JPH063476B2 - フラツトマトリツクスデイスプレイパネル用検査装置 - Google Patents
フラツトマトリツクスデイスプレイパネル用検査装置Info
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- JPH063476B2 JPH063476B2 JP60252462A JP25246285A JPH063476B2 JP H063476 B2 JPH063476 B2 JP H063476B2 JP 60252462 A JP60252462 A JP 60252462A JP 25246285 A JP25246285 A JP 25246285A JP H063476 B2 JPH063476 B2 JP H063476B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、二枚のガラスの如き透明基板に形成された多
数の電極が対向した形態で構成される例えばデュテイ駆
動の液晶パネルの如きフラットマトリックスディスプレ
イパネル用の検査装置に関するものである。
数の電極が対向した形態で構成される例えばデュテイ駆
動の液晶パネルの如きフラットマトリックスディスプレ
イパネル用の検査装置に関するものである。
この種のフラットマトリックスディスプレイパネルは、
液晶デュテイ駆動の場合、第６図に例示した如く、ガラ
ス基板Ｇ1の表面に酸化インジウム（ＩＴＯ）等を蒸着
せしめることにより形成された多数のデータ側電極ＤＥ
とガラス基板Ｇ2の表面に同様に形成された多数の走査
側電極ＳＥとがマトリックス状に対向するように配列さ
れて、これら両ガラス基板Ｇ1，Ｇ2間に液晶が封入され
ることにより構成されるが、これらのパネルの検査にお
いては、電気的特性（短絡，オープンリーク等）のみな
らず、表面の輝度ムラ，干渉縞の有無等を検査する必要
があるため、パネルを動作状態にして目視により検査を
行う必要がある。又この種パネルにおける電極ＤＥ，Ｓ
Ｅのピッチは、近年増々望まれる絵素の高密度化に伴い
0.２mm程度の微小ピッチが要求されている。ところで、
第７図はこのような微小ピッチの多数の電極ＤＥ，ＳＥ
を有するディスプレイパネルＰの検査に好適に使用し得
るテスターヘッドの一例を示しているが、このテスター
ヘッドＨは、パネルＰの電極ＤＥ，ＳＥのピッチに対応
するピッチで形成された多数のスリットＳを配列して成
る例えばメタクリル樹脂製の本体と、各スリットＳ内に
弾性変形された状態で夫々収納されていて両端部に本体
の頂面及び下面より夫々突出するように形成された接触
部Ｃ1及び接続部Ｃ2を有するリン青銅の如きバネ性を有
する金属製の接触端子Ｃとから成っている。
液晶デュテイ駆動の場合、第６図に例示した如く、ガラ
ス基板Ｇ1の表面に酸化インジウム（ＩＴＯ）等を蒸着
せしめることにより形成された多数のデータ側電極ＤＥ
とガラス基板Ｇ2の表面に同様に形成された多数の走査
側電極ＳＥとがマトリックス状に対向するように配列さ
れて、これら両ガラス基板Ｇ1，Ｇ2間に液晶が封入され
ることにより構成されるが、これらのパネルの検査にお
いては、電気的特性（短絡，オープンリーク等）のみな
らず、表面の輝度ムラ，干渉縞の有無等を検査する必要
があるため、パネルを動作状態にして目視により検査を
行う必要がある。又この種パネルにおける電極ＤＥ，Ｓ
Ｅのピッチは、近年増々望まれる絵素の高密度化に伴い
0.２mm程度の微小ピッチが要求されている。ところで、
第７図はこのような微小ピッチの多数の電極ＤＥ，ＳＥ
を有するディスプレイパネルＰの検査に好適に使用し得
るテスターヘッドの一例を示しているが、このテスター
ヘッドＨは、パネルＰの電極ＤＥ，ＳＥのピッチに対応
するピッチで形成された多数のスリットＳを配列して成
る例えばメタクリル樹脂製の本体と、各スリットＳ内に
弾性変形された状態で夫々収納されていて両端部に本体
の頂面及び下面より夫々突出するように形成された接触
部Ｃ1及び接続部Ｃ2を有するリン青銅の如きバネ性を有
する金属製の接触端子Ｃとから成っている。
テストに際しては、一対のテスターヘッドＨが使用さ
れ、水平に保持されたパネルＰの下側から一方のテスタ
ーヘッドの接触端Ｃの接触部Ｃ1がデータ側電極ＤＥ
に、また該パネルＰの上側から他方のテスターヘッドの
接触端子Ｃの接触部Ｃ1が走査側電極ＳＥに夫々接触せ
しめられるが、この場合、データ側電極ＤＥとこれに接
触せしめられるべき接触端子Ｃの位置合せは下記の如く
行なわれる。即ち、先づ真空吸着装置によりパネルＰが
水平に保持され、次に上方より顕微鏡を覗きながら左
右，上下及び回転方向に移動調整可能のステージを用い
て該ステージに装着されたテスターヘッドＨを動かすこ
とによりデータ側電極ＤＥと対応する接触端子Ｃとの位
置合せが行われ、最後のステージを上昇させ対応する接
触端子Ｃをデータ側電極ＤＥに接触させると共に適宜の
圧力を加えることにより位置合せを完了するようになっ
ている。
れ、水平に保持されたパネルＰの下側から一方のテスタ
ーヘッドの接触端Ｃの接触部Ｃ1がデータ側電極ＤＥ
に、また該パネルＰの上側から他方のテスターヘッドの
接触端子Ｃの接触部Ｃ1が走査側電極ＳＥに夫々接触せ
しめられるが、この場合、データ側電極ＤＥとこれに接
触せしめられるべき接触端子Ｃの位置合せは下記の如く
行なわれる。即ち、先づ真空吸着装置によりパネルＰが
水平に保持され、次に上方より顕微鏡を覗きながら左
右，上下及び回転方向に移動調整可能のステージを用い
て該ステージに装着されたテスターヘッドＨを動かすこ
とによりデータ側電極ＤＥと対応する接触端子Ｃとの位
置合せが行われ、最後のステージを上昇させ対応する接
触端子Ｃをデータ側電極ＤＥに接触させると共に適宜の
圧力を加えることにより位置合せを完了するようになっ
ている。
上述の如き位置合せ方法による場合は上方より顕微鏡を
覗きながら位置合せを行うようになっているため、テス
ターヘッドＨを上方から下降せしめることの必要な走査
側接触端子Ｃと走査側電極ＳＥとの位置合せは不可能
で、この場合の位置合せは他の方法によらざるを得なか
った。
覗きながら位置合せを行うようになっているため、テス
ターヘッドＨを上方から下降せしめることの必要な走査
側接触端子Ｃと走査側電極ＳＥとの位置合せは不可能
で、この場合の位置合せは他の方法によらざるを得なか
った。
本発明は、かかる事情に鑑み、上記ステージを利用して
走査側接触端子と走査側電極との位置合せをも行い得る
この種検査装置を提供することを目的とする。
走査側接触端子と走査側電極との位置合せをも行い得る
この種検査装置を提供することを目的とする。
本検査装置によれば、データ側電極に接触すべきデータ
側接触端子を有するテスターヘッドを装架した位置合せ
用ステージにデータ側接触端子と所定の位置関係を持つ
ように走査側接触端子を有するもう一つのテスターヘッ
ドが装架されていて、データ側電極とデータ側接触端子
との位置合せが行われると同時に走査側電極と走査側接
触端子との位置合せが完了するようになっている。好ま
しくは、データ側接触端子群には、データ側電極が形成
されている基板に設けられた少なくとも二つの位置合せ
用ダミーパターンに夫々接触し得る少なくとも二つのダ
ミー接触端子が含まれていて、データ側電極とデータ側
接触端子との位置合せが一層容易に行われ得るようにな
っている。
側接触端子を有するテスターヘッドを装架した位置合せ
用ステージにデータ側接触端子と所定の位置関係を持つ
ように走査側接触端子を有するもう一つのテスターヘッ
ドが装架されていて、データ側電極とデータ側接触端子
との位置合せが行われると同時に走査側電極と走査側接
触端子との位置合せが完了するようになっている。好ま
しくは、データ側接触端子群には、データ側電極が形成
されている基板に設けられた少なくとも二つの位置合せ
用ダミーパターンに夫々接触し得る少なくとも二つのダ
ミー接触端子が含まれていて、データ側電極とデータ側
接触端子との位置合せが一層容易に行われ得るようにな
っている。
先づ第１図及び第２図に基づき本発明の第一実施例を説
明すれば、図中、１は装置の本体フレーム、２は本体フ
レーム１上に固着されたベース、３はベース２上に摺動
可能に装架されていて周知のネジ機構を介して粗微動ハ
ンドル４を回することにより一方向へ移動可能のｘステ
ージ、５はｘステージ３上に摺動可能に装架されていて
周知のネジ機構を介して粗微動ハンドル６を回すことに
よりｘステージ３に対して直交する一方向へ移動可能の
ｙステージ、７はｙステージ５に上下摺動可能に装架さ
れていて周知のラック・ピニオン機構を介して粗微動ハ
ンドル８を回すことにより上下方向へ移動可能のｚステ
ージ、９はｚステージ７上に回転可能に装架されたθス
テージ、１０はθステージ９上に固着されていてデータ
側テスターヘッド載置部１０ａと後述する走査側テスタ
ーヘッド支持装置１１を装備したテスターヘッド支持ス
テージ、１２は本体フレーム１に取付けられていてテス
ターヘッド支持ステージ１０のデータ側テスターヘッド
載置部１０ａの直上部に配設された真空吸着装置、１３
はテスターヘッド支持ステージ一１０上に回動可能に取
付けられた移動ネジ、１４はテスターヘッド支持ステー
ジ１０上に摺動可能に載置されていて移動ネジ１３に螺
着されたブロック、１５はブロック１４上に枢着されて
いて先端部１５ａがＬ字状に起立せしめられ挾持用レバ
ー、１６は挾持用レバー１５に進退可能に螺着された調
整ネジ、１７は調整ネジ１６の小径部に緩く嵌合せしめ
られていてプロック１４上に挾持用レバー１５と同心的
に枢着されたテスターヘッド支持部材、１８は挾持用レ
バー１５とテスターヘッド支持部材１７との間に張架さ
れていて両者を互いに離れるように押圧するスプリン
グ、１９は走査側テスターヘッドＨSのためのリードク
ランパーである。データ側テスターヘッドＨDはテスタ
ーヘッド支持ステージ１０のデータ側テスターヘッド載
置部１０ａ上の所定位置に取付けネジ２０，２０により
固着され、２１はステージ１０上に固定されたデータ側
テスターヘッドＨDのためのリードクランパーである。
尚、テスターヘッド支持ステージ１０及びテスターヘッ
ド支持装置１１は、検査されるべきディスプレイパネル
Ｐ，走査側テスターヘッドＨS及びデータ側テスターヘ
ッドＨDが夫々上記の如き所定位置に保持された時、各
テスターヘッドＨS及びＨD接触端子ＣS，ＣDは上記パネ
ルＰの走査側電極ＳＥ及びデータ側電極ＤＥと夫々対応
し得るように、相互の位置が予め設計されている。
明すれば、図中、１は装置の本体フレーム、２は本体フ
レーム１上に固着されたベース、３はベース２上に摺動
可能に装架されていて周知のネジ機構を介して粗微動ハ
ンドル４を回することにより一方向へ移動可能のｘステ
ージ、５はｘステージ３上に摺動可能に装架されていて
周知のネジ機構を介して粗微動ハンドル６を回すことに
よりｘステージ３に対して直交する一方向へ移動可能の
ｙステージ、７はｙステージ５に上下摺動可能に装架さ
れていて周知のラック・ピニオン機構を介して粗微動ハ
ンドル８を回すことにより上下方向へ移動可能のｚステ
ージ、９はｚステージ７上に回転可能に装架されたθス
テージ、１０はθステージ９上に固着されていてデータ
側テスターヘッド載置部１０ａと後述する走査側テスタ
ーヘッド支持装置１１を装備したテスターヘッド支持ス
テージ、１２は本体フレーム１に取付けられていてテス
ターヘッド支持ステージ１０のデータ側テスターヘッド
載置部１０ａの直上部に配設された真空吸着装置、１３
はテスターヘッド支持ステージ一１０上に回動可能に取
付けられた移動ネジ、１４はテスターヘッド支持ステー
ジ１０上に摺動可能に載置されていて移動ネジ１３に螺
着されたブロック、１５はブロック１４上に枢着されて
いて先端部１５ａがＬ字状に起立せしめられ挾持用レバ
ー、１６は挾持用レバー１５に進退可能に螺着された調
整ネジ、１７は調整ネジ１６の小径部に緩く嵌合せしめ
られていてプロック１４上に挾持用レバー１５と同心的
に枢着されたテスターヘッド支持部材、１８は挾持用レ
バー１５とテスターヘッド支持部材１７との間に張架さ
れていて両者を互いに離れるように押圧するスプリン
グ、１９は走査側テスターヘッドＨSのためのリードク
ランパーである。データ側テスターヘッドＨDはテスタ
ーヘッド支持ステージ１０のデータ側テスターヘッド載
置部１０ａ上の所定位置に取付けネジ２０，２０により
固着され、２１はステージ１０上に固定されたデータ側
テスターヘッドＨDのためのリードクランパーである。
尚、テスターヘッド支持ステージ１０及びテスターヘッ
ド支持装置１１は、検査されるべきディスプレイパネル
Ｐ，走査側テスターヘッドＨS及びデータ側テスターヘ
ッドＨDが夫々上記の如き所定位置に保持された時、各
テスターヘッドＨS及びＨD接触端子ＣS，ＣDは上記パネ
ルＰの走査側電極ＳＥ及びデータ側電極ＤＥと夫々対応
し得るように、相互の位置が予め設計されている。
次に上記装置の作用を説明する。
第１図は、ディスプレイパネルＰが検査位置に保持され
且つ走査側テスターヘッドＨS及びデータ側テスターヘ
ッドＨDが何れも作動位置にセットされている状態を示
しているが、今検査すべきディスプレイパネルを新しく
セットする場合につき第１図を参照して説明すれば、先
づ調整ネジ１６を回してこれを上昇させると、これに追
従してテスターヘッド支持部材１７が僅かに右旋せしめ
られ、走査側接触端子ＣSがパネルＰの走査側電極ＳＥ
より一斉に離れて上昇する。この状態で移動ネジ１３を
回してテスターヘッド支持装置１１全体を第３図の位置
から右方へ移動せしめ、走査側接触端子ＣSをパネルＰ
から遠ざける。次にハンドル８を回してデータ側テスタ
ーヘッドＨDを僅かに下降させ、真空吸着装置１２をレ
リーズして検査すべき新しいディスプレイパネルを所定
位置にセットし、真空吸着装置１２を再び働かせて該パ
ネルをその位置に固定させる。この状態で本体フレーム
１の上方位置に装備された図示しない顕微鏡を覗きなが
ら、ハンドル４及び６を操作して上記パネルのデータ側
電極ＤＥとデータ側テスターヘッドＨDの接触端子ＣDと
の位置合せを行う。次にハンドル８を再び操作してデー
タ側テスターヘッドＨDを上昇させ、データ側接触端子
ＣDをデータ側電極ＤＥへ夫々圧接させる。かくして
後、移動ネジ１３を上記とは反対の方向へ回してテスタ
ーヘッド支持装置１１全体を図示しないストッパーに当
接するまで即ち第１図に示す位置まで左方へ移動せし
め、上記パネルの走査側電極ＳＥ上へ走査側テスターヘ
ッドＨSの接触端子ＣSを持ち来たす。この状態で調整ネ
ジ１６を上記とは反対の方向へ回してテスターヘッド支
持部材１７を僅かに左旋せしめ、走査側接触端子ＣSを
上記パネルの走査側電極ＳＥに夫々圧接せしめることに
よりセット操作を完了する。この場合、走査側接触端子
ＣSは走査側電極ＳＥを形成したガラス基板Ｇ2を下方へ
押圧してパネルを吸着位置から剥がす方向へ押圧する結
果となるが、上記ガラス基板Ｇ2は走査側接触端子ＣSと
挾持レバー１５とにより挾持されるから、パネルの吸着
位置がずれるようなことなく、データ側接触端子ＣDの
データ側電極ＤＥへの位置合せと同時に走査側接触端子
ＣSの走査側電極ＳＥへの位置合せが正確且つ自動的に
行われ得る。
且つ走査側テスターヘッドＨS及びデータ側テスターヘ
ッドＨDが何れも作動位置にセットされている状態を示
しているが、今検査すべきディスプレイパネルを新しく
セットする場合につき第１図を参照して説明すれば、先
づ調整ネジ１６を回してこれを上昇させると、これに追
従してテスターヘッド支持部材１７が僅かに右旋せしめ
られ、走査側接触端子ＣSがパネルＰの走査側電極ＳＥ
より一斉に離れて上昇する。この状態で移動ネジ１３を
回してテスターヘッド支持装置１１全体を第３図の位置
から右方へ移動せしめ、走査側接触端子ＣSをパネルＰ
から遠ざける。次にハンドル８を回してデータ側テスタ
ーヘッドＨDを僅かに下降させ、真空吸着装置１２をレ
リーズして検査すべき新しいディスプレイパネルを所定
位置にセットし、真空吸着装置１２を再び働かせて該パ
ネルをその位置に固定させる。この状態で本体フレーム
１の上方位置に装備された図示しない顕微鏡を覗きなが
ら、ハンドル４及び６を操作して上記パネルのデータ側
電極ＤＥとデータ側テスターヘッドＨDの接触端子ＣDと
の位置合せを行う。次にハンドル８を再び操作してデー
タ側テスターヘッドＨDを上昇させ、データ側接触端子
ＣDをデータ側電極ＤＥへ夫々圧接させる。かくして
後、移動ネジ１３を上記とは反対の方向へ回してテスタ
ーヘッド支持装置１１全体を図示しないストッパーに当
接するまで即ち第１図に示す位置まで左方へ移動せし
め、上記パネルの走査側電極ＳＥ上へ走査側テスターヘ
ッドＨSの接触端子ＣSを持ち来たす。この状態で調整ネ
ジ１６を上記とは反対の方向へ回してテスターヘッド支
持部材１７を僅かに左旋せしめ、走査側接触端子ＣSを
上記パネルの走査側電極ＳＥに夫々圧接せしめることに
よりセット操作を完了する。この場合、走査側接触端子
ＣSは走査側電極ＳＥを形成したガラス基板Ｇ2を下方へ
押圧してパネルを吸着位置から剥がす方向へ押圧する結
果となるが、上記ガラス基板Ｇ2は走査側接触端子ＣSと
挾持レバー１５とにより挾持されるから、パネルの吸着
位置がずれるようなことなく、データ側接触端子ＣDの
データ側電極ＤＥへの位置合せと同時に走査側接触端子
ＣSの走査側電極ＳＥへの位置合せが正確且つ自動的に
行われ得る。
第３図は本発明の他の実施例を示している。この実施例
は、走査側テスターヘッド支持装置１１の構成の点で上
述の実施例とは異なる。即ち、テスターヘッド支持ステ
ージ１０上にはレバー２２ａを有する治具ブロック２２
が回動可能に装架されていて、この治具ブロック２２に
は走査側テスターヘッドＨSが取付けられており、更に
この治具ブロック２２はレバー２２ａの実線図示位置と
鎖線図示位置との間を回動して各位置にクリック装置等
により保持され得るようになっている。尚、レバー２２
ａが鎖線位置へ持ち来された時は、真空吸着装置１２に
より本体フレーム１の所定位置に保持されたフラットパ
ネルＰの走査側電極ＳＥに走査側テスターヘッドＨSの
接触端子ＣSが適当な押圧力で夫々接触し得るように予
め設計されており、又レバー２２ａが鎖線位置にある状
態での走査側接触端子ＣSとデータ側接触端子ＣDとの相
互関係がパネルＰの走査側電極ＳＥとデータ側電極ＤＥ
との相互位置関係と同一になるように設計され取付けら
れている。この実施例は上記のように構成されているか
ら、検査されるべきフラットパネルのセットを行う場合
には、先づレバー２２ａを鎖線位置から実線位置まで回
して走査側テスターヘッドＨSを図示位置まで移動さ
せ、次に既述の如き手順で新しいフラットパネルの所定
位置への装填、顕微鏡を利用してのデータ側電極ＤＥと
データ側接触端子ＣDの位置合せ及びステージ９の上昇
によるデータ側接触端子ＣDのデータ側電極ＤＥへの加
圧接触を行わせ、しかる後、レバー２２ａを実線位置か
ら鎖線位置まで回すだけで、走査側接触端子ＣSを正し
く走査側電極Ｅに接触せしめることができる。この説明
で明らかなごとく、本実施例によれば操作がより簡単に
なると云う利点がある。
は、走査側テスターヘッド支持装置１１の構成の点で上
述の実施例とは異なる。即ち、テスターヘッド支持ステ
ージ１０上にはレバー２２ａを有する治具ブロック２２
が回動可能に装架されていて、この治具ブロック２２に
は走査側テスターヘッドＨSが取付けられており、更に
この治具ブロック２２はレバー２２ａの実線図示位置と
鎖線図示位置との間を回動して各位置にクリック装置等
により保持され得るようになっている。尚、レバー２２
ａが鎖線位置へ持ち来された時は、真空吸着装置１２に
より本体フレーム１の所定位置に保持されたフラットパ
ネルＰの走査側電極ＳＥに走査側テスターヘッドＨSの
接触端子ＣSが適当な押圧力で夫々接触し得るように予
め設計されており、又レバー２２ａが鎖線位置にある状
態での走査側接触端子ＣSとデータ側接触端子ＣDとの相
互関係がパネルＰの走査側電極ＳＥとデータ側電極ＤＥ
との相互位置関係と同一になるように設計され取付けら
れている。この実施例は上記のように構成されているか
ら、検査されるべきフラットパネルのセットを行う場合
には、先づレバー２２ａを鎖線位置から実線位置まで回
して走査側テスターヘッドＨSを図示位置まで移動さ
せ、次に既述の如き手順で新しいフラットパネルの所定
位置への装填、顕微鏡を利用してのデータ側電極ＤＥと
データ側接触端子ＣDの位置合せ及びステージ９の上昇
によるデータ側接触端子ＣDのデータ側電極ＤＥへの加
圧接触を行わせ、しかる後、レバー２２ａを実線位置か
ら鎖線位置まで回すだけで、走査側接触端子ＣSを正し
く走査側電極Ｅに接触せしめることができる。この説明
で明らかなごとく、本実施例によれば操作がより簡単に
なると云う利点がある。
上記何れの実施例の場合も、問題となるのは、第４図に
黒点で示すごとく、データ側電極ＤＥとデータ側接触端
子ＣDとの接続は完全に行われても、データ側電極ＤＥ
とデータ側接続端子ＣDとの接触点の正規の位置Ｒから
のずれにより走査側電極ＳＥを走査側接触端子ＣSとの
接続が行われない場合があると云うことである。この場
合の対策として、本発明によれば、データ側電極ＤＥの
形成されているガラス基板Ｇ1の少なくとも二箇所に位
置合せ用ダミーパターン２３を配設し、その中心部標示
マーク２３ａ内にデータ側テスターヘッドＨDに対応し
て設けられたダミー接触端子２４を位置合せ（第５図参
照）することができるようになっている。これによりデ
ータ側接触端子ＣDの正規の位置Ｒからの左右のずれを
防止することができ、走査側接触端子ＣSの走査側電極
ＳＥへの確実な接続を保証することが出来るばかりか、
ダミーパターン２３はデータ側電極ＤＥの存在しない部
位に形成することが可能であるため顕微鏡を通して見易
くダミー接触端子２４の位置合せが極めて容易である上
に、自動パターン認識を導入した自動化のためにも有効
である。
黒点で示すごとく、データ側電極ＤＥとデータ側接触端
子ＣDとの接続は完全に行われても、データ側電極ＤＥ
とデータ側接続端子ＣDとの接触点の正規の位置Ｒから
のずれにより走査側電極ＳＥを走査側接触端子ＣSとの
接続が行われない場合があると云うことである。この場
合の対策として、本発明によれば、データ側電極ＤＥの
形成されているガラス基板Ｇ1の少なくとも二箇所に位
置合せ用ダミーパターン２３を配設し、その中心部標示
マーク２３ａ内にデータ側テスターヘッドＨDに対応し
て設けられたダミー接触端子２４を位置合せ（第５図参
照）することができるようになっている。これによりデ
ータ側接触端子ＣDの正規の位置Ｒからの左右のずれを
防止することができ、走査側接触端子ＣSの走査側電極
ＳＥへの確実な接続を保証することが出来るばかりか、
ダミーパターン２３はデータ側電極ＤＥの存在しない部
位に形成することが可能であるため顕微鏡を通して見易
くダミー接触端子２４の位置合せが極めて容易である上
に、自動パターン認識を導入した自動化のためにも有効
である。
以上実施例では、フラットマトリックスディスプレイパ
ネルとして液晶パネルを対象に説明したが、本発明はこ
れに限定されるものではなく、対向電極を有するプラズ
マディスプレイパネル等にも適用できることは云うまで
もない。又目視検査が不要の場合にも適用でき、走査側
とデータ側を上下逆にして用いても良いことは云うまで
もない。
ネルとして液晶パネルを対象に説明したが、本発明はこ
れに限定されるものではなく、対向電極を有するプラズ
マディスプレイパネル等にも適用できることは云うまで
もない。又目視検査が不要の場合にも適用でき、走査側
とデータ側を上下逆にして用いても良いことは云うまで
もない。
上述の如く本発明によれば、対向電極を持つフラットマ
トリックスディスプレイパネル用検査装置において、位
置合せが不可能な走査側電極と走査側接触端子をデータ
側電極とデータ側接触端子の位置合せを行うだけで自動
的に位置合せすることが可能であり、而もパネルに何ら
の損傷を与えずに必要なテストを実行できると云う利点
を有する。
トリックスディスプレイパネル用検査装置において、位
置合せが不可能な走査側電極と走査側接触端子をデータ
側電極とデータ側接触端子の位置合せを行うだけで自動
的に位置合せすることが可能であり、而もパネルに何ら
の損傷を与えずに必要なテストを実行できると云う利点
を有する。
第１図は本発明による検査装置の一実施例の一部を破断
して示す側面図、第２図は第１図のII−II線に沿う拡大
断面図、第３図は本発明による検査装置の他の実施例の
要部側面図、第４図は本発明に係るフラットマトリック
スディスプレイパネルの一実施例を示す平面図、第５図
は位置合せ用ダミーパターンとダミー接触端子との位置
合せ状態を示す拡大図、第６図はフラットマトリックス
ディスプレイパネルの一従来例を示し（Ａ）はその平面
図、（Ｂ）は右側面図、（Ｃ）は底面図、第７図はテス
ターヘッドの一従来例を示し（Ａ）はその斜視図、
（Ｂ）は斜視図（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。 １……本体フレーム、２……ベース、３……ｘステー
ジ、４……粗微動ハンドル、５……ｙステージ、６……
粗微動ハンドル、７……ｚステージ、８……粗微動ハン
ドル、９……θステージ、１０……テスターヘッド支持
ステージ、１１……走査側テスターヘッド支持装置、１
２……真空吸着装置、１３……移動ネジ、１４……ブロ
ック、１５……挾持用レバー、１６……調整ネジ、１７
……テスターヘッド支持部材、１８……スプリング、１
９……リードクランパー、２０……取付けネジ、２１…
…リードクランパー、２２……治具ブロック、２３……
位置合せ用ダミーパターン、２４……ダミー接触端子、
Ｐ……フラットマトリックスディスプレイパネル、ＤＥ
……データ側電極、ＳＥ……走査側電極、Ｇ1，Ｇ2……
基板、ＨD……データ側テスターヘッド、ＣD……データ
側接触端子、ＨS……走査側テスターヘッド、ＣS……走
査側接触端子。
して示す側面図、第２図は第１図のII−II線に沿う拡大
断面図、第３図は本発明による検査装置の他の実施例の
要部側面図、第４図は本発明に係るフラットマトリック
スディスプレイパネルの一実施例を示す平面図、第５図
は位置合せ用ダミーパターンとダミー接触端子との位置
合せ状態を示す拡大図、第６図はフラットマトリックス
ディスプレイパネルの一従来例を示し（Ａ）はその平面
図、（Ｂ）は右側面図、（Ｃ）は底面図、第７図はテス
ターヘッドの一従来例を示し（Ａ）はその斜視図、
（Ｂ）は斜視図（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。 １……本体フレーム、２……ベース、３……ｘステー
ジ、４……粗微動ハンドル、５……ｙステージ、６……
粗微動ハンドル、７……ｚステージ、８……粗微動ハン
ドル、９……θステージ、１０……テスターヘッド支持
ステージ、１１……走査側テスターヘッド支持装置、１
２……真空吸着装置、１３……移動ネジ、１４……ブロ
ック、１５……挾持用レバー、１６……調整ネジ、１７
……テスターヘッド支持部材、１８……スプリング、１
９……リードクランパー、２０……取付けネジ、２１…
…リードクランパー、２２……治具ブロック、２３……
位置合せ用ダミーパターン、２４……ダミー接触端子、
Ｐ……フラットマトリックスディスプレイパネル、ＤＥ
……データ側電極、ＳＥ……走査側電極、Ｇ1，Ｇ2……
基板、ＨD……データ側テスターヘッド、ＣD……データ
側接触端子、ＨS……走査側テスターヘッド、ＣS……走
査側接触端子。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岩本 定男 東京都中央区日本橋本町２丁目９番５号 ヤマト科学株式会社内 (72)発明者 小沢 一久 埼玉県川口市並木２の30の１ 第一精工株 式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】二枚の基板上に夫々形成された電極群が互
いに対向するように配置されて成るフラットマトリック
スディスプレイパネル用の検査装置において、上記基板
の一方の電極群に夫々接触し得るデータ側接触端子群を
有するデータ側テスターヘッドを三次元的に移動調整せ
しめ得る位置合せ用ステージ装置と、上記基板の他方の
電極群に夫々接触し得る走査側接触端子群を有する走査
側テスターヘッドを移動調整可能に支持する支持装置と
を設け、上記データ側接触端子群は少なくとも二つのダ
ミー接触端子を含み、また上記パネル上には少なくとも
二つの上記ダミー接触端子に対応する位置合せ用ダミー
パターンが配設されて、上記位置合せ用ステージ装置を
操作して上記ダミー接触端子上に設けられた特定点を上
記位置合せ用ダミーパターンに整合させることにより上
記電極群と上記接触端子群とを夫々整合せしめるように
したことを特徴とするフラットマトリックスディスプレ
イパネル用検査装置。 - 【請求項２】前記走査側テスターヘッドは、前記支持装
置上に回転可能に装架された治具上に固定されるように
なっている、特許請求の範囲(1)に記載の検査装置。 - 【請求項３】前記走査側接触端子群が接触する側の前記
パネル面に対向する側の面に、接触圧力を加えるに従い
反力が加わるようにして成る、特許請求の範囲(1)に記
載の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60252462A JPH063476B2 (ja) | 1985-11-11 | 1985-11-11 | フラツトマトリツクスデイスプレイパネル用検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60252462A JPH063476B2 (ja) | 1985-11-11 | 1985-11-11 | フラツトマトリツクスデイスプレイパネル用検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62112044A JPS62112044A (ja) | 1987-05-23 |
| JPH063476B2 true JPH063476B2 (ja) | 1994-01-12 |
Family
ID=17237716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60252462A Expired - Fee Related JPH063476B2 (ja) | 1985-11-11 | 1985-11-11 | フラツトマトリツクスデイスプレイパネル用検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH063476B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0810174B2 (ja) * | 1987-11-10 | 1996-01-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 液晶表示体の検査装置 |
| JP2573534B2 (ja) * | 1991-11-13 | 1997-01-22 | 株式会社日本マイクロニクス | 液晶表示パネルの検査装置 |
| US5542866A (en) * | 1994-12-27 | 1996-08-06 | Industrial Technology Research Institute | Field emission display provided with repair capability of defects |
| JP2679958B2 (ja) * | 1995-04-24 | 1997-11-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 液晶表示体の検査装置 |
-
1985
- 1985-11-11 JP JP60252462A patent/JPH063476B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62112044A (ja) | 1987-05-23 |
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