト21に連結された配管51と、この配管51とはバルブ52を
介して接続された真空ポンプ53と、前記配管51に接続さ
れ配管内の圧力を検出する圧力検出器58と、配管51の中
に大気圧を導入するバルブ56とで構成される。
いま、バルブ52は制御器57からの制御により例えば１秒
間隔の周期でバルブ開放動作を行い、第２図により以下
説明するように、断続的に吸着動作を行なわせる。
従って、基板２が吸着パット21に載置されない状態で
は、周期ｔ（例えばｔ＝１秒）の短い時間間隔での排気
オン・オフ動作を行い、それに対応して管内圧力検出器
58では第２図に示す圧力P1（大気圧）とバルブ開時のわ
ずかに減圧された圧力P2との間即ち後述する閾値Ｌより
配管51の管内圧力が高い第１の状態にあることを出力信
号により検出して、繰返し圧力信号が得られる。そのと
きバルブ56は、制御器57により閉じられた状態にある。
この状態で基板２が吸着パット21に載置され吸引される
と、真空ポンプ53による排気によって、管内圧力は急激
に低下し管内圧P3レベルまで低下する。
圧力検出器58はいわゆる圧力センサーであって、圧力P1
またはP2の状態から圧力P3の状態への変化を、閾値Ｌに
より設定される基準レベルに対して、配管51の管内圧力
がこれより低い第２の状態にあることを検出器58の出力
信号により識別することによって、基板２が確実に吸着
パット21に補捉されたか否かを判別することができる。
なお、スパッタ装置では成膜室において、更に高い真空
度のもとにさらされるので、圧力検出器58での検出圧力
は一旦P4まで低下する。
この実施例によれば、制御器57による断続的なバルブ56
の開閉操作が行われることから、仮に一時的に基板２が
不完全な状態で載置されていても、バルブ52の開閉操作
による真空ポンプ53の断続的な吸引操作の繰返しによ
り、基板２が揺動し、次には正しい姿勢で吸着され得る
という利点が得られる。
またこの実施例によれば、ディスク２の有無は勿論のこ
と、吸着状態そのものの良否も判別した上で、その後の
搬送工程及びスパッタ成膜工程に引継ぐことができる。
更に、上記実施例はディスクの有無を検出する場合を例
に説明したが、対象物を吸着によって位置設定するもの
であれば、スパッタリング装置に限らず広く採用できる
ものである。
［発明の効果］ この発明による基板検出装置は、基板が吸着パットに確
実に補捉されたか否かを検出できるものであり、実用に
際して得られる効果大である。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明による基板検出装置の一実施例を示す
構成図、第２図は第１図に示した装置の検出器の検出状
況を示す圧力特性図、第３図は従来の連続スパッタリン
グ装置を示す構成図、第４図は第３図に示す装置に適用
した基板検出装置を示す構成図である。 １……外部搬送装置、２……基板、 21……吸着パット、３……搬送装置、 ４……スパッタ室、41……搬送テーブル、 42……スパッタ源、51……配管、 52,56……バルブ、53……真空ポンプ、 57……制御器、58……圧力検出器。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ６５Ｈ 3/08 ３６０ Ｆ 8712−3Ｆ 7/16 Ｂ６６Ｃ 1/02 Ｃ 9147−3Ｆ Ｇ１１Ｂ 7/26 7215−5Ｄ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】基板を真空吸着する吸着パッドと，この吸
    着パッドに連結された配管と，この配管にバルブを介し
    て接続された真空ポンプと，前記吸着パッドと真空ポン
    プの間の前記配管部分に接続された配管内の圧力を検出
    して出力信号を出力する圧力検出器と，前記バルブの開
    閉を制御する制御器とを具備する基板検出装置におい
    て，前記制御器は前記圧力検出器の出力信号を入力して
    前記バルブを制御するもので、前記配管内の圧力が所定
    値のときの基準レベルを設定する手段と，前記圧力検出
    器の出力信号が前記基準レベル値よりも圧力の高い第１
    の状態を表す場合に、前記バルブの開閉動作を断続的に
    繰返す手段と，前記圧力検出器の出力信号が前記基準レ
    ベル値よりも圧力の低い第２の状態を表す場合に、前記
    バルブを開状態に保持する手段とを具備してなる基板検
    出装置
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