JPH0810726A - 洗浄方法及び洗浄装置 - Google Patents
洗浄方法及び洗浄装置Info
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- JPH0810726A JPH0810726A JP15084694A JP15084694A JPH0810726A JP H0810726 A JPH0810726 A JP H0810726A JP 15084694 A JP15084694 A JP 15084694A JP 15084694 A JP15084694 A JP 15084694A JP H0810726 A JPH0810726 A JP H0810726A
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Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 均一で且つ洗浄効率の高い洗浄方法及び洗
浄装置を提供する。 【構成】 加圧下で気体を洗浄液に溶解させるための
耐圧性気体溶解タンク１２と、タンク１２に加圧した気
体を供給する手段１４と、タンクに接続し、被洗浄体に
洗浄液を適用する手段２６と、タンク１２から該洗浄液
を適用する手段２６に洗浄液を供給するための手段２４
と、を備えたことを特徴とする。洗浄液に難溶性の気体
を加圧条件下で溶解させ、常圧で洗浄処理することによ
って、洗浄液中に微細かつ均一な気泡を発生させる。
浄装置を提供する。 【構成】 加圧下で気体を洗浄液に溶解させるための
耐圧性気体溶解タンク１２と、タンク１２に加圧した気
体を供給する手段１４と、タンクに接続し、被洗浄体に
洗浄液を適用する手段２６と、タンク１２から該洗浄液
を適用する手段２６に洗浄液を供給するための手段２４
と、を備えたことを特徴とする。洗浄液に難溶性の気体
を加圧条件下で溶解させ、常圧で洗浄処理することによ
って、洗浄液中に微細かつ均一な気泡を発生させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は洗浄方法及び洗浄装置に
関し、詳しくは、被洗浄体をむらなく、効率よく洗浄す
ることのできる洗浄方法及び洗浄装置に関する。
関し、詳しくは、被洗浄体をむらなく、効率よく洗浄す
ることのできる洗浄方法及び洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】工業用金属板、機械部品等の加工品類か
らの加工油の除去やＩＣ基板等不純物の除去のために、
被洗浄体を効率よく、均一にしかも、被洗浄体を損なわ
ないように洗浄する方法が求められている。
らの加工油の除去やＩＣ基板等不純物の除去のために、
被洗浄体を効率よく、均一にしかも、被洗浄体を損なわ
ないように洗浄する方法が求められている。
【０００３】高い洗浄効率を達成するため、従来は、加
圧した流体の圧力で洗浄することが一般的に行われてい
たが、圧力を向上すると必要なエネルギーが上昇するの
みならず、被洗浄体が圧力によって損なわれる虞もあっ
た。その後、空気を液体と同時に被洗浄体に当てると洗
浄効率が向上することが見出され、例えば、特開平３−
２９６４７５号公報では、高速気体流に洗浄液を液滴状
又は霧状に混入させる洗浄装置が提案されており、ま
た、洗浄液に気体泡を混入させるために超音波振動を使
用する方法が特開平３−２６４６８２号公報に記載され
ている。このように、従来の噴射洗浄処理においては、
洗浄液を噴射する際に気体と混合し、洗浄液に混入した
気泡の働きによって洗浄効率を上げるための手段が数多
く開発されている。
圧した流体の圧力で洗浄することが一般的に行われてい
たが、圧力を向上すると必要なエネルギーが上昇するの
みならず、被洗浄体が圧力によって損なわれる虞もあっ
た。その後、空気を液体と同時に被洗浄体に当てると洗
浄効率が向上することが見出され、例えば、特開平３−
２９６４７５号公報では、高速気体流に洗浄液を液滴状
又は霧状に混入させる洗浄装置が提案されており、ま
た、洗浄液に気体泡を混入させるために超音波振動を使
用する方法が特開平３−２６４６８２号公報に記載され
ている。このように、従来の噴射洗浄処理においては、
洗浄液を噴射する際に気体と混合し、洗浄液に混入した
気泡の働きによって洗浄効率を上げるための手段が数多
く開発されている。
【０００４】しかしながら、超音波を使用する方法にお
いては装置が大掛かりになり、しかも、気泡の分散の均
一性が不十分であった。また、気液を均一に混合するた
めにノズル形状を工夫したり、液体輸送経路における気
体の加圧供給等の混合方法を工夫しても、洗浄液中に気
泡を均一に混合することは困難であり、しかも、洗浄効
率がこの気泡の分散性に左右される等の欠点があった。
いては装置が大掛かりになり、しかも、気泡の分散の均
一性が不十分であった。また、気液を均一に混合するた
めにノズル形状を工夫したり、液体輸送経路における気
体の加圧供給等の混合方法を工夫しても、洗浄液中に気
泡を均一に混合することは困難であり、しかも、洗浄効
率がこの気泡の分散性に左右される等の欠点があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の問題点
を考慮してなされたものであり、その目的は、被洗浄体
を均一に洗浄でき且つ洗浄効率の高い洗浄方法及び洗浄
装置を提供することにある。
を考慮してなされたものであり、その目的は、被洗浄体
を均一に洗浄でき且つ洗浄効率の高い洗浄方法及び洗浄
装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の洗浄方法は、洗
浄液に用いる溶媒に予め難溶性の気体を加圧溶解させ、
かくして得られた洗浄液を用いて被洗浄体を常圧で洗浄
処理することを特徴とする。
浄液に用いる溶媒に予め難溶性の気体を加圧溶解させ、
かくして得られた洗浄液を用いて被洗浄体を常圧で洗浄
処理することを特徴とする。
【０００７】さらに、本発明の洗浄装置は、加圧下で気
体を洗浄液に用いる溶媒に溶解させるための耐圧性気体
溶解タンクと、タンクに加圧した気体を供給する手段
と、タンクに接続し、被洗浄体に洗浄液を適用する手段
に洗浄液を移送するためのパイプと、パイプの先端に取
り付けられた被洗浄体に対して洗浄液を適用する手段
と、を備えたことを特徴とする。
体を洗浄液に用いる溶媒に溶解させるための耐圧性気体
溶解タンクと、タンクに加圧した気体を供給する手段
と、タンクに接続し、被洗浄体に洗浄液を適用する手段
に洗浄液を移送するためのパイプと、パイプの先端に取
り付けられた被洗浄体に対して洗浄液を適用する手段
と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】また、前記洗浄装置において、前記気体を
供給する手段が加圧ポンプであり、前記洗浄液を適用す
る手段が噴射ノズルであることを特徴とする。
供給する手段が加圧ポンプであり、前記洗浄液を適用す
る手段が噴射ノズルであることを特徴とする。
【０００９】
【作用】本発明の洗浄方法は、予め難溶性の気体を加圧
溶解させた洗浄液が被洗浄体に適用される際に、洗浄液
中の気体が常圧下に開放されることによって洗浄液中に
溶解した気体の気泡が発生する。従って、被洗浄体の表
面において、洗浄液中に溶解した気体の均一で微細な気
泡が発生し、被洗浄体に付着した汚染物質を均一に且つ
効率よく除去することができる。
溶解させた洗浄液が被洗浄体に適用される際に、洗浄液
中の気体が常圧下に開放されることによって洗浄液中に
溶解した気体の気泡が発生する。従って、被洗浄体の表
面において、洗浄液中に溶解した気体の均一で微細な気
泡が発生し、被洗浄体に付着した汚染物質を均一に且つ
効率よく除去することができる。
【００１０】さらに、本発明の洗浄装置においては、加
圧下で気体を洗浄液に用いる溶媒に溶解させるための耐
圧性気体溶解タンク内に加圧した気体を供給することに
より、加圧下で洗浄液に難溶性の気体を溶解させること
ができる。気体を溶解した洗浄液は、タンクに接続した
パイプを経由して、パイプの先端に取り付けられた被洗
浄体に対して洗浄液を適用する手段によって被洗浄体に
適用されるため、気体が均一に溶解した洗浄液は、前記
洗浄液を適用する手段を経る時点で常圧下に開放され
る。このため、洗浄液は、被洗浄体に適用されて被洗浄
体の表面において洗浄液中に溶解した気体の均一で微細
な泡を発生し、それによって被洗浄体を均一に効率よく
洗浄することができる。
圧下で気体を洗浄液に用いる溶媒に溶解させるための耐
圧性気体溶解タンク内に加圧した気体を供給することに
より、加圧下で洗浄液に難溶性の気体を溶解させること
ができる。気体を溶解した洗浄液は、タンクに接続した
パイプを経由して、パイプの先端に取り付けられた被洗
浄体に対して洗浄液を適用する手段によって被洗浄体に
適用されるため、気体が均一に溶解した洗浄液は、前記
洗浄液を適用する手段を経る時点で常圧下に開放され
る。このため、洗浄液は、被洗浄体に適用されて被洗浄
体の表面において洗浄液中に溶解した気体の均一で微細
な泡を発生し、それによって被洗浄体を均一に効率よく
洗浄することができる。
【００１１】また、前記装置において、加圧した気体を
供給する手段として、加圧ポンプを使用することによ
り、大気中の空気を吸引して気体溶解タンクに供給し、
空気を加圧溶解した洗浄液を得るため、前記気体を溶解
した洗浄液を簡便な装置で、しかも、格別の圧縮気体を
必要とせずに調製することができ、コスト的にも有利で
ある。さらに、被洗浄体に対して洗浄液を適用する手段
として噴射ノズルを用いるため、常圧に開放された洗浄
液を高圧で迅速に被洗浄体表面に適用することができ、
洗浄効率がより向上する。
供給する手段として、加圧ポンプを使用することによ
り、大気中の空気を吸引して気体溶解タンクに供給し、
空気を加圧溶解した洗浄液を得るため、前記気体を溶解
した洗浄液を簡便な装置で、しかも、格別の圧縮気体を
必要とせずに調製することができ、コスト的にも有利で
ある。さらに、被洗浄体に対して洗浄液を適用する手段
として噴射ノズルを用いるため、常圧に開放された洗浄
液を高圧で迅速に被洗浄体表面に適用することができ、
洗浄効率がより向上する。
【００１２】
【実施例】以下に、実施例を挙げて本発明をさらに詳細
に説明するが、本発明はこれに限定されるものではな
い。
に説明するが、本発明はこれに限定されるものではな
い。
【００１３】まず、本発明の洗浄方法について説明す
る。被洗浄体（以下、適宜ワークと称する）としてステ
ンレスの連続鋼板を用いた場合の例を挙げて説明する。
ステンレスの連続鋼板は洗浄部分へローラの駆動によっ
て搬送された。洗浄液に用いる溶媒には炭化水素系の有
機溶媒を用い、溶解させる気体は防爆性の観点から窒素
を用いて洗浄液を調製して、洗浄処理を行った。まず、
前記有機溶媒を、窒素を充填した圧力９ｋｇ／ｃｍ2 、
２０℃の気体溶解タンク内に２分間滞留させて窒素を加
圧溶解させた。この窒素を溶解した有機溶媒である洗浄
液をパイプによって洗浄ノズルへと供給した。洗浄ノズ
ルからステンレス鋼板の表面に前記洗浄液を噴射して洗
浄を行った。ノズル先端とワーク表面との距離は２５ｍ
ｍであった。ステンレス鋼板の表面において、窒素の気
泡が発生していることが確認された。この方法で洗浄さ
れたステンレス鋼板の洗浄後の表面は清浄であった。
る。被洗浄体（以下、適宜ワークと称する）としてステ
ンレスの連続鋼板を用いた場合の例を挙げて説明する。
ステンレスの連続鋼板は洗浄部分へローラの駆動によっ
て搬送された。洗浄液に用いる溶媒には炭化水素系の有
機溶媒を用い、溶解させる気体は防爆性の観点から窒素
を用いて洗浄液を調製して、洗浄処理を行った。まず、
前記有機溶媒を、窒素を充填した圧力９ｋｇ／ｃｍ2 、
２０℃の気体溶解タンク内に２分間滞留させて窒素を加
圧溶解させた。この窒素を溶解した有機溶媒である洗浄
液をパイプによって洗浄ノズルへと供給した。洗浄ノズ
ルからステンレス鋼板の表面に前記洗浄液を噴射して洗
浄を行った。ノズル先端とワーク表面との距離は２５ｍ
ｍであった。ステンレス鋼板の表面において、窒素の気
泡が発生していることが確認された。この方法で洗浄さ
れたステンレス鋼板の洗浄後の表面は清浄であった。
【００１４】本発明の洗浄方法においては、前記実施例
の如く、予め洗浄液に用いる溶媒に難溶性の気体を加圧
溶解させた洗浄液を調製して洗浄処理に用いる。難溶性
の気体を加圧溶解する方法としては、一般的には、前記
実施例の如く加圧タンク内に洗浄液と加圧した気体とを
供給して、所定時間滞留させ、洗浄液内に気体を溶解さ
せる方法が挙げられる。
の如く、予め洗浄液に用いる溶媒に難溶性の気体を加圧
溶解させた洗浄液を調製して洗浄処理に用いる。難溶性
の気体を加圧溶解する方法としては、一般的には、前記
実施例の如く加圧タンク内に洗浄液と加圧した気体とを
供給して、所定時間滞留させ、洗浄液内に気体を溶解さ
せる方法が挙げられる。
【００１５】洗浄液に用いる溶媒は、洗浄されるワーク
や除去すべき物質によって適宜選択されるが、不純物が
埃のような固形物の場合は、水や温水であってもよく、
その他、界面活性剤が溶解した水、アルカリ剤及びその
水溶液、酸、有機溶媒等が挙げられる。
や除去すべき物質によって適宜選択されるが、不純物が
埃のような固形物の場合は、水や温水であってもよく、
その他、界面活性剤が溶解した水、アルカリ剤及びその
水溶液、酸、有機溶媒等が挙げられる。
【００１６】本発明において、難溶性の気体とは、常圧
下では使用する洗浄液に用いる溶媒に殆ど溶解しない
（例えば、３Ｋｇ／ｃｍ2 の加圧条件下において、溶解
量３００ｃｍ3 ／リットル未満の如き）気体であり、加
圧条件下で洗浄液中に一度溶解し、常圧下におかれる洗
浄液から気泡として発生するものを指す。すなわち、こ
のような気体は常圧下では洗浄液中に溶解保持され得
ず、気泡となって洗浄液から離脱するものである。具体
的には、洗浄液に用いる溶媒が水を主体とするものであ
る場合、酸素、窒素、水素、空気、二酸化炭素等が好ま
しく挙げられ、空気に対する溶解度が比較的高いオゾン
（４０℃における溶解量、４９４ｃｍ3 ／リットル）や
アンモニウムガス（２０℃における溶解量、７１０ｃｍ
3 ／１ｇＨ2Ｏ）は難溶性の気体に該当しない。また、
洗浄液に用いる溶媒が、有機溶媒、アルカリ剤、酸等で
ある場合にも、前記と同様の気体を好適に用いることが
できるが、溶媒に含まれる成分と反応しないものが好ま
しい。また、特に、溶媒としてパラフィン系炭化水素類
やアルコール類を用いる場合は、安全性の観点から、窒
素、アルゴン等の不活性なガス、二酸化炭素等を用いる
ことが好ましい。
下では使用する洗浄液に用いる溶媒に殆ど溶解しない
（例えば、３Ｋｇ／ｃｍ2 の加圧条件下において、溶解
量３００ｃｍ3 ／リットル未満の如き）気体であり、加
圧条件下で洗浄液中に一度溶解し、常圧下におかれる洗
浄液から気泡として発生するものを指す。すなわち、こ
のような気体は常圧下では洗浄液中に溶解保持され得
ず、気泡となって洗浄液から離脱するものである。具体
的には、洗浄液に用いる溶媒が水を主体とするものであ
る場合、酸素、窒素、水素、空気、二酸化炭素等が好ま
しく挙げられ、空気に対する溶解度が比較的高いオゾン
（４０℃における溶解量、４９４ｃｍ3 ／リットル）や
アンモニウムガス（２０℃における溶解量、７１０ｃｍ
3 ／１ｇＨ2Ｏ）は難溶性の気体に該当しない。また、
洗浄液に用いる溶媒が、有機溶媒、アルカリ剤、酸等で
ある場合にも、前記と同様の気体を好適に用いることが
できるが、溶媒に含まれる成分と反応しないものが好ま
しい。また、特に、溶媒としてパラフィン系炭化水素類
やアルコール類を用いる場合は、安全性の観点から、窒
素、アルゴン等の不活性なガス、二酸化炭素等を用いる
ことが好ましい。
【００１７】図１は、気体として空気を、洗浄液として
水を用いた場合の、気体溶解タンク内圧力９ｋｇ／ｃｍ
2 、２０℃の条件における気体溶解タンク内の洗浄液の
滞留時間と空気の飽和率の関係を示したグラフである。
例えば、空気含有量が７０．８ｃｍ3 ／リットルの場
合、滞留時間２分間で４０％の飽和率を示すことがわか
る。滞留時間を長くすると空気の飽和率が向上する。さ
らに、空気溶解タンク内の圧力が向上するにつれ、空気
の溶解量も上昇するため、空気溶解タンク内における気
液の滞留時間及びタンク内の圧力を調整することによ
り、空気溶解量を調整することができる。気体の溶解量
は、洗浄液を常圧に開放した場合に気泡が発生する範囲
において任意に選択しうる。
水を用いた場合の、気体溶解タンク内圧力９ｋｇ／ｃｍ
2 、２０℃の条件における気体溶解タンク内の洗浄液の
滞留時間と空気の飽和率の関係を示したグラフである。
例えば、空気含有量が７０．８ｃｍ3 ／リットルの場
合、滞留時間２分間で４０％の飽和率を示すことがわか
る。滞留時間を長くすると空気の飽和率が向上する。さ
らに、空気溶解タンク内の圧力が向上するにつれ、空気
の溶解量も上昇するため、空気溶解タンク内における気
液の滞留時間及びタンク内の圧力を調整することによ
り、空気溶解量を調整することができる。気体の溶解量
は、洗浄液を常圧に開放した場合に気泡が発生する範囲
において任意に選択しうる。
【００１８】洗浄液に用いる溶媒と溶解する難溶性の気
体の好ましい組み合わせとしては、除去すべき汚れが埃
の如き固形物や水溶性物質の場合、水又は温水と空気と
の組合せ、界面活性剤水溶液と空気との組合せ等が挙げ
られ、汚れが油性成分の場合、アルカリ剤水溶液と空気
又は二酸化炭素との組合せ、有機溶媒と空気、二酸化炭
素又は窒素との組合せが挙げられる。
体の好ましい組み合わせとしては、除去すべき汚れが埃
の如き固形物や水溶性物質の場合、水又は温水と空気と
の組合せ、界面活性剤水溶液と空気との組合せ等が挙げ
られ、汚れが油性成分の場合、アルカリ剤水溶液と空気
又は二酸化炭素との組合せ、有機溶媒と空気、二酸化炭
素又は窒素との組合せが挙げられる。
【００１９】洗浄液は洗浄効果を向上するために加温す
ることができる。また、気体の洗浄液に対する飽和率を
調整する目的で温度を制御することもできる。
ることができる。また、気体の洗浄液に対する飽和率を
調整する目的で温度を制御することもできる。
【００２０】洗浄処理は常圧で行われるが、洗浄の具体
的方法としては、ワークに洗浄液をシャワーする方法、
噴射ノズルを用いて高圧で洗浄液をワークに噴射する方
法等を任意に用いることができるが、気泡を効率よくワ
ーク洗浄に用いる観点から、洗浄液が常圧下に開放され
てからワークの表面に到達する時間が短いことが好まし
い。このため、通常のステンレス鋼板等の洗浄において
は、噴射ノズルはできるだけワークに接近させるのが好
ましい。
的方法としては、ワークに洗浄液をシャワーする方法、
噴射ノズルを用いて高圧で洗浄液をワークに噴射する方
法等を任意に用いることができるが、気泡を効率よくワ
ーク洗浄に用いる観点から、洗浄液が常圧下に開放され
てからワークの表面に到達する時間が短いことが好まし
い。このため、通常のステンレス鋼板等の洗浄において
は、噴射ノズルはできるだけワークに接近させるのが好
ましい。
【００２１】また、本発明の洗浄方法は、洗浄工程のみ
ならず、これらの洗浄液でワークを洗浄したのち、洗浄
液を除去するため再度水で洗浄するリンス工程に適用す
ることも好ましく行われる。
ならず、これらの洗浄液でワークを洗浄したのち、洗浄
液を除去するため再度水で洗浄するリンス工程に適用す
ることも好ましく行われる。
【００２２】次に、本発明に係る洗浄装置について説明
する。図２は本発明の洗浄装置の一態様を示す概念図で
あり、図３は前記装置の正面図、図４は、図３の洗浄装
置のＡ方向の矢指平面図である。本実施例の洗浄装置１
０は、耐圧性気体溶解タンク１２と、気体溶解タンク１
２に気体を加圧しながら供給する加圧ポンプ１４と洗浄
ユニット１６とを主に備えている。加圧ポンプ１４は、
空気取り入れ口１８から空気を吸引し、加圧して、ポン
プに接続されたパイプ２０を経由して耐圧性気体溶解タ
ンク１２に空気を供給する。大気中から空気を吸引する
空気取り入れ口１８と加圧ポンプ１４とを接続するパイ
プ２０には、フィルタ２２が備えられており、空気はパ
イプ２０に備えられたフィルタ２２を経て埃や微細な不
純物を除去されてから、加圧ポンプ１４の圧力でエゼク
タ１９を経て気体溶解タンク１２内に供給される。加圧
ポンプ１４はまた、洗浄液に用いる溶媒も加圧して気体
溶解タンク１２内に供給している。気体溶解タンク１２
と洗浄ユニット１６はパイプ２４によって連結されてお
り、洗浄ユニット１６内には、パイプ２４の先端に取り
付けられた噴射ノズル２６が装着されており、さらに、
ワーク２８を運搬するコンベア（図示せず）がユニット
底部に備えられている。ワーク２８は洗浄後、コンベア
によってユニット１６外へ搬出され、同時に、洗浄前の
ワークがユニット１６内に搬入される。ユニット１６に
は、さらに、洗浄後の洗浄液を回収するため、底部に形
成された開口部から循環ユニット３０に接続する復配管
パイプ３２が備えられている。洗浄液及び空気を輸送す
るパイプには図に示すように適宜弁が備えられ、逆流を
防止し、流量を調節する機能を果たしている。気体溶解
タンク１２内の圧力、加圧ポンプ１４の出力、気体及び
洗浄液の供給量等はすべて制御盤３４において集中的に
制御される。
する。図２は本発明の洗浄装置の一態様を示す概念図で
あり、図３は前記装置の正面図、図４は、図３の洗浄装
置のＡ方向の矢指平面図である。本実施例の洗浄装置１
０は、耐圧性気体溶解タンク１２と、気体溶解タンク１
２に気体を加圧しながら供給する加圧ポンプ１４と洗浄
ユニット１６とを主に備えている。加圧ポンプ１４は、
空気取り入れ口１８から空気を吸引し、加圧して、ポン
プに接続されたパイプ２０を経由して耐圧性気体溶解タ
ンク１２に空気を供給する。大気中から空気を吸引する
空気取り入れ口１８と加圧ポンプ１４とを接続するパイ
プ２０には、フィルタ２２が備えられており、空気はパ
イプ２０に備えられたフィルタ２２を経て埃や微細な不
純物を除去されてから、加圧ポンプ１４の圧力でエゼク
タ１９を経て気体溶解タンク１２内に供給される。加圧
ポンプ１４はまた、洗浄液に用いる溶媒も加圧して気体
溶解タンク１２内に供給している。気体溶解タンク１２
と洗浄ユニット１６はパイプ２４によって連結されてお
り、洗浄ユニット１６内には、パイプ２４の先端に取り
付けられた噴射ノズル２６が装着されており、さらに、
ワーク２８を運搬するコンベア（図示せず）がユニット
底部に備えられている。ワーク２８は洗浄後、コンベア
によってユニット１６外へ搬出され、同時に、洗浄前の
ワークがユニット１６内に搬入される。ユニット１６に
は、さらに、洗浄後の洗浄液を回収するため、底部に形
成された開口部から循環ユニット３０に接続する復配管
パイプ３２が備えられている。洗浄液及び空気を輸送す
るパイプには図に示すように適宜弁が備えられ、逆流を
防止し、流量を調節する機能を果たしている。気体溶解
タンク１２内の圧力、加圧ポンプ１４の出力、気体及び
洗浄液の供給量等はすべて制御盤３４において集中的に
制御される。
【００２３】耐圧性気体溶解タンク１２は、タンク内の
圧力が、９ｋｇ／ｃｍ2 になるよう調整されている。加
圧ポンプ１４により加圧されて供給された空気は溶解タ
ンク１２内で洗浄液に用いる溶媒に溶解される。滞留時
間は、約１．５〜約３分間であり、図１のグラフによれ
ば空気の溶解量は、約２１〜約４２ｃｍ3 ／リットルと
なる。気体溶解タンク１２には、タンク内圧力調節及び
洗浄液圧送用の補助ポンプ３４に接続する弁を備えたパ
イプ３６、逆流防止弁を備えた余剰空気返送パイプ３８
及び気体を溶解した洗浄液を噴射ノズル２６に供給する
ための逆流防止弁とフィルターとを備えた供給パイプ２
４が接続されている。気体溶解タンク１２内の余剰の気
体は前記余剰空気返送パイプ３８により、溶解タンク１
２から除去される。空気を溶解した洗浄液は溶解タンク
１２に備えられた供給用ポンプ３４の圧力により、溶解
タンク１２に接続した供給パイプ２４を経由して洗浄ユ
ニット１６内に位置する噴射ノズル２６に輸送される。
圧力が、９ｋｇ／ｃｍ2 になるよう調整されている。加
圧ポンプ１４により加圧されて供給された空気は溶解タ
ンク１２内で洗浄液に用いる溶媒に溶解される。滞留時
間は、約１．５〜約３分間であり、図１のグラフによれ
ば空気の溶解量は、約２１〜約４２ｃｍ3 ／リットルと
なる。気体溶解タンク１２には、タンク内圧力調節及び
洗浄液圧送用の補助ポンプ３４に接続する弁を備えたパ
イプ３６、逆流防止弁を備えた余剰空気返送パイプ３８
及び気体を溶解した洗浄液を噴射ノズル２６に供給する
ための逆流防止弁とフィルターとを備えた供給パイプ２
４が接続されている。気体溶解タンク１２内の余剰の気
体は前記余剰空気返送パイプ３８により、溶解タンク１
２から除去される。空気を溶解した洗浄液は溶解タンク
１２に備えられた供給用ポンプ３４の圧力により、溶解
タンク１２に接続した供給パイプ２４を経由して洗浄ユ
ニット１６内に位置する噴射ノズル２６に輸送される。
【００２４】以下に前記装置による洗浄プロセスを説明
する。ワーク２８は、搬送手段としてのコンベアによっ
て洗浄ユニット１６内に搬入され、噴射ノズル２６から
噴射された空気を溶解した洗浄液によって洗浄される。
空気を溶解した洗浄液は噴射ノズル２６から噴射される
と、常圧に開放されるため、加圧によって洗浄液中に溶
解していた空気が再び気体となり、洗浄液中に気泡が発
生する。ワーク２８を洗浄する洗浄液は、液中に均一に
微細な気泡が分散しており、ワーク２８表面においても
気泡が生成する。このためワーク２８に付着した汚染物
質の除去が均一に且つ効率よく行われる。洗浄後のワー
ク２８はコンベアによって洗浄ユニット１６内から搬出
される。
する。ワーク２８は、搬送手段としてのコンベアによっ
て洗浄ユニット１６内に搬入され、噴射ノズル２６から
噴射された空気を溶解した洗浄液によって洗浄される。
空気を溶解した洗浄液は噴射ノズル２６から噴射される
と、常圧に開放されるため、加圧によって洗浄液中に溶
解していた空気が再び気体となり、洗浄液中に気泡が発
生する。ワーク２８を洗浄する洗浄液は、液中に均一に
微細な気泡が分散しており、ワーク２８表面においても
気泡が生成する。このためワーク２８に付着した汚染物
質の除去が均一に且つ効率よく行われる。洗浄後のワー
ク２８はコンベアによって洗浄ユニット１６内から搬出
される。
【００２５】ワーク２８洗浄後の洗浄液は洗浄ユニット
１６底部に備えられた開口部に接続された復配管パイプ
３２を経由して循環タンク３０内に回収される。循環タ
ンク３０内において、回収された洗浄液から、ワーク２
８洗浄時に混入した油分、微粒子等の不純物が除去され
る。不純物が除去された再生洗浄液は、空気溶解タンク
１２に供給され、洗浄に供される。
１６底部に備えられた開口部に接続された復配管パイプ
３２を経由して循環タンク３０内に回収される。循環タ
ンク３０内において、回収された洗浄液から、ワーク２
８洗浄時に混入した油分、微粒子等の不純物が除去され
る。不純物が除去された再生洗浄液は、空気溶解タンク
１２に供給され、洗浄に供される。
【００２６】本実施例においては、加圧した気体を供給
する手段として加圧ポンプ１４が用いられ、気体として
は空気が用いられているが、洗浄液の目的に応じて、所
望の気体を圧縮して充填してある加圧気体ボンベから直
接気体を洗浄液中に供給することもできる。加圧気体ボ
ンベの具体例としては、例えば、高圧酸素ボンベや窒
素、二酸化炭素を加圧充填してなるボンベ等が挙げられ
る。
する手段として加圧ポンプ１４が用いられ、気体として
は空気が用いられているが、洗浄液の目的に応じて、所
望の気体を圧縮して充填してある加圧気体ボンベから直
接気体を洗浄液中に供給することもできる。加圧気体ボ
ンベの具体例としては、例えば、高圧酸素ボンベや窒
素、二酸化炭素を加圧充填してなるボンベ等が挙げられ
る。
【００２７】また、洗浄ユニット１６内に備えられた噴
射ノズル２６は、単数であっても複数であってもよく、
洗浄液の噴射方向も、ワークの形状に応じて適宜調節す
ることができ、噴射条件も、一方向から噴射しても、同
時に二以上の方向から洗浄液を噴射してもよい。
射ノズル２６は、単数であっても複数であってもよく、
洗浄液の噴射方向も、ワークの形状に応じて適宜調節す
ることができ、噴射条件も、一方向から噴射しても、同
時に二以上の方向から洗浄液を噴射してもよい。
【００２８】洗浄ユニット１６内でワーク２８の洗浄に
使用された洗浄液は、本実施例のように回収して再使用
することが環境的には好ましいが、洗浄廃液として処理
されてもよい。循環タンク３０内においては、フィルタ
ーによる油分や固形不純物の除去のほか、洗浄液の性状
によっては、ｐＨ調整、温度調整等を行うことができ
る。
使用された洗浄液は、本実施例のように回収して再使用
することが環境的には好ましいが、洗浄廃液として処理
されてもよい。循環タンク３０内においては、フィルタ
ーによる油分や固形不純物の除去のほか、洗浄液の性状
によっては、ｐＨ調整、温度調整等を行うことができ
る。
【００２９】本発明の洗浄装置に用いられる洗浄液に用
いる溶媒及び気体は、前記の如く洗浄されるワークや除
去すべき物質によって適宜選択される。また、洗浄工程
のみならず、これらの洗浄液でワークを洗浄したのち、
洗浄液を除去するため再度水で洗浄するリンス工程に本
発明の洗浄装置を用いて、空気を溶解した水で洗浄する
ことも好ましく行われる。
いる溶媒及び気体は、前記の如く洗浄されるワークや除
去すべき物質によって適宜選択される。また、洗浄工程
のみならず、これらの洗浄液でワークを洗浄したのち、
洗浄液を除去するため再度水で洗浄するリンス工程に本
発明の洗浄装置を用いて、空気を溶解した水で洗浄する
ことも好ましく行われる。
【００３０】
【発明の効果】本発明の洗浄方法によれば、被洗浄物を
均一に且つ洗浄効率高く洗浄することが可能であるとい
う優れた効果を示す。また、本発明の洗浄装置は、簡単
な構造で、均一に且つ効率よく被洗浄物を洗浄しうると
いう優れた効果を示す。
均一に且つ洗浄効率高く洗浄することが可能であるとい
う優れた効果を示す。また、本発明の洗浄装置は、簡単
な構造で、均一に且つ効率よく被洗浄物を洗浄しうると
いう優れた効果を示す。
【図１】空気と水を用いた場合の、圧力９ｋｇ／ｃ
ｍ2 、２０℃の条件における気体溶解タンク内の洗浄液
の滞留時間と空気の飽和率の関係を示したグラフであ
る。
ｍ2 、２０℃の条件における気体溶解タンク内の洗浄液
の滞留時間と空気の飽和率の関係を示したグラフであ
る。
【図２】実施例の洗浄装置を示す概念図である。
【図３】実施例の洗浄装置を示す正面図である。
【図４】図３の洗浄装置のＡ方向の矢指平面図である。
１０ 洗浄装置 １２ 耐圧性気体溶解タンク １４ 加圧ポンプ（タンクに加圧した気体を供給する手
段） ２４ 洗浄液を移送するためのパイプ ２６ 噴射ノズル（被洗浄体に洗浄液を適用する手段）
段） ２４ 洗浄液を移送するためのパイプ ２６ 噴射ノズル（被洗浄体に洗浄液を適用する手段）
Claims (5)
- 【請求項１】 洗浄液に用いる溶媒に予め難溶性の気体
を加圧溶解させ、かくして得られた洗浄液を用いて被洗
浄体を常圧で洗浄処理することを特徴とする洗浄方法。 - 【請求項２】 前記気体が、空気、酸素、二酸化炭素、
水素、窒素からなる群から選択される少なくとも一種で
あることを特徴とする請求項１記載の洗浄方法。 - 【請求項３】 前記洗浄液に用いる溶媒が、水、アルカ
リ剤水溶液、界面活性剤水溶液、有機溶媒からなる群か
ら選択される少なくとも一種であることを特徴とする請
求項１又は２記載の洗浄方法。 - 【請求項４】 加圧下で気体を洗浄液に用いる溶媒に溶
解させるための耐圧性気体溶解タンクと、タンクに加圧
した気体を供給する手段と、タンクに接続し、被洗浄体
に洗浄液を適用する手段と、タンクから該洗浄液を適用
する手段に洗浄液を供給するための手段と、を備えたこ
とを特徴とする洗浄装置。 - 【請求項５】 前記気体を供給する手段が加圧ポンプで
あり、前記洗浄液を適用する手段が噴射ノズルであるこ
とを特徴とする請求項４記載の洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15084694A JPH0810726A (ja) | 1994-07-01 | 1994-07-01 | 洗浄方法及び洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15084694A JPH0810726A (ja) | 1994-07-01 | 1994-07-01 | 洗浄方法及び洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0810726A true JPH0810726A (ja) | 1996-01-16 |
Family
ID=15505662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15084694A Pending JPH0810726A (ja) | 1994-07-01 | 1994-07-01 | 洗浄方法及び洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0810726A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100453415B1 (ko) * | 1996-01-17 | 2004-12-17 | 가부시끼가이샤 프리테크 | 세정액및세정방법 |
| JP2007174909A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Mitsuzuka Kiyoshi | 腐敗抑制雰囲気を構築する生貝殻粘着付滞物質の離脱処理法 |
| JP2008013838A (ja) * | 2006-07-10 | 2008-01-24 | Asahi Kagaku Kogyo Co Ltd | 金属材料の酸洗方法 |
| JP2008135790A (ja) * | 1996-07-05 | 2008-06-12 | Toshiba Corp | 洗浄方法および電子部品の洗浄方法 |
| JP2010533582A (ja) * | 2007-10-31 | 2010-10-28 | ロボタス カンパニー リミテッド | 微細気泡を利用したシャワー及び洗浄装置 |
| CN102728587A (zh) * | 2011-04-14 | 2012-10-17 | 上海敏泰液压件有限公司 | 在航空煤油中加入氮气的装置及清洗方法 |
| WO2023058865A1 (ko) * | 2021-10-08 | 2023-04-13 | 주식회사 엘지화학 | 반응기 세척방법 |
| WO2025121578A1 (ko) * | 2023-12-05 | 2025-06-12 | 주식회사 엘지화학 | 반응기 세척 방법 및 시스템 |
-
1994
- 1994-07-01 JP JP15084694A patent/JPH0810726A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100453415B1 (ko) * | 1996-01-17 | 2004-12-17 | 가부시끼가이샤 프리테크 | 세정액및세정방법 |
| JP2008135790A (ja) * | 1996-07-05 | 2008-06-12 | Toshiba Corp | 洗浄方法および電子部品の洗浄方法 |
| JP2007174909A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Mitsuzuka Kiyoshi | 腐敗抑制雰囲気を構築する生貝殻粘着付滞物質の離脱処理法 |
| JP2008013838A (ja) * | 2006-07-10 | 2008-01-24 | Asahi Kagaku Kogyo Co Ltd | 金属材料の酸洗方法 |
| JP2010533582A (ja) * | 2007-10-31 | 2010-10-28 | ロボタス カンパニー リミテッド | 微細気泡を利用したシャワー及び洗浄装置 |
| JP4851621B2 (ja) * | 2007-10-31 | 2012-01-11 | ロボタス カンパニー リミテッド | 微細気泡を利用したシャワー及び洗浄装置 |
| CN102728587A (zh) * | 2011-04-14 | 2012-10-17 | 上海敏泰液压件有限公司 | 在航空煤油中加入氮气的装置及清洗方法 |
| WO2023058865A1 (ko) * | 2021-10-08 | 2023-04-13 | 주식회사 엘지화학 | 반응기 세척방법 |
| EP4197658A4 (en) * | 2021-10-08 | 2024-04-03 | Lg Chem, Ltd. | Reactor cleaning method |
| US12343774B2 (en) | 2021-10-08 | 2025-07-01 | Lg Chem, Ltd. | Reactor cleaning method |
| WO2025121578A1 (ko) * | 2023-12-05 | 2025-06-12 | 주식회사 엘지화학 | 반응기 세척 방법 및 시스템 |
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