JPH08111439A - 半導体素子検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は半導体素子検査方法に関し、被検査
素子の品種変更時に測子カード交換と共に行なう検査装
置本体への検査制御情報の入力に伴う煩雑な作業を省略
し、入力作業の自動化と信頼性向上を目的とする。 【解決手段】 被検査素子の品種に対応した測子カード
２が交換可能に取り付けられる検査装置を利用し、測子
カード２の接触針を被検査素子の電極に接触させて素子
の電気的性能検査を行なう半導体素子検査方法におい
て、被検査素子の品種に対応した検査制御情報を記憶し
たＲＯＭ５を載置した測子カード２を装置本体１に取り
付けＲＯＭ５を接続する工程と、ＲＯＭ５に記憶された
検査制御情報を読み出して設定する工程とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、いわゆるプロー
バと称されるところの、半導体ウエハ上に多数形成され
た半導体素子回路の電気的性能を検査する半導体素子検
査方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体素子は、ウエハと称される所定大
の略円盤形の薄板上を縦横に整列区画してそれぞれに所
要の同一電気素子回路を多数形成することにより製造さ
れている。しかしてこれらの製造されたウエハは、素子
を各チツプとして分断する前に素子回路の形成品質を検
査すべくウエハプローバと称される検査装置で素子個々
毎にその良・不良を判定選別されるようになつている。

【０００３】このプローバは、概略、ウエハを載設して
所要時にその素子配列に従つてＸ・Ｙ方向の水平移動と
Ｚ方向の上下移動を行なうテーブルと、このテーブル上
方に配設されて、検査しようとする素子の各電極に対応
する位置に設けられた接触針としての測子を固定保持す
る測子カードと、この測子カードを介して各素子の回路
を順次検査判定する装置制御部判定部等からなつてお
り、テーブルのＸ・Ｙ・Ｚ移動を定められた順序、移動
量、方向等に従つて行なわせ、もつて自動検査を行なう
のである。上記測子カードは測定する素子の品種毎に専
用として当該素子に関する品種・記号等が明記されてお
り、従つて素子電極に接触する測子も対応した配置状態
となつている。

【０００４】このような方式でなる装置で半導体素子を
検査する場合、測子カードは被検査素子に対する回路接
触治具的機能しか備えていないので、被検査素子を個々
毎に順次検査走査する為に前記テーブルのＸ・Ｙ・Ｚ移
動プログラム等の検査・制御情報を装置制御部に入力し
てやる必要がある。この情報入力は、代表的にはサムホ
イールスイツチ等による設定、あるいはキーボード等に
よるキー入力で行なわれている。

【０００５】しかして検査にあたり、前記検査とは品種
の異なる半導体素子（ウエハ）を検査する場合には、素
子の電極配置形態はもとよりウエハ寸法・形状、素子寸
法、配列数等の各種の検査条件が異なるので、測子カー
ドの対応カードへの変更は無論のこと装置制御部への指
示情報の変更入力、新規入力等も行なう必要があつた。

【０００６】例えば、特開昭５５−６２１６２号公報に
は素子配列に関する情報を入力し、制御する技術が開示
されている。即ち、半導体ウエハに形成された素子の配
列に従つて細針（測子）が確実にかつ自動的に順次接触
するように、その配列情報を記憶するＲＡＭ（Ｒａｎｄ
ａｍＡｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）を利用して、該ＲＡ
Ｍに穿孔テープ情報を読み取るテープリーダ、キーボー
ド等を介して前記情報を入力し、又はウエハ表面を接触
走査する線状アクチユエータ（フイツシユラインセン
サ）による検出情報を入力して予め前記配列情報を記憶
させ、これにより同一種の二枚目以降のウエハについて
自動走査運転を行なわせることが開示されている。また
この方式によれば、ウエハ上の特定エリアのみを走査測
定できることも開示されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記方式は、素子配列
を予め記憶させ、素子存在部のみを効率よく走査する為
に計数システム等を利用して制御しようとするもので、
同種のウエハを測定する場合には上記走査機能に関し効
果的であるが、品種が変更になればその都度の情報設定
（入力操作）が必要であり労力を要するものであつた。
即ち、テープリーダ方式等にあつては改めて所要のプロ
グラム入力操作が必要であり、またフイツシユラインセ
ンサ方式の場合は一枚目のウエハの慎重な走査により入
力が必要であつた。しかしてこれにより入力された情報
は素子配列だけであるので、その他の情報、即ち品種毎
の試験、測定条件等は別操作としての入力指示が必要で
あつた。

【０００８】要するに、従来装置にあつては素子品種変
更の都度の検査制御情報入力指示操作が必要であつて、
量産性からみれば作業効率的に非常に不具合であり、ま
た特に基本的問題点として、入力設定作業はボタン・キ
ーボード等の多数回操作が必要なことなどにより、僅か
一回（一動作）の誤操作でも装置の誤動作が起こること
に鑑みれば、慎重な作業になりやすいこと、その場合で
も誤操作入力が生じやすいこと等の不安があり、この誤
操作を看過すれば検査で不良判定が出やすく所期目的を
達成することができなくなる等の重大な問題を内在して
いるものであつた。

【０００９】本発明は以上の如き問題点を解決すべくな
されたもので、新品種への切り替え、仕掛かり時に交換
する測子カードの設定と略同時に装置への制御情報（テ
ーブル移動、新品種の検査条件、検査の為の回路開閉等
のプログラム等々）も自動的に設定でき、もつて従来の
如き検査現場での入力作業を省略し得て、入力の自動化
と操作の簡略化、さらには入力誤操作の完全排除により
従来の諸問題を一挙に解決でき、実用性に優れた方法を
提供することを目的とするものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の半導体素子検査
方法は、被検査素子の品種に対応した測子カードが交換
可能に取り付けられる検査装置を用い、測子カードの接
触針を被検査素子の電極に接触させて素子の電気的性能
検査を行なう方法であって、上記目的を達成するため、
被検査素子の品種に対応した検査制御情報を記憶したＲ
ＯＭを載置した測子カードを検査装置本体に取り付けＲ
ＯＭを検査装置本体に接続する工程と、ＲＯＭに記憶さ
れた検査制御情報を読み出し被検査素子の品種に対応し
た検査制御情報を設定する工程からなるものである。

【００１１】検査は、被検査素子の品種に対応した測子
カードを使用して、被検査素子の品種に適応した検査制
御情報に従って行なう必要がある。本発明では検査制御
情報がＲＯＭに記憶されて測子カードと一体にされてお
り、測子カードを検査装置本体に取り付けることによ
り、対応する検査制御情報を検査装置本体に自動的に設
定することができる。従って被検査素子の変更時に測子
カードを交換するだけでよく、作業が簡単で正確に行な
えるようになる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下発明の好適な実施例を図面に
基づき説明する。図は本発明の構成を示す説明図である
が、図中１は半導体素子検査装置本体の制御部であり、
従来既知の装置動作等を制御する。２は装置本体の被検
査素子（ウエハ）を載設するテーブルの上方に配置され
る測子カードであり、該カードは従来知られているよう
に被検査素子の回路電極に対応して接触可能とした針状
の測子を備えてなり、通常該測子を介して半導体素子回
路の電気的性能を装置本体側で良否判定するようにして
いる。３，４は装置本体制御部１側に後述するＲＯＭ５
側からの情報信号を取り出す為に設けられているＲＯＭ
アドレス出力バツフアとＲＯＭデータ入力バツフアであ
る。５は測子カード２の適宜な位置に設けられた読み出
し専用メモリ、即ちＲＯＭであり、該ＲＯＭには被検査
素子に関する品種名、素子寸法、ウエハ寸法、検査条件
等々の検査に必要な情報が予め例えば測子カード作成時
に入力記憶されている。従つて特定の品種に対応して作
成されている測子カードと該ＲＯＭとは当該品種に関し
て対応一致しているもので、それ故該カード作成時にＲ
ＯＭ５には予め上記情報を入力記憶させて該カードに一
体的に設けておくことができる。また６，７はＲＯＭ５
と接続して測子カード２側に設けられたＲＯＭアドレス
入力バツフアとＲＯＭデータ出力バツフアであり、所要
時に前記装置本体制御部１のアドレス出力バツフア３と
アドレス入力バツフア６、及びデータ入力バツフア４と
データ出力バツフア７とをそれぞれ接続ケーブル８で接
続するようにしている。

【００１３】以上のような構成によれば、被検査半導体
素子の品種を変更した場合、対応する測子カード２を装
置本体に配設し、入・出力バツフア３ないし７を接続し
てやれば当該品種に適応した検査制御情報を自動的に装
置本体側に設定することができ、品種変更に伴なう情報
入力操作等の段取り作業が簡単かつ正確に信頼性よく行
なえることになる。

【００１４】また、装置構成的には従来の如き情報設定
用のスイツチ等が不要になるので、コストダウンのほか
機構簡略による信頼性等も向上することになる。

【００１５】

【発明の効果】以上述べてきたように、本発明によれば
被検査半導体素子の品種変更毎に検査指令情報を装置制
御部側に入力設定する必要がなく、測子カードの設定だ
けで自動的かつ正確・簡単に上記情報を入力設定するこ
とができるので、作業の効率が著しく向上すると共に装
置としての信頼性も向上し、その実用性を優れて有効に
発揮させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例で使用する検査装置の要部構成
を示す説明図である。

【符号の説明】

１…検査装置本体制御部 ２…測子カード ５…読み出し専用メモリ（ＲＯＭ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検査素子の品種に対応した測子カード
   が交換可能に取り付けられる検査装置を用い、前記測子
   カードの接触針を前記被検査素子の電極に接触させて前
   記素子の電気的性能検査を行なう半導体素子検査方法で
   あって、 前記被検査素子の品種に対応した検査制御情報を記憶し
   たＲＯＭを載置した前記測子カードを前記検査装置本体
   に取り付け、前記ＲＯＭを前記検査装置本体に接続する
   工程と、 前記ＲＯＭに記憶された前記検査制御情報を読み出し、
   前記被検査素子の品種に対応した検査制御情報を設定す
   る工程とからなることを特徴とする半導体素子検査方
   法。