JPH08101415A - 高調波発生素子の製造方法 - Google Patents
高調波発生素子の製造方法Info
- Publication number
- JPH08101415A JPH08101415A JP23711894A JP23711894A JPH08101415A JP H08101415 A JPH08101415 A JP H08101415A JP 23711894 A JP23711894 A JP 23711894A JP 23711894 A JP23711894 A JP 23711894A JP H08101415 A JPH08101415 A JP H08101415A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- waveguide
- periodic
- main surface
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】 導波路基板上に周期電極のパターニング工程
や周期電極のエッチング工程を全く不要とし、極めて簡
便な工程で、且つ精度よく疑似位相整合型の優れたＳＨ
Ｇ素子を提供することのできる製造方法を提供するこ
と。 【構成】 一主面に導波路６が、他主面に裏面電極３が
形成されている非線形光学物質から成る基板１上に、一
主面に櫛状の周期電極５が形成されている電極板４を周
期電極５が導波路６と対向するように載置させるととも
に、周期電極５と裏面電極３との間に電圧を印加し、導
波路６に周期的に自発分極が反転した分極反転領域を形
成することを特徴とする。
や周期電極のエッチング工程を全く不要とし、極めて簡
便な工程で、且つ精度よく疑似位相整合型の優れたＳＨ
Ｇ素子を提供することのできる製造方法を提供するこ
と。 【構成】 一主面に導波路６が、他主面に裏面電極３が
形成されている非線形光学物質から成る基板１上に、一
主面に櫛状の周期電極５が形成されている電極板４を周
期電極５が導波路６と対向するように載置させるととも
に、周期電極５と裏面電極３との間に電圧を印加し、導
波路６に周期的に自発分極が反転した分極反転領域を形
成することを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、非線形光学結晶に角周
波数ωのレーザ光を照射し、２倍の周波数の２ωの光波
を得ることの可能な、光情報システム等に使用される第
２高調波発生素子に関する。
波数ωのレーザ光を照射し、２倍の周波数の２ωの光波
を得ることの可能な、光情報システム等に使用される第
２高調波発生素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、光記録媒体に使用される半導体レ
ーザー発生手段などの光情報システム等に要求される小
型短波調コヒーレント光源として、第２高調波（以下、
ＳＨＧと略記する）素子が注目されている。
ーザー発生手段などの光情報システム等に要求される小
型短波調コヒーレント光源として、第２高調波（以下、
ＳＨＧと略記する）素子が注目されている。
【０００３】一般にＳＨＧ素子は、バルク型ＳＨＧ素子
と導波路型ＳＨＧ素子に大別され、ＳＨＧ素子の材料と
しては、最近ではニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3 ）、
タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ3 ）、ＫＴｉＯＰ
Ｏ4 、ニオブ酸カリウム（ＫＮｂＯ3 ）等の無機酸化
物、種々の有機非線形材料が大きな非線形光学定数を有
するために好適に使用される。これら材料の中で、特に
ＬｉＮｂＯ3 やＬｉＴａＯ3は導波路作製技術が確立さ
れており、且つ比較的大きな非線形光学定数を有するの
で、導波路型ＳＨＧ素子として大変有望視されている。
と導波路型ＳＨＧ素子に大別され、ＳＨＧ素子の材料と
しては、最近ではニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3 ）、
タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ3 ）、ＫＴｉＯＰ
Ｏ4 、ニオブ酸カリウム（ＫＮｂＯ3 ）等の無機酸化
物、種々の有機非線形材料が大きな非線形光学定数を有
するために好適に使用される。これら材料の中で、特に
ＬｉＮｂＯ3 やＬｉＴａＯ3は導波路作製技術が確立さ
れており、且つ比較的大きな非線形光学定数を有するの
で、導波路型ＳＨＧ素子として大変有望視されている。
【０００４】特に、導波路型ＳＨＧ素子の特徴は、以下
に述べる疑似位相整合法により非線形光学係数ｄ33を用
いることができる点にある。ｄ33は他の非線形光学係数
より数倍程度大きく（例えばＬｉＮｂＯ3 におけるｄ33
は、ｄ31に比して約６倍大きい）、このため高い変換効
率の達成が可能である。また、光の閉じ込めにより長い
伝搬距離に渡って高い光強度密度を実現できる。
に述べる疑似位相整合法により非線形光学係数ｄ33を用
いることができる点にある。ｄ33は他の非線形光学係数
より数倍程度大きく（例えばＬｉＮｂＯ3 におけるｄ33
は、ｄ31に比して約６倍大きい）、このため高い変換効
率の達成が可能である。また、光の閉じ込めにより長い
伝搬距離に渡って高い光強度密度を実現できる。
【０００５】図２に示すように、従来からの導波路型Ｓ
ＨＧ素子Ｓ１は、素子本体１１の表層に導波路１２がＴ
ｉ等の金属の熱拡散法等により作製されている。導波路
１２の一端１３に、角周波数ωの基本波（伝搬定数β 2
ω）を入射させると、他端１４から基本波を含む角周波
数２ω（伝搬定数β 2ω）のＳＨＧが出射される。
ＨＧ素子Ｓ１は、素子本体１１の表層に導波路１２がＴ
ｉ等の金属の熱拡散法等により作製されている。導波路
１２の一端１３に、角周波数ωの基本波（伝搬定数β 2
ω）を入射させると、他端１４から基本波を含む角周波
数２ω（伝搬定数β 2ω）のＳＨＧが出射される。
【０００６】しかし、一般に２β≠β 2ωの関係がある
ために位相整合条件が満足されず、導波路１２内の任意
位置から生じた２βωの素波は互いに干渉し、打ち消さ
れ、有効にＳＨＧに変換されない。
ために位相整合条件が満足されず、導波路１２内の任意
位置から生じた２βωの素波は互いに干渉し、打ち消さ
れ、有効にＳＨＧに変換されない。
【０００７】そこで、有効にＳＨＧに変換させるため
に、基本波と高調波との伝搬定数の差を光学的な周期構
造で補償して位相整合をとる必要がある。この方法は疑
似位相整合と呼ばれ、ＬｉＮｂＯ3 あるいはＬｉＴａＯ
3 等の強誘電体結晶では、非線形光学係数の正負が誘電
分極の極性に対応する性質を利用し、周期的に分極を反
転させることによる光学的周期構造が注目されている
（図２の１４を参照）。
に、基本波と高調波との伝搬定数の差を光学的な周期構
造で補償して位相整合をとる必要がある。この方法は疑
似位相整合と呼ばれ、ＬｉＮｂＯ3 あるいはＬｉＴａＯ
3 等の強誘電体結晶では、非線形光学係数の正負が誘電
分極の極性に対応する性質を利用し、周期的に分極を反
転させることによる光学的周期構造が注目されている
（図２の１４を参照）。
【０００８】この分極反転の一方法として図３に示す電
圧印加法が提案されている。ここで、２１は導波路２２
を含むＬｉＮｂＯ3 もしくはＬｉＴａＯ3 の基板、２３
は基板上にパターニングされた周期電極、２４は基板の
裏面全体に装着された一様電極、２５は高圧電源であ
る。
圧印加法が提案されている。ここで、２１は導波路２２
を含むＬｉＮｂＯ3 もしくはＬｉＴａＯ3 の基板、２３
は基板上にパターニングされた周期電極、２４は基板の
裏面全体に装着された一様電極、２５は高圧電源であ
る。
【０００９】この方法は、例えばｚカットのＬｉＮｂＯ
3 もしくはＬｉＴａＯ3 の基板２１の導波路を形成させ
た面２１ａ（ＬｉＮｂＯ3 では＋Ｃ面、ＬｉＴａＯ3 で
は−Ｃ面）に周期電極２３を、他主面に一様電極２４を
設け、電圧を印加した場合に周期電極２３と同一パター
ンの反転分極が得られる現象を利用し、疑似位相整合に
必要な分極の周期的反転構造を得る方法である（例え
ば、M.Yamada, N.Noda,and K.Watanabe : Integrated P
hotonics Research TuC2-1 (1992)を参照）。
3 もしくはＬｉＴａＯ3 の基板２１の導波路を形成させ
た面２１ａ（ＬｉＮｂＯ3 では＋Ｃ面、ＬｉＴａＯ3 で
は−Ｃ面）に周期電極２３を、他主面に一様電極２４を
設け、電圧を印加した場合に周期電極２３と同一パター
ンの反転分極が得られる現象を利用し、疑似位相整合に
必要な分極の周期的反転構造を得る方法である（例え
ば、M.Yamada, N.Noda,and K.Watanabe : Integrated P
hotonics Research TuC2-1 (1992)を参照）。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような導波路基板上に周期電極をパターニングする方
法では、導波路基板上に周期電極をパターニングする工
程を要し、しかもこの周期電極のパターンニングにはサ
ブミクロンオーダの精度が要求され、そのための製造工
程に大規模な設備と熟練した技術が不可欠となり問題で
ある。
たような導波路基板上に周期電極をパターニングする方
法では、導波路基板上に周期電極をパターニングする工
程を要し、しかもこの周期電極のパターンニングにはサ
ブミクロンオーダの精度が要求され、そのための製造工
程に大規模な設備と熟練した技術が不可欠となり問題で
ある。
【００１１】また、電圧印加による周期的反転分極構造
の作製の後、導波光の散乱もしくは回折の影響を避ける
ため、この周期電極はエッチングにより取り除く必要が
あり、このためのエッチング工程が必要である上、製造
工程全体が煩雑となるといった問題や、剥離工程におけ
る剥離剤等の使用により素子表面を傷つけ、素子の特性
が劣化するといった問題を誘起する。
の作製の後、導波光の散乱もしくは回折の影響を避ける
ため、この周期電極はエッチングにより取り除く必要が
あり、このためのエッチング工程が必要である上、製造
工程全体が煩雑となるといった問題や、剥離工程におけ
る剥離剤等の使用により素子表面を傷つけ、素子の特性
が劣化するといった問題を誘起する。
【００１２】そこで、本発明では導波路基板上に周期電
極のパターニング工程や周期電極のエッチング工程を全
く不要とし、極めて簡便な工程で、且つ精度よく疑似位
相整合型の優れたＳＨＧ素子を提供することのできる製
造方法を提供することを目的とする。
極のパターニング工程や周期電極のエッチング工程を全
く不要とし、極めて簡便な工程で、且つ精度よく疑似位
相整合型の優れたＳＨＧ素子を提供することのできる製
造方法を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成させるた
めのＳＨＧ素子の製造方法は、第１に、一主面に導波路
が、他主面に裏面電極が形成されている非線形光学物質
から成る基板上に、一主面に櫛状の周期電極が形成され
ている電極板を該周期電極が前記導波路と対向するよう
に載置させるとともに、前記周期電極と前記裏面電極と
の間に電圧を印加し、前記導波路に周期的に自発分極が
反転した分極反転領域を形成することを特徴とする。
めのＳＨＧ素子の製造方法は、第１に、一主面に導波路
が、他主面に裏面電極が形成されている非線形光学物質
から成る基板上に、一主面に櫛状の周期電極が形成され
ている電極板を該周期電極が前記導波路と対向するよう
に載置させるとともに、前記周期電極と前記裏面電極と
の間に電圧を印加し、前記導波路に周期的に自発分極が
反転した分極反転領域を形成することを特徴とする。
【００１４】第２に、一主面に裏面電極が形成されてい
る非線形光学物質から成る基板の他主面上に、一主面に
櫛状に周期電極が形成されている電極板を載置させると
ともに、前記周期電極と前記裏面電極との間に電圧を印
加することによって、前記基板の他主面に周期的に自発
分極が反転した分極反転領域を形成させ、しかる後に前
記分極反転領域に導波路を形成することを特徴とする。
る非線形光学物質から成る基板の他主面上に、一主面に
櫛状に周期電極が形成されている電極板を載置させると
ともに、前記周期電極と前記裏面電極との間に電圧を印
加することによって、前記基板の他主面に周期的に自発
分極が反転した分極反転領域を形成させ、しかる後に前
記分極反転領域に導波路を形成することを特徴とする。
【００１５】さらに、上述の第１及び第２の方法におい
て、周期電極と導波路とを密着させるために高圧ガスの
吹きつけを行うようにしてもよい。
て、周期電極と導波路とを密着させるために高圧ガスの
吹きつけを行うようにしてもよい。
【００１６】なお、本発明では周期電極を形成した電極
板を利用して光変調素子の導波路に自発分極が周期的に
生じるようにした点に特徴があり、周期電極は櫛状に形
成されるが、導波路を伝搬する光波の進行方向に対して
ある角度、例えば直交する態様で形成される必然性はな
く、光波の進行方向に対して斜めに形成されていてもよ
く、導波路に周期的に自発分極が形成させる断続的な構
造のものであれば、その形態は特定されるものではな
い。
板を利用して光変調素子の導波路に自発分極が周期的に
生じるようにした点に特徴があり、周期電極は櫛状に形
成されるが、導波路を伝搬する光波の進行方向に対して
ある角度、例えば直交する態様で形成される必然性はな
く、光波の進行方向に対して斜めに形成されていてもよ
く、導波路に周期的に自発分極が形成させる断続的な構
造のものであれば、その形態は特定されるものではな
い。
【００１７】
【作用】本発明によれば、予め周期電極をパターニング
した電極板を用意すれば、ＳＨＧ素子の作製の都度、素
子表面に周期電極のパターニングを施す必要がなく、し
かも従来のような周期電極の剥離工程も不要となるの
で、剥離剤等の使用により素子表面を傷つけることがな
く、特性の優れたＳＨＧ素子を提供できる。
した電極板を用意すれば、ＳＨＧ素子の作製の都度、素
子表面に周期電極のパターニングを施す必要がなく、し
かも従来のような周期電極の剥離工程も不要となるの
で、剥離剤等の使用により素子表面を傷つけることがな
く、特性の優れたＳＨＧ素子を提供できる。
【００１８】
【実施例】以下、図面に基づき本発明の製造方法につい
て説明する。図１に示すように、非線形光学物質の基板
１の一主面１ａに導波路６が、反対側の他主面１ｂに裏
面電極３が形成されて成る光変調素子Ｓ２の導波路６
に、周期的に自発分極が反転した分極反転領域を形成さ
せるようにしてＳＨＧ素子Ｓ２を製造するようにしたも
のである。
て説明する。図１に示すように、非線形光学物質の基板
１の一主面１ａに導波路６が、反対側の他主面１ｂに裏
面電極３が形成されて成る光変調素子Ｓ２の導波路６
に、周期的に自発分極が反転した分極反転領域を形成さ
せるようにしてＳＨＧ素子Ｓ２を製造するようにしたも
のである。
【００１９】まずｚカットＬｉＮｂＯ3 の基板１を用意
するが、ここで、基板１の一主面１ａはｚカットＬｉＮ
ｂＯ3 の＋Ｃ面とする。これはｚカットＬｉＮｂＯ3 の
場合、＋Ｃ面の方が−Ｃ面より自発分極の形成が容易で
あるからである。この基板１に形成された導波路６はプ
ロトン交換法により基板１の＋Ｃ面の表層部に形成され
ている。
するが、ここで、基板１の一主面１ａはｚカットＬｉＮ
ｂＯ3 の＋Ｃ面とする。これはｚカットＬｉＮｂＯ3 の
場合、＋Ｃ面の方が−Ｃ面より自発分極の形成が容易で
あるからである。この基板１に形成された導波路６はプ
ロトン交換法により基板１の＋Ｃ面の表層部に形成され
ている。
【００２０】一方、電極板４は絶縁体であるガラスの一
主面（図中で下側）上に、クロム（Ｃｒ）が櫛状に（断
続的に）１μm 以下のサブミクロンオーダの周期、厚さ
約数千Å以下程度にパターニングされた周期電極５を配
設しており、この周期電極５の側面７は後記する電源８
との接合部としており、図示は簡略化している。例え
ば、周期電極５の一部を電極板４の側面７の方向へ延び
るように形成し、周期電極５と側面７を電気的に接続す
るようにして、側面７を電極パットとして利用してもよ
い。
主面（図中で下側）上に、クロム（Ｃｒ）が櫛状に（断
続的に）１μm 以下のサブミクロンオーダの周期、厚さ
約数千Å以下程度にパターニングされた周期電極５を配
設しており、この周期電極５の側面７は後記する電源８
との接合部としており、図示は簡略化している。例え
ば、周期電極５の一部を電極板４の側面７の方向へ延び
るように形成し、周期電極５と側面７を電気的に接続す
るようにして、側面７を電極パットとして利用してもよ
い。
【００２１】さらに、導波路基板１の導波路形成面１ａ
とは反対の主面１ｂ（−Ｃ面）に、アルミニウム（Ａ
ｌ）の裏面電極３が厚さ１μm 程度に被着形成されてい
る。電源８により周期電極５と金属基板３との間に電圧
が印加される構成になっていて、電源８はアースがとら
れている。
とは反対の主面１ｂ（−Ｃ面）に、アルミニウム（Ａ
ｌ）の裏面電極３が厚さ１μm 程度に被着形成されてい
る。電源８により周期電極５と金属基板３との間に電圧
が印加される構成になっていて、電源８はアースがとら
れている。
【００２２】以上の配置が完了した後、電極板４と導波
路６間の間隙を減少させるために、電極板４の上部から
アルゴン（Ａｒ）ガスや窒素（Ｎ2 ）ガスなどの高圧ガ
ス８を噴射させる。ここで、高圧ガスは電極板４の裏面
側からに吹きつけるようにしているが、裏面電極３側か
ら吹きつけるようにしても同様な効果が得られる。
路６間の間隙を減少させるために、電極板４の上部から
アルゴン（Ａｒ）ガスや窒素（Ｎ2 ）ガスなどの高圧ガ
ス８を噴射させる。ここで、高圧ガスは電極板４の裏面
側からに吹きつけるようにしているが、裏面電極３側か
ら吹きつけるようにしても同様な効果が得られる。
【００２３】以上の方法により基板４と基板（光変調素
子）１との密着が完全に保たれた後、周期電極５と金属
基板３間に電圧（数千Ｖ）を高周波パルスとして印加す
る。この電圧印加により基板表面（＋Ｃ面）１ａの表層
に分極反転周期構造が得られた。この分極反転周期構造
を確認したところ、従来よりきわめて良質な構造のもの
が得られ、導波光の散乱の極力少ない優れたＳＨＧ素子
を提供することができた。
子）１との密着が完全に保たれた後、周期電極５と金属
基板３間に電圧（数千Ｖ）を高周波パルスとして印加す
る。この電圧印加により基板表面（＋Ｃ面）１ａの表層
に分極反転周期構造が得られた。この分極反転周期構造
を確認したところ、従来よりきわめて良質な構造のもの
が得られ、導波光の散乱の極力少ない優れたＳＨＧ素子
を提供することができた。
【００２４】なお、周期電極５と裏面電極３との間に
は、高電圧が印加されるので裏面電極３と周期電極５と
の間の放電を防止するために、電圧印加は真空中などの
絶縁媒体中で行う方が望ましい。
は、高電圧が印加されるので裏面電極３と周期電極５と
の間の放電を防止するために、電圧印加は真空中などの
絶縁媒体中で行う方が望ましい。
【００２５】また、この実施例では導波路は電圧印加前
に光変調素子本体に作製されたものを用いたが、必ずし
もそうする必要はなく、分極反転後に電気モーメントを
バラバラにする可能性の無い導波路形成（イオン交換法
やキュリー点以下の温度での金属熱拡散）であればよ
く、電圧印加により周期分極反転を行わせた後に導波路
作製してもよいのである。また、裏面電極はアースとし
て使用でき、エッチング等で除去してもしなくともよ
い。
に光変調素子本体に作製されたものを用いたが、必ずし
もそうする必要はなく、分極反転後に電気モーメントを
バラバラにする可能性の無い導波路形成（イオン交換法
やキュリー点以下の温度での金属熱拡散）であればよ
く、電圧印加により周期分極反転を行わせた後に導波路
作製してもよいのである。また、裏面電極はアースとし
て使用でき、エッチング等で除去してもしなくともよ
い。
【００２６】さらに、本実施例ではＬｉＮｂＯ3 の基板
を用いた例について説明したが、ＬｉＴａＯ3 の基板を
用いてもよく、この場合には−Ｃ面に分極反転構造を作
製するようにすると好適に分極反転構造が得られる。
を用いた例について説明したが、ＬｉＴａＯ3 の基板を
用いてもよく、この場合には−Ｃ面に分極反転構造を作
製するようにすると好適に分極反転構造が得られる。
【００２７】
【発明の効果】本発明の高調波発生素子の製造方法によ
れば、電圧印加の際に基板上に電極を作製する必要がな
いので、従来のように製造工程に電極作製工程が不要で
あり、極めて簡便な工程で迅速かつ容易に精度よく高調
波発生素子を作製することができる。
れば、電圧印加の際に基板上に電極を作製する必要がな
いので、従来のように製造工程に電極作製工程が不要で
あり、極めて簡便な工程で迅速かつ容易に精度よく高調
波発生素子を作製することができる。
【図１】本発明に係るＳＨＧ素子の製造方法を示す概略
斜視図である。
斜視図である。
【図２】位相整合型高調波発生素子を示す概略斜視図で
ある。
ある。
【図３】従来の電圧印加法による周期反転分極作製の際
の電圧印加法を示す概略斜視図である。
の電圧印加法を示す概略斜視図である。
１ ・・・ 基板 ３ ・・・ 裏面電極 ４ ・・・ 電極板 ５ ・・・ 周期電極 ６ ・・・ 導波路
Claims (2)
- 【請求項１】 一主面に導波路が、他主面に裏面電極が
形成されている非線形光学物質から成る基板上に、一主
面に櫛状の周期電極が形成されている電極板を該周期電
極が前記導波路と対向するように載置させるとともに、
前記周期電極と前記裏面電極との間に電圧を印加し、前
記導波路に周期的に自発分極が反転した分極反転領域を
形成することを特徴とする高調波発生素子の製造方法。 - 【請求項２】 一主面に裏面電極が形成されている非線
形光学物質から成る基板の他主面上に、一主面に櫛状に
周期電極が形成されている電極板を載置させるととも
に、前記周期電極と前記裏面電極との間に電圧を印加す
ることによって、前記基板の他主面に周期的に自発分極
が反転した分極反転領域を形成させ、しかる後に前記分
極反転領域に導波路を形成することを特徴とする高調波
発生素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23711894A JPH08101415A (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | 高調波発生素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23711894A JPH08101415A (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | 高調波発生素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08101415A true JPH08101415A (ja) | 1996-04-16 |
Family
ID=17010683
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23711894A Pending JPH08101415A (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | 高調波発生素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08101415A (ja) |
-
1994
- 1994-09-30 JP JP23711894A patent/JPH08101415A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5652674A (en) | Method for manufacturing domain-inverted region, optical wavelength conversion device utilizing such domain-inverted region and method for fabricating such device | |
| EP0532969B1 (en) | Process for fabricating an optical device for generating a second harmonic optical beam | |
| JP3059080B2 (ja) | 分極反転領域の製造方法ならびにそれを利用した光波長変換素子及び短波長光源 | |
| JP3443889B2 (ja) | 非線形光学材料に対する局所分極制御方法 | |
| JP3303346B2 (ja) | ニオブ酸リチウム及びタンタル酸リチウムの分極制御方法とこれによる光導波路デバイスの製造方法及び光導波路デバイス | |
| US12007666B2 (en) | Wavelength conversion element and method for producing same | |
| JP3332363B2 (ja) | 分極反転領域の製造方法ならびにそれを利用した光波長変換素子及びその製造方法 | |
| JP3397433B2 (ja) | 分極反転層形成方法及び光波長変換素子 | |
| JP3277515B2 (ja) | 分極反転制御方法 | |
| JP3364268B2 (ja) | 分極反転層形成方法 | |
| JP4400816B2 (ja) | 周期分極反転構造の製造方法および光デバイス | |
| JP4081398B2 (ja) | 光波長変換素子 | |
| JPH08101415A (ja) | 高調波発生素子の製造方法 | |
| JPH10246900A (ja) | 強誘電体単結晶基板の微小構造の製造方法 | |
| JP3946092B2 (ja) | 周期分極反転構造の形成方法 | |
| JPH08304862A (ja) | 光デバイス | |
| JP3526206B2 (ja) | 光波長変換素子の作製方法 | |
| JP4764964B2 (ja) | 微小周期分極反転構造形成方法及び微小周期分極反転構造 | |
| JPH0212135A (ja) | 第２高調波発生素子 | |
| JP3049986B2 (ja) | 光波長変換素子 | |
| JP2002372731A (ja) | 波長変換用、光演算用素子 | |
| JPH11258646A (ja) | 分極反転ドメイン及び光学素子、並びにこれらの作製方法 | |
| JP3429502B2 (ja) | 分極反転領域の製造方法 | |
| JPH08271940A (ja) | 光デバイスの製造方法 | |
| JP3526155B2 (ja) | 導波路型光変調素子 |