JPH0810063B2 - 恒温恒湿空気供給装置 - Google Patents
恒温恒湿空気供給装置Info
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- JPH0810063B2 JPH0810063B2 JP5063509A JP6350993A JPH0810063B2 JP H0810063 B2 JPH0810063 B2 JP H0810063B2 JP 5063509 A JP5063509 A JP 5063509A JP 6350993 A JP6350993 A JP 6350993A JP H0810063 B2 JPH0810063 B2 JP H0810063B2
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- JP
- Japan
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- air
- cooler
- air supply
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- Central Air Conditioning (AREA)
- Air Humidification (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルームや環境
試験室等へ恒温恒湿空気を供給するための装置に関する
ものである。
試験室等へ恒温恒湿空気を供給するための装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来技術】半導体製造やバイオテクノロジー、医薬、
食品製造、或いは、医療関係等においては、新鮮で、し
かも、一定の温度、湿度に調整された清浄空気が必要と
される場合が多い。このような目的に用いられている恒
温恒湿空気供給装置としては、例えば、図４に示すよう
に、箱体１０１中を仕切板１０１ａにより仕切ることに
よって、外気導入口１０２から調整空気出口１０３に至
る一連の空気流路を形成し、この外気導入口１０２に送
風機１０４を装着して、外気導入口から調整空気出口１
０３に向かって送風し、外気導入口１０２に隣接して、
蒸発式加湿器１０５、冷凍機１０６の蒸発器から成る空
気冷却器１０７、電熱式加熱器１０８を、風上側から風
下側に向かって、この順序に設けてある。
食品製造、或いは、医療関係等においては、新鮮で、し
かも、一定の温度、湿度に調整された清浄空気が必要と
される場合が多い。このような目的に用いられている恒
温恒湿空気供給装置としては、例えば、図４に示すよう
に、箱体１０１中を仕切板１０１ａにより仕切ることに
よって、外気導入口１０２から調整空気出口１０３に至
る一連の空気流路を形成し、この外気導入口１０２に送
風機１０４を装着して、外気導入口から調整空気出口１
０３に向かって送風し、外気導入口１０２に隣接して、
蒸発式加湿器１０５、冷凍機１０６の蒸発器から成る空
気冷却器１０７、電熱式加熱器１０８を、風上側から風
下側に向かって、この順序に設けてある。
【０００３】１０９は、温度センサで、その出力は、温
度コントローラ１１０に入力され、所望の空気温度が得
られるように、加熱器１０８を制御する。同様に、１１
１は、湿度センサで、その検出信号に基づいて、湿度コ
ントローラ１１９、加湿器１０５のヒータ１０５ａの作
動を制御するように構成されている。１２０は、加湿器
に設けた水位検出用のレベルセンサで、その検出信号に
より、レベルスイッチ１２４を作動させ、給水弁１２２
を開閉する。１２１は、加湿器等連通する予備加熱タン
ク、１２３は、冷却器からの凝縮水の排出管である。
（特開平４−１３９３４５号公報参照）。
度コントローラ１１０に入力され、所望の空気温度が得
られるように、加熱器１０８を制御する。同様に、１１
１は、湿度センサで、その検出信号に基づいて、湿度コ
ントローラ１１９、加湿器１０５のヒータ１０５ａの作
動を制御するように構成されている。１２０は、加湿器
に設けた水位検出用のレベルセンサで、その検出信号に
より、レベルスイッチ１２４を作動させ、給水弁１２２
を開閉する。１２１は、加湿器等連通する予備加熱タン
ク、１２３は、冷却器からの凝縮水の排出管である。
（特開平４−１３９３４５号公報参照）。
【０００４】この種の装置は、より低温域の空気の供給
要請や、空気供給量の増大の要請に対しては、冷凍機を
大型化して冷却器の能力を大きくする外なく、それに伴
って、装置の設置スペースや重量の増大を必然的に招い
ていた。また、冷却器は、冷却フィンへの着霜による冷
却能力低下に対しては、着霜状態の検出センサ等により
自動検出して、解霜する手段が設けられているが、高精
度の温度湿度条件を要求される場合には、その応答遅れ
による温度湿度条件の乱れが、半導体等の品質を左右す
るため、正確な着霜状態の検出方法が望まれている。
要請や、空気供給量の増大の要請に対しては、冷凍機を
大型化して冷却器の能力を大きくする外なく、それに伴
って、装置の設置スペースや重量の増大を必然的に招い
ていた。また、冷却器は、冷却フィンへの着霜による冷
却能力低下に対しては、着霜状態の検出センサ等により
自動検出して、解霜する手段が設けられているが、高精
度の温度湿度条件を要求される場合には、その応答遅れ
による温度湿度条件の乱れが、半導体等の品質を左右す
るため、正確な着霜状態の検出方法が望まれている。
【０００５】
【発明の目的】本発明は、装置の大型化を伴うことな
く、従来より高い能力を有する恒温恒湿空気供給装置を
開示することを目的とするものである。
く、従来より高い能力を有する恒温恒湿空気供給装置を
開示することを目的とするものである。
【０００６】
【発明の構成】本発明の第一の要旨は、空気入口及び空
気供給口とを結ぶ一連の空気流路に、加湿器、冷凍機の
蒸発器から成る冷却器、及び加熱器をこの順序に備え、
前記空気入口から導入した空気を所望の恒温恒湿条件に
調整して前記空気供給口から供給する装置において、冷
却器を挟んで、該冷却器の風上側と風下側に、前記空気
流路を遮る状態で、一対の整流板を設け、この整流板の
夫々に設けた通気開口による開口面積の割合が、夫々の
整流板において、一端側が大きく、他端側が小さいか若
しくは皆無になるようにすると共に、冷却器を挟んで対
面する両整流板の開口面積の割合の大きい部分が、相互
に反対側に位置するように設けられていることを特徴と
する恒温恒湿空気供給装置にある。
気供給口とを結ぶ一連の空気流路に、加湿器、冷凍機の
蒸発器から成る冷却器、及び加熱器をこの順序に備え、
前記空気入口から導入した空気を所望の恒温恒湿条件に
調整して前記空気供給口から供給する装置において、冷
却器を挟んで、該冷却器の風上側と風下側に、前記空気
流路を遮る状態で、一対の整流板を設け、この整流板の
夫々に設けた通気開口による開口面積の割合が、夫々の
整流板において、一端側が大きく、他端側が小さいか若
しくは皆無になるようにすると共に、冷却器を挟んで対
面する両整流板の開口面積の割合の大きい部分が、相互
に反対側に位置するように設けられていることを特徴と
する恒温恒湿空気供給装置にある。
【０００７】本発明の第二の要旨は、箱体の一側に空気
入口を該箱体の他側上部に空気供給口を夫々設けて、該
空気入口から空気供給口に至る空気流路を構成し、該空
気流路の底面上に、加湿器と、冷却フィンの長手方向が
直立するように設けた冷却器と、該冷却器の風上側と風
下側に空気流路を遮断する状態で立設した一対の整流板
とを備え、この一対の整流板の夫々に設けた通気開口に
よる開口面積の割合が、風上側整流板において、その上
部側が大きく、下部側が小さいか若しくは皆無になるよ
うにすると共に、風下側整流板においては、下部側が大
きく上部側が小さいか若しくは皆無になるようにし、風
下側整流板の下部から前記空気供給口に至る上昇流路
に、加熱器が設けられていることを特徴とする恒温恒湿
空気供給装置にある。
入口を該箱体の他側上部に空気供給口を夫々設けて、該
空気入口から空気供給口に至る空気流路を構成し、該空
気流路の底面上に、加湿器と、冷却フィンの長手方向が
直立するように設けた冷却器と、該冷却器の風上側と風
下側に空気流路を遮断する状態で立設した一対の整流板
とを備え、この一対の整流板の夫々に設けた通気開口に
よる開口面積の割合が、風上側整流板において、その上
部側が大きく、下部側が小さいか若しくは皆無になるよ
うにすると共に、風下側整流板においては、下部側が大
きく上部側が小さいか若しくは皆無になるようにし、風
下側整流板の下部から前記空気供給口に至る上昇流路
に、加熱器が設けられていることを特徴とする恒温恒湿
空気供給装置にある。
【０００８】本発明の第三の要旨は、空気入口及び空気
供給口とを結ぶ一連の空気流路に、加湿器、冷凍機の蒸
発器から成る冷却器、及び加熱器をこの順序に備え、前
記空気入口から導入した空気を所望の恒温恒湿条件に調
整して前記空気供給口から供給する装置において、空気
流路の一面に、加湿器の水位と冷却器の冷却フィンと
を、観察可能な透明点検窓を有していることを特徴とす
る恒温恒温空気供給装置にある。以下実施例に基づいて
詳細に説明する。
供給口とを結ぶ一連の空気流路に、加湿器、冷凍機の蒸
発器から成る冷却器、及び加熱器をこの順序に備え、前
記空気入口から導入した空気を所望の恒温恒湿条件に調
整して前記空気供給口から供給する装置において、空気
流路の一面に、加湿器の水位と冷却器の冷却フィンと
を、観察可能な透明点検窓を有していることを特徴とす
る恒温恒温空気供給装置にある。以下実施例に基づいて
詳細に説明する。
【０００９】
【実施例】図１は、本発明を具現する一実施例を示すも
のである。図１において、断熱壁により囲まれた箱体１
の一側の側壁面に空気入口２を設けると共に、該空気入
口２と反対側の天井面に空気供給口３を設け、更に、空
気入口２に送風機４を装着することにより、箱体１内
に、空気入口２から、空気供給口３に至る一連の空気流
路５が形成されている。箱体１の底面は、二重底になっ
ており、空気流路５の底面１ａの下に、収納空間６をあ
けて、底板１ｂが張設されている。
のである。図１において、断熱壁により囲まれた箱体１
の一側の側壁面に空気入口２を設けると共に、該空気入
口２と反対側の天井面に空気供給口３を設け、更に、空
気入口２に送風機４を装着することにより、箱体１内
に、空気入口２から、空気供給口３に至る一連の空気流
路５が形成されている。箱体１の底面は、二重底になっ
ており、空気流路５の底面１ａの下に、収納空間６をあ
けて、底板１ｂが張設されている。
【００１０】このような空気流路５には、空気入口２に
臨んで、該入口から流入する空気を下方に向かわせるた
めの風向板１ｃが設けられており、該風向板の下方に、
空気流路の底面１ａよりやや上方に開口する加湿皿７ａ
が、脚部７ｂにより支持されている。８は、電熱ヒータ
で、空気供給口３に設けた湿度センサ（図示せず）の信
号により作動する。９は、加湿皿７ａに水補給パイプ９
ａを介して連通する予備加熱用給水タンクで、給水管１
０ａにより、電磁開閉弁１０を介して、超純水タンク１
１に連結している。電磁開閉弁１０は、レベルセンサ７
ｃの検出信号に基づいてオン、オフするレベルスイッチ
（図示せず）により、開閉動作する。
臨んで、該入口から流入する空気を下方に向かわせるた
めの風向板１ｃが設けられており、該風向板の下方に、
空気流路の底面１ａよりやや上方に開口する加湿皿７ａ
が、脚部７ｂにより支持されている。８は、電熱ヒータ
で、空気供給口３に設けた湿度センサ（図示せず）の信
号により作動する。９は、加湿皿７ａに水補給パイプ９
ａを介して連通する予備加熱用給水タンクで、給水管１
０ａにより、電磁開閉弁１０を介して、超純水タンク１
１に連結している。電磁開閉弁１０は、レベルセンサ７
ｃの検出信号に基づいてオン、オフするレベルスイッチ
（図示せず）により、開閉動作する。
【００１１】このような構成の加湿器７の風下に、空気
の流れる方向に平行に、多数の冷却フィン２２と該フィ
ン２２を蛇行状に貫通する冷凍機２１の蒸発管２３とか
ら成る、空気冷却器２０が配設されている。該冷却器２
０の冷却フィン２２は、縦長の長方形で、その長手方向
の長さが、空気流路５の上下幅にほぼ等しい長さに設定
され、空気流路を上下方向に横切る状態で収納されてい
る。この冷却器２０の風上側に、冷却器と若干の間隙を
あけて、風上側整流板３０が、また、冷却器２０の風下
側の直近に、風下側整流板３５が、空気流路５を遮断す
る状態で、設けられている。
の流れる方向に平行に、多数の冷却フィン２２と該フィ
ン２２を蛇行状に貫通する冷凍機２１の蒸発管２３とか
ら成る、空気冷却器２０が配設されている。該冷却器２
０の冷却フィン２２は、縦長の長方形で、その長手方向
の長さが、空気流路５の上下幅にほぼ等しい長さに設定
され、空気流路を上下方向に横切る状態で収納されてい
る。この冷却器２０の風上側に、冷却器と若干の間隙を
あけて、風上側整流板３０が、また、冷却器２０の風下
側の直近に、風下側整流板３５が、空気流路５を遮断す
る状態で、設けられている。
【００１２】風上側整流板３０は、図２に示すように、
多数の円形透孔から成る通気開口３１、３１、…が、穿
設されており、これらの通気開口の開口面積の割合は、
上部側の開口率が、下部側より、遥かに大きくなるよう
に設定されている。又、風下側整流板３５には、下部側
に横長の通気開口３６と円形透孔から成る通気開口３７
とが開口しており、通気開口は、圧倒的に下部側に偏在
している。３２は、風上側整流板３０の下端を切欠いて
設けた通水口である。又、２５は、冷却器２０の直下の
底面に開口するドレン排水口で、ドレン管２６を通して
装置外に通じている。
多数の円形透孔から成る通気開口３１、３１、…が、穿
設されており、これらの通気開口の開口面積の割合は、
上部側の開口率が、下部側より、遥かに大きくなるよう
に設定されている。又、風下側整流板３５には、下部側
に横長の通気開口３６と円形透孔から成る通気開口３７
とが開口しており、通気開口は、圧倒的に下部側に偏在
している。３２は、風上側整流板３０の下端を切欠いて
設けた通水口である。又、２５は、冷却器２０の直下の
底面に開口するドレン排水口で、ドレン管２６を通して
装置外に通じている。
【００１３】１５は、風下側整流板の下部から、空気供
給口３に至る空気流路に収納された電熱ヒータから成る
加熱器で、該供給口３に設置した温度センサ（図示せ
ず）により、その作動が制御されることは、前記加湿器
の場合と同様、従来のものと変わりはない。４０は、箱
体の側面に設けた点検窓で、加湿皿７ａの水位と、冷却
器の冷却フィン２２の状態を透視できる位置に設けた透
明窓から成る。
給口３に至る空気流路に収納された電熱ヒータから成る
加熱器で、該供給口３に設置した温度センサ（図示せ
ず）により、その作動が制御されることは、前記加湿器
の場合と同様、従来のものと変わりはない。４０は、箱
体の側面に設けた点検窓で、加湿皿７ａの水位と、冷却
器の冷却フィン２２の状態を透視できる位置に設けた透
明窓から成る。
【００１４】
【作用】上記のような構成から成る恒温恒湿空気供給装
置は、空気入口２から入った外気が、加湿皿７ａの方向
に下降して加湿されてから、上方に向かい、大部分の空
気が、風上側整流板３０の上部の通気開口３０を通っ
て、冷却器２０の上部から、冷却フィン列の間隙に入
り、下降流となって、この間隙を下降して冷却器の下部
に至り、風下側整流板３５の通気開口３６から出て空気
供給口３まで上昇する間に、所定の温度湿度に加熱され
て、クリーンルーム等に供給される。両整流板の中央よ
りに設けられた通気開口を通過する一部の空気は、前記
下降流に衝突して、これを乱流化し、熱交換効率を更に
向上させる。 電磁開閉弁１０の不具合や作動不良によ
り、加湿皿への給水の際に、底面１ａ上に溢れた水
は、、風上側整流板の下端の通水口３２を通ってドレン
排水口２５から、排出される。
置は、空気入口２から入った外気が、加湿皿７ａの方向
に下降して加湿されてから、上方に向かい、大部分の空
気が、風上側整流板３０の上部の通気開口３０を通っ
て、冷却器２０の上部から、冷却フィン列の間隙に入
り、下降流となって、この間隙を下降して冷却器の下部
に至り、風下側整流板３５の通気開口３６から出て空気
供給口３まで上昇する間に、所定の温度湿度に加熱され
て、クリーンルーム等に供給される。両整流板の中央よ
りに設けられた通気開口を通過する一部の空気は、前記
下降流に衝突して、これを乱流化し、熱交換効率を更に
向上させる。 電磁開閉弁１０の不具合や作動不良によ
り、加湿皿への給水の際に、底面１ａ上に溢れた水
は、、風上側整流板の下端の通水口３２を通ってドレン
排水口２５から、排出される。
【００１５】上記実施例では、風上側整流板の上部と風
下側整流板の下部に、通気開口を偏在させることによ
り、冷却器の長手方向に沿って、冷却フィン間を上から
下に流れる下降流を発生させたが、これは、通気開口を
偏在して設ける位置を風上側整流板と風下側整流板とで
反対にすることにより、冷却器を、下から上に向かって
通過する上昇流とすることも可能である。また、通気開
口は、板体をくりぬいた状態のものに限られず、例え
ば、通水口３２と同様に、板体の一端側を所定の幅だけ
切り欠いたものでもよい。更に、網状のものでもよい。
下側整流板の下部に、通気開口を偏在させることによ
り、冷却器の長手方向に沿って、冷却フィン間を上から
下に流れる下降流を発生させたが、これは、通気開口を
偏在して設ける位置を風上側整流板と風下側整流板とで
反対にすることにより、冷却器を、下から上に向かって
通過する上昇流とすることも可能である。また、通気開
口は、板体をくりぬいた状態のものに限られず、例え
ば、通水口３２と同様に、板体の一端側を所定の幅だけ
切り欠いたものでもよい。更に、網状のものでもよい。
【００１６】
【効果】恒温恒湿空気供給装置の能力は、主として冷却
器の能力により定まるが、従来の装置は、冷却器を通過
する空気が、その最短経路を通って通過することを許す
状態で冷却器が設置されていたので、熱交換効率が悪か
ったが、本願装置においては、整流板を冷却器の前後に
設けることにより、冷却器の最長通過経路を強制的に通
過させるので、冷却能力を向上させることができる。ま
た、実施例のように、下降流を発生させれば、冷却フィ
ンに凝縮するドレンを、その下降流により下方に移動す
る作用を促進するので、冷却フィン表面が厚くドレンに
覆われることがなく冷却能力の向上につながる。
器の能力により定まるが、従来の装置は、冷却器を通過
する空気が、その最短経路を通って通過することを許す
状態で冷却器が設置されていたので、熱交換効率が悪か
ったが、本願装置においては、整流板を冷却器の前後に
設けることにより、冷却器の最長通過経路を強制的に通
過させるので、冷却能力を向上させることができる。ま
た、実施例のように、下降流を発生させれば、冷却フィ
ンに凝縮するドレンを、その下降流により下方に移動す
る作用を促進するので、冷却フィン表面が厚くドレンに
覆われることがなく冷却能力の向上につながる。
【００１７】本願装置は、点検窓を備えているので、冷
却フィンの状態を直接目視により点検して、着霜状態を
確認できるので、温度湿度のむらがない極めて高精度な
恒温恒湿空気を供給できる。また、この点検窓は、加湿
皿への給水を確認することができ、水が溢れるのを防止
できるとともに電磁弁１０等の事故による水の欠如をも
未然に防止できる。更に、従来の加湿皿は、空気流路の
底面付近に開口していたので、壁面等に付着した塵埃等
を含む飛沫や底面に流れ出した溢流水等が、再び、加湿
皿に流入して、加湿皿内の水を汚染してしまっていた
が、本願加湿皿は、底面から所定の高さにおいて開口
し、周囲の壁面等とは、分離して設けられているので、
汚染の危険がなく、万一、電磁弁１０の故障により、加
湿皿内の水が、超純水タンク１１に逆流しても、被害が
少なくてすむなどの利点がある。
却フィンの状態を直接目視により点検して、着霜状態を
確認できるので、温度湿度のむらがない極めて高精度な
恒温恒湿空気を供給できる。また、この点検窓は、加湿
皿への給水を確認することができ、水が溢れるのを防止
できるとともに電磁弁１０等の事故による水の欠如をも
未然に防止できる。更に、従来の加湿皿は、空気流路の
底面付近に開口していたので、壁面等に付着した塵埃等
を含む飛沫や底面に流れ出した溢流水等が、再び、加湿
皿に流入して、加湿皿内の水を汚染してしまっていた
が、本願加湿皿は、底面から所定の高さにおいて開口
し、周囲の壁面等とは、分離して設けられているので、
汚染の危険がなく、万一、電磁弁１０の故障により、加
湿皿内の水が、超純水タンク１１に逆流しても、被害が
少なくてすむなどの利点がある。
【図１】本発明の一実施例を示す説明図である。
【図２】図１のＡ−Ａ方向からみた整流板３０の正面図
である。
である。
【図３】図１のＢ−Ｂ方向からみた整流板３５の正面図
である。
である。
【図４】従来技術の一例を示す説明図である。
１ 箱体 ２ 空気入口 ３ 空気供給口 ５ 空気流路 ７ 加湿器 １５ 加熱器 ２０ 冷却器 ２５ ドレン排水口 ３０ 風上側整流板 ３５ 風下側整流板 ３１、３６ 通気開口 ３２ 通水口 ４０ 点検窓
Claims (5)
- 【請求項１】空気入口及び空気供給口とを結ぶ一連の空
気流路に、加湿器、冷凍機の蒸発器から成る冷却器、及
び加熱器をこの順序に備え、前記空気入口から導入した
空気を所望の恒温恒湿条件に調整して前記空気供給口か
ら供給する装置において、前記冷却器を挟んで、該冷却
器の風上側と風下側に、前記空気流路を遮る状態で、一
対の整流板を設け、該整流板の夫々に設けた通気開口に
よる開口面積の割合が、夫々の整流板において、一端側
が大きく、他端側が小さいか若しくは皆無になるように
すると共に、冷却器を挟んで対面する両整流板の開口面
積の割合の大きい部分が、相互に反対側に位置するよう
に設けられていることを特徴とする恒温恒湿空気供給装
置。 - 【請求項２】箱体の一側に空気入口を該箱体の他側上部
に空気供給口を夫々設けて、該空気入口から空気供給口
に至る空気流路を構成し、該空気流路の底面上に、加湿
器と、冷却フィンの長手方向が直立するように設けた冷
却器と、該冷却器の風上側と風下側に空気流路を遮断す
る状態で立設した一対の整流板とを備え、前記一対の整
流板の夫々に設けた通気開口による開口面積の割合が、
風上側整流板において、その上部側が大きく、下部側が
小さいか若しくは皆無になるようにすると共に、風下側
整流板においては、下部側が大きく上部側が小さいか若
しくは皆無になるようにし、風下側整流板の下部から前
記空気供給口に至る上昇流路に、加熱器が設けられてい
ることを特徴とする恒温恒湿空気供給装置。 - 【請求項３】風上側整流板と空気流路の底面との接合部
に通水口が開口しており、加湿器からの溢流水が該通水
口を通って冷却器直下のドレン排水口に流入可能に構成
されている請求項２の恒温恒湿空気供給装置。 - 【請求項４】空気流路の一面に、加湿器の水位と冷却器
の冷却フィンとを、観察可能な透明点検窓を有している
請求項１〜３の恒温恒湿空気供給装置。 - 【請求項５】空気入口及び空気供給口とを結ぶ一連の空
気流路に、加湿器、冷凍機の蒸発器から成る冷却器、及
び加熱器をこの順序に備え、前記空気入口から導入した
空気を所望の恒温恒湿条件に調整して前記空気供給口か
ら供給する装置において、空気流路の一面に、加湿器の
水位と冷却器の冷却フィンとを、観察可能な透明点検窓
を有していることを特徴とする恒温恒温空気供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5063509A JPH0810063B2 (ja) | 1993-02-27 | 1993-02-27 | 恒温恒湿空気供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5063509A JPH0810063B2 (ja) | 1993-02-27 | 1993-02-27 | 恒温恒湿空気供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06257790A JPH06257790A (ja) | 1994-09-16 |
| JPH0810063B2 true JPH0810063B2 (ja) | 1996-01-31 |
Family
ID=13231272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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