JPH0810723B2 - ウエハ又はウエハキヤリヤの搬送装置 - Google Patents
ウエハ又はウエハキヤリヤの搬送装置Info
- Publication number
- JPH0810723B2 JPH0810723B2 JP61172841A JP17284186A JPH0810723B2 JP H0810723 B2 JPH0810723 B2 JP H0810723B2 JP 61172841 A JP61172841 A JP 61172841A JP 17284186 A JP17284186 A JP 17284186A JP H0810723 B2 JPH0810723 B2 JP H0810723B2
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- wafers
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体ウエハの搬送装置の改良に関する。
（従来技術及びその欠点） ウエハを検査装置等の処理装置まで運搬するには、ベ
ルトコンベア方式の搬送装置が良く使われる（ウエハは
直接搬送装置によつて運ばれることもあるし、また複数
枚のウエハをウエハキヤリヤ内に収容した状態で搬送装
置によつて運ばれることもある）。ウエハ処理装置でウ
エハを処理するには、作業効率等を考慮した場合、同一
サイズのウエハをまとめて処理することが望ましい。然
るに、搬送装置上に複数種類のウエハが順不同に混在し
ている場合には（例えば搬送装置に沿つて複数の各サイ
ズ専用の処理装置を配置したような時には、複数種類の
ウエハが搬送装置で搬送されることになる）、ウエハが
その処理装置に至る迄に作業者が順序を入れ替えねばな
らずに、そのために大変な手間と時間を要し、これが処
理効率が低下する一因となつていた。
ルトコンベア方式の搬送装置が良く使われる（ウエハは
直接搬送装置によつて運ばれることもあるし、また複数
枚のウエハをウエハキヤリヤ内に収容した状態で搬送装
置によつて運ばれることもある）。ウエハ処理装置でウ
エハを処理するには、作業効率等を考慮した場合、同一
サイズのウエハをまとめて処理することが望ましい。然
るに、搬送装置上に複数種類のウエハが順不同に混在し
ている場合には（例えば搬送装置に沿つて複数の各サイ
ズ専用の処理装置を配置したような時には、複数種類の
ウエハが搬送装置で搬送されることになる）、ウエハが
その処理装置に至る迄に作業者が順序を入れ替えねばな
らずに、そのために大変な手間と時間を要し、これが処
理効率が低下する一因となつていた。
本発明は、上記従来技術における欠点を解消するこ
と、即ち、複数種類のウエハが混在して又は順不同に搬
送されてきたときでも、各ウエハをその処理装置に効率
良く供給できるように改良されたウエハの搬送装置を提
供することを目的としてなされたものである。
と、即ち、複数種類のウエハが混在して又は順不同に搬
送されてきたときでも、各ウエハをその処理装置に効率
良く供給できるように改良されたウエハの搬送装置を提
供することを目的としてなされたものである。
上記目的を達成するために、本発明においては、ウエ
ハ又はウエハキヤリヤの搬送方向においてウエハ処理装
置よりも手前に、搬送供給されてくるウエハ又はウエハ
キヤリヤの種類（例えばサイズ）を判別し、その結果に
応じてウエハ又はウエハキヤリヤの搬送方向における順
序を入れ替えることのできる緩衝装置を配置したのであ
る。この緩衝装置は、搬送されてくるウエハ又はウエハ
キヤリヤが特定種類以外のものであるときは作動せず
（従つてウエハ又はウエハキヤリヤはそのまま処理装置
に供給されることとなる）、一方特定種類のものである
ときには、そのウエハ又はウエハキヤリヤを保持して搬
送装置外に退避させ、所望の時期に搬送装置上にウエハ
又はウエハキヤリヤを戻すことができる。ウエハ又はウ
エハキヤリヤが搬送装置に退避してからこれに戻される
までの間に搬送装置を駆動することにより、搬送装置上
のウエハ又はウエハキヤリヤの順序が入れ替わるのであ
る。
ハ又はウエハキヤリヤの搬送方向においてウエハ処理装
置よりも手前に、搬送供給されてくるウエハ又はウエハ
キヤリヤの種類（例えばサイズ）を判別し、その結果に
応じてウエハ又はウエハキヤリヤの搬送方向における順
序を入れ替えることのできる緩衝装置を配置したのであ
る。この緩衝装置は、搬送されてくるウエハ又はウエハ
キヤリヤが特定種類以外のものであるときは作動せず
（従つてウエハ又はウエハキヤリヤはそのまま処理装置
に供給されることとなる）、一方特定種類のものである
ときには、そのウエハ又はウエハキヤリヤを保持して搬
送装置外に退避させ、所望の時期に搬送装置上にウエハ
又はウエハキヤリヤを戻すことができる。ウエハ又はウ
エハキヤリヤが搬送装置に退避してからこれに戻される
までの間に搬送装置を駆動することにより、搬送装置上
のウエハ又はウエハキヤリヤの順序が入れ替わるのであ
る。
なお、緩衝装置を唯一台のみ設けてこれで全ての種類
ウエハを処理することもあれば、複数台設けてウエハの
種類及び、ウエハ処理装置の台数に応じて専用の緩衝装
置を適用させることもあり、本発明はこの両方の場合に
適用できるものである。
ウエハを処理することもあれば、複数台設けてウエハの
種類及び、ウエハ処理装置の台数に応じて専用の緩衝装
置を適用させることもあり、本発明はこの両方の場合に
適用できるものである。
以下、本発明の実施例を図面をもとに説明する。
第１図は搬送装置全体の平面図（一部省略）であり、
第２図、第４図及び第５図は搬送装置の別々の部分の斜
視図であり、第３図は第２図の要部断面図であり、第６
図は作動説明図である。
第２図、第４図及び第５図は搬送装置の別々の部分の斜
視図であり、第３図は第２図の要部断面図であり、第６
図は作動説明図である。
第１図、第２図及び第３図に示すように、一対のガイ
ドレール10（第２図及び第３図では一方のみ図示）が平
行に配置され、各ガイドレール上には複数個のトレー12
が長手方向に移動可能に保持されている。即ち、第２図
及び第３図から明らかなように、トレー12は断面Ｌ字形
を有し、垂直部14には二組のローラ16が対になつて固設
され、このローラがガイド板10の上下縁を把持している
のである。第３図に示すように、トレー12の水平部18に
突起された部材20にはスプロケツト22が固設されてお
り、ガイド板10に沿つてループ状に張設されたチエーン
24がこれに係合している。チエーン24は、台26上に設置
されたモータ28の出力軸に固設されたスプロケツト30に
より駆動される。ガイド板10、トレー12及びチエーン24
等により搬送手段35が構成される。
ドレール10（第２図及び第３図では一方のみ図示）が平
行に配置され、各ガイドレール上には複数個のトレー12
が長手方向に移動可能に保持されている。即ち、第２図
及び第３図から明らかなように、トレー12は断面Ｌ字形
を有し、垂直部14には二組のローラ16が対になつて固設
され、このローラがガイド板10の上下縁を把持している
のである。第３図に示すように、トレー12の水平部18に
突起された部材20にはスプロケツト22が固設されてお
り、ガイド板10に沿つてループ状に張設されたチエーン
24がこれに係合している。チエーン24は、台26上に設置
されたモータ28の出力軸に固設されたスプロケツト30に
より駆動される。ガイド板10、トレー12及びチエーン24
等により搬送手段35が構成される。
トレー12の水平部18にはテーパ穴32が二つあけられて
おり、これにパレツト36の突起42が嵌入されるようにな
つている。
おり、これにパレツト36の突起42が嵌入されるようにな
つている。
パレツト36は平板状を呈し、その下面には中央の突起
40及びその両側の突起42が対によつて突設されており、
両側の突起42がトレー12のテーパ穴32内に嵌入するので
ある。パレツト36には、複数枚のウエハを収容したウエ
ハキヤリヤ44が載置される。
40及びその両側の突起42が対によつて突設されており、
両側の突起42がトレー12のテーパ穴32内に嵌入するので
ある。パレツト36には、複数枚のウエハを収容したウエ
ハキヤリヤ44が載置される。
搬送手段35の下方には台46が複数個配置され、第４図
に示すように垂直方向に延びるボールねじ48及びロツド
50がこれに支持されている。ボールねじ48にはボールナ
ツト52が螺合され、このナツトとロツド50とは水平方向
のロツド54及びブロツク56を介して互いに結合されてい
る。ボールねじ48はモータ58によつて回転される。ロツ
ド54の途中から別のロツド60が垂直方向上方に延びてお
り、その上端には駒62が固設されている。駒62は細長い
角柱形状を呈し、長手方向が水平となるように固設さ
れ、その上面には二つとテーパ穴64があけられている。
このテーパ穴64は、上記パレツト36の下面に突設された
中間の突起40を受容するものである。
に示すように垂直方向に延びるボールねじ48及びロツド
50がこれに支持されている。ボールねじ48にはボールナ
ツト52が螺合され、このナツトとロツド50とは水平方向
のロツド54及びブロツク56を介して互いに結合されてい
る。ボールねじ48はモータ58によつて回転される。ロツ
ド54の途中から別のロツド60が垂直方向上方に延びてお
り、その上端には駒62が固設されている。駒62は細長い
角柱形状を呈し、長手方向が水平となるように固設さ
れ、その上面には二つとテーパ穴64があけられている。
このテーパ穴64は、上記パレツト36の下面に突設された
中間の突起40を受容するものである。
第１図及び第５図に示すように、上記台46の背後の台
68には一対の平行なステー70が搬送手段35の搬送路と直
角をなすように配置されており、各ステーにはガイド部
材72が嵌合されている。また両ステー70間にはボールね
じ74がこれらと平行に配置され、モータ76により回転さ
れるようになつている。ボールねじ74にはボールナツト
78が螺合され、両ステー70とボールナツト78とはロツド
80によつて相互に結合されている。ボールナツト78から
一対の平行なロツド82がボールねじ74と同方向に延びて
おり、その先端には結合部材84を介して二又状のフオー
ク部材86が固設されている。モータ76、ボールねじ74、
フオーク部材86等によつて緩衝装置75が構成される。個
々のウエハキヤリヤ44内にはすべて同じサイズのウエハ
が収容されており、台46の手前にはその種類を判別する
手段が設けられている。この判別手段としては、キヤリ
ヤ表面に設けられた磁気コードまたはバーコードを読み
取る装置や、キヤリヤの外形寸法を光電的に検知する装
置等が挙げられる。
68には一対の平行なステー70が搬送手段35の搬送路と直
角をなすように配置されており、各ステーにはガイド部
材72が嵌合されている。また両ステー70間にはボールね
じ74がこれらと平行に配置され、モータ76により回転さ
れるようになつている。ボールねじ74にはボールナツト
78が螺合され、両ステー70とボールナツト78とはロツド
80によつて相互に結合されている。ボールナツト78から
一対の平行なロツド82がボールねじ74と同方向に延びて
おり、その先端には結合部材84を介して二又状のフオー
ク部材86が固設されている。モータ76、ボールねじ74、
フオーク部材86等によつて緩衝装置75が構成される。個
々のウエハキヤリヤ44内にはすべて同じサイズのウエハ
が収容されており、台46の手前にはその種類を判別する
手段が設けられている。この判別手段としては、キヤリ
ヤ表面に設けられた磁気コードまたはバーコードを読み
取る装置や、キヤリヤの外形寸法を光電的に検知する装
置等が挙げられる。
以下、本実施例の作動について説明する。
各ウエハキヤリヤ44には４インチ又は５インチのウエ
ハが収容されているとし、第６図において４インチのウ
エハを収容したウエハキヤリヤを44aで、５インチのウ
エハを収容したウエハキヤリヤを44bで表示する。第６
図に示すように、二種類のウエハキヤリヤ44a及び44bが
順不同にトレー12によつて第１図中右方向に搬送されて
くると、ウエハのサイズは判別手段により判断される。
この場合、緩衝装置75の近傍に配置された４インチのウ
エハ用の検査装置80に対応するウエハを供給するために
は、４インチのウエハを収容したウエハキヤリヤ44aが
連続的に搬送されねばならない。即ち、第６図に示した
場合には、第２番のウエハキヤリヤ44bと３番目のウエ
ハキヤリヤ44aとの順序を入れ替えねばならない。
ハが収容されているとし、第６図において４インチのウ
エハを収容したウエハキヤリヤを44aで、５インチのウ
エハを収容したウエハキヤリヤを44bで表示する。第６
図に示すように、二種類のウエハキヤリヤ44a及び44bが
順不同にトレー12によつて第１図中右方向に搬送されて
くると、ウエハのサイズは判別手段により判断される。
この場合、緩衝装置75の近傍に配置された４インチのウ
エハ用の検査装置80に対応するウエハを供給するために
は、４インチのウエハを収容したウエハキヤリヤ44aが
連続的に搬送されねばならない。即ち、第６図に示した
場合には、第２番のウエハキヤリヤ44bと３番目のウエ
ハキヤリヤ44aとの順序を入れ替えねばならない。
そのためには、２番目のウエハキヤリヤ44bが台46上
にきたとき、モータ58を駆動してロツド54、60を介して
駒62を上昇させ、パレツト36の中央の突起40をテーパ穴
64に嵌入させる。これによりパレツト36が所定状態に位
置決めされる。駒62でパレツト36を僅かに持ち上げた状
態で、モータ76を駆動してボールねじ74を回転させ、ボ
ールナツト78及びロツド82を介してフオーク部材86を前
進させる。フオーク部材86は、持ち上げられたパレツト
36の下側に入り込み、その後パレツト36を僅かに下降さ
せると、パレツト36はフオーク部材86に支持される。そ
の後モータ76が逆転してフオーク部材86が後退し、パレ
ツト36即ちウエハキヤリヤ44bは退避位置に保持される
（第６図中二点鎖点にて図示）。
にきたとき、モータ58を駆動してロツド54、60を介して
駒62を上昇させ、パレツト36の中央の突起40をテーパ穴
64に嵌入させる。これによりパレツト36が所定状態に位
置決めされる。駒62でパレツト36を僅かに持ち上げた状
態で、モータ76を駆動してボールねじ74を回転させ、ボ
ールナツト78及びロツド82を介してフオーク部材86を前
進させる。フオーク部材86は、持ち上げられたパレツト
36の下側に入り込み、その後パレツト36を僅かに下降さ
せると、パレツト36はフオーク部材86に支持される。そ
の後モータ76が逆転してフオーク部材86が後退し、パレ
ツト36即ちウエハキヤリヤ44bは退避位置に保持される
（第６図中二点鎖点にて図示）。
この状態でモータ28を駆動して３番目のパレツト36を
第６図中右方向に搬送し、駒62を通過させる。ウエハキ
ヤリヤ44a内に収容されたウエハは一枚づつ取り出され
てウエハ検査装置80において検査される。なお、ウエハ
キヤリヤ44b内に収容されたウエハは、全てのウエハキ
ヤリヤ44a内のウエハの検査が終了した後、同一のウエ
ハ検査装置80で検査しても良いし、別設された専用のウ
エハ検査装置で検査しても良い。
第６図中右方向に搬送し、駒62を通過させる。ウエハキ
ヤリヤ44a内に収容されたウエハは一枚づつ取り出され
てウエハ検査装置80において検査される。なお、ウエハ
キヤリヤ44b内に収容されたウエハは、全てのウエハキ
ヤリヤ44a内のウエハの検査が終了した後、同一のウエ
ハ検査装置80で検査しても良いし、別設された専用のウ
エハ検査装置で検査しても良い。
なお、上述したのはウエハのサイズが二通りの場合で
あつたが、勿論これは三通りで以上であつても良い。そ
の時は、緩衝装置75は二つ設けることが望ましい（第１
図中番号85にて図示）。また緩衝装置75は、ウエハを二
枚以上退避位置に維持できるようになつていても良い
し、緩衝装置は搬送手段35の上方に配設されて垂直方向
に作動するようになつていても良い。搬送手段は一方の
みに駆動されるものではなく、正転及び逆転する駆動方
式のものでも良い。
あつたが、勿論これは三通りで以上であつても良い。そ
の時は、緩衝装置75は二つ設けることが望ましい（第１
図中番号85にて図示）。また緩衝装置75は、ウエハを二
枚以上退避位置に維持できるようになつていても良い
し、緩衝装置は搬送手段35の上方に配設されて垂直方向
に作動するようになつていても良い。搬送手段は一方の
みに駆動されるものではなく、正転及び逆転する駆動方
式のものでも良い。
以上の述べてきたように、本発明によれば、ウエハ又
はウエハキヤリヤの搬送手段中に設けた緩衝装置により
搬送手段上のウエハ又はウエハキヤリヤの順序を入れ替
えることができる。従つて、ウエハ処理装置にはウエハ
又はウエハキヤリヤが所望の順序で供給されることにな
り、作業者がウエハ又はウエハキヤリヤの順序を入れ替
える必要はなくなり、ウエハ処理の効率が向上する効果
が奏される。
はウエハキヤリヤの搬送手段中に設けた緩衝装置により
搬送手段上のウエハ又はウエハキヤリヤの順序を入れ替
えることができる。従つて、ウエハ処理装置にはウエハ
又はウエハキヤリヤが所望の順序で供給されることにな
り、作業者がウエハ又はウエハキヤリヤの順序を入れ替
える必要はなくなり、ウエハ処理の効率が向上する効果
が奏される。
第１図は本考案の一実施例を示す全体平面図（一部省
略）、第２図は上記実施例の要部斜視図、第３図は第２
図の要部断面図、第４図は上記実施例の別の要部斜視
図、第５図は同じく別の要部斜視図、第６図は作動説明
図である。 〔主要部分の符号の説明〕 35……搬送手段 44……ウエハキヤリヤ 75……緩衝装置 80……ウエハ処理装置
略）、第２図は上記実施例の要部斜視図、第３図は第２
図の要部断面図、第４図は上記実施例の別の要部斜視
図、第５図は同じく別の要部斜視図、第６図は作動説明
図である。 〔主要部分の符号の説明〕 35……搬送手段 44……ウエハキヤリヤ 75……緩衝装置 80……ウエハ処理装置
Claims (3)
- 【請求項１】複数種類のウエハ又はウエハキャリアを搬
送路に沿って順次搬送する搬送手段と； 前記複数種類のウエハ又はウエハキャリアの種類を判別
する判別手段と； 前記判別された種類に応じて、前記複数種類のウエハ又
はウエハキャリアの中から特定種類のウエハまたはウエ
ハキャリアを前記搬送路外に退避させて所定位置に維持
し、かつ所望の時期に前記搬送路内に戻す緩衝装置と； を備えたことを特徴とするウエハ又はウエハキャリアの
搬送装置。 - 【請求項２】前記緩衝装置は、前記特定種類のウエハ又
はウエハキャリアを保持して、前記搬送路と前記所定位
置との間で移動自在な移送手段を有することを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の搬送装置。 - 【請求項３】前記緩衝装置は、前記搬送されるウエハ又
はウエハキャリアの種類に対応して複数設けられている
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項記載
の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61172841A JPH0810723B2 (ja) | 1986-07-24 | 1986-07-24 | ウエハ又はウエハキヤリヤの搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61172841A JPH0810723B2 (ja) | 1986-07-24 | 1986-07-24 | ウエハ又はウエハキヤリヤの搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6329944A JPS6329944A (ja) | 1988-02-08 |
| JPH0810723B2 true JPH0810723B2 (ja) | 1996-01-31 |
Family
ID=15949324
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61172841A Expired - Fee Related JPH0810723B2 (ja) | 1986-07-24 | 1986-07-24 | ウエハ又はウエハキヤリヤの搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0810723B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5271631A (en) * | 1989-05-31 | 1993-12-21 | Atsushi Yokouchi | Magnetic fluid seal apparatus |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6156859A (ja) * | 1984-08-29 | 1986-03-22 | Toshiba Corp | 搬送方法 |
| JPS61105267A (ja) * | 1984-10-26 | 1986-05-23 | 富士通株式会社 | 双方向移送装置 |
-
1986
- 1986-07-24 JP JP61172841A patent/JPH0810723B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6329944A (ja) | 1988-02-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |