JPS61105267A - 双方向移送装置 - Google Patents
双方向移送装置Info
- Publication number
- JPS61105267A JPS61105267A JP59226123A JP22612384A JPS61105267A JP S61105267 A JPS61105267 A JP S61105267A JP 59226123 A JP59226123 A JP 59226123A JP 22612384 A JP22612384 A JP 22612384A JP S61105267 A JPS61105267 A JP S61105267A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- station
- transfer
- buffer
- clean room
- passage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体装置のウェハやマスク等を防崖状態で移
送するためにクリーンルームトンネルを利用してウェハ
やマスク等を移送する装置であり、特に移送通路の合理
化に関するものである。
送するためにクリーンルームトンネルを利用してウェハ
やマスク等を移送する装置であり、特に移送通路の合理
化に関するものである。
第３図はクリーンルームトンネルの移送装置の模式斜視
図である。
図である。
クリーンルームトンネル移送装置１があって、搬送車２
にウェハ３が搭載されていて、クリーンルームトンネル
１内を移動するが、通路をクリーンに維持するために、
常に清浄な空気がクリーン空気室４から噴射されている
。
にウェハ３が搭載されていて、クリーンルームトンネル
１内を移動するが、通路をクリーンに維持するために、
常に清浄な空気がクリーン空気室４から噴射されている
。
クリーンルームトンネル１内のクリーン度は、例えば露
光や洗浄工程などにおける工程間の移送では高度のクリ
ーン度が要求されるため、通常１ｆｔＱ中に０．５μｍ
以上の塵埃が１００以下程度になるように制御されてい
る。
光や洗浄工程などにおける工程間の移送では高度のクリ
ーン度が要求されるため、通常１ｆｔＱ中に０．５μｍ
以上の塵埃が１００以下程度になるように制御されてい
る。
通路を移動する搬送車の移動速度は平均して数１０ｃｍ
／秒程度であり、効率的に処理できるように可能な限り
移動速度を大きくしている。
／秒程度であり、効率的に処理できるように可能な限り
移動速度を大きくしている。
第３図は、１通路１搬送車システムにおける移送システ
ムを説明するための原理図であるが、スタートするステ
ーション１１と到着ステーション１２があり、その間に
通路１３があり、この通路上を１台の輸送車１４が矢印
のように往復移動を行ってウェハ等の輸送をしている。
ムを説明するための原理図であるが、スタートするステ
ーション１１と到着ステーション１２があり、その間に
通路１３があり、この通路上を１台の輸送車１４が矢印
のように往復移動を行ってウェハ等の輸送をしている。
このような単通路の場合は、移送装置にスペースを要す
ることなく、簡単な構造であるが１台の輸送機が１通路
を往復するだけなので効率の点で不利がある。
ることなく、簡単な構造であるが１台の輸送機が１通路
を往復するだけなので効率の点で不利がある。
第４図は輸送車２１の数量を増加してウェハ等を搬送す
るために、通路２２をロークリ型にして複数の搬送車を
連続的に矢印の方向に移動させるものであるが、ステー
ション２３とステーション２４がロータリ型通路の両端
に設けられている。
るために、通路２２をロークリ型にして複数の搬送車を
連続的に矢印の方向に移動させるものであるが、ステー
ション２３とステーション２４がロータリ型通路の両端
に設けられている。
このようにロークリ型通路では、複数の輸送機が使用で
きるので効率は著しく向上するが、スペースを大きく占
有するという欠点がある。
きるので効率は著しく向上するが、スペースを大きく占
有するという欠点がある。
上記の構成の輸送システムにおいては、輸送効率と占有
スペースとが両立せず、いずれか一方に欠点を有すると
いう問題点がある。
スペースとが両立せず、いずれか一方に欠点を有すると
いう問題点がある。
本発明は上記問題点を解消した搬送装置を提供するもの
で、その手段は、１通路クリーンルームトンネル間をデ
バイス移送するクリーンルームトンネル移送機において
、複数の搬送車が移動する１通路クリーンルームトンネ
ルの両端に第１のステーションと第２のステーションが
設けられた該通路に上記複数の搬送車が待機できる複数
のバッファ部を配置して、第１の搬送車が上記両端のス
テーション間を走行する間は、他の上記複数の搬送車が
上記バッファ部に待機できるようにして、上記第１の搬
送車が走行後に、上記バッファ部に待機している上記搬
送車が順次第１のステーションに移送されるようにした
ことを特徴とする双方向移送装置によって達成できる。
で、その手段は、１通路クリーンルームトンネル間をデ
バイス移送するクリーンルームトンネル移送機において
、複数の搬送車が移動する１通路クリーンルームトンネ
ルの両端に第１のステーションと第２のステーションが
設けられた該通路に上記複数の搬送車が待機できる複数
のバッファ部を配置して、第１の搬送車が上記両端のス
テーション間を走行する間は、他の上記複数の搬送車が
上記バッファ部に待機できるようにして、上記第１の搬
送車が走行後に、上記バッファ部に待機している上記搬
送車が順次第１のステーションに移送されるようにした
ことを特徴とする双方向移送装置によって達成できる。
本発明は、クリーンな環境で自動化されているウェハ等
の製造工程間の輸送に効率良く且つスペースを小にする
方法を提案するものであり、その為に１通路のクリーン
ルーム上を複数の搬送車が移動するようにした１通路ク
リーンルームであり、クリーンルームトンネルの両端に
スタートするステーションと到着ステーションが設けら
れた１通路上で複数の搬送車が相互に妨害しないように
、通路の側線に引っ込み用の複数のバッファ部を配置し
て、搬送車が待機できるよう、にして、単体の搬送車が
ステーション間を走行する間は、他の複数の搬送車が上
記バッファ部に待機して、この搬送車が走行後に、へソ
ファ部に待機している搬送車が順次スタートするステー
ションに移送されるように考慮したものである。
の製造工程間の輸送に効率良く且つスペースを小にする
方法を提案するものであり、その為に１通路のクリーン
ルーム上を複数の搬送車が移動するようにした１通路ク
リーンルームであり、クリーンルームトンネルの両端に
スタートするステーションと到着ステーションが設けら
れた１通路上で複数の搬送車が相互に妨害しないように
、通路の側線に引っ込み用の複数のバッファ部を配置し
て、搬送車が待機できるよう、にして、単体の搬送車が
ステーション間を走行する間は、他の複数の搬送車が上
記バッファ部に待機して、この搬送車が走行後に、へソ
ファ部に待機している搬送車が順次スタートするステー
ションに移送されるように考慮したものである。
第１図は本発明の詳細な説明するための移送システムの
原理図である。
原理図である。
説明を簡明にするために、王台の移送機の場合について
動作を説明するつ 第１図で、スタートするステーション３１と到着するス
テーション３２を連結する単一のクリーンルームトンネ
ルの通路３３があり、その中を移送車Ａ、Ｂ、Ｃが移動
するものとする。
動作を説明するつ 第１図で、スタートするステーション３１と到着するス
テーション３２を連結する単一のクリーンルームトンネ
ルの通路３３があり、その中を移送車Ａ、Ｂ、Ｃが移動
するものとする。
通路３３には分岐路か設けられ、移送機の数より一台少
ない三台の数のバッファ３４、バッファ３５が設けられ
、このバッファには移送機が自由に出入でき、又一時待
機をすることができる構造になっている。
ない三台の数のバッファ３４、バッファ３５が設けられ
、このバッファには移送機が自由に出入でき、又一時待
機をすることができる構造になっている。
第２図（ａ）は本発明の移送装置で、通路３３にそれぞ
れの移送機Ａ、Ｂ、Ｃが配置されているものとする。
れの移送機Ａ、Ｂ、Ｃが配置されているものとする。
第２図山）は移送機Ｃがバッファ３６に移動待機され、
次いで移送機Ａがステーション３２に向けて矢印のよう
に移動している状態である。
次いで移送機Ａがステーション３２に向けて矢印のよう
に移動している状態である。
第２図（Ｃ）は移送機Ａがステーション３２に到着し、
移送機Ｂがステーション３１に移動して、移送機Ｃはバ
ッファ３５から移動して、バッファ３４に移動待機され
た状態である。
移送機Ｂがステーション３１に移動して、移送機Ｃはバ
ッファ３５から移動して、バッファ３４に移動待機され
た状態である。
第２図（ｄ）は移送ｔａＡがバッファ３５に移動待機さ
れ、次いで移送機Ｂがステーション３２に向けて移動し
ている状態であり、このようにして、順次移送機Ｃがス
テーション３２に到着した後、移送機Ｃはバッファ３４
から移動してステーション３１に入り、移送機Ａがバッ
ファ３５からバッファ３４に移動して待機した状態にな
る。
れ、次いで移送機Ｂがステーション３２に向けて移動し
ている状態であり、このようにして、順次移送機Ｃがス
テーション３２に到着した後、移送機Ｃはバッファ３４
から移動してステーション３１に入り、移送機Ａがバッ
ファ３５からバッファ３４に移動して待機した状態にな
る。
このように、単一の通路に複数のバッファを設けること
により、複数の移送機を制御移送することができ、ウェ
ハ等の移送効率を上げると共に、移送装置のスペースを
最小にできるという利点がある。
により、複数の移送機を制御移送することができ、ウェ
ハ等の移送効率を上げると共に、移送装置のスペースを
最小にできるという利点がある。
以上詳細に説明したように本発明の半導体装置のクリー
ン状態での移送装置を採用することにより、効率のよい
移送とスペースの経済性が実現でき効果大なるものがあ
る。
ン状態での移送装置を採用することにより、効率のよい
移送とスペースの経済性が実現でき効果大なるものがあ
る。
第１図は本発明の移送装置を説明するための原理図、
第２図は本発明の移送動作を説明するための原理図、
第３図はクリーン化移送装置を説明するための模式斜視
図、 第４図は従来の移送動作を説明するための原理図、 第５図は従来の移送動作を説明する。ための原理図、 図において、３１はスタートするステーション、３２は
到着するステーション、３３はクリーンルームトンネル
の通路、３４．３５はバッファ、Ａ、Ｂ、Ｃは移送機を
それぞれ示す。 第１図 叱 第 ２図 Ｓ 第４図 第５図
図、 第４図は従来の移送動作を説明するための原理図、 第５図は従来の移送動作を説明する。ための原理図、 図において、３１はスタートするステーション、３２は
到着するステーション、３３はクリーンルームトンネル
の通路、３４．３５はバッファ、Ａ、Ｂ、Ｃは移送機を
それぞれ示す。 第１図 叱 第 ２図 Ｓ 第４図 第５図
Claims (1)
- １通路クリーンルームトンネル間をデバイス移送する
クリーンルームトンネル移送機において、複数の搬送車
が移動する１通路クリーンルームトンネルの両端に第１
のステーションと第２のステーションとが設けられた該
通路に上記複数の搬送車が待機できる複数のバッファ部
を配置して、第１の搬送車が上記両端のステーション間
を走行する間は、他の上記複数の搬送車が上記バッファ
部に待機できるようにして、上記第１の搬送車が走行後
に、上記バッファ部に待機している上記搬送車が順次第
１のステーションに移送されるようにしたことを特徴と
する双方向移送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59226123A JPS61105267A (ja) | 1984-10-26 | 1984-10-26 | 双方向移送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59226123A JPS61105267A (ja) | 1984-10-26 | 1984-10-26 | 双方向移送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61105267A true JPS61105267A (ja) | 1986-05-23 |
Family
ID=16840198
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59226123A Pending JPS61105267A (ja) | 1984-10-26 | 1984-10-26 | 双方向移送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61105267A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6329944A (ja) * | 1986-07-24 | 1988-02-08 | Nikon Corp | ウエハ又はウエハキヤリヤの搬送装置 |
| NL2039544B1 (en) * | 2025-01-06 | 2026-07-20 | Faes B V | Transfer method for transferring products in a clean environment from a first cleanroom to a second cleanroom, and system therefor |
-
1984
- 1984-10-26 JP JP59226123A patent/JPS61105267A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6329944A (ja) * | 1986-07-24 | 1988-02-08 | Nikon Corp | ウエハ又はウエハキヤリヤの搬送装置 |
| NL2039544B1 (en) * | 2025-01-06 | 2026-07-20 | Faes B V | Transfer method for transferring products in a clean environment from a first cleanroom to a second cleanroom, and system therefor |
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