JPH08110488A - 光走査装置 - Google Patents
光走査装置Info
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- JPH08110488A JPH08110488A JP6271716A JP27171694A JPH08110488A JP H08110488 A JPH08110488 A JP H08110488A JP 6271716 A JP6271716 A JP 6271716A JP 27171694 A JP27171694 A JP 27171694A JP H08110488 A JPH08110488 A JP H08110488A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 走査開始信号検出系の性能を向上させる。
【構成】 レーザユニット１から発生されたレーザ光は
回転多面鏡２によって偏向走査され、その末端部分Ｌｐ
は検出ミラー５によって回転多面鏡２に折り返され、集
光レンズ６を経て光センサ８に導入されて走査開始信号
に変換される。前記レーザ光の残りの大部分Ｌｍは結像
レンズ３を経て回転ドラム４の感光体に結像する。回転
多面鏡２に折り返されたレーザ光の末端部分Ｌｐは角速
度が２倍で走査する走査光となるため、光センサ８の出
力の立ち上がりが鋭くて高性能な走査開始信号検出系を
実現できる。
回転多面鏡２によって偏向走査され、その末端部分Ｌｐ
は検出ミラー５によって回転多面鏡２に折り返され、集
光レンズ６を経て光センサ８に導入されて走査開始信号
に変換される。前記レーザ光の残りの大部分Ｌｍは結像
レンズ３を経て回転ドラム４の感光体に結像する。回転
多面鏡２に折り返されたレーザ光の末端部分Ｌｐは角速
度が２倍で走査する走査光となるため、光センサ８の出
力の立ち上がりが鋭くて高性能な走査開始信号検出系を
実現できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザビームプリンタ
やレーザファクシミリあるいはデジタル複写機等の画像
形成装置に用いられる光走査装置に関するものである。
やレーザファクシミリあるいはデジタル複写機等の画像
形成装置に用いられる光走査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】レーザビームプリンタやレーザファクシ
ミリあるいはデジタル複写機等の画像形成装置に用いら
れる光走査装置の一従来例を図６に基づいて説明する。
これは、レーザユニットＥから発生されたレーザ光を偏
向走査する回転多面鏡Ｒを有し、回転多面鏡Ｒによって
偏向走査されたレーザ光は結像レンズ系Ｆを経て回転ド
ラムＭ上の感光体に結像する。
ミリあるいはデジタル複写機等の画像形成装置に用いら
れる光走査装置の一従来例を図６に基づいて説明する。
これは、レーザユニットＥから発生されたレーザ光を偏
向走査する回転多面鏡Ｒを有し、回転多面鏡Ｒによって
偏向走査されたレーザ光は結像レンズ系Ｆを経て回転ド
ラムＭ上の感光体に結像する。
【０００３】感光体に結像するレーザ光は、回転多面鏡
Ｒの回転による主走査と、回転ドラムＭの回転による副
走査によって静電潜像を形成する。
Ｒの回転による主走査と、回転ドラムＭの回転による副
走査によって静電潜像を形成する。
【０００４】また、回転多面鏡Ｒによって偏向走査され
たレーザ光の一部分は、結像レンズ系Ｆを経て検出ミラ
ーＢによって光センサＤの受光面に導入され、その出力
信号によって、レーザユニットＥが書き込み変調を開始
する。
たレーザ光の一部分は、結像レンズ系Ｆを経て検出ミラ
ーＢによって光センサＤの受光面に導入され、その出力
信号によって、レーザユニットＥが書き込み変調を開始
する。
【０００５】検出ミラーＢは、回転多面鏡Ｒによって反
射されたレーザ光が、主走査方向（Ｙ軸方向）の末端に
到達したとき、これを主走査面（ＸＹ平面）の下方へ反
射し、主走査面の反対側に位置する光センサＤに導入す
る。光センサＤの出力は図示しない増幅器や光強度検出
器を経て走査開始信号に変換され、レーザユニットＥの
半導体レーザＥ1 の駆動回路に送信される。
射されたレーザ光が、主走査方向（Ｙ軸方向）の末端に
到達したとき、これを主走査面（ＸＹ平面）の下方へ反
射し、主走査面の反対側に位置する光センサＤに導入す
る。光センサＤの出力は図示しない増幅器や光強度検出
器を経て走査開始信号に変換され、レーザユニットＥの
半導体レーザＥ1 の駆動回路に送信される。
【０００６】半導体レーザＥ1 の駆動回路は、外部のコ
ンピュータから送られる画像信号を記憶するメモリや、
走査開始信号によって駆動開始するタイマ等を有し、走
査開始信号を受信してから所定時間後にメモリの出力に
基づく書き込み変調を開始する。
ンピュータから送られる画像信号を記憶するメモリや、
走査開始信号によって駆動開始するタイマ等を有し、走
査開始信号を受信してから所定時間後にメモリの出力に
基づく書き込み変調を開始する。
【０００７】光センサＤの受光面の配設位置は、結像レ
ンズ系Ｆから検出ミラーＢを経て光センサＤに到達する
レーザ光の光路の長さと、結像レンズ系Ｆから回転ドラ
ムＭに到達するレーザ光の光路の長さがほぼ等しくなる
位置、すなわち、光センサＤの受光面に導入されるレー
ザ光の結像位置であるのが望ましい。その理由は以下の
通りである。
ンズ系Ｆから検出ミラーＢを経て光センサＤに到達する
レーザ光の光路の長さと、結像レンズ系Ｆから回転ドラ
ムＭに到達するレーザ光の光路の長さがほぼ等しくなる
位置、すなわち、光センサＤの受光面に導入されるレー
ザ光の結像位置であるのが望ましい。その理由は以下の
通りである。
【０００８】光センサＤの受光面がこれに導入されるレ
ーザ光の結像位置にあれば、光センサＤの受光面におけ
るレーザ光の光強度分布はガウス分布に近似したものと
なるが、光センサＤの受光面がレーザ光の結像位置から
ずれると、その光強度分布がガウス分布より立ち上がり
の鈍いなだらかな曲線となるため、例えば、回転多面鏡
Ｒの反射面の汚染のためにその反射光の光強度がわずか
でも変化すると、走査開始信号を発生するタイミングが
著しくずれて画像形成装置の画質を大きく低下させる結
果となる。
ーザ光の結像位置にあれば、光センサＤの受光面におけ
るレーザ光の光強度分布はガウス分布に近似したものと
なるが、光センサＤの受光面がレーザ光の結像位置から
ずれると、その光強度分布がガウス分布より立ち上がり
の鈍いなだらかな曲線となるため、例えば、回転多面鏡
Ｒの反射面の汚染のためにその反射光の光強度がわずか
でも変化すると、走査開始信号を発生するタイミングが
著しくずれて画像形成装置の画質を大きく低下させる結
果となる。
【０００９】なお、レーザユニットＥは、半導体レーザ
Ｅ1 から発生されたレーザ光を平行化するコリメータレ
ンズＥ2 とその出射光を所定のビーム径に絞るためのス
リットＥ3 を有し、このようにして所定のビーム径に整
形された平行ビームはシリンドリカルレンズＣによって
回転多面鏡Ｒの反射面に線状に集光される。
Ｅ1 から発生されたレーザ光を平行化するコリメータレ
ンズＥ2 とその出射光を所定のビーム径に絞るためのス
リットＥ3 を有し、このようにして所定のビーム径に整
形された平行ビームはシリンドリカルレンズＣによって
回転多面鏡Ｒの反射面に線状に集光される。
【００１０】図７は別の従来例を示すもので、これは、
回転多面鏡１０２の反射光の一部分Ｌｐｏを回転多面鏡
１０２と結像レンズ１０３の間に配設された検出ミラー
１０５によって分離し、主走査面の反対側に配設された
光センサ１０８に導入する。この場合は、画像形成用の
レーザ光Ｌｍｏの光路と走査開始信号用のレーザ光Ｌｐ
ｏの光路の長さを同じにすることが困難であるため、検
出ミラー１０５に凹面ミラーを用いるのが一般的であ
る。
回転多面鏡１０２の反射光の一部分Ｌｐｏを回転多面鏡
１０２と結像レンズ１０３の間に配設された検出ミラー
１０５によって分離し、主走査面の反対側に配設された
光センサ１０８に導入する。この場合は、画像形成用の
レーザ光Ｌｍｏの光路と走査開始信号用のレーザ光Ｌｐ
ｏの光路の長さを同じにすることが困難であるため、検
出ミラー１０５に凹面ミラーを用いるのが一般的であ
る。
【００１１】なお、走査開始信号用のレーザ光Ｌｐｏの
結像位置にはスリット１０７が配設されており、回転多
面鏡１０２の反射光の一部であるレーザ光Ｌｐｏは、回
転多面鏡１０２の回転によって矢印Ａで示すようにスリ
ット１０７を横切る方向に走査される。
結像位置にはスリット１０７が配設されており、回転多
面鏡１０２の反射光の一部であるレーザ光Ｌｐｏは、回
転多面鏡１０２の回転によって矢印Ａで示すようにスリ
ット１０７を横切る方向に走査される。
【００１２】上記のように、回転多面鏡１０２から結像
レンズ１０３を経て回転ドラム１０４の感光体に到達す
る画像形成用のレーザ光Ｌｍｏの光路の長さに比べて走
査開始信号用のレーザ光Ｌｐｏの光路の長さが短い場合
には、走査開始信号用のレーザ光Ｌｐｏが前記スリット
１０７を横切る走査速度Ｖは前記光路の長さの比率に比
例して遅くなる。同様に、走査開始信号用のレーザ光Ｌ
ｐｏがスリット１０７の表面に結像してできる点像の直
径ｄも小さくなる。
レンズ１０３を経て回転ドラム１０４の感光体に到達す
る画像形成用のレーザ光Ｌｍｏの光路の長さに比べて走
査開始信号用のレーザ光Ｌｐｏの光路の長さが短い場合
には、走査開始信号用のレーザ光Ｌｐｏが前記スリット
１０７を横切る走査速度Ｖは前記光路の長さの比率に比
例して遅くなる。同様に、走査開始信号用のレーザ光Ｌ
ｐｏがスリット１０７の表面に結像してできる点像の直
径ｄも小さくなる。
【００１３】すなわち、図４の（ａ）に示すように、回
転多面鏡１０２から回転ドラム１０４の感光体に到る画
像形成用のレーザ光Ｌｍｏの光路の長さと光センサ１０
８に導入される走査開始信号用のレーザ光Ｌｐｏの光路
の長さが等しいときは、スリット１０７の表面の点像の
走査速度は、感光体上における画像形成用のレーザ光Ｌ
ｍｏの走査速度Ｖ1 と同じであり、従ってガウス分布に
近似した光強度分布を有する。このときのスリット１０
７の表面の点像の直径がｄ1 であったとすれば、走査開
始信号用のレーザ光Ｌｐｏの光路の長さが１／２に短縮
されたときには走査速度がＶ1 ／２、スリット１０７上
の点像の直径は理論的には図４の（ｂ）に示すようにｄ
1 ／２となる。
転多面鏡１０２から回転ドラム１０４の感光体に到る画
像形成用のレーザ光Ｌｍｏの光路の長さと光センサ１０
８に導入される走査開始信号用のレーザ光Ｌｐｏの光路
の長さが等しいときは、スリット１０７の表面の点像の
走査速度は、感光体上における画像形成用のレーザ光Ｌ
ｍｏの走査速度Ｖ1 と同じであり、従ってガウス分布に
近似した光強度分布を有する。このときのスリット１０
７の表面の点像の直径がｄ1 であったとすれば、走査開
始信号用のレーザ光Ｌｐｏの光路の長さが１／２に短縮
されたときには走査速度がＶ1 ／２、スリット１０７上
の点像の直径は理論的には図４の（ｂ）に示すようにｄ
1 ／２となる。
【００１４】一方、走査開始信号を発生するタイミング
を高精度で管理して高度の画質を得るには、光センサ１
０８の出力の立ち上がりが鋭いことが望まれるが、光セ
ンサ１０８の立ち上がりは、スリット１０７に結像する
点像の直径が小さい程、またその走査速度が速い程鋭く
なる。
を高精度で管理して高度の画質を得るには、光センサ１
０８の出力の立ち上がりが鋭いことが望まれるが、光セ
ンサ１０８の立ち上がりは、スリット１０７に結像する
点像の直径が小さい程、またその走査速度が速い程鋭く
なる。
【００１５】図４の（ｂ）の場合は、走査開始信号用の
レーザ光Ｌｐｏの光路の長さが短縮され走査速度が半分
になるが、結像する点像の直径も半分になるため、光セ
ンサ１０８の出力の立ち上がり曲線は、図４の（ａ）の
場合の光センサ１０８の立ち上がり曲線とほぼ同じであ
り、例えば、図５の曲線Ｕ1 で示すものとなり、従っ
て、理論的には走査開始信号を発生するタイミングの精
度は変化しないものと推測される。
レーザ光Ｌｐｏの光路の長さが短縮され走査速度が半分
になるが、結像する点像の直径も半分になるため、光セ
ンサ１０８の出力の立ち上がり曲線は、図４の（ａ）の
場合の光センサ１０８の立ち上がり曲線とほぼ同じであ
り、例えば、図５の曲線Ｕ1 で示すものとなり、従っ
て、理論的には走査開始信号を発生するタイミングの精
度は変化しないものと推測される。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の技術によれば、現実には走査開始信号用のレーザ光
の光路が短縮されることで光センサに導入される点像の
焦点深度が浅くなり、検出ミラーの反射面等の仕上がり
状態のバラツキによる誤差や、組み付け時のわずかな位
置ずれに伴って著しいピントずれを発生する。その結
果、理論的には図４の（ｂ）に示すように鋭い立ち上が
りの光強度分布となるものが現実には図４の（ｃ）に示
すなだらかな曲線となり、従って、点像の直径が著しく
増大し、例えば図５の曲線Ｕ2 に示すように、走査速度
が減少した分だけ光センサの出力の立ち上がりが鈍くな
り、回転多面鏡の反射面の汚染やわずかな外乱等のため
に走査開始信号を発生するタイミングが著しくずれてい
わゆる書き出しジッタ等のトラブルが発生し、画像形成
装置の画質が大きく低下するという未解決の課題があ
る。
来の技術によれば、現実には走査開始信号用のレーザ光
の光路が短縮されることで光センサに導入される点像の
焦点深度が浅くなり、検出ミラーの反射面等の仕上がり
状態のバラツキによる誤差や、組み付け時のわずかな位
置ずれに伴って著しいピントずれを発生する。その結
果、理論的には図４の（ｂ）に示すように鋭い立ち上が
りの光強度分布となるものが現実には図４の（ｃ）に示
すなだらかな曲線となり、従って、点像の直径が著しく
増大し、例えば図５の曲線Ｕ2 に示すように、走査速度
が減少した分だけ光センサの出力の立ち上がりが鈍くな
り、回転多面鏡の反射面の汚染やわずかな外乱等のため
に走査開始信号を発生するタイミングが著しくずれてい
わゆる書き出しジッタ等のトラブルが発生し、画像形成
装置の画質が大きく低下するという未解決の課題があ
る。
【００１７】本発明は、上記従来の技術の有する未解決
の課題に鑑みてなされたものであって、走査開始信号を
検出するための走査開始信号検出系が極めて高性能であ
る光走査装置を提供することを目的とするものである。
の課題に鑑みてなされたものであって、走査開始信号を
検出するための走査開始信号検出系が極めて高性能であ
る光走査装置を提供することを目的とするものである。
【００１８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の光走査装置は、回転多面鏡と、該回転多面
鏡によって偏向走査された走査光の一部分を除く残りを
感光体に結像させるための第１の光学系と、前記走査光
の前記一部分を走査開始信号検出器に導入するための第
２の光学系を有し、該第２の光学系が、前記走査光の前
記一部分を前記回転多面鏡によって少なくとも１回反射
させたうえで前記走査開始信号検出器に導入するように
構成されていることを特徴とする。
め、本発明の光走査装置は、回転多面鏡と、該回転多面
鏡によって偏向走査された走査光の一部分を除く残りを
感光体に結像させるための第１の光学系と、前記走査光
の前記一部分を走査開始信号検出器に導入するための第
２の光学系を有し、該第２の光学系が、前記走査光の前
記一部分を前記回転多面鏡によって少なくとも１回反射
させたうえで前記走査開始信号検出器に導入するように
構成されていることを特徴とする。
【００１９】第２の光学系が、走査光の一部分を回転多
面鏡に向かって反射する検出ミラーと、前記走査光の前
記一部分の光路に設けられた集光レンズを備えていると
よい。
面鏡に向かって反射する検出ミラーと、前記走査光の前
記一部分の光路に設けられた集光レンズを備えていると
よい。
【００２０】また、第２の光学系が、走査光の一部分を
回転多面鏡に向かって反射し、かつ集光する凹面状の検
出ミラーを備えているとよい。
回転多面鏡に向かって反射し、かつ集光する凹面状の検
出ミラーを備えているとよい。
【００２１】さらに、走査開始信号検出器が、走査光の
光源に近接して配設されているとよい。
光源に近接して配設されているとよい。
【００２２】また、感光体に結像される走査光の光源と
走査開始信号検出器に導入される走査光の光源が別であ
ってもよい。
走査開始信号検出器に導入される走査光の光源が別であ
ってもよい。
【００２３】
【作用】回転多面鏡によって偏向走査された走査光の一
部分は、第２の光学系によって残りの部分から分離さ
れ、走査開始信号検出器へ導入される前に回転多面鏡に
よって少なくとも１回反射される。このとき、再度回転
多面鏡によって走査されるため、走査開始信号検出器へ
導入される走査光の走査速度は２倍になり、これによっ
て、走査開始信号検出器の出力の立ち上りが鋭くなり、
走査開始信号を発生するタイミングの精度を大幅に向上
できる。
部分は、第２の光学系によって残りの部分から分離さ
れ、走査開始信号検出器へ導入される前に回転多面鏡に
よって少なくとも１回反射される。このとき、再度回転
多面鏡によって走査されるため、走査開始信号検出器へ
導入される走査光の走査速度は２倍になり、これによっ
て、走査開始信号検出器の出力の立ち上りが鋭くなり、
走査開始信号を発生するタイミングの精度を大幅に向上
できる。
【００２４】回転多面鏡から感光体に到る第１の光学系
の光路に比べて、回転多面鏡から走査開始信号検出器に
到る第２の光学系の光路が短くてコンパクトである場合
でも、上記のように走査開始信号検出器へ導入される走
査光の走査速度を２倍にすることで、走査開始信号検出
器の出力の立ち上がりが鈍くなるのを防ぎ、走査開始信
号を発生するタイミングが回転多面鏡の反射面の汚染や
わずかな外乱等で狂うおそれのない光走査装置を実現で
きる。
の光路に比べて、回転多面鏡から走査開始信号検出器に
到る第２の光学系の光路が短くてコンパクトである場合
でも、上記のように走査開始信号検出器へ導入される走
査光の走査速度を２倍にすることで、走査開始信号検出
器の出力の立ち上がりが鈍くなるのを防ぎ、走査開始信
号を発生するタイミングが回転多面鏡の反射面の汚染や
わずかな外乱等で狂うおそれのない光走査装置を実現で
きる。
【００２５】なお、走査光が回転多面鏡によって反射さ
れる回数が１回増えると、そのたびに走査開始信号検出
器へ導入される走査光の走査速度は倍になり、走査開始
信号検出器の出力の立ち上がりをより一層鋭くできる。
れる回数が１回増えると、そのたびに走査開始信号検出
器へ導入される走査光の走査速度は倍になり、走査開始
信号検出器の出力の立ち上がりをより一層鋭くできる。
【００２６】
【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【００２７】図１は一実施例による光走査装置を説明す
る説明図であって、これは、光源であるレーザユニット
１から発生されたレーザ光を偏向走査する回転多面鏡２
を有し、回転多面鏡２によって偏向走査された走査光で
あるレーザ光の大部分Ｌｍは第１の光学系である結像レ
ンズ３を経て回転ドラム４上の感光体に結像する。
る説明図であって、これは、光源であるレーザユニット
１から発生されたレーザ光を偏向走査する回転多面鏡２
を有し、回転多面鏡２によって偏向走査された走査光で
あるレーザ光の大部分Ｌｍは第１の光学系である結像レ
ンズ３を経て回転ドラム４上の感光体に結像する。
【００２８】感光体に結像するレーザ光Ｌｍは、回転多
面鏡２の回転による主走査と、回転ドラム４の回転によ
る副走査によって静電潜像を形成する。
面鏡２の回転による主走査と、回転ドラム４の回転によ
る副走査によって静電潜像を形成する。
【００２９】結像レンズ３は、回転多面鏡２の反射光を
回転ドラム４上において等速度で走査させるためのいわ
ゆるｆθ機能と、回転多面鏡２の面倒れによる点像の歪
を補正する機能を有するアナモフィックな非球面レンズ
である。
回転ドラム４上において等速度で走査させるためのいわ
ゆるｆθ機能と、回転多面鏡２の面倒れによる点像の歪
を補正する機能を有するアナモフィックな非球面レンズ
である。
【００３０】また、回転多面鏡２によって偏向走査され
た走査光であるレーザ光の末端部分Ｌｐは、検出ミラー
５によって回転多面鏡２の反射面２ａに折り返し反射さ
れたうえで、検出ミラー５とともに第２の光学系を構成
する集光レンズ６によってスリット７の表面に結像さ
れ、走査開始信号検出器である光センサ８によって検出
される。
た走査光であるレーザ光の末端部分Ｌｐは、検出ミラー
５によって回転多面鏡２の反射面２ａに折り返し反射さ
れたうえで、検出ミラー５とともに第２の光学系を構成
する集光レンズ６によってスリット７の表面に結像さ
れ、走査開始信号検出器である光センサ８によって検出
される。
【００３１】なお、レーザユニット１は、半導体レーザ
１ａ、コリメータレンズ１ｂ、光源スリット１ｃ等を有
し、半導体レーザ１ａから発生されたレーザ光はコリメ
ータレンズ１ｂによって平行化され、光源スリット１ｃ
によって所定のビーム径に整形され、シリンドリカルレ
ンズ９によって回転多面鏡２の反射面２ａに線状に集光
される。
１ａ、コリメータレンズ１ｂ、光源スリット１ｃ等を有
し、半導体レーザ１ａから発生されたレーザ光はコリメ
ータレンズ１ｂによって平行化され、光源スリット１ｃ
によって所定のビーム径に整形され、シリンドリカルレ
ンズ９によって回転多面鏡２の反射面２ａに線状に集光
される。
【００３２】光センサ８はピンフォトダイオード等によ
って構成された一般的にはＢＤセンサと呼ばれるもの
で、その出力は図示しない増幅器や光強度検出器を経て
走査開始信号としてレーザユニット１の半導体レーザ１
ａの駆動回路に送信される。
って構成された一般的にはＢＤセンサと呼ばれるもの
で、その出力は図示しない増幅器や光強度検出器を経て
走査開始信号としてレーザユニット１の半導体レーザ１
ａの駆動回路に送信される。
【００３３】半導体レーザ１ａの駆動回路は、外部のコ
ンピュータから送られる画像信号を記憶するメモリや、
走査開始信号によって駆動開始するタイマ等を有し、走
査開始信号を受信してから所定時間後にメモリの出力に
基づく書き込み変調を開始する。
ンピュータから送られる画像信号を記憶するメモリや、
走査開始信号によって駆動開始するタイマ等を有し、走
査開始信号を受信してから所定時間後にメモリの出力に
基づく書き込み変調を開始する。
【００３４】検出ミラー５に入射する走査開始信号用の
レーザ光Ｌｐは画像形成用のレーザ光Ｌｍと同じ角速度
で走査され、検出ミラー５によって回転多面鏡２に折り
返し反射され、前述の２倍の角速度で走査する走査光と
して光センサ８に導入される。このように走査開始信号
用のレーザ光Ｌｐは、回転多面鏡２によって再度反射さ
れることでその走査速度が２倍となり、その結果、光セ
ンサ８の出力の立ち上がり時間は１／２に短縮され、走
査開始信号を発生するタイミングの精度を大幅に向上で
きる。
レーザ光Ｌｐは画像形成用のレーザ光Ｌｍと同じ角速度
で走査され、検出ミラー５によって回転多面鏡２に折り
返し反射され、前述の２倍の角速度で走査する走査光と
して光センサ８に導入される。このように走査開始信号
用のレーザ光Ｌｐは、回転多面鏡２によって再度反射さ
れることでその走査速度が２倍となり、その結果、光セ
ンサ８の出力の立ち上がり時間は１／２に短縮され、走
査開始信号を発生するタイミングの精度を大幅に向上で
きる。
【００３５】すなわち、集光レンズを用いることで走査
開始信号用のレーザ光Ｌｐの光路の長さを大幅に短縮し
ても、これによって光センサ８に導入される点像の焦点
深度が浅くなる欠点を走査開始信号用のレーザ光Ｌｐの
走査速度を速くすることで補うことができる。
開始信号用のレーザ光Ｌｐの光路の長さを大幅に短縮し
ても、これによって光センサ８に導入される点像の焦点
深度が浅くなる欠点を走査開始信号用のレーザ光Ｌｐの
走査速度を速くすることで補うことができる。
【００３６】従って、検出ミラーや光センサ等の配設位
置や設置スペースに対する制約を大きく低減し、コンパ
クトであっても極めて高性能な走査開始信号検出系を実
現できる。例えば、半導体レーザ１ａに近接する位置に
光センサ８を配設することによって両者を一枚のフレキ
シブル基板上に搭載することも可能になる。
置や設置スペースに対する制約を大きく低減し、コンパ
クトであっても極めて高性能な走査開始信号検出系を実
現できる。例えば、半導体レーザ１ａに近接する位置に
光センサ８を配設することによって両者を一枚のフレキ
シブル基板上に搭載することも可能になる。
【００３７】その結果、小型でしかも高性能な光走査装
置を実現できる。
置を実現できる。
【００３８】図２は第１の変形例を示し、これは、検出
ミラー１５に凹面状のミラーを用いることで集光レンズ
を省略したものである。集光レンズを省略することで組
立部品点数を減少し、光走査装置の製造コストを下げる
ことができる。
ミラー１５に凹面状のミラーを用いることで集光レンズ
を省略したものである。集光レンズを省略することで組
立部品点数を減少し、光走査装置の製造コストを下げる
ことができる。
【００３９】図３は第２の変形例を示し、これは、画像
形成用のレーザ光を発生する半導体レーザ２１ａおよび
コリメータレンズ２１ｂ等を有するレーザユニット２１
と別に、走査開始信号用のレーザ光を発生する光源であ
る半導体レーザ２２ａおよびコリメータレンズ２２ｂを
設けたものである。回転ドラム上の感光体が高感度であ
る場合には、画像形成用のレーザ光を発生する半導体レ
ーザ２１ａの出力が小さいために、これから発生された
レーザ光の一部を走査開始信号用のレーザ光として用い
ると光センサ８に極めて高感度のものが必要となる。
形成用のレーザ光を発生する半導体レーザ２１ａおよび
コリメータレンズ２１ｂ等を有するレーザユニット２１
と別に、走査開始信号用のレーザ光を発生する光源であ
る半導体レーザ２２ａおよびコリメータレンズ２２ｂを
設けたものである。回転ドラム上の感光体が高感度であ
る場合には、画像形成用のレーザ光を発生する半導体レ
ーザ２１ａの出力が小さいために、これから発生された
レーザ光の一部を走査開始信号用のレーザ光として用い
ると光センサ８に極めて高感度のものが必要となる。
【００４０】本変形例は、走査開始信号用のレーザ光を
発生する半導体レーザと画像形成用のレーザ光を発生す
る半導体レーザを個別に設けることで、上記の欠点を補
うように工夫されたものであり、安価な光センサを用い
ることができるという長所を有する。
発生する半導体レーザと画像形成用のレーザ光を発生す
る半導体レーザを個別に設けることで、上記の欠点を補
うように工夫されたものであり、安価な光センサを用い
ることができるという長所を有する。
【００４１】なお、本実施例においては、走査開始信号
用に分離したレーザ光を１回だけ回転多面鏡によって反
射したうえで光センサに導入するように構成されている
が、必要であれば２回以上繰り返し反射させてもよい。
用に分離したレーザ光を１回だけ回転多面鏡によって反
射したうえで光センサに導入するように構成されている
が、必要であれば２回以上繰り返し反射させてもよい。
【００４２】
【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、次に記載するような効果を奏する。
で、次に記載するような効果を奏する。
【００４３】走査開始信号を検出するための走査開始信
号検出系が極めて高性能である光走査装置を実現でき
る。このような光走査装置を用いることで、画像形成装
置の小型化や高性能化に大きく貢献できる。
号検出系が極めて高性能である光走査装置を実現でき
る。このような光走査装置を用いることで、画像形成装
置の小型化や高性能化に大きく貢献できる。
【図１】一実施例による光走査装置を説明する説明図で
ある。
ある。
【図２】第１の変形例による光走査装置を説明する説明
図である。
図である。
【図３】第２の変形例による光走査装置を説明する説明
図である。
図である。
【図４】走査速度と点像の直径の関係を示すグラフであ
る。
る。
【図５】光センサの出力の立ち上がり曲線を示すグラフ
である。
である。
【図６】一従来例による光走査装置を説明する説明図で
ある。
ある。
【図７】別の従来例による光走査装置を説明する説明図
である。
である。
１，２１ レーザユニット １ａ，２１ａ，２２ａ 半導体レーザ ２ 回転多面鏡 ３ 結像レンズ ４ 回転ドラム ５，１５ 検出ミラー ６ 集光レンズ ７ スリット ８ 光センサ
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０４Ｎ 1/113
Claims (5)
- 【請求項１】 回転多面鏡と、該回転多面鏡によって偏
向走査された走査光の一部分を除く残りを感光体に結像
させるための第１の光学系と、前記走査光の前記一部分
を走査開始信号検出器に導入するための第２の光学系を
有し、該第２の光学系が、前記走査光の前記一部分を前
記回転多面鏡によって少なくとも１回反射させたうえで
前記走査開始信号検出器に導入するように構成されてい
ることを特徴とする光走査装置。 - 【請求項２】 第２の光学系が、走査光の一部分を回転
多面鏡に向かって反射する検出ミラーと、前記走査光の
前記一部分の光路に設けられた集光レンズを備えている
ことを特徴とする請求項１記載の光走査装置。 - 【請求項３】 第２の光学系が、走査光の一部分を回転
多面鏡に向かって反射し、かつ集光する凹面状の検出ミ
ラーを備えていることを特徴とする請求項１または２記
載の光走査装置。 - 【請求項４】 走査開始信号検出器が、走査光の光源に
近接して配設されていることを特徴とする請求項１ない
し３いずれか１項記載の光走査装置。 - 【請求項５】 感光体に結像される走査光の光源と走査
開始信号検出器に導入される走査光の光源が別であるこ
とを特徴とする請求項１ないし４いずれか１項記載の光
走査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6271716A JPH08110488A (ja) | 1994-10-11 | 1994-10-11 | 光走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6271716A JPH08110488A (ja) | 1994-10-11 | 1994-10-11 | 光走査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08110488A true JPH08110488A (ja) | 1996-04-30 |
Family
ID=17503851
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6271716A Pending JPH08110488A (ja) | 1994-10-11 | 1994-10-11 | 光走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08110488A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006276133A (ja) * | 2005-03-28 | 2006-10-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光走査装置及び光走査方法 |
| JP2009139639A (ja) * | 2007-12-06 | 2009-06-25 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置及び画像形成装置 |
| JP2010175996A (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-12 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置及び画像形成装置 |
| JP2014115670A (ja) * | 2014-01-22 | 2014-06-26 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置及び画像形成装置 |
| WO2018061633A1 (ja) * | 2016-09-29 | 2018-04-05 | 株式会社ニコン | ビーム走査装置およびパターン描画装置 |
| WO2018066286A1 (ja) * | 2016-10-04 | 2018-04-12 | 株式会社ニコン | ビーム走査装置およびパターン描画装置 |
| WO2018066285A1 (ja) * | 2016-10-04 | 2018-04-12 | 株式会社ニコン | ビーム走査装置、パターン描画装置、およびパターン描画装置の精度検査方法 |
| JP2019215588A (ja) * | 2014-04-01 | 2019-12-19 | 株式会社ニコン | パターン描画装置、及びデバイス製造方法 |
-
1994
- 1994-10-11 JP JP6271716A patent/JPH08110488A/ja active Pending
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006276133A (ja) * | 2005-03-28 | 2006-10-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光走査装置及び光走査方法 |
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| JPWO2018061633A1 (ja) * | 2016-09-29 | 2019-07-11 | 株式会社ニコン | ビーム走査装置およびパターン描画装置 |
| WO2018061633A1 (ja) * | 2016-09-29 | 2018-04-05 | 株式会社ニコン | ビーム走査装置およびパターン描画装置 |
| TWI770062B (zh) * | 2016-09-29 | 2022-07-11 | 日商尼康股份有限公司 | 光束掃描裝置及圖案描繪裝置 |
| WO2018066285A1 (ja) * | 2016-10-04 | 2018-04-12 | 株式会社ニコン | ビーム走査装置、パターン描画装置、およびパターン描画装置の精度検査方法 |
| WO2018066286A1 (ja) * | 2016-10-04 | 2018-04-12 | 株式会社ニコン | ビーム走査装置およびパターン描画装置 |
| KR20190057372A (ko) * | 2016-10-04 | 2019-05-28 | 가부시키가이샤 니콘 | 빔 주사 장치 및 패턴 묘화 장치 |
| KR20190057371A (ko) * | 2016-10-04 | 2019-05-28 | 가부시키가이샤 니콘 | 빔 주사 장치, 패턴 묘화 장치 및 패턴 묘화 장치의 정밀도 검사 방법 |
| JPWO2018066285A1 (ja) * | 2016-10-04 | 2019-07-18 | 株式会社ニコン | ビーム走査装置、パターン描画装置、およびパターン描画装置の精度検査方法 |
| JPWO2018066286A1 (ja) * | 2016-10-04 | 2019-07-18 | 株式会社ニコン | ビーム走査装置およびパターン描画装置 |
| TWI735672B (zh) * | 2016-10-04 | 2021-08-11 | 日商尼康股份有限公司 | 光束掃描裝置、圖案描繪裝置、及圖案描繪裝置之精度檢查方法 |
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