JPH0811313A - インクジェットプリントヘッドの均一加圧接合方法 - Google Patents

インクジェットプリントヘッドの均一加圧接合方法

Info

Publication number
JPH0811313A
JPH0811313A JP14935294A JP14935294A JPH0811313A JP H0811313 A JPH0811313 A JP H0811313A JP 14935294 A JP14935294 A JP 14935294A JP 14935294 A JP14935294 A JP 14935294A JP H0811313 A JPH0811313 A JP H0811313A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
print head
uniform pressure
elastic body
bonding method
thin plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP14935294A
Other languages
English (en)
Inventor
Keiji Watanabe
啓司 渡辺
Kunihiro Tamahashi
邦裕 玉橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Koki Holdings Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Koki Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Koki Co Ltd filed Critical Hitachi Koki Co Ltd
Priority to JP14935294A priority Critical patent/JPH0811313A/ja
Publication of JPH0811313A publication Critical patent/JPH0811313A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 インクジェットプリントヘッドは、板厚10
〜50μmのステンレスあるいはNiの薄板及びそれら
を固定する部材の組み合わせからなり、それぞれインク
流路を形成する複雑な穴形状を持つ。本発明の目的は、
上記部品の半田付け接合にあたり、均一な面内加圧分布
を与えることにより、インク流路への半田材のはみ出し
を皆無または再現良く制御でき、未接合部も生じること
なく接合できる方法を提供するにある。 【構成】 板厚10〜50μmのステンレスあるいはN
iの薄板及びこれらを固定する部材の組み合わせからな
る被接合物3,4,5の接合部に、弾性率が5×10~5
Pa〜1×10~3Paの範囲にある弾性体6をセット
し、予め所定の温度に加熱保持された治具1を押し当て
て接合する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はインクジェットプリント
ヘッドに用いられる薄板積層プリントヘッドの接合方法
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、ステンレス製あるいはNi製の厚
さ10〜50μmの薄板及びそれらを固定する部材から
なるインクジェットプリントヘッドの接合は、有機系接
着剤で行っていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、有
機系の接着剤がインク及び熱サイクルにより劣化し、イ
ンクもれを生ずる等、耐久性に問題があった。
【0004】この問題を解決するため、半田付けによる
金属的な接合が考えられる。
【0005】ここで、前記プリントヘッドは高精度が要
求され、インク流路を形成する穴形状も複雑なため、半
田材は被接合部材上にメッキ等により形成する。また、
接合においては、印字時に混色発生の原因となるインク
流路間のリークを防止するため、流路間の接合面が全面
均一に接合される必要がある。
【0006】前記薄板のうちステンレス製のものはエッ
チングで、Ni製のものは電鋳でつくり、これら薄板を
固定する部材は機械加工でつくるが、いずれも数μm〜
数十μmの表面の凹凸は避けられない。従って、接合面
内加圧分布が均一でなく、インク流路へ溶融した半田材
がはみ出したり、逆に未接合部を生じる場合がある。こ
れらは、印字特性のバラツキの要因となる。そして、最
悪の場合、流路の目づまりによる未噴射または流路間の
リークによる混色を生じてしまう。
【0007】この対策として、一般に銅もしくはステン
レス製の治具で高荷重をかけて、未接合部が生ずること
を防止する方法が考えられるが、接合装置が大がかりな
ものになり、また高荷重をかけても加圧力分布は不均一
なため、溶融半田のはみ出しにバラツキが生じ、やはり
印字特性のバラツキとなる。
【0008】また、弾性体としては、耐熱性の高いポリ
イミドやテフロンのフィルムを使用すれば360℃程度
までの半田付けに十分耐えられるが、加圧力の均一化の
点では不十分である。ゴム系の弾性体を用いる方法も考
えられるが、耐熱性は連続使用可能温度が250℃以下
であり、有機系接着剤には対応できるものの、半田付け
でこれ以上の温度に長時間加熱すると劣化してしまい、
弾性体としての役目を果たさなくなる。
【0009】本発明の目的は、簡便な方式で、半田付け
時の接合面内加圧分布を均一にして、インク流路への半
田材のはみ出しを皆無または再現良く制御でき、未接合
部を生じない接合法を提供するにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
すべく、弾性率が5×10~5Pa〜1×10~3Paの範
囲にある弾性体を加熱加圧治具の一部にセットして接合
する方式とした。加圧力を均一化するためには、上記弾
性率の範囲が適当である。この範囲より高い場合、弾性
体としてそれ自身が十分に変形せず、一方低い場合は逆
に薄板を変形させることができず、いずれも加圧力の均
一化が不十分となる。
【0011】弾性体は、被接合部の接合面の凹凸すなわ
ち寸法バラツキを吸収し、面内加圧分布を均一にするク
ッション材の役目を果たす。シリコンゴムは弾性率が上
記範囲に入るものであって、しかもゴム系の中では耐熱
性も高いので、本接合に用いる弾性体として選んだ。こ
れに替わるものとしては、フッ素ゴム、ポリイミドシリ
コン(信越化学工業製:X−45−050)、ポリエー
テルサルフォン(三井東圧化学製:スーパーエンプラP
ES)、ポリエーテルケトン(三井東圧化学製:スーパ
ーエンプラPEEK)、ポリブチレンテレフタレート
(大日本インキ化学製:プラナック)、ポリフェニレン
サルファイト(大日本インキ化学製:ライトン)、シリ
コン/プラスチック積層フィルム(ビオテック製)等が
ある。
【0012】接合部の構成は、一般的には、加熱加圧治
具/薄板を固定する部材/薄板(数枚)/弾性体/加熱
加圧治具の順になる。
【0013】上記シリコンゴムは、厚さ0.5〜3.0m
mが良い。0.5mm以下では弾性体としての効果が不
十分である。一方、3.0mm以上としても加圧力の均
一化の効果は向上せず、逆に熱の伝達が不十分になり、
またガスの発生量も多くなるなど接合部に悪影響を及ぼ
す可能性がある。
【0014】そして、接合加熱時には長時間シリコンゴ
ムを250℃以上の高温状態に長時間保持しない方式が
必要である。従って、加熱方式は、接合面を位置あわせ
した後、予め所定の温度に加熱保持された治具を押し当
てて、被接合部が所定の温度に到達後冷却するものであ
る。この時、最高加熱温度は360℃である。これ以上
ではシリコンゴムが急激に劣化し、均一加圧の効果が不
十分でしかも繰返し使用できない。また、シリコンゴム
の250℃以上での保持時間は5分/回とする。この時
間内であれば、少なくとも20回以上シリコンゴムを繰
返し使用できる。接合雰囲気はシリコンゴムの酸化を防
止するため、真空中もしくは不活性ガス中が良い。
【0015】
【作用】前記厚さの弾性体を接合部にセットし、予め所
定の温度に加熱した治具を押し当てる方式で接合したプ
リントヘッドは、均一な接合面内加圧分布が得られるの
で、インク流路に未接合部を生じることがなく、部分的
に半田材がはみ出すこともない。従って、安定した印字
特性が得られる。
【0016】
【実施例】以下本発明を実施例図面を参照して説明す
る。
【0017】〔実施例1〕図1は、本発明接合法の加熱
加圧接合部断面の概略図、図2は、本発明接合法を適用
したプリントヘッド用薄板及び薄板を固定する部材の形
状である。
【0018】本実施例では、プリントヘッドを構成す
る、ダイアフラム3(SUS304、板厚20μm)、
リストリクタ4(SUS304、板厚50μm)、フィ
ルタ5(Ni、板厚20μm)の3枚の薄板及びそれら
を固定する部材であるハウジング2(Al−12Si、
板厚8mm)を接合した。
【0019】これらの被接合物は、すべて図示しない金
−20wt%錫半田めっきを全面に5μm施している。
なお、半田の融点は280℃である。
【0020】次に、上記部品を図1に示すように、上か
ら銅製加熱加圧治具1、ハウジング2、ダイアフラム
3、リストリクタ4、フィルタ5、弾性体6、銅製加熱
加圧治具7の順にセットした。ここで、被接合部材及び
弾性体は銅製加熱加圧治具7から離してバネで浮かせた
ホルダ10上に保持されている。弾性体は厚さ1mmの
シリコンゴムを用いた。
【0021】これらを10~2Torr台の真空中にセッ
トし、加熱加圧治具1、8を予め290℃に加熱保持し
た後、10kgf/cm2の加圧力で上下から押し当て
て接合する。その状態で60秒間保持後、ヒータをOF
Fしそのまま冷却する。
【0022】銅製加熱加圧治具1は放熱性が高い。従っ
て、該銅製加熱加圧治具1はそれ自体が自然冷却される
と共に、シリコンゴムの熱も吸収して放熱する。そし
て、該シリコンゴムは前記銅製加熱加圧治具1と共に、
約180秒間で250℃以下に冷却される。その結果、
半田はみ出しがなく、未接合部も生じない良好な接合部
が得られることがわかった。
【0023】〔実施例2〕実施例1と同様の被接合物を
用い、同様に被接合物全面に鉛−5wt%錫半田を5μ
mめっきした。
【0024】次に図3に示すように、銅製加熱加圧治具
1、ハウジング2、ダイアフラム3、リストリクタ4、
フィルタ5、銅製加熱加圧治具8の順にセットした。こ
こで、被接合部材及び弾性体は実施例1と同様に銅製加
熱加圧治具8から離してバネで浮かせたホルダ10上に
保持されている。シリコンゴムは厚さ1mmである。こ
れらを10~2Torr台の真空中にセットし、加熱加圧
治具を予め340℃に保持した後、10kgf/cm2
の加圧力で上下から押し当てて接合する。この状態で6
0秒間保持した後、ヒータをOFFし、被接合物及び弾
性体にN2ガスを吹き付け冷却する。冷却後約180秒
でシリコンゴムは250℃以下となる。その結果、実施
例1と同様に良好な接合部が得られた。
【0025】
【発明の効果】本発明によれば、弾性率が5×10~5
a〜1×10~3Paの範囲にある弾性体を接合部にセッ
トし、予め所定の温度に加熱保持した治具で加熱加圧す
るので、被接合物の接合面の凹凸を吸収し、均一な面内
加圧分布の状態で接合できる。従って、インク流路に未
接合部を生じることがなく、また均一に加圧されるので
部分的に半田材がはみ出すことがなく、常に安定した接
合状態が得られる。また、弾性体としてシリコンゴムを
用いた場合には20回以上繰返し使用できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明を適用した加熱加圧接合部断面の概略
図の一例である。
【図2】 本発明を適用したプリントヘッド用薄板及び
薄板を固定する部材の形状である。
【符号の説明】
1は銅製加熱加圧治具、2はハウジング、3はダイアフ
ラム、4はリストリクタ、5はフィルタ、6は弾性体
(シリコンゴム)、7は銅製加熱加圧治具、8は冷却用
2噴出ノズル、9はインク流路、10はホルダであ
る。

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 薄板積層構造のインクジェットプリント
    ヘッドを製造するための接合方法であって、前記薄板及
    び薄板を固定する部材を、弾性率が5×10~5Pa〜1
    ×10~3Paの範囲にある弾性体を介して金属接合する
    ことを特徴とするインクジェットプリントヘッドの均一
    加圧接合方法。
  2. 【請求項2】 前記弾性体がシリコンゴムであることを
    特徴とする請求項1記載のインクジェットプリントヘッ
    ドの均一加圧接合方法。
  3. 【請求項3】 前記弾性体の厚さを0.5〜3.0mmと
    することを特徴とする請求項1記載のインクジェットプ
    リントヘッドの均一加圧接合方法。
  4. 【請求項4】 前記金属接合が半田付けであることを特
    徴とする請求項1記載のインクジェットプリントヘッド
    の均一加圧接合方法。
  5. 【請求項5】 予め所定温度に加熱保持された治具を上
    記薄板及び薄板を固定する部材と弾性体に押しつけ、半
    田材の溶融温度に加熱し半田付けすることを特徴とする
    請求項4記載のインクジェットプリントヘッド均一加圧
    接合方法。
  6. 【請求項6】 半田付け時の最高加熱温度は360℃以
    下で、接合雰囲気は真空中もしくは不活性ガス中である
    ことを特徴とする請求項5記載のインクジェットプリン
    トヘッドの均一加圧接合方法。
  7. 【請求項7】 一回の半田付け時に、上記弾性体が25
    0℃以上に保持される時間が300秒以下であることを
    特徴とする請求項5記載のインクジェットプリントヘッ
    ドの弾性体による均一加圧接合方法。
JP14935294A 1994-06-30 1994-06-30 インクジェットプリントヘッドの均一加圧接合方法 Pending JPH0811313A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14935294A JPH0811313A (ja) 1994-06-30 1994-06-30 インクジェットプリントヘッドの均一加圧接合方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14935294A JPH0811313A (ja) 1994-06-30 1994-06-30 インクジェットプリントヘッドの均一加圧接合方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0811313A true JPH0811313A (ja) 1996-01-16

Family

ID=15473254

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14935294A Pending JPH0811313A (ja) 1994-06-30 1994-06-30 インクジェットプリントヘッドの均一加圧接合方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0811313A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010125486A (ja) * 2008-11-27 2010-06-10 Denso Corp 半田付け用真空加熱装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010125486A (ja) * 2008-11-27 2010-06-10 Denso Corp 半田付け用真空加熱装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3570447B2 (ja) 積層型インクジェット式記録ヘッド、及びその製造方法、及び記録装置
JPH09237963A (ja) はんだ供給法およびはんだ供給装置並びにはんだ接合法
JP2008182016A (ja) 貼り合わせ装置、貼り合わせ方法
CN106715028B (zh) 电接合方法及电接合装置
KR20010042612A (ko) 인쇄회로기판 제조를 위한 강합금 분리 시트 및 구리/강적층 시트
CN107112248B (zh) 芯片接合装置以及芯片接合方法
JPH0811313A (ja) インクジェットプリントヘッドの均一加圧接合方法
JP2019079856A (ja) 多層基板の製造方法
JP2003145758A (ja) インクジェットヘッド及びその構成部材の接合方法
JP2005101242A (ja) はんだバンプの形成方法
JP2000208547A (ja) 半導体装置におけるバンプ補強構造およびその形成方法
CN116093736A (zh) 芯片组件焊接方法及半导体激光器
JP7453035B2 (ja) 圧着ヘッド、これを用いた実装装置および実装方法
JP3282343B2 (ja) インクジェットプリンタ用プリントヘッドの均一加圧接合法
JP7195829B2 (ja) 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置の製造方法
JP3604838B2 (ja) インクジェットプリンタヘッドの接合方法およびインクジェットプリンタ
JP2004306562A (ja) パターン形成装置およびその製造方法
JPH10166599A (ja) インクジェットプリントヘッドの製造方法
JPH10100416A (ja) インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法
JP3293224B2 (ja) インクジェットプリントヘッドの接合方法
TWI220888B (en) Sealing structure for ink passage of printhead and sealing method therefor
JP7210192B2 (ja) 保持装置の製造方法
JP2984679B1 (ja) インクジェットヘッド製造方法及びその製造装置
JP2024094570A (ja) 液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッドの製造方法
JPH06320738A (ja) インクジェットプリンタ用プリントヘッドの接合方法

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20011023