JPH08112793A - 吸着保持装置及び実装装置 - Google Patents
吸着保持装置及び実装装置Info
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- JPH08112793A JPH08112793A JP24772794A JP24772794A JPH08112793A JP H08112793 A JPH08112793 A JP H08112793A JP 24772794 A JP24772794 A JP 24772794A JP 24772794 A JP24772794 A JP 24772794A JP H08112793 A JPH08112793 A JP H08112793A
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- substrate
- crystal substrate
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- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ワークを吸着保持するときの保持不良、位置ず
れ、基板のキズの発生を防止することができる吸着保持
装置を提供すること。 【構成】ワークＰを吸着保持する吸着保持装置２０にお
いて、装置本体２５と、この装置本体に形成された吸着
孔２６ａと、吸着孔２６ａに吸引力を発生させる吸引手
段２８と、吸着孔２６ａに取り付けられ吸着孔２６ａに
吸引されるワークＰを弾性的に保持する弾性パッド２６
ｂとを備えている。
れ、基板のキズの発生を防止することができる吸着保持
装置を提供すること。 【構成】ワークＰを吸着保持する吸着保持装置２０にお
いて、装置本体２５と、この装置本体に形成された吸着
孔２６ａと、吸着孔２６ａに吸引力を発生させる吸引手
段２８と、吸着孔２６ａに取り付けられ吸着孔２６ａに
吸引されるワークＰを弾性的に保持する弾性パッド２６
ｂとを備えている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶基板やテープオー
トメイテッドボンディング基板（以下、「ＴＡＢ基板」
と称する。）等の電子部品を吸引力によって保持する吸
着保持装置と、この吸着保持装置を用いて電子部品を液
晶基板等に装着する実装装置に関する。
トメイテッドボンディング基板（以下、「ＴＡＢ基板」
と称する。）等の電子部品を吸引力によって保持する吸
着保持装置と、この吸着保持装置を用いて電子部品を液
晶基板等に装着する実装装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から液晶基板の側端にＴＡＢ基板を
実装するためにＴＡＢ基板実装装置が用いられている。
このＴＡＢ基板実装装置には、液晶基板を収納庫からＴ
ＡＢ基板装着位置まで搬送する際に液晶基板を保持する
液晶基板搬送アームと、ＴＡＢ基板装着位置において液
晶基板を位置決めする液晶基板搬送ステージとが設けら
れている。
実装するためにＴＡＢ基板実装装置が用いられている。
このＴＡＢ基板実装装置には、液晶基板を収納庫からＴ
ＡＢ基板装着位置まで搬送する際に液晶基板を保持する
液晶基板搬送アームと、ＴＡＢ基板装着位置において液
晶基板を位置決めする液晶基板搬送ステージとが設けら
れている。
【０００３】上述した液晶基板搬送アームや液晶基板搬
送ステージでは、液晶基板を保持する基板保持機構とし
て、液晶基板を両側から挟み込むことで保持するクラン
プ方式や真空吸着孔が設けられた平面状の吸着プレート
等で吸着する方式が用いられている。
送ステージでは、液晶基板を保持する基板保持機構とし
て、液晶基板を両側から挟み込むことで保持するクラン
プ方式や真空吸着孔が設けられた平面状の吸着プレート
等で吸着する方式が用いられている。
【０００４】一方、ＴＡＢ基板装着位置において上述し
た液晶基板搬送ステージにより保持された液晶基板の側
端部のリード部にＴＡＢ基板のアウターリードが接続さ
れる。すなわち、装着ヘッド機構の下面に吸着保持され
たＴＡＢ基板を所定速度で液晶基板の所定の取付位置に
当接させ、装着ヘッドの反対側に位置するバックアップ
ヘッドとともに熱圧着によりリード部とアウターリード
とを接合することにより実装を行うようにしていた。
た液晶基板搬送ステージにより保持された液晶基板の側
端部のリード部にＴＡＢ基板のアウターリードが接続さ
れる。すなわち、装着ヘッド機構の下面に吸着保持され
たＴＡＢ基板を所定速度で液晶基板の所定の取付位置に
当接させ、装着ヘッドの反対側に位置するバックアップ
ヘッドとともに熱圧着によりリード部とアウターリード
とを接合することにより実装を行うようにしていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の基
板保持機構及び装着ヘッド機構を備えたＴＡＢ基板実装
装置にあっては次のような問題があった。すなわち、ク
ランプ方式による基板保持機構は、液晶基板を両面側か
ら挟み込むことになるので、そのときの衝撃によって、
液晶基板にワレやカケが生じる虞があるとともに、液晶
基板を保持状態にセットしにくいという問題があった。
板保持機構及び装着ヘッド機構を備えたＴＡＢ基板実装
装置にあっては次のような問題があった。すなわち、ク
ランプ方式による基板保持機構は、液晶基板を両面側か
ら挟み込むことになるので、そのときの衝撃によって、
液晶基板にワレやカケが生じる虞があるとともに、液晶
基板を保持状態にセットしにくいという問題があった。
【０００６】また、吸着プレート等で真空吸着する方式
による基板保持機構は、吸着プレートの保持面や液晶基
板に付着したゴミ、液晶基板に貼付してある保護シート
の気泡によるしわ等により吸着不良が生じやすく、保持
力が低下することがあった。このため、ＴＡＢ基板を液
晶基板の側端部に当接させる際の衝撃により液晶基板が
ずれてしまい精密な位置合わせに支障をきたす虞があっ
た。また、吸着プレートの保持面は通常金属材製なので
液晶基板が傷つきやすく、また保持面の平面度を保つた
めには加工精度を高くしなければならないという問題も
あった。
による基板保持機構は、吸着プレートの保持面や液晶基
板に付着したゴミ、液晶基板に貼付してある保護シート
の気泡によるしわ等により吸着不良が生じやすく、保持
力が低下することがあった。このため、ＴＡＢ基板を液
晶基板の側端部に当接させる際の衝撃により液晶基板が
ずれてしまい精密な位置合わせに支障をきたす虞があっ
た。また、吸着プレートの保持面は通常金属材製なので
液晶基板が傷つきやすく、また保持面の平面度を保つた
めには加工精度を高くしなければならないという問題も
あった。
【０００７】一方、ＴＡＢ基板を液晶基板端部に装着す
る装着ヘッド機構においては、装着ヘッドの先端部の吸
着プレートの平面度のむらにより、ＴＡＢ基板の面と装
着面とが平行状態に保持されないまま当接することがあ
った。このため、均一な面接触が不可能であった。さら
に当接する際の衝撃が加わることによりＴＡＢ基板の位
置ずれが顕著になり、ＴＡＢ基板毎の装着精度がばらつ
く虞があった。また吸着プレートの平面度を保つために
は加工精度を高くしなければならないという問題もあっ
た。
る装着ヘッド機構においては、装着ヘッドの先端部の吸
着プレートの平面度のむらにより、ＴＡＢ基板の面と装
着面とが平行状態に保持されないまま当接することがあ
った。このため、均一な面接触が不可能であった。さら
に当接する際の衝撃が加わることによりＴＡＢ基板の位
置ずれが顕著になり、ＴＡＢ基板毎の装着精度がばらつ
く虞があった。また吸着プレートの平面度を保つために
は加工精度を高くしなければならないという問題もあっ
た。
【０００８】そこで本発明は、基板を吸着保持するとき
の保持不良、位置ずれ、基板のキズの発生を防止するこ
とができる吸着保持装置及び電子部品等の装着時に衝撃
による電子部品の位置ずれを軽減することができる吸着
保持装置及びこれら吸着保持装置を用いた実装装置を提
供することを目的としている。
の保持不良、位置ずれ、基板のキズの発生を防止するこ
とができる吸着保持装置及び電子部品等の装着時に衝撃
による電子部品の位置ずれを軽減することができる吸着
保持装置及びこれら吸着保持装置を用いた実装装置を提
供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決し目的を
達成するために、本発明は、ワークを吸着保持する吸着
保持装置において、装置本体と、この装置本体に形成さ
れた吸着孔と、この吸着孔に吸引力を発生させる吸引手
段と、前記吸着孔に取り付けられ上記吸着孔に吸引され
る前記ワークを弾性的に保持する弾性パッドとを備える
ようにした。
達成するために、本発明は、ワークを吸着保持する吸着
保持装置において、装置本体と、この装置本体に形成さ
れた吸着孔と、この吸着孔に吸引力を発生させる吸引手
段と、前記吸着孔に取り付けられ上記吸着孔に吸引され
る前記ワークを弾性的に保持する弾性パッドとを備える
ようにした。
【００１０】また、平板状のワークを吸着保持する吸着
保持装置において、装置本体と、この装置本体に弾性部
材を介して取り付けられた吸引孔を有する吸着ヘッド
と、前記吸着孔に吸引力を発生させる吸引手段とを備え
るようにした。
保持装置において、装置本体と、この装置本体に弾性部
材を介して取り付けられた吸引孔を有する吸着ヘッド
と、前記吸着孔に吸引力を発生させる吸引手段とを備え
るようにした。
【００１１】一方、ＸＹ方向に駆動され、ワークを吸着
保持するための吸着孔が形成された第１の駆動部と、前
記吸着孔に吸引力を発生させる吸引手段と、前記吸着孔
に取り付けられ上記吸着孔に吸引される基板を弾性的に
保持する弾性パッドを具備する第１の吸着保持装置と、
Ｚ方向に駆動される第２の駆動部と、この第２の駆動部
に弾性部材を介して取り付けられた吸引孔を有する吸着
ヘッド部と、前記吸着孔に吸引力を発生させる吸引手段
を具備し、前記吸引孔により電子部品を吸引する第２の
吸着保持装置とを備えるようにした。
保持するための吸着孔が形成された第１の駆動部と、前
記吸着孔に吸引力を発生させる吸引手段と、前記吸着孔
に取り付けられ上記吸着孔に吸引される基板を弾性的に
保持する弾性パッドを具備する第１の吸着保持装置と、
Ｚ方向に駆動される第２の駆動部と、この第２の駆動部
に弾性部材を介して取り付けられた吸引孔を有する吸着
ヘッド部と、前記吸着孔に吸引力を発生させる吸引手段
を具備し、前記吸引孔により電子部品を吸引する第２の
吸着保持装置とを備えるようにした。
【００１２】
【作用】上記手段を講じた結果、次のような作用が生じ
る。すなわち、ワークを吸着保持する吸着保持装置にお
いて、装置本体に形成された吸着孔にワークを弾性的に
保持する弾性パッドとを備え、ワークを真空吸着保持す
るようにした。このため、ワークに付着したゴミ、ワー
クに貼付してある保護シートの気泡によるしわ等があっ
ても隙間ができず、吸着不良による保持力低下を防止す
ることができる。また、このワークに電子部品等を装着
する場合において、電子部品がワークの側端部に当接し
て衝撃を与えた場合であっても、弾性パッドにより衝撃
を吸収できるので、ワークの位置がずれることがない。
したがって、精密な位置合わせをすることが可能とな
る。さらに、ワークの表面が傷つくこともない。
る。すなわち、ワークを吸着保持する吸着保持装置にお
いて、装置本体に形成された吸着孔にワークを弾性的に
保持する弾性パッドとを備え、ワークを真空吸着保持す
るようにした。このため、ワークに付着したゴミ、ワー
クに貼付してある保護シートの気泡によるしわ等があっ
ても隙間ができず、吸着不良による保持力低下を防止す
ることができる。また、このワークに電子部品等を装着
する場合において、電子部品がワークの側端部に当接し
て衝撃を与えた場合であっても、弾性パッドにより衝撃
を吸収できるので、ワークの位置がずれることがない。
したがって、精密な位置合わせをすることが可能とな
る。さらに、ワークの表面が傷つくこともない。
【００１３】また、平板状のワークを吸着保持する吸着
保持装置において、装置本体に弾性部材を介して吸着ヘ
ッドを取り付けたので、ワークを基板等に装着するため
に当接させたときの衝撃を和らげることができる。さら
に基板等の装着面に均一に面接触させることが可能とな
るので、装着動作による位置ずれを防ぐことができ、精
度の高い装着を行うことができる。
保持装置において、装置本体に弾性部材を介して吸着ヘ
ッドを取り付けたので、ワークを基板等に装着するため
に当接させたときの衝撃を和らげることができる。さら
に基板等の装着面に均一に面接触させることが可能とな
るので、装着動作による位置ずれを防ぐことができ、精
度の高い装着を行うことができる。
【００１４】一方、ＸＹ方向に駆動される第１の装置本
体に形成された吸着孔と、この吸着孔に取り付けられ上
記吸着孔に吸引される基板を弾性的に保持する弾性パッ
ドを具備する第１の吸着保持装置により保持された基板
に対し、Ｚ方向に駆動される第２の装置本体に弾性部材
を介して取り付けられた吸引孔を有する吸着ヘッドを具
備する第２の吸着保持装置により吸引保持された電子部
品を装着している。このため、第１の吸着保持装置に保
持された基板に付着したゴミ、基板に貼付してある保護
シートの気泡によるしわ等があっても隙間ができず、吸
着不良による保持力低下を防止することができる。ま
た、基板の表面が傷つくこともない。
体に形成された吸着孔と、この吸着孔に取り付けられ上
記吸着孔に吸引される基板を弾性的に保持する弾性パッ
ドを具備する第１の吸着保持装置により保持された基板
に対し、Ｚ方向に駆動される第２の装置本体に弾性部材
を介して取り付けられた吸引孔を有する吸着ヘッドを具
備する第２の吸着保持装置により吸引保持された電子部
品を装着している。このため、第１の吸着保持装置に保
持された基板に付着したゴミ、基板に貼付してある保護
シートの気泡によるしわ等があっても隙間ができず、吸
着不良による保持力低下を防止することができる。ま
た、基板の表面が傷つくこともない。
【００１５】また、第２の吸着保持装置の吸着ヘッドの
先端に平面度のむらがあり、電子部品の面と基板の装着
面とが平行状態に保持されないまま当接することがあっ
ても、弾性部材により電子部品が基板に倣うことにより
均一な面接触が可能となる。さらに、電子部品が基板の
面に対して垂直方向に当接する際の衝撃は弾性部材によ
り吸収されるので電子部品の位置ずれを防止することが
できる。このため、基板への電子部品の装着精度を高く
維持することができる。
先端に平面度のむらがあり、電子部品の面と基板の装着
面とが平行状態に保持されないまま当接することがあっ
ても、弾性部材により電子部品が基板に倣うことにより
均一な面接触が可能となる。さらに、電子部品が基板の
面に対して垂直方向に当接する際の衝撃は弾性部材によ
り吸収されるので電子部品の位置ずれを防止することが
できる。このため、基板への電子部品の装着精度を高く
維持することができる。
【００１６】
【実施例】図１は本発明の一実施例に係るＴＡＢ基板実
装装置を示す斜視図である。また、図２の（ａ），
（ｂ）は液晶基板搬送ステージを示す図であって、
（ａ）は全体斜視図、（ｂ）は要部を（ａ）のＥ−Ｅ線
に沿って切断し、矢印方向から見た断面図、図３はＴＡ
Ｂ基板装着機構の要部を示す図であって、（ａ）は正面
図、（ｂ）は側面図、図４は液晶基板搬送機構を示す斜
視図、図５は図４におけるＦ−Ｆ線に沿って切断し、矢
印方向から見た断面図である。
装装置を示す斜視図である。また、図２の（ａ），
（ｂ）は液晶基板搬送ステージを示す図であって、
（ａ）は全体斜視図、（ｂ）は要部を（ａ）のＥ−Ｅ線
に沿って切断し、矢印方向から見た断面図、図３はＴＡ
Ｂ基板装着機構の要部を示す図であって、（ａ）は正面
図、（ｂ）は側面図、図４は液晶基板搬送機構を示す斜
視図、図５は図４におけるＦ−Ｆ線に沿って切断し、矢
印方向から見た断面図である。
【００１７】図１中１０はＴＡＢ基板実装装置を示して
いる。ＴＡＢ基板実装装置１０は第１の吸着保持装置と
しての基板搬送ステージ２０と、第２の吸着保持装置と
してのＴＡＢ基板装着機構３０から構成されている。基
板搬送ステージ２０は搬送レール２１と、この搬送レー
ル２１上を図中矢印Ｘ方向にスライド移動自在に設けら
れた搬送レール２２と、搬送レール２２上を上記Ｘ方向
と直交するＹ方向にスライド移動自在に設けられたスラ
イダ２３を備えている。ＴＡＢ基板装着機構３０は後述
する保持部２４のＸＹ方向の位置決めのための機能を有
しており、搬送レール２２を駆動する駆動機構２１ａ
と、スライダ２３を駆動する駆動機構２２ｂを備えてい
る。
いる。ＴＡＢ基板実装装置１０は第１の吸着保持装置と
しての基板搬送ステージ２０と、第２の吸着保持装置と
してのＴＡＢ基板装着機構３０から構成されている。基
板搬送ステージ２０は搬送レール２１と、この搬送レー
ル２１上を図中矢印Ｘ方向にスライド移動自在に設けら
れた搬送レール２２と、搬送レール２２上を上記Ｘ方向
と直交するＹ方向にスライド移動自在に設けられたスラ
イダ２３を備えている。ＴＡＢ基板装着機構３０は後述
する保持部２４のＸＹ方向の位置決めのための機能を有
しており、搬送レール２２を駆動する駆動機構２１ａ
と、スライダ２３を駆動する駆動機構２２ｂを備えてい
る。
【００１８】スライダ２３には図２に示すように円柱状
に形成された第１の装置本体としての保持部２４の一端
が固定されている。保持部２４の他方の端部には保持部
２４の軸に対して垂直に４本のアーム２５が設けられて
いる。これらアーム２５の先端にはそれぞれ吸着部２６
が設けられている。吸着部２６は図２の（ｂ）に示すよ
うに吸着孔２６ａが設けられており、吸着孔２６ａ内部
には弾性パッドとしてゴム等の弾性材からなる筒状のパ
ッド２６ｂが嵌め込まれており、その一端は吸着孔２６
ａより外部に突出している。吸着孔２６ａの内部は、吸
引路２７を介して吸引装置２８に接続されている。な
お、図中Ｐはワークとしての液晶基板を示しており、吸
着孔２６ａからの吸引力により吸着保持されている。
に形成された第１の装置本体としての保持部２４の一端
が固定されている。保持部２４の他方の端部には保持部
２４の軸に対して垂直に４本のアーム２５が設けられて
いる。これらアーム２５の先端にはそれぞれ吸着部２６
が設けられている。吸着部２６は図２の（ｂ）に示すよ
うに吸着孔２６ａが設けられており、吸着孔２６ａ内部
には弾性パッドとしてゴム等の弾性材からなる筒状のパ
ッド２６ｂが嵌め込まれており、その一端は吸着孔２６
ａより外部に突出している。吸着孔２６ａの内部は、吸
引路２７を介して吸引装置２８に接続されている。な
お、図中Ｐはワークとしての液晶基板を示しており、吸
着孔２６ａからの吸引力により吸着保持されている。
【００１９】一方、ＴＡＢ基板装着機構３０は装着ヘッ
ド機構４０と液晶基板Ｐを挟む位置に配置されたバック
アップヘッド機構５０とを備えている。装着ヘッド機構
４０は図３に示すように、ＴＡＢ基板Ｒを吸着する装着
ヘッド４１と、この装着ヘッド４１と弾性材料であるゴ
ムシート４２を介して接続された取付具４３と、この取
付具４３に接続されたスライド軸４４と、このスライド
軸４４を図中Ｗ方向にスライド移動自在に駆動する駆動
装置４５とを備えている。装着ヘッド４１には金属材製
の吸着プレート４１ａと、この吸着プレート４１ａ表面
に設けられた複数の吸着孔４１ｂを備えており、吸着孔
４１ｂは装着ヘッド４１内部、弾性部材としてのゴムシ
ート４２、取付具４３内部を通じるチューブ４６を介し
て吸引装置４７に接続されている。
ド機構４０と液晶基板Ｐを挟む位置に配置されたバック
アップヘッド機構５０とを備えている。装着ヘッド機構
４０は図３に示すように、ＴＡＢ基板Ｒを吸着する装着
ヘッド４１と、この装着ヘッド４１と弾性材料であるゴ
ムシート４２を介して接続された取付具４３と、この取
付具４３に接続されたスライド軸４４と、このスライド
軸４４を図中Ｗ方向にスライド移動自在に駆動する駆動
装置４５とを備えている。装着ヘッド４１には金属材製
の吸着プレート４１ａと、この吸着プレート４１ａ表面
に設けられた複数の吸着孔４１ｂを備えており、吸着孔
４１ｂは装着ヘッド４１内部、弾性部材としてのゴムシ
ート４２、取付具４３内部を通じるチューブ４６を介し
て吸引装置４７に接続されている。
【００２０】また、バックアップヘッド機構５０は、図
１に示すようにバックアップヘッド５１と、バックアッ
プヘッド５１を駆動する駆動装置（不図示）とを備えて
いる。なお、装着ヘッド機構４０とバックアップヘッド
機構５０とは連動しており、図１中矢印Ｚ１，Ｚ２に示
すようにほぼ同時に液晶基板Ｐに当接されるように制御
されている。
１に示すようにバックアップヘッド５１と、バックアッ
プヘッド５１を駆動する駆動装置（不図示）とを備えて
いる。なお、装着ヘッド機構４０とバックアップヘッド
機構５０とは連動しており、図１中矢印Ｚ１，Ｚ２に示
すようにほぼ同時に液晶基板Ｐに当接されるように制御
されている。
【００２１】図４中６０は液晶基板搬送装置を示してい
る。液晶基板搬送装置６０は、搬送レール６１と、この
搬送レール６１上を図中矢印Ｒ１，Ｒ２方向にスライド
自在に設けられたスライダ６２と、このスライダ６２上
に固定されコの字状に屈曲した液晶基板搬送アーム６３
とを備えている。スライダ６２は駆動装置６２ａにより
駆動されている。液晶基板搬送アーム６３にはアーム上
面に形成された複数の吸着部６４が配設されている。こ
れら吸着部６４には吸着孔６４ａと、この吸着孔６４ａ
に嵌め込まれ、一端がアーム上面から突出したゴム等の
弾性材からなる筒状のパッド６４ｂとが設けられてい
る。なお、吸着孔６４ａは液晶基板搬送アーム６３内部
を通じる吸気路を介して吸引装置６５に接続されてい
る。なお、図中６６は液晶基板Ｐが複数載置された液晶
基板カセットを示しており、内部では図中矢印Ｓ方向に
液晶基板Ｐが移動できるようになっている。
る。液晶基板搬送装置６０は、搬送レール６１と、この
搬送レール６１上を図中矢印Ｒ１，Ｒ２方向にスライド
自在に設けられたスライダ６２と、このスライダ６２上
に固定されコの字状に屈曲した液晶基板搬送アーム６３
とを備えている。スライダ６２は駆動装置６２ａにより
駆動されている。液晶基板搬送アーム６３にはアーム上
面に形成された複数の吸着部６４が配設されている。こ
れら吸着部６４には吸着孔６４ａと、この吸着孔６４ａ
に嵌め込まれ、一端がアーム上面から突出したゴム等の
弾性材からなる筒状のパッド６４ｂとが設けられてい
る。なお、吸着孔６４ａは液晶基板搬送アーム６３内部
を通じる吸気路を介して吸引装置６５に接続されてい
る。なお、図中６６は液晶基板Ｐが複数載置された液晶
基板カセットを示しており、内部では図中矢印Ｓ方向に
液晶基板Ｐが移動できるようになっている。
【００２２】このように構成されたＴＡＢ基板実装装置
において、液晶基板Ｐの側端部にＴＡＢ基板Ｒを実装す
る工程は次のように行われる。すなわち、図４に示すよ
うにスライダ６３がＲ１方向へスライド移動し、液晶基
板カセット６６内部に液晶基板搬送アーム６３が導入さ
れる。液晶基板カセット６６内部の液晶基板Ｐが下降
し、液晶基板搬送アーム６３に設けられたパッド６４ｂ
を介して吸引孔６４ａに載置される。続いて、吸引装置
が作動し、液晶基板Ｐは真空吸着される。このとき、弾
性材料であるパッド６４ｂを介して吸着されているので
液晶基板Ｐ表面は傷付かない。また、液晶基板Ｐ表面に
付着したごみや表面にかけられた保護カバーのしわがあ
っても、隙間ができないので吸引力は低下しない。この
ため、位置ずれを起こしにくく確実に吸着保持される。
次にスライダ６２はＲ２方向へスライド移動し、液晶基
板搬送アーム６３は液晶基板Ｐを保持したまま液晶基板
カセット６６から出て、ＴＡＢ基板実装装置１０近傍ま
で搬送される。
において、液晶基板Ｐの側端部にＴＡＢ基板Ｒを実装す
る工程は次のように行われる。すなわち、図４に示すよ
うにスライダ６３がＲ１方向へスライド移動し、液晶基
板カセット６６内部に液晶基板搬送アーム６３が導入さ
れる。液晶基板カセット６６内部の液晶基板Ｐが下降
し、液晶基板搬送アーム６３に設けられたパッド６４ｂ
を介して吸引孔６４ａに載置される。続いて、吸引装置
が作動し、液晶基板Ｐは真空吸着される。このとき、弾
性材料であるパッド６４ｂを介して吸着されているので
液晶基板Ｐ表面は傷付かない。また、液晶基板Ｐ表面に
付着したごみや表面にかけられた保護カバーのしわがあ
っても、隙間ができないので吸引力は低下しない。この
ため、位置ずれを起こしにくく確実に吸着保持される。
次にスライダ６２はＲ２方向へスライド移動し、液晶基
板搬送アーム６３は液晶基板Ｐを保持したまま液晶基板
カセット６６から出て、ＴＡＢ基板実装装置１０近傍ま
で搬送される。
【００２３】ＴＡＢ基板実装装置１０近傍まで搬送され
た液晶基板Ｐは図１に示す液晶基板搬送ステージ２０に
移し替えられる。続いて、吸引装置が作動し、液晶基板
Ｐは真空吸着される。このとき、吸着孔２６ａに弾性材
料であるパッド２６ｂを介して吸着されているので液晶
基板Ｐ表面は傷付かない。また、液晶基板Ｐ表面に付着
したごみや表面にかけられた保護カバーのしわがあって
も、隙間ができないので吸引力は低下しない。このた
め、位置ずれを起こしにくく確実に吸着保持される。液
晶基板搬送ステージ２０では駆動装置２１ａ，２２ａよ
って精密な位置決めが行われる。
た液晶基板Ｐは図１に示す液晶基板搬送ステージ２０に
移し替えられる。続いて、吸引装置が作動し、液晶基板
Ｐは真空吸着される。このとき、吸着孔２６ａに弾性材
料であるパッド２６ｂを介して吸着されているので液晶
基板Ｐ表面は傷付かない。また、液晶基板Ｐ表面に付着
したごみや表面にかけられた保護カバーのしわがあって
も、隙間ができないので吸引力は低下しない。このた
め、位置ずれを起こしにくく確実に吸着保持される。液
晶基板搬送ステージ２０では駆動装置２１ａ，２２ａよ
って精密な位置決めが行われる。
【００２４】位置決めされた後、装着ヘッド４１が下降
して、吸着プレート４１ａに吸着されたＴＡＢ基板Ｒを
液晶基板Ｐの所定位置Ｑに当接させる。一方、液晶基板
Ｐの反対側からはバックアップヘッド４１が当接する。
このとき、吸着孔２６ａのパッド２６ｂによって装着ヘ
ッド４１及びバックアップヘッド５１の当接による衝撃
が吸収される。また、装着ヘッド４１ではさらに、当接
による衝撃がゴムシート４２によって吸収される。した
がって、ＴＡＢ基板Ｒを吸着している吸着プレート４１
ａの平行度のむらもゴムシート４２によって、軽減され
均一な面接触が行われる。したがって、装着動作におけ
る位置ずれを防ぐことができる。
して、吸着プレート４１ａに吸着されたＴＡＢ基板Ｒを
液晶基板Ｐの所定位置Ｑに当接させる。一方、液晶基板
Ｐの反対側からはバックアップヘッド４１が当接する。
このとき、吸着孔２６ａのパッド２６ｂによって装着ヘ
ッド４１及びバックアップヘッド５１の当接による衝撃
が吸収される。また、装着ヘッド４１ではさらに、当接
による衝撃がゴムシート４２によって吸収される。した
がって、ＴＡＢ基板Ｒを吸着している吸着プレート４１
ａの平行度のむらもゴムシート４２によって、軽減され
均一な面接触が行われる。したがって、装着動作におけ
る位置ずれを防ぐことができる。
【００２５】装着ヘッド４１にはＴＡＢ基板Ｒが吸着保
持されており、液晶基板Ｐの所定位置にＴＡＢ基板Ｒが
バックアップヘッド５１の支持により押し付けられて、
ＴＡＢ基板Ｒが取り付けられる。このとき、装着ヘッド
４１及びバックアップヘッド５１の衝撃により液晶基板
Ｐに傾きが生じてもパッド２６ｂにより吸着孔２６ａと
液晶基板Ｐとの間に隙間ができないので、吸着力が低下
しない。また、装着ヘッド４１及びバックアップヘッド
５１の衝撃をやわらげるため、精密に位置決めされた液
晶基板Ｐが位置ずれを起こしにくくなる。
持されており、液晶基板Ｐの所定位置にＴＡＢ基板Ｒが
バックアップヘッド５１の支持により押し付けられて、
ＴＡＢ基板Ｒが取り付けられる。このとき、装着ヘッド
４１及びバックアップヘッド５１の衝撃により液晶基板
Ｐに傾きが生じてもパッド２６ｂにより吸着孔２６ａと
液晶基板Ｐとの間に隙間ができないので、吸着力が低下
しない。また、装着ヘッド４１及びバックアップヘッド
５１の衝撃をやわらげるため、精密に位置決めされた液
晶基板Ｐが位置ずれを起こしにくくなる。
【００２６】上述したように本実施例では、液晶基板Ｐ
を保持する場合にパッド２６ｂ，６４ｂにより液晶基板
Ｐを傷付けることなく保持することができるとともに、
ＴＡＢ基板Ｒ装着時に装着ヘッド４１等に衝撃が加わり
傾いても吸着力が低下することなく確実に保持すること
ができる。
を保持する場合にパッド２６ｂ，６４ｂにより液晶基板
Ｐを傷付けることなく保持することができるとともに、
ＴＡＢ基板Ｒ装着時に装着ヘッド４１等に衝撃が加わり
傾いても吸着力が低下することなく確実に保持すること
ができる。
【００２７】一方、装着ヘッド４１では、ゴムシート４
２によりＴＡＢ基板Ｒ装着時の衝撃を吸収することがで
き、衝撃による位置ずれを防止できる。また、吸着プレ
ート４１ａの平面度のむらがあってもゴムシート４２に
よりＴＡＢ基板Ｒを液晶基板Ｐに倣うようにすることが
でき、均一な面接触が可能となる。したがって、装着動
作における位置ずれを防ぐことができ、精密なＴＡＢ基
板Ｒ装着が可能となる。
２によりＴＡＢ基板Ｒ装着時の衝撃を吸収することがで
き、衝撃による位置ずれを防止できる。また、吸着プレ
ート４１ａの平面度のむらがあってもゴムシート４２に
よりＴＡＢ基板Ｒを液晶基板Ｐに倣うようにすることが
でき、均一な面接触が可能となる。したがって、装着動
作における位置ずれを防ぐことができ、精密なＴＡＢ基
板Ｒ装着が可能となる。
【００２８】また、衝撃吸収部材としてバネを用いた場
合に比べてゴムシート４２は機構的に簡単であり、取付
けが容易である。また、ゴムシート４２を取付具４３と
装着ヘッド４１との間のシール部材として用いることが
可能である。さらに、ゴムシート４２はバネのものに比
べよりＴＡＢ基板Ｒの近傍に配置することが設計上容易
である。このため、ＴＡＢ基板Ｒと液晶基板Ｐとが平行
状態に保持されないまま液晶基板Ｐに当接した場合であ
っても、液晶基板Ｐのリード部とＴＡＢ基板Ｒのアウタ
ーリードとの位置ずれを最小限に抑えることができる。
合に比べてゴムシート４２は機構的に簡単であり、取付
けが容易である。また、ゴムシート４２を取付具４３と
装着ヘッド４１との間のシール部材として用いることが
可能である。さらに、ゴムシート４２はバネのものに比
べよりＴＡＢ基板Ｒの近傍に配置することが設計上容易
である。このため、ＴＡＢ基板Ｒと液晶基板Ｐとが平行
状態に保持されないまま液晶基板Ｐに当接した場合であ
っても、液晶基板Ｐのリード部とＴＡＢ基板Ｒのアウタ
ーリードとの位置ずれを最小限に抑えることができる。
【００２９】なお、本発明は上述した実施例に限定され
るものではない。すなわち上記実施例では、基板保持機
構の吸着孔にパッドを備えるようにしているが、装着ヘ
ッドの吸着プレートのかわりに用いてもよい。このこと
により、ＴＡＢ基板Ｒを吸着保持したとき、ＴＡＢ基板
Ｒのアウターリードを傷つけないためにもゴムシートを
介して行う方式は有効である。このほか本発明の要旨を
逸脱しない範囲で種々変形実施可能であるのは勿論であ
る。
るものではない。すなわち上記実施例では、基板保持機
構の吸着孔にパッドを備えるようにしているが、装着ヘ
ッドの吸着プレートのかわりに用いてもよい。このこと
により、ＴＡＢ基板Ｒを吸着保持したとき、ＴＡＢ基板
Ｒのアウターリードを傷つけないためにもゴムシートを
介して行う方式は有効である。このほか本発明の要旨を
逸脱しない範囲で種々変形実施可能であるのは勿論であ
る。
【００３０】
【発明の効果】本発明によれば、吸着保持する吸着孔に
パッドを設け、液晶基板等をパッドを介して真空吸着保
持している。このため、基板搬送装置や基板実装装置に
おいて、液晶基板等の搬送時、装着時における吸着不
良、位置ずれを防止することができる。また、液晶基板
等を傷つけることなく保持することが可能になった。
パッドを設け、液晶基板等をパッドを介して真空吸着保
持している。このため、基板搬送装置や基板実装装置に
おいて、液晶基板等の搬送時、装着時における吸着不
良、位置ずれを防止することができる。また、液晶基板
等を傷つけることなく保持することが可能になった。
【００３１】一方、装着ヘッドと駆動手段とが弾性材料
を介して接続されているので、ＴＡＢ基板を液晶基板等
に当接したときの衝撃を和らげることができる。さらに
装着面の均一な面接触が可能となるので、装着動作によ
る位置ずれを防ぐことができ、精度の高い装着を得るこ
とが可能である。
を介して接続されているので、ＴＡＢ基板を液晶基板等
に当接したときの衝撃を和らげることができる。さらに
装着面の均一な面接触が可能となるので、装着動作によ
る位置ずれを防ぐことができ、精度の高い装着を得るこ
とが可能である。
【図１】本発明の一実施例に係るＴＡＢ基板実装装置に
組み込まれたＴＡＢ基板実装装置を示す斜視図。
組み込まれたＴＡＢ基板実装装置を示す斜視図。
【図２】同ＴＡＢ基板実装装置に組み込まれた液晶基板
搬送ステージを示す図であって、（ａ）は斜視図、
（ｂ）は（ａ）におけるＥ−Ｅ線で切断し矢印方向から
見た断面図。
搬送ステージを示す図であって、（ａ）は斜視図、
（ｂ）は（ａ）におけるＥ−Ｅ線で切断し矢印方向から
見た断面図。
【図３】同装置に組み込まれた装着ヘッドを示す図であ
って、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図。
って、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図。
【図４】同実施例に係るＴＡＢ基板実装装置に組み込ま
れた液晶基板搬送機構を示す斜視図。
れた液晶基板搬送機構を示す斜視図。
【図５】同実施例に係るＴＡＢ基板実装装置に組み込ま
れた液晶基板搬送機構に組み込まれた液晶基板搬送アー
ムを図４中Ｆ−Ｆ線で切断して矢印方向に見た断面図。
れた液晶基板搬送機構に組み込まれた液晶基板搬送アー
ムを図４中Ｆ−Ｆ線で切断して矢印方向に見た断面図。
１０…ＴＡＢ基板実装装置 ２０…基板搬送ス
テージ ２１，２２…搬送レール ２１ａ，２２ａ…
駆動装置 ２３…スライダ ２４…保持部 ２５…アーム ２６…吸着部 ２６ａ…吸着孔 ２６ｂ…パッド ２７…吸引路 ２８…吸引装置 ３０…ＴＡＢ基板装着機構 ４０…装着ヘッド
機構 ４１…装着ヘッド ４１ａ…吸着プレ
ート ４１ｂ…吸着孔 ４２…ゴムシート ４３…取付具 ４４…スライド軸 ４５…駆動装置 ４６…チューブ ４７…吸引装置 ５０…バックアップヘッド機構 ５１…バックアッ
プヘッド ６０…液晶基板搬送装置 ６１…搬送レール ６２…スライダ ６２…駆動装置 ６３…液晶基板搬送アーム ６４…吸着部 ６４ａ…吸着孔 ６４ｂ…パッド ６５…吸引装置 ６６…液晶基板カ
セット
テージ ２１，２２…搬送レール ２１ａ，２２ａ…
駆動装置 ２３…スライダ ２４…保持部 ２５…アーム ２６…吸着部 ２６ａ…吸着孔 ２６ｂ…パッド ２７…吸引路 ２８…吸引装置 ３０…ＴＡＢ基板装着機構 ４０…装着ヘッド
機構 ４１…装着ヘッド ４１ａ…吸着プレ
ート ４１ｂ…吸着孔 ４２…ゴムシート ４３…取付具 ４４…スライド軸 ４５…駆動装置 ４６…チューブ ４７…吸引装置 ５０…バックアップヘッド機構 ５１…バックアッ
プヘッド ６０…液晶基板搬送装置 ６１…搬送レール ６２…スライダ ６２…駆動装置 ６３…液晶基板搬送アーム ６４…吸着部 ６４ａ…吸着孔 ６４ｂ…パッド ６５…吸引装置 ６６…液晶基板カ
セット
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/60 ３１１ Ｔ 7726−4Ｅ 21/68 Ｐ Ｂ Ｈ０５Ｋ 13/04 Ｂ
Claims (3)
- 【請求項１】ワークを吸着保持する吸着保持装置におい
て、 装置本体と、 この装置本体に形成された吸着孔と、 この吸着孔に吸引力を発生させる吸引手段と、 前記吸着孔に取り付けられ上記吸着孔に吸引される前記
ワークを弾性的に保持する弾性パッドとを備えているこ
とを特徴とする吸着保持装置。 - 【請求項２】平板状のワークを吸着保持する吸着保持装
置において、 装置本体と、 この装置本体に弾性部材を介して取り付けられた吸引孔
を有する吸着ヘッドと、 前記吸着孔に吸引力を発生させる吸引手段とを備えてい
ることを特徴とする吸着保持装置。 - 【請求項３】ＸＹ方向に駆動され、ワークを吸着保持す
るための吸着孔が形成された第１の駆動部と、前記吸着
孔に吸引力を発生させる吸引手段と、前記吸着孔に取り
付けられ上記吸着孔に吸引される基板を弾性的に保持す
る弾性パッドを具備する第１の吸着保持装置と、 Ｚ方向に駆動される第２の駆動部と、この第２の駆動部
に弾性部材を介して取り付けられた吸引孔を有する吸着
ヘッド部と、前記吸着孔に吸引力を発生させる吸引手段
を具備し、前記吸引孔により電子部品を吸引する第２の
吸着保持装置とを備えていることを特徴とする実装装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24772794A JPH08112793A (ja) | 1994-10-13 | 1994-10-13 | 吸着保持装置及び実装装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24772794A JPH08112793A (ja) | 1994-10-13 | 1994-10-13 | 吸着保持装置及び実装装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08112793A true JPH08112793A (ja) | 1996-05-07 |
Family
ID=17167779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24772794A Pending JPH08112793A (ja) | 1994-10-13 | 1994-10-13 | 吸着保持装置及び実装装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08112793A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1117397A (ja) * | 1997-06-23 | 1999-01-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ワークの下受装置 |
| JP6201081B1 (ja) * | 2016-04-14 | 2017-09-20 | 日東電工株式会社 | 吸着部材および液晶セル吸着回転装置 |
| JP6201082B1 (ja) * | 2016-04-14 | 2017-09-20 | 日東電工株式会社 | 吸着部材、液晶セル吸着移動装置、および光学フィルム貼合せライン |
| WO2017179240A1 (ja) * | 2016-04-14 | 2017-10-19 | 日東電工株式会社 | 吸着部材および液晶セル吸着回転装置 |
| WO2017179239A1 (ja) * | 2016-04-14 | 2017-10-19 | 日東電工株式会社 | 吸着部材、液晶セル吸着移動装置、および光学フィルム貼合せライン |
| WO2020003979A1 (ja) * | 2018-06-28 | 2020-01-02 | 平田機工株式会社 | パッド部材を備えたロボットハンド |
| CN110660700A (zh) * | 2018-06-28 | 2020-01-07 | 平田机工株式会社 | 对准装置、半导体晶圆处理装置及对准方法 |
| CN112609166A (zh) * | 2020-12-04 | 2021-04-06 | 上海航天控制技术研究所 | 适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具 |
-
1994
- 1994-10-13 JP JP24772794A patent/JPH08112793A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1117397A (ja) * | 1997-06-23 | 1999-01-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ワークの下受装置 |
| JP6201081B1 (ja) * | 2016-04-14 | 2017-09-20 | 日東電工株式会社 | 吸着部材および液晶セル吸着回転装置 |
| JP6201082B1 (ja) * | 2016-04-14 | 2017-09-20 | 日東電工株式会社 | 吸着部材、液晶セル吸着移動装置、および光学フィルム貼合せライン |
| WO2017179240A1 (ja) * | 2016-04-14 | 2017-10-19 | 日東電工株式会社 | 吸着部材および液晶セル吸着回転装置 |
| WO2017179239A1 (ja) * | 2016-04-14 | 2017-10-19 | 日東電工株式会社 | 吸着部材、液晶セル吸着移動装置、および光学フィルム貼合せライン |
| TWI616289B (zh) * | 2016-04-14 | 2018-03-01 | 日東電工股份有限公司 | 吸附構件及液晶單元吸附旋轉裝置 |
| WO2020003979A1 (ja) * | 2018-06-28 | 2020-01-02 | 平田機工株式会社 | パッド部材を備えたロボットハンド |
| CN110660700A (zh) * | 2018-06-28 | 2020-01-07 | 平田机工株式会社 | 对准装置、半导体晶圆处理装置及对准方法 |
| CN112609166A (zh) * | 2020-12-04 | 2021-04-06 | 上海航天控制技术研究所 | 适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具 |
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