JPH0810177B2 - 非点収差検査方法及び非点収差検査装置 - Google Patents
非点収差検査方法及び非点収差検査装置Info
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- JPH0810177B2 JPH0810177B2 JP2174088A JP2174088A JPH0810177B2 JP H0810177 B2 JPH0810177 B2 JP H0810177B2 JP 2174088 A JP2174088 A JP 2174088A JP 2174088 A JP2174088 A JP 2174088A JP H0810177 B2 JPH0810177 B2 JP H0810177B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、非点収差検査方法及び非点収差検査装置に
関する。
関する。
一般に、光学系の性能として解像力が最も重要な特性
であり、この解像力は光学系のもつ球面収差、非点収
差、コア収差、色収差等の各収差量により決定される。
そして、これらの収差の中で製作精度に大きく依存する
収差として非点収差を挙げることができる。
であり、この解像力は光学系のもつ球面収差、非点収
差、コア収差、色収差等の各収差量により決定される。
そして、これらの収差の中で製作精度に大きく依存する
収差として非点収差を挙げることができる。
非点収差は、主として各光学素子の面精度の程度と各
面の組合せ条件により決定され、従って、比較的悪い面
精度の光学素子でも組合せ調整により見掛上非点収差を
大幅に小さくすることができる。具体的な手段として
は、非点収差に対して効果の大きなレンズを回転するこ
とにより、非点収差を小さくする調整方法が知られてい
る。一方、非点収差量の検出方法についは、次のような
従来技術がある。
面の組合せ条件により決定され、従って、比較的悪い面
精度の光学素子でも組合せ調整により見掛上非点収差を
大幅に小さくすることができる。具体的な手段として
は、非点収差に対して効果の大きなレンズを回転するこ
とにより、非点収差を小さくする調整方法が知られてい
る。一方、非点収差量の検出方法についは、次のような
従来技術がある。
（１） チャート像を評価する方法 この方法は、例えば、放射状のチャートを用い、被検
レンズ（被検光学系）を移動させながらいずれかの方位
のチャート像にピントが会う範囲に対応するレンズの移
動量を見掛上の非点収差として測定する方法である。
レンズ（被検光学系）を移動させながらいずれかの方位
のチャート像にピントが会う範囲に対応するレンズの移
動量を見掛上の非点収差として測定する方法である。
（２） スポット像を評価する方法 この方法は、例えば点チャートを用い、被検レンズを
移動させながら点像も目視もしくはテレビカメラを通し
て観察し、被検レンズの見掛上の非点収差として測定す
る方法である。
移動させながら点像も目視もしくはテレビカメラを通し
て観察し、被検レンズの見掛上の非点収差として測定す
る方法である。
（３） 干渉計により非点収差を測定する方法。
（４） その他、焦点調整に適した検出方式として、瞳
面分割による像位相差法に高速画像処理を付加した方法
がある（特願昭61−294250号参照）。
面分割による像位相差法に高速画像処理を付加した方法
がある（特願昭61−294250号参照）。
しかしながら、上記従来技術においてはそれぞれ次の
ような問題点があった。即ち、チャート像を評価する方
法は検出精度が非常に悪く、レンズを常に移動させて測
定しなければならないので、調整器としては不向きであ
る。又、スポット像を評価する方法は検出感度が比較的
高いが、測定精度としてはあまり良くない欠点がある。
さらに、レンズの移動を伴うので調整器として不向きで
ある。又、干渉計による方法は検出精度は高いが配置を
厳密にする必要があるため、例えば被検レンズ調整後に
再度配置調整しなければならないという問題点があり、
この手段も調整器としては不向きである。又、特願昭61
−294250号記載の技術においては、基本的には非点収差
を調整できないという問題点があった。
ような問題点があった。即ち、チャート像を評価する方
法は検出精度が非常に悪く、レンズを常に移動させて測
定しなければならないので、調整器としては不向きであ
る。又、スポット像を評価する方法は検出感度が比較的
高いが、測定精度としてはあまり良くない欠点がある。
さらに、レンズの移動を伴うので調整器として不向きで
ある。又、干渉計による方法は検出精度は高いが配置を
厳密にする必要があるため、例えば被検レンズ調整後に
再度配置調整しなければならないという問題点があり、
この手段も調整器としては不向きである。又、特願昭61
−294250号記載の技術においては、基本的には非点収差
を調整できないという問題点があった。
以上のように、従来の各種技術においては、検出精度
が悪いかもしくは操作性が極めて悪いという問題点を有
していた。
が悪いかもしくは操作性が極めて悪いという問題点を有
していた。
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みてなされたも
のであって、検出精度が高く、かつ操作性にも優れた非
点収差検査方法及び非点収差検査装置を提供することを
目的とする。
のであって、検出精度が高く、かつ操作性にも優れた非
点収差検査方法及び非点収差検査装置を提供することを
目的とする。
〔課題を解決するための手段〕 上記目的を達成するために、本発明は、光源と被検光
学系との間に配設したピンホールチャートの１次像を前
記被検光学系にて形成し、前記ピンホールチャートの１
次像を投影レンズ及び投影レンズの射出瞳付近に配設し
た瞳面分割プリズムを介して複数の２次像として受光素
子上に投影し、前記瞳面分割プリズムを回転させつつ前
記複数の２次像の受光素子上の各位置によって前記１次
像点の光軸上の位置を検出するとともにその検出値の最
大値と最小値の差を演算することにより非点収差の量を
測定するものである。
学系との間に配設したピンホールチャートの１次像を前
記被検光学系にて形成し、前記ピンホールチャートの１
次像を投影レンズ及び投影レンズの射出瞳付近に配設し
た瞳面分割プリズムを介して複数の２次像として受光素
子上に投影し、前記瞳面分割プリズムを回転させつつ前
記複数の２次像の受光素子上の各位置によって前記１次
像点の光軸上の位置を検出するとともにその検出値の最
大値と最小値の差を演算することにより非点収差の量を
測定するものである。
又、本発明に係る非点収差検査装置は、光源と、前記
光源と被検光学系との間に配置されたピンホールチャー
トと、前記被検光学系にて形成された前記ピンホールチ
ャートの１次像を２次像として投影するための投影レン
ズと、前記投影レンズの射出瞳付近に配設された瞳面分
割プリズムと、これらによりできる複数の２次像の各々
の重心又は中心の位置を検出するべく前記投影レンズの
基準像面位置に配設された受光素子と、被検光学系に対
し、前記瞳面分割プリズムを回転するための回転機構部
と、前記受光素子における前記２次像の像点位置の座標
の差から前記１次像の像点のずれ量を算出するとともに
その算出値の前記瞳面分割プリズムの少なくとも1/2回
転当たりの最大値と最小値との差を算出するための演算
部と、前記演算部における演算結果を表示するための表
示部とより構成したものである。
光源と被検光学系との間に配置されたピンホールチャー
トと、前記被検光学系にて形成された前記ピンホールチ
ャートの１次像を２次像として投影するための投影レン
ズと、前記投影レンズの射出瞳付近に配設された瞳面分
割プリズムと、これらによりできる複数の２次像の各々
の重心又は中心の位置を検出するべく前記投影レンズの
基準像面位置に配設された受光素子と、被検光学系に対
し、前記瞳面分割プリズムを回転するための回転機構部
と、前記受光素子における前記２次像の像点位置の座標
の差から前記１次像の像点のずれ量を算出するとともに
その算出値の前記瞳面分割プリズムの少なくとも1/2回
転当たりの最大値と最小値との差を算出するための演算
部と、前記演算部における演算結果を表示するための表
示部とより構成したものである。
上記方法及び装置によれば、投影レンズの射出瞳付近
に配設した瞳面分割プリズムを回転させつつピンホール
チャートの１次像点の光軸上の位置を検出することによ
り、非点収差の量を測定できるものである。
に配設した瞳面分割プリズムを回転させつつピンホール
チャートの１次像点の光軸上の位置を検出することによ
り、非点収差の量を測定できるものである。
以下、図面を用いて本発明の実施例について詳細に説
明する。
明する。
（第１実施例） 第１図は、本発明に係る非点収差検査装置１の構成を
示す説明図である。
示す説明図である。
図に示すように非点収差検査装置１は、光源２と、こ
の光源２と被検光学系（被検レンズ又は調整すべきレン
ズ）３との間に配置されたピンホールチャート４と、被
検光学系３にて形成されたピンホールチャート４の１次
像を２次像として投影するための投影レンズ５と、投影
レンズ５の射出瞳付近に配設された瞳面分割プリズム６
と、これらによりできる複数の２次像の各々の重心又は
中心の位置を検出するべく投影レンズ５の基準像面位置
に配設された受光素子（CCDカメラ等）７と、被検光学
系３に対し、瞳面分割プリズム６を回転するための回転
機構部８と、受光素子７における前記２次像の位置信号
から合焦ずれ量を算出する、即ち、２次像の像点位置の
座標の差から前記１次像の像点のずれ量を算出するとと
もにその算出値の前記瞳面分割プリズム６の少なくとも
1/2回転あたりの最大値と最小値との差を算出するため
の演算部９と、演算部９における演算結果を表示するた
めの表示部10とより構成してある。
の光源２と被検光学系（被検レンズ又は調整すべきレン
ズ）３との間に配置されたピンホールチャート４と、被
検光学系３にて形成されたピンホールチャート４の１次
像を２次像として投影するための投影レンズ５と、投影
レンズ５の射出瞳付近に配設された瞳面分割プリズム６
と、これらによりできる複数の２次像の各々の重心又は
中心の位置を検出するべく投影レンズ５の基準像面位置
に配設された受光素子（CCDカメラ等）７と、被検光学
系３に対し、瞳面分割プリズム６を回転するための回転
機構部８と、受光素子７における前記２次像の位置信号
から合焦ずれ量を算出する、即ち、２次像の像点位置の
座標の差から前記１次像の像点のずれ量を算出するとと
もにその算出値の前記瞳面分割プリズム６の少なくとも
1/2回転あたりの最大値と最小値との差を算出するため
の演算部９と、演算部９における演算結果を表示するた
めの表示部10とより構成してある。
ピンホールチャート４と被検光学系３との間の距離
は、調整条件として与えるものであり、又、回転機構部
８は、投影レンズ５の射出瞳付近で瞳面分割プリズム６
を射出瞳の中心軸を回転軸とした状態で常に回転しうる
ように設定構成されている。
は、調整条件として与えるものであり、又、回転機構部
８は、投影レンズ５の射出瞳付近で瞳面分割プリズム６
を射出瞳の中心軸を回転軸とした状態で常に回転しうる
ように設定構成されている。
瞳面分割プリズム６は、第２図ａにて示すごとく、同
一のウエッジ角αを有する２つのウエッジプリズム6a,6
bを側面で密着させて構成してある。従って、被検光学
系３にて形成されたピンホールチャート４の１次像が投
影レンズ５を介して受光素子７上に２次像として投影さ
れる際には、瞳面分割プリズム６の分割作用により前記
２次像が第２図ｂにて示すごとく複数（２つ）の同一形
状の像11a,11bとして投影されるようになっている。
一のウエッジ角αを有する２つのウエッジプリズム6a,6
bを側面で密着させて構成してある。従って、被検光学
系３にて形成されたピンホールチャート４の１次像が投
影レンズ５を介して受光素子７上に２次像として投影さ
れる際には、瞳面分割プリズム６の分割作用により前記
２次像が第２図ｂにて示すごとく複数（２つ）の同一形
状の像11a,11bとして投影されるようになっている。
次に、上記構成の非点収差検査装置１を用いて非点収
差の量を検査（測定）する方法及び非点収差を調整する
方法について説明する。
差の量を検査（測定）する方法及び非点収差を調整する
方法について説明する。
光源１から発光された光はピンホールチャート４に照
射され、ピンホールチャート４の像はまず被検光学系３
を介して１次像として結像される。そして、このピンホ
ールチャート４の像は、投影レンズ５を介して受光素子
７上に２次像として投影される。この場合、受光素子７
上には、瞳面分割プリズム６の作用により第２図ｂにて
示すごとく２個の２次像が形成される。
射され、ピンホールチャート４の像はまず被検光学系３
を介して１次像として結像される。そして、このピンホ
ールチャート４の像は、投影レンズ５を介して受光素子
７上に２次像として投影される。この場合、受光素子７
上には、瞳面分割プリズム６の作用により第２図ｂにて
示すごとく２個の２次像が形成される。
ここで、ｎをウエッジプリズム6a,6bの屈折率、λは
光の波長、fwを被検光学系３の焦点距離、NAwを被検光
学系３のNA（開口数）、βｗを被検光学系３の倍率、fo
を投影レンズ５の焦点距離、EXPoを投影レンズ５の射出
瞳の位置、βｏを投影レンズ５の倍率、αをウエッジプ
リズム6a,6bのウエッジ角（くさび角）、loを受光素子
７上の２つの像点11a,11b間の距離とすると、 lo＝２（ｎ−１）（βofo＋fo−EXPo）sinα …（１） となる。
光の波長、fwを被検光学系３の焦点距離、NAwを被検光
学系３のNA（開口数）、βｗを被検光学系３の倍率、fo
を投影レンズ５の焦点距離、EXPoを投影レンズ５の射出
瞳の位置、βｏを投影レンズ５の倍率、αをウエッジプ
リズム6a,6bのウエッジ角（くさび角）、loを受光素子
７上の２つの像点11a,11b間の距離とすると、 lo＝２（ｎ−１）（βofo＋fo−EXPo）sinα …（１） となる。
次に、この状態で第１の像点が、光軸上前方（図で右
側）に変化した場合を考える。第３図a,bはこの状態を
示す図である。この場合、第２の像点は受光素子７の受
光面の前方（図では右側）に変化するため、上の光線束
の重心が上側、下の光線束の重心が下側となるため、受
光素子７の受光面上での像点位置（この場合光線束の重
心位置）は第３図ｂに示すごとく、分割線に対してｘ方
向に逆向きに等しい距離だけ変化する。今、この２点11
a,11bのｘ方向の座標の差をδとする。又、第２図ｂと
同様に、ｙ方向の２点11a,11bの座標の差をｌとする。
この場合においても、２つの像点11a,11bの大きさ，形
状は全く同じとなり、これらのｘ方向の大きさをdx,y方
向の大きさはdy、Δｚを第１の像点の変化量とする。
側）に変化した場合を考える。第３図a,bはこの状態を
示す図である。この場合、第２の像点は受光素子７の受
光面の前方（図では右側）に変化するため、上の光線束
の重心が上側、下の光線束の重心が下側となるため、受
光素子７の受光面上での像点位置（この場合光線束の重
心位置）は第３図ｂに示すごとく、分割線に対してｘ方
向に逆向きに等しい距離だけ変化する。今、この２点11
a,11bのｘ方向の座標の差をδとする。又、第２図ｂと
同様に、ｙ方向の２点11a,11bの座標の差をｌとする。
この場合においても、２つの像点11a,11bの大きさ，形
状は全く同じとなり、これらのｘ方向の大きさをdx,y方
向の大きさはdy、Δｚを第１の像点の変化量とする。
ｌ＝lo …（５） となる。
ここで、第２の像点11の焦点深度内に受光素子７の受
光面が置かれている場合には、受光素子７の受光面上で
の像点の大きさと形は（６）式および（７）式でΔｚが
無視できるため、受光素子７の受光面上に像点が一致し
たときとほぼ等しくなる。従って、Δｚが微小な範囲で
あれば結像点と受光素子７の受光面との差に応じてδの
みが変化することになる。即ち第２の像点11が焦点深度
に入る程度に前記第１の像点が存在すれば、該第１の像
点の光軸上の位置に対応してδのみが変化することにな
る。故に、このδを検出することによって、第１の結像
点のずれ量Δｚを検出することができる。
光面が置かれている場合には、受光素子７の受光面上で
の像点の大きさと形は（６）式および（７）式でΔｚが
無視できるため、受光素子７の受光面上に像点が一致し
たときとほぼ等しくなる。従って、Δｚが微小な範囲で
あれば結像点と受光素子７の受光面との差に応じてδの
みが変化することになる。即ち第２の像点11が焦点深度
に入る程度に前記第１の像点が存在すれば、該第１の像
点の光軸上の位置に対応してδのみが変化することにな
る。故に、このδを検出することによって、第１の結像
点のずれ量Δｚを検出することができる。
上記のような瞳面２分割方式の場合には、ウェッジプ
リズム6a,6bの接合面に直角な方位の光束成分に対して
最大感度を有し、接合面に平行で光軸に直角な光束成分
に対しては感度０であることは上記説明より明らかであ
る。
リズム6a,6bの接合面に直角な方位の光束成分に対して
最大感度を有し、接合面に平行で光軸に直角な光束成分
に対しては感度０であることは上記説明より明らかであ
る。
一方、非点収差は、前記成分光束の方位を回転した際
の１次像点の光軸上のずれ量と考えて差支えない。従っ
て、本実施例によれば、ウェッジプリズム6a,6bを回転
させながら前記複数の２次像の受光素子上の各位置によ
って１次像点の光軸上の位置を検出し、その最大値と最
小値の差を演算部９にて演算することにより、非点収差
の量を高い精度で測定（検査）することができる。そし
て、演算部９にて演算された演算結果は、表示部10に表
示されるので、非点収差の量を目視することができる。
の１次像点の光軸上のずれ量と考えて差支えない。従っ
て、本実施例によれば、ウェッジプリズム6a,6bを回転
させながら前記複数の２次像の受光素子上の各位置によ
って１次像点の光軸上の位置を検出し、その最大値と最
小値の差を演算部９にて演算することにより、非点収差
の量を高い精度で測定（検査）することができる。そし
て、演算部９にて演算された演算結果は、表示部10に表
示されるので、非点収差の量を目視することができる。
又、上記１次像点の光軸上の位置の最大値と最小値の
差が０となるように被検光学系３を調整することによ
り、簡単な操作で非点収差のないレンズを製作すること
が可能となる。又、同様に、上記最大値と最小値の差が
０となるように、換言すれば非点収差検出値が０となる
ように非検光学系３の特定のレンズを回転する等するこ
とにより、非点収差が最小となるように調整することが
でき、簡単な操作で高精度の非点収差調整が可能となる
ものである。
差が０となるように被検光学系３を調整することによ
り、簡単な操作で非点収差のないレンズを製作すること
が可能となる。又、同様に、上記最大値と最小値の差が
０となるように、換言すれば非点収差検出値が０となる
ように非検光学系３の特定のレンズを回転する等するこ
とにより、非点収差が最小となるように調整することが
でき、簡単な操作で高精度の非点収差調整が可能となる
ものである。
従って、本実施例によれば、光学系の特性である非点
収差の量を極めて高い精度で操作性よく検出しうるとと
もに、簡単な操作で高精度の非点収差調整が可能となる
ものである。
収差の量を極めて高い精度で操作性よく検出しうるとと
もに、簡単な操作で高精度の非点収差調整が可能となる
ものである。
（第２実施例） 第４図に本発明に係る非点収差検査方法を実施するた
めの非点収差検査装置１の第２実施例を示す。本実施例
の特徴は、瞳面分割プリズム６と演算部９との間に、瞳
面分割プリズム６の回転方位検出用の検出部20を配設し
て構成した点である。従って、本実施例においては、回
転機構部８の構成は極めて簡単化してある。その他の構
成部については、第１実施例と同様であるので、第１図
にて示した構成部と同様の構成部には同一符号を付して
その説明を省略する。
めの非点収差検査装置１の第２実施例を示す。本実施例
の特徴は、瞳面分割プリズム６と演算部９との間に、瞳
面分割プリズム６の回転方位検出用の検出部20を配設し
て構成した点である。従って、本実施例においては、回
転機構部８の構成は極めて簡単化してある。その他の構
成部については、第１実施例と同様であるので、第１図
にて示した構成部と同様の構成部には同一符号を付して
その説明を省略する。
本実施例によれば、瞳面分割プリズム６の各回転方位
に対応する受光素子７上の２つの像点11a,11bのずれ量
を測定することができる。例えば、瞳面分割プリズム６
の回転方位を（１）,0゜の方位，（２）.90゜の方位，
（３）.180゜の方位とすると、受光素子７の受光面上に
は、第５図a,b,cにて示すごとく各回転方位に対応した
映像が投影されることになり、従って、各々の回転方位
における各像点11a,11bのずれ量δｏ゜，δ90゜，δ180
゜を測定することができる。又、回転方位をより細かく
設定して測定すれば、第５図ｄにて示すように各回転方
位に対する検出値の特性曲線を描くことができる。この
特性曲線は、一般的に180゜周期の周期関数を表す曲線
となり、この曲線における振幅Ｗが非点収差に比例した
量となる。そして、このときの比例定数は投影レンズ５
の倍率と非検光学系３の像側開口数により定まるもので
ある。
に対応する受光素子７上の２つの像点11a,11bのずれ量
を測定することができる。例えば、瞳面分割プリズム６
の回転方位を（１）,0゜の方位，（２）.90゜の方位，
（３）.180゜の方位とすると、受光素子７の受光面上に
は、第５図a,b,cにて示すごとく各回転方位に対応した
映像が投影されることになり、従って、各々の回転方位
における各像点11a,11bのずれ量δｏ゜，δ90゜，δ180
゜を測定することができる。又、回転方位をより細かく
設定して測定すれば、第５図ｄにて示すように各回転方
位に対する検出値の特性曲線を描くことができる。この
特性曲線は、一般的に180゜周期の周期関数を表す曲線
となり、この曲線における振幅Ｗが非点収差に比例した
量となる。そして、このときの比例定数は投影レンズ５
の倍率と非検光学系３の像側開口数により定まるもので
ある。
なお、図示は省略するが、瞳面分割プリズム６の分割
線を投影レンズ５の瞳面の中心に常に位置するように
（具体的には、複数の点像の強度が等しくなるように）
サーボ制御することにより、さらに高精度な測定が実現
できる。又、必ずしも特性曲線を表示する必要はなく、
検出部20からの周期信号により１周期当りの振幅を求
め、演算部９にて非点収差を求めることもできる。
線を投影レンズ５の瞳面の中心に常に位置するように
（具体的には、複数の点像の強度が等しくなるように）
サーボ制御することにより、さらに高精度な測定が実現
できる。又、必ずしも特性曲線を表示する必要はなく、
検出部20からの周期信号により１周期当りの振幅を求
め、演算部９にて非点収差を求めることもできる。
又、本実施例においては、回転機構部８が簡単かつ軽
量化できるとともに安価になるという利点がある。その
他の非点収差検査方法や非点収差の調整方法に関して
は、第１実施例と同様であるのでその説明を省略する。
量化できるとともに安価になるという利点がある。その
他の非点収差検査方法や非点収差の調整方法に関して
は、第１実施例と同様であるのでその説明を省略する。
（第３実施例） 第６図に本発明に係る非点収差検査方法を実施するた
めの非点収差検査装置１の第３実施例を示す。本実施例
の特徴は、回転機構部８を介して投影レンズ5,瞳面分割
プリズム6,及びCCDカメラ等の受光素子７を一体として
光軸回りに回転させて非点収差を検出しうるように構成
した点である。そして、第１実施例と同様に、検出した
非点収差検出値が０となるように被検光学系３の特定の
レンズを回転する等して非点収差が最小となるように調
整しうるように設定してある。その他の構成部について
は、第１実施例と同様であるので、第１図にて示した構
成部と同様の構成部には同一符号を付してその説明を省
略する。
めの非点収差検査装置１の第３実施例を示す。本実施例
の特徴は、回転機構部８を介して投影レンズ5,瞳面分割
プリズム6,及びCCDカメラ等の受光素子７を一体として
光軸回りに回転させて非点収差を検出しうるように構成
した点である。そして、第１実施例と同様に、検出した
非点収差検出値が０となるように被検光学系３の特定の
レンズを回転する等して非点収差が最小となるように調
整しうるように設定してある。その他の構成部について
は、第１実施例と同様であるので、第１図にて示した構
成部と同様の構成部には同一符号を付してその説明を省
略する。
本実施例においては、投影レンズ5,瞳面分割プリズム
6,及びCCDカメラ等の受光素子７を一体として光軸回り
に回転させる構成であるため、受光素子７に対して像の
方位が変化することがなく、画像処理がし易くなるとと
もに投影レンズ５の非点収差の影響を除去することがで
き、より高精度に非点収差を検出できる利点がある。そ
の他の作用，効果や非点収差の調整方法に関しては、第
１実施例と同様であるので、その説明を省略する。
6,及びCCDカメラ等の受光素子７を一体として光軸回り
に回転させる構成であるため、受光素子７に対して像の
方位が変化することがなく、画像処理がし易くなるとと
もに投影レンズ５の非点収差の影響を除去することがで
き、より高精度に非点収差を検出できる利点がある。そ
の他の作用，効果や非点収差の調整方法に関しては、第
１実施例と同様であるので、その説明を省略する。
なお、上記各実施例における受光素子７は、CCDカメ
ラ以外、例えば２個のラインセンサーや光位置検出素子
等を用いてもよく、この場合にも同様の効果を奏しうる
ものである。又上記各実施例では２分割の瞳面分割プリ
ズム６を用いる例を示したが、これに限定されるもので
はなく、例えば４分割プリズムに設定し、通常は非回転
で高精度の焦点検出を行い、非点収差の測定，調整を行
うときのみ回転機構部８を介して回転させて非点収差の
検出，調整を行いうるように設定してもよい。
ラ以外、例えば２個のラインセンサーや光位置検出素子
等を用いてもよく、この場合にも同様の効果を奏しうる
ものである。又上記各実施例では２分割の瞳面分割プリ
ズム６を用いる例を示したが、これに限定されるもので
はなく、例えば４分割プリズムに設定し、通常は非回転
で高精度の焦点検出を行い、非点収差の測定，調整を行
うときのみ回転機構部８を介して回転させて非点収差の
検出，調整を行いうるように設定してもよい。
又、各実施例において、照明側に各種色フィルター，
干渉フィルター（図示省略）等を挿入することにより、
特定波長（又は波長域）に対する非点収差の測定ができ
るのは勿論である。
干渉フィルター（図示省略）等を挿入することにより、
特定波長（又は波長域）に対する非点収差の測定ができ
るのは勿論である。
さらに、上記説明においては軸上の非点収差の測定に
ついてのみ説明してあるが、ピンホールチャート４を被
検光学系３に対して軸外に配置することにより、軸外の
非点収差を測定しうるように設定しうるのは勿論であ
る。
ついてのみ説明してあるが、ピンホールチャート４を被
検光学系３に対して軸外に配置することにより、軸外の
非点収差を測定しうるように設定しうるのは勿論であ
る。
以上のように本発明は、投影レンズの射出瞳付近に配
設した瞳面分割プリズムを回転させつつピンホールチャ
ートの１次像点の光軸上の位置を検出することにより非
点収差の量を測定するものであるから、光学系の特性で
ある非点収差を極めて高い精度でかつ操作性よく検出し
うるものである。
設した瞳面分割プリズムを回転させつつピンホールチャ
ートの１次像点の光軸上の位置を検出することにより非
点収差の量を測定するものであるから、光学系の特性で
ある非点収差を極めて高い精度でかつ操作性よく検出し
うるものである。
第１図は、本発明の第１の実施例を示す構成説明図、 第２図a,bは、第１図の要部の説明図、 第３図a,bは、第１実施例の作用状態を示す説明図、 第４図は、本発明の第２実施例を示す構成説明図、 第５図a,b,c,dは、第２実施例の作用状態を示す説明
図、 第６図は、本発明の第３実施例の示す構成説明図であ
る。 ２……光源 ３……被検光学系 ４……ピンホールチャート ５……投影レンズ ６……瞳面分割プリズム ７……受光素子 ８……回転機構部
図、 第６図は、本発明の第３実施例の示す構成説明図であ
る。 ２……光源 ３……被検光学系 ４……ピンホールチャート ５……投影レンズ ６……瞳面分割プリズム ７……受光素子 ８……回転機構部
Claims (2)
- 【請求項１】光源と被検光学系との間に配設したピンホ
ールチャートの１次像を前記被検光学系にて形成し、前
記ピンホールチャートの１次像を投影レンズ及び投影レ
ンズの射出瞳付近に配設した瞳面分割プリズムを介して
複数の２次像として受光素子上に投影し、前記瞳面分割
プリズムを回転させつつ前記複数の２次像の受光素子上
の各位置によって前記１次像点の光軸上の位置を検出す
るとともにその検出値の最大値と最小値の差を演算する
ことにより非点収差の量を測定することを特徴とする非
点収差検査方法。 - 【請求項２】光源と、前記光源と被検光学系との間に配
置されたピンホールチャートと、前記被検光学系にて形
成された前記ピンホールチャートの１次像を２次像とし
て投影するための投影レンズと、前記投影レンズの射出
瞳付近に配設された瞳面分割プリズムと、これらにより
できる複数の２次像の各々の重心又は中心の位置を検出
するべく前記投影レンズの基準像面位置に配設された受
光素子と、被検光学系に対し、前記瞳面分割プリズムを
回転するための回転機構部と、前記受光素子における前
記２次像の像点位置の座標の差から前記１次像の像点の
ずれ量を算出するとともにその算出値の前記瞳面分割プ
リズムの少なくとも1/2回転当たりの最大値と最小値と
の差を算出するための演算部と、前記演算部における演
算結果を表示するための表示部とより構成したことを特
徴とする非点収差検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2174088A JPH0810177B2 (ja) | 1988-02-01 | 1988-02-01 | 非点収差検査方法及び非点収差検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2174088A JPH0810177B2 (ja) | 1988-02-01 | 1988-02-01 | 非点収差検査方法及び非点収差検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01196530A JPH01196530A (ja) | 1989-08-08 |
| JPH0810177B2 true JPH0810177B2 (ja) | 1996-01-31 |
Family
ID=12063471
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2174088A Expired - Fee Related JPH0810177B2 (ja) | 1988-02-01 | 1988-02-01 | 非点収差検査方法及び非点収差検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0810177B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4572898B2 (ja) * | 2004-11-19 | 2010-11-04 | コニカミノルタオプト株式会社 | プリズムユニットの評価方法及びプリズムユニットの製造方法 |
-
1988
- 1988-02-01 JP JP2174088A patent/JPH0810177B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01196530A (ja) | 1989-08-08 |
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Legal Events
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