JPH0810174B2 - 液晶表示体の検査装置 - Google Patents
液晶表示体の検査装置Info
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- JPH0810174B2 JPH0810174B2 JP62284008A JP28400887A JPH0810174B2 JP H0810174 B2 JPH0810174 B2 JP H0810174B2 JP 62284008 A JP62284008 A JP 62284008A JP 28400887 A JP28400887 A JP 28400887A JP H0810174 B2 JPH0810174 B2 JP H0810174B2
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- crystal display
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- lcd
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Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、液晶表示体を目視検査する検査装置に関す
る。
る。
（従来の技術） 上記液晶表示体（以下、LCDという）の原理等につい
ては雑誌「電子材料」（1986年、２月号、P22−P76/工
業調査会発行所）に記載され周知である。
ては雑誌「電子材料」（1986年、２月号、P22−P76/工
業調査会発行所）に記載され周知である。
上記LCDを簡単に述べると、このLCDは二枚の透明体上
記３原色カラーフィルタと画素電極の位置の適正、上記
画素電極に対する液晶シャッタのオン・オフ制御から生
じる画素の色彩、コントラスト等が正常にカラー表示す
るか、否かについて目視検査が行なわれている。
記３原色カラーフィルタと画素電極の位置の適正、上記
画素電極に対する液晶シャッタのオン・オフ制御から生
じる画素の色彩、コントラスト等が正常にカラー表示す
るか、否かについて目視検査が行なわれている。
この目視検査装置（１）の概略構造は、第５図に示す
ようにLCD（２）を載置した載置体（３）が矢印のよう
に水平方向に移動可能に基台を設けた構成なのでLCD
（２）を目視する目視位置（４）は操作部（５）の上側
に必然的に位置される。したがって、LCD（２）の検査
面（2a）と上記目視位置（４）との直線方向は上記検査
面（2a）に対して凝視角（６）を形成して目視検査して
いる。
ようにLCD（２）を載置した載置体（３）が矢印のよう
に水平方向に移動可能に基台を設けた構成なのでLCD
（２）を目視する目視位置（４）は操作部（５）の上側
に必然的に位置される。したがって、LCD（２）の検査
面（2a）と上記目視位置（４）との直線方向は上記検査
面（2a）に対して凝視角（６）を形成して目視検査して
いる。
（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、第５図に示すように、上記LCD（２）
の検査面（2a）では載置体（３）の中空部（3b）には照
光体（3c）が設けられている。この照光体（3c）から発
した光線（22）がカラーフィルタ層（2e）を通過して、
印加電圧値にともない透明に変化した上基板（2d）を通
過し、LCD（２）の表面に表示するように構成されてい
る。
の検査面（2a）では載置体（３）の中空部（3b）には照
光体（3c）が設けられている。この照光体（3c）から発
した光線（22）がカラーフィルタ層（2e）を通過して、
印加電圧値にともない透明に変化した上基板（2d）を通
過し、LCD（２）の表面に表示するように構成されてい
る。
このように画素電極（2d）に電圧印加を行う場合と、
行なわない場合とにより、切替えるシャッタ方式のＲ
（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）の３原色のカラーフ
ィルタ層（2e）と画素毎に対応する上基板（2d）のオン
・オフで加法混合の原理により、複数のカラー表示を行
っている。
行なわない場合とにより、切替えるシャッタ方式のＲ
（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）の３原色のカラーフ
ィルタ層（2e）と画素毎に対応する上基板（2d）のオン
・オフで加法混合の原理により、複数のカラー表示を行
っている。
例えば画素Ａ面においては、画素電極（2b）に電圧印
加し、また画素Ｂ面においては画素電極（2b）に電圧印
加すると、この電圧を印加した画素Ａ及びＢは、それぞ
れ底面下に敷設した光源とカラーフィルタと、印加電圧
による液晶シャッタにより、Ｒ（赤色）及びＧ（緑色）
を上記画素Ａ表面及び上記画素Ｂ表面に表示している。
上述したLCD（２）面と凝視角（６）を有した傾視によ
り上記画素Ａと上記画素Ｂとが上述した加法混合の原理
により、恰も黄色、または、その加法混合より生じる色
彩を表示しているかのように誤忍検査を実施してしまう
という問題点があった。
加し、また画素Ｂ面においては画素電極（2b）に電圧印
加すると、この電圧を印加した画素Ａ及びＢは、それぞ
れ底面下に敷設した光源とカラーフィルタと、印加電圧
による液晶シャッタにより、Ｒ（赤色）及びＧ（緑色）
を上記画素Ａ表面及び上記画素Ｂ表面に表示している。
上述したLCD（２）面と凝視角（６）を有した傾視によ
り上記画素Ａと上記画素Ｂとが上述した加法混合の原理
により、恰も黄色、または、その加法混合より生じる色
彩を表示しているかのように誤忍検査を実施してしまう
という問題点があった。
本発明は、上記問題点を解決するためになされたもの
で、液晶表示体の表示状態を正確且つ確実に目視検査で
き、しかも目視検査に際して液晶表示体を自動的に載置
体上へ載置し、載置体上から取り出すと共に検査位置へ
自動的に位置合わせできる液晶表示体の検査装置を提供
することを目的としている。
で、液晶表示体の表示状態を正確且つ確実に目視検査で
き、しかも目視検査に際して液晶表示体を自動的に載置
体上へ載置し、載置体上から取り出すと共に検査位置へ
自動的に位置合わせできる液晶表示体の検査装置を提供
することを目的としている。
（問題点を解決するための手段） 本発明の液晶表示体の検査装置は、傾斜した基台上に
垂直に配設され且つ搬送手段を介して搬送された液晶表
示体を上記基台表面に平行な載置面に載置する載置体
と、この載置体を上記基台上においてＸ、Ｙ、Ｚ及びθ
方向で往復駆動させる駆動手段と、この駆動手段を駆動
制御する制御手段と、この制御手段により上記載置台上
の液晶表示体の複数の電極がそれぞれ電気的に接触する
電圧印加用端子電極と、これらの電圧印加用端子電極を
介して上記液晶表示体の各電極に電圧を選択的に印加す
る指令を送信する中央演算処理手段と、この中央演算処
理手段の指令下で電圧が印加される上記液晶表示体をそ
の裏面から照明する照光体とを備え、上記載置面は凝視
線に対して直交する傾斜面を形成していることを特徴と
するものである。
垂直に配設され且つ搬送手段を介して搬送された液晶表
示体を上記基台表面に平行な載置面に載置する載置体
と、この載置体を上記基台上においてＸ、Ｙ、Ｚ及びθ
方向で往復駆動させる駆動手段と、この駆動手段を駆動
制御する制御手段と、この制御手段により上記載置台上
の液晶表示体の複数の電極がそれぞれ電気的に接触する
電圧印加用端子電極と、これらの電圧印加用端子電極を
介して上記液晶表示体の各電極に電圧を選択的に印加す
る指令を送信する中央演算処理手段と、この中央演算処
理手段の指令下で電圧が印加される上記液晶表示体をそ
の裏面から照明する照光体とを備え、上記載置面は凝視
線に対して直交する傾斜面を形成していることを特徴と
するものである。
（作用） 本発明によれば、液晶表示体を搬送手段を介して傾斜
した載置面に載置すると、制御手段を介して駆動手段が
駆動して載置体を傾斜した基台上においてＸ、Ｙ、Ｚ及
びθ方向で往復駆動させ、液晶表示体の複数の電極をそ
れぞれ電圧印加用端子電極に対して電気的に接触させる
と共に、その液晶表示体を照光体により裏面から照明す
る。次いで、中央演算処理手段の指令下で選択的に複数
の電圧印加用端子電極を介して液晶表示体の電極にそれ
ぞれ電圧を印加すると、液晶表示体の画素を選択的に表
示する。この時、液晶表示体の表面に対して直交する凝
視線でその表示状態を観察すると、例えばそれぞれの画
素が混色することなく正確に各画素の表示色を正確且つ
確実に目視検査することができる。
した載置面に載置すると、制御手段を介して駆動手段が
駆動して載置体を傾斜した基台上においてＸ、Ｙ、Ｚ及
びθ方向で往復駆動させ、液晶表示体の複数の電極をそ
れぞれ電圧印加用端子電極に対して電気的に接触させる
と共に、その液晶表示体を照光体により裏面から照明す
る。次いで、中央演算処理手段の指令下で選択的に複数
の電圧印加用端子電極を介して液晶表示体の電極にそれ
ぞれ電圧を印加すると、液晶表示体の画素を選択的に表
示する。この時、液晶表示体の表面に対して直交する凝
視線でその表示状態を観察すると、例えばそれぞれの画
素が混色することなく正確に各画素の表示色を正確且つ
確実に目視検査することができる。
（実施例） 以下、本発明検査装置をカラーLCDの検査に適用した
一実施例を図面を参照して説明する。
一実施例を図面を参照して説明する。
上記説明を第５図のものと同一部分については同一符
号で説明する。
号で説明する。
まず、上記装置の構成について説明すると、第１図に
示すように被検査体である。LCD（２）のマトリックス
状に配置された電極（2b）の端子部に電気的に接触させ
るプローブ端子電極（７）が検査装置（８）のヘッドプ
レート（図示せず）に設けられ、このプローブ端子電極
（７）は予めLCD（２）の電極（2a）に対応した配列で
構成され、上記プローブ端子電極（７）（以下、必要に
応じて単に「端子電極」と称す）と電気的に接触可能な
構成になっている。
示すように被検査体である。LCD（２）のマトリックス
状に配置された電極（2b）の端子部に電気的に接触させ
るプローブ端子電極（７）が検査装置（８）のヘッドプ
レート（図示せず）に設けられ、このプローブ端子電極
（７）は予めLCD（２）の電極（2a）に対応した配列で
構成され、上記プローブ端子電極（７）（以下、必要に
応じて単に「端子電極」と称す）と電気的に接触可能な
構成になっている。
上記端子電極（７）は一例を一組として構成され、こ
のプローブ端子電極（７）列はLCD（２）の四方向から
囲むように配置されている。
のプローブ端子電極（７）列はLCD（２）の四方向から
囲むように配置されている。
上記プローブ端子電極（７）には電圧信号制御部
（９）によって画素電極（2b）に電圧を印加するように
設けられている。この印加電圧はコントローラのCPU（1
0）によって制御されている。例えばCPU（10）からの電
圧信号によって所定の電圧が上記LCD（２）の電極（2
b）に印加するように構成されている。
（９）によって画素電極（2b）に電圧を印加するように
設けられている。この印加電圧はコントローラのCPU（1
0）によって制御されている。例えばCPU（10）からの電
圧信号によって所定の電圧が上記LCD（２）の電極（2
b）に印加するように構成されている。
また、上記CPU（10）に各種データを操作入力するた
めにキーボード（11）が設けられ、さらに上記CPU（1
0）で指令したカラー表示等の各種データを表示する表
示部（12）が設けられている。
めにキーボード（11）が設けられ、さらに上記CPU（1
0）で指令したカラー表示等の各種データを表示する表
示部（12）が設けられている。
そして、上記キーボード（11）からの画素電極（2d）
のデータの設定入力に基づくプログラムにより、上記LC
D（２）のカラー表示を制御するように構成している。
のデータの設定入力に基づくプログラムにより、上記LC
D（２）のカラー表示を制御するように構成している。
例えば、画素に対してＲ（赤色）、を表示したのちＧ
（緑色）さらにＢ（青色）を順次表示するように制御す
るように指令信号により状態を表示する。
（緑色）さらにＢ（青色）を順次表示するように制御す
るように指令信号により状態を表示する。
上記端子電極（７）がヘッドプレートと称する固定体
に着脱自在に設けられていると同時に、この端子電極
（７）の先端部は、載置面（3a）に載置されているLCD
（２）の面と平行に配置している。
に着脱自在に設けられていると同時に、この端子電極
（７）の先端部は、載置面（3a）に載置されているLCD
（２）の面と平行に配置している。
従って、凝視線と直交した載置面（3a）に載置したLC
D（２）は、載置面（3a）が凝視線と直交した方向に移
動することにより、上記LCD（２）の電極（2b）が上記
ヘッドプレートに着脱自在に固定した端子電極（７）に
接触することになる。そして、上記LCD（２）の各電極
（2b）にプローブ端子電極（７）を押圧接触させたの
ち、これらプローブ端子電極（７）に選択的にCPU（1
0）からの指令により電圧信号制御部（９）を介してキ
ーボード（11）からのプログラム入力によりプログラム
に従って印加電圧するようになっている。
D（２）は、載置面（3a）が凝視線と直交した方向に移
動することにより、上記LCD（２）の電極（2b）が上記
ヘッドプレートに着脱自在に固定した端子電極（７）に
接触することになる。そして、上記LCD（２）の各電極
（2b）にプローブ端子電極（７）を押圧接触させたの
ち、これらプローブ端子電極（７）に選択的にCPU（1
0）からの指令により電圧信号制御部（９）を介してキ
ーボード（11）からのプログラム入力によりプログラム
に従って印加電圧するようになっている。
次に上記端子電極（７）の下側には、凝視線に直交し
た装置の基台（13）面に沿って移動自在な載置手段（1
4）が設けられている。
た装置の基台（13）面に沿って移動自在な載置手段（1
4）が設けられている。
上記載置手段（14）はステージ（15）と昇降機構（1
6）と周回転機構（17）とから構成されている。
6）と周回転機構（17）とから構成されている。
上記ステージ（15）は装置（８）の基台（13）面に沿
って移動自在に設けられており、上記ステージ（15）の
上側には昇降機構（16）が固定されている。さらに、こ
の昇降機構（16）の上側には周回転機構（17）が固定さ
れており、この周回転機構（17）の上側にはLCD（２）
を載置する載置体（３）が設けられている。この載置体
（３）の載置面（3a）は凝視線と直交した面であり、基
台（13）面と平行に構成されている。
って移動自在に設けられており、上記ステージ（15）の
上側には昇降機構（16）が固定されている。さらに、こ
の昇降機構（16）の上側には周回転機構（17）が固定さ
れており、この周回転機構（17）の上側にはLCD（２）
を載置する載置体（３）が設けられている。この載置体
（３）の載置面（3a）は凝視線と直交した面であり、基
台（13）面と平行に構成されている。
上記ステージ（15）は基台（13）面に沿ってＸ・Ｙ方
向へ移動可能になされたステージ（15）である。
向へ移動可能になされたステージ（15）である。
このステージ（15）のＸ・Ｙ方向への移動はＸ方向移
動機構（18）及びＹ方向移動機構（19）によって移動す
るように構成されている。
動機構（18）及びＹ方向移動機構（19）によって移動す
るように構成されている。
このＸ方向移動機構（18）及び下方向移動機構（19）
はＸ方向移動制御部（18）及びＹ方向移動制御部（19）
によって駆動される。
はＸ方向移動制御部（18）及びＹ方向移動制御部（19）
によって駆動される。
このＸ方向移動制御部（18a）及びＹ方向移動制御部
（19a）はアライメント部（20）からＸ方向移動指令及
びＹ方向移動指令を受ける毎に上記CPU（10）より演算
された距離を移動するようにＸ方向移動機構（18）及び
Ｙ方向移動機構（19）を制御するように構成されてい
る。
（19a）はアライメント部（20）からＸ方向移動指令及
びＹ方向移動指令を受ける毎に上記CPU（10）より演算
された距離を移動するようにＸ方向移動機構（18）及び
Ｙ方向移動機構（19）を制御するように構成されてい
る。
上記昇降機構（16）は上記基台（13）に対してＸ・Ｙ
方向に移動制御する上記ステージ（15）の上側に固定さ
れ、基台（13）と直交方向に昇降する機構である。
方向に移動制御する上記ステージ（15）の上側に固定さ
れ、基台（13）と直交方向に昇降する機構である。
上記昇降機構（16）は昇降制御部（16a）によって駆
動され、アライメント終了指令信号を受ける毎に、上記
CPU（10）により演算された値で上昇距離の上下動（降
下→上昇）をするように構成されている。
動され、アライメント終了指令信号を受ける毎に、上記
CPU（10）により演算された値で上昇距離の上下動（降
下→上昇）をするように構成されている。
上記周回転機構（17）は上記昇降機構（17）の上側に
固定され、基台（13）面と平行面に沿って周回動する機
構である。
固定され、基台（13）面と平行面に沿って周回動する機
構である。
上記周回転機構（17）は周回転制御部（17a）によっ
て駆動されアライメント終了指令信号を受ける毎に上記
CPU（10）より演算された値で周回転するように構成さ
れている。
て駆動されアライメント終了指令信号を受ける毎に上記
CPU（10）より演算された値で周回転するように構成さ
れている。
上記載置体（３）は上記周回転機構（17）の先端部に
固着し、上記周回転機構（17）の駆動で回転自在に設け
られている。
固着し、上記周回転機構（17）の駆動で回転自在に設け
られている。
また、この載置面（3a）は装置（８）の基台（13）と
平行に構成されている。したがって、上記載置面（3a）
は凝視線（６）と直交するように形成される。さらに図
示しないが上記載置面（3a）の周縁に吸着孔が設けられ
て、LCD（２）を吸着可能に形成されている。
平行に構成されている。したがって、上記載置面（3a）
は凝視線（６）と直交するように形成される。さらに図
示しないが上記載置面（3a）の周縁に吸着孔が設けられ
て、LCD（２）を吸着可能に形成されている。
上記載置体（３）の載置面（3a）の中央に乳白色系の
透明体（21）例えばスリガラス等を載置面（3a）と段差
のない平坦に敷設されている。
透明体（21）例えばスリガラス等を載置面（3a）と段差
のない平坦に敷設されている。
上記載置体（３）の敷設された透明体（21）の下側の
中空部（3b）には、照光体（3c）例えば配線された均一
照明する如く直線状蛍光燈が２本、内設された構成にな
っている。勿論環状蛍光灯を設けてもよい。
中空部（3b）には、照光体（3c）例えば配線された均一
照明する如く直線状蛍光燈が２本、内設された構成にな
っている。勿論環状蛍光灯を設けてもよい。
従って、上記載置体（３）の載置面（3a）に載置した
LCD（２）は上記照光体（3c）の蛍光燈から発する光線
（22）が、LCD（２）の偏光板（2h）及びカラーフィル
タ層（2e）に照射される。
LCD（２）は上記照光体（3c）の蛍光燈から発する光線
（22）が、LCD（２）の偏光板（2h）及びカラーフィル
タ層（2e）に照射される。
この照射した光線（22）が、LCD（２）の画素電極（2
d）に印加電圧されれば、上基板（2d）が透明となり、
検査面（2a）に到達する。
d）に印加電圧されれば、上基板（2d）が透明となり、
検査面（2a）に到達する。
また画素電極（2d）に印加電圧されなければ上基板
（2d）が不透明であるため、上記光線（22）が透過する
ことが出来ない。このようにＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、
Ｂ（青色）を一つの画素内に形成するので、任意の選択
組合せることにより所望する色彩を表示させることがで
きる。
（2d）が不透明であるため、上記光線（22）が透過する
ことが出来ない。このようにＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、
Ｂ（青色）を一つの画素内に形成するので、任意の選択
組合せることにより所望する色彩を表示させることがで
きる。
つぎに、検査装置（８）のヘッドプレートに着脱自在
に設けた端子電極（７）部と、載置面（3a）に載置した
LCDの電極（2b）との位置合せについて述べる。
に設けた端子電極（７）部と、載置面（3a）に載置した
LCDの電極（2b）との位置合せについて述べる。
この位置合せは特開昭60−245134号公報に記載されて
いる。この公報では、ウエハの位置合わせを行うもので
あるが、これをLCD（２）の位置合わせとするもので概
略的に第４図を用いて説明する。
いる。この公報では、ウエハの位置合わせを行うもので
あるが、これをLCD（２）の位置合わせとするもので概
略的に第４図を用いて説明する。
先ずLCD（２）はアライメント部（20）まで移動した
のち、シリンドカルレンズ（特開昭60−245134号公報中
に記載）を用いたビームのスポット光（24）を楕円形に
変形させてLCD（２）の両端部近傍に照射させる。
のち、シリンドカルレンズ（特開昭60−245134号公報中
に記載）を用いたビームのスポット光（24）を楕円形に
変形させてLCD（２）の両端部近傍に照射させる。
この照射されたLCD（２）は、載置体（３）の移動と
共にＹ方向、例えばy0からy2までの距離を移動させる。
従って、上記スポット光の軌跡はLCD（２）上の電極（2
b）及びターゲットポイント（23）の表面を通過するよ
うにしてy0からy2まで移動する。
共にＹ方向、例えばy0からy2までの距離を移動させる。
従って、上記スポット光の軌跡はLCD（２）上の電極（2
b）及びターゲットポイント（23）の表面を通過するよ
うにしてy0からy2まで移動する。
この移動によって、上記スポット光（24）の散乱状態
の光強度分布が読み取られる。
の光強度分布が読み取られる。
このようにして、LCD（２）の左端部の光強度分布が
第４図（ａ）に示すように表わされる。同様にして右端
部の光強度分布が第４図（ｂ）に表わされる。
第４図（ａ）に示すように表わされる。同様にして右端
部の光強度分布が第４図（ｂ）に表わされる。
上記の両端部の強度分布を比較すると、移動する距
離、例えばy0からy2までの距離が同じでターゲットポイ
ント（23）の位置の距離例えばy3−y1距離が異なること
が検出される。これがずれ量である。このずれ量を、載
置手段（14）のＸ方向、Ｙ方向、周回転方向等の駆動部
を駆動させて、所定の位置に移動させることができる。
離、例えばy0からy2までの距離が同じでターゲットポイ
ント（23）の位置の距離例えばy3−y1距離が異なること
が検出される。これがずれ量である。このずれ量を、載
置手段（14）のＸ方向、Ｙ方向、周回転方向等の駆動部
を駆動させて、所定の位置に移動させることができる。
上記に述べたことは特開昭60−245134号公報に詳細に
記載されているので一部の説明に留まる。
記載されているので一部の説明に留まる。
次に動作について説明する。
図示しないが搬送手段のアームによって、LCD（２）
を載置面（3a）に授受したのち、このLCD（２）の底面
を載置面（3a）上の吸着孔で吸着固定する。
を載置面（3a）に授受したのち、このLCD（２）の底面
を載置面（3a）上の吸着孔で吸着固定する。
この吸着固定したLCD（２）は、第４図で示すように
に予め記憶されているプムグラムに従って、所定のアラ
イメント部（20）まで移動する。
に予め記憶されているプムグラムに従って、所定のアラ
イメント部（20）まで移動する。
すなわち、上記アライメント部（20）に載置面の中心
（予備基点というP1）が重なるように移動する。この予
備基点P1からLCD（２）のずれ量（Δｔ）を演算する。
この演算はアライメントで行う。このアライメントにつ
いては、上述したので、ここでは省略する。
（予備基点というP1）が重なるように移動する。この予
備基点P1からLCD（２）のずれ量（Δｔ）を演算する。
この演算はアライメントで行う。このアライメントにつ
いては、上述したので、ここでは省略する。
このアライメント終了後、CPU（10）によって演算さ
れた結果にもとづいてステージ（15）及び周回転機構
（17）を駆動させ、LCD（２）の基点位置（p2）とす
る。この基点位置（p2）に基づいて、端子電極（７）の
位置調整を行う。
れた結果にもとづいてステージ（15）及び周回転機構
（17）を駆動させ、LCD（２）の基点位置（p2）とす
る。この基点位置（p2）に基づいて、端子電極（７）の
位置調整を行う。
その後、昇降機構（16）を昇降制御部（16a）によっ
て駆動して、LCD（２）の電極（2b）をヘッドプレート
側の端子電極（７）に接触する。
て駆動して、LCD（２）の電極（2b）をヘッドプレート
側の端子電極（７）に接触する。
この接触が完了した後、CPU（10）は電圧信号制御部
（９）に印加電圧信号を送信する。
（９）に印加電圧信号を送信する。
電圧信号制御部（９）は予め記憶されたプログラムに
従って、電圧信号を制御して、各電極に電圧を印加す
る。この電圧印加された各画素表面の検査面（2a）にカ
ラー表示される。
従って、電圧信号を制御して、各電極に電圧を印加す
る。この電圧印加された各画素表面の検査面（2a）にカ
ラー表示される。
この検査面（2a）と直交した凝視線によって、検査面
（2a）上にカラー表示した物理的現象を目視することが
できる。このようにして、LCD（２）表面のカラー表示
を直交した凝視線によって目視している。したがってカ
フーフィルタ層（2e）の色彩が、隣りの画素による加法
混合の現象を生じさせないので正確なカラー表示を検査
することが可能である。
（2a）上にカラー表示した物理的現象を目視することが
できる。このようにして、LCD（２）表面のカラー表示
を直交した凝視線によって目視している。したがってカ
フーフィルタ層（2e）の色彩が、隣りの画素による加法
混合の現象を生じさせないので正確なカラー表示を検査
することが可能である。
本発明によれば、液晶表示体の表示状態を正確且つ確
実に目視検査でき、しかも目視検査に際して液晶表示体
を自動的に載置体上へ載置し、載置体から取り出すと共
に検査位置へ自動的に位置合わせできる液晶表示体の検
査装置を提供することができる。
実に目視検査でき、しかも目視検査に際して液晶表示体
を自動的に載置体上へ載置し、載置体から取り出すと共
に検査位置へ自動的に位置合わせできる液晶表示体の検
査装置を提供することができる。
第１図、本発明の検査装置の一実施例を図面を用いて
説明する全体ブロック図、第２は、第１図の載置手段を
説明する側面から見た拡大説明図、第３図は、第１図の
載置体構造と、LCD構造との関係を説明する説明図。 第４図は、第１図におけるLCDのアライメントを説明す
る説明図、第５図は、従来の目視検査装置のLCDに対す
る凝視角を説明する説明図である。 １……従来目視検査装置、２……液晶表示体（LCD） 2a……検査面、2b……画素電極（電極） 2c,2h……偏光板、2b……上基板 2e……カラーフィルタ層、３……載置体 3a……載置面、3b……中空部 3c……照光体、４……目視位置 13……基台、14……載置手段 15……ステージ、20……アライメント部 21……透明板、22……光線 23……ターゲットポイント 24……スポット光
説明する全体ブロック図、第２は、第１図の載置手段を
説明する側面から見た拡大説明図、第３図は、第１図の
載置体構造と、LCD構造との関係を説明する説明図。 第４図は、第１図におけるLCDのアライメントを説明す
る説明図、第５図は、従来の目視検査装置のLCDに対す
る凝視角を説明する説明図である。 １……従来目視検査装置、２……液晶表示体（LCD） 2a……検査面、2b……画素電極（電極） 2c,2h……偏光板、2b……上基板 2e……カラーフィルタ層、３……載置体 3a……載置面、3b……中空部 3c……照光体、４……目視位置 13……基台、14……載置手段 15……ステージ、20……アライメント部 21……透明板、22……光線 23……ターゲットポイント 24……スポット光
Claims (1)
- 【請求項１】傾斜した基台上に垂直に配設され且つ搬送
手段を介して搬送された液晶表示体を上記基台表面に平
行な載置面に載置する載置体と、この載置体を上記基台
上においてＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向で往復駆動させる駆動
手段と、この駆動手段を駆動制御する制御手段と、この
制御手段により上記載置台上の液晶表示体の複数の電極
がそれぞれ電気的に接触する電圧印加用端子電極と、こ
れらの電圧印加用端子電極を介して上記液晶表示体の各
電極に電圧を選択的に印加する指令を送信する中央演算
処理手段と、この中央演算処理手段の指令下で電圧が印
加される上記液晶表示体をその裏面から照明する照光体
とを備え、上記載置面は凝視線に対して直交する傾斜面
を形成していることを特徴とする液晶表示体の検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62284008A JPH0810174B2 (ja) | 1987-11-10 | 1987-11-10 | 液晶表示体の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62284008A JPH0810174B2 (ja) | 1987-11-10 | 1987-11-10 | 液晶表示体の検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01124740A JPH01124740A (ja) | 1989-05-17 |
| JPH0810174B2 true JPH0810174B2 (ja) | 1996-01-31 |
Family
ID=17673101
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62284008A Expired - Lifetime JPH0810174B2 (ja) | 1987-11-10 | 1987-11-10 | 液晶表示体の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0810174B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2573534B2 (ja) * | 1991-11-13 | 1997-01-22 | 株式会社日本マイクロニクス | 液晶表示パネルの検査装置 |
| JP4582958B2 (ja) * | 2001-05-30 | 2010-11-17 | 株式会社日本マイクロニクス | 表示用基板の検査装置 |
| JP2006317332A (ja) * | 2005-05-13 | 2006-11-24 | Micronics Japan Co Ltd | 点灯検査装置 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58135721U (ja) * | 1982-03-05 | 1983-09-12 | スタンレー電気株式会社 | 液晶表示素子試験装置 |
| JPS592182A (ja) * | 1982-06-29 | 1984-01-07 | Nec Corp | リレ−シヨン生成装置 |
| JPH0662305B2 (ja) * | 1983-12-29 | 1994-08-17 | オ−ストラリア国 | テクネチウム−９９ｍ−標識放射医薬の製造 |
| JPS61128221A (ja) * | 1984-11-27 | 1986-06-16 | Toshiba Corp | 半導体検査用顕微鏡装置 |
| JPH063476B2 (ja) * | 1985-11-11 | 1994-01-12 | シャープ株式会社 | フラツトマトリツクスデイスプレイパネル用検査装置 |
| JPS62188978A (ja) * | 1986-02-14 | 1987-08-18 | Toshiba Corp | 導電性薄膜のパタ−ンチエツク装置 |
-
1987
- 1987-11-10 JP JP62284008A patent/JPH0810174B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01124740A (ja) | 1989-05-17 |
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