JPH06320738A - インクジェットプリンタ用プリントヘッドの接合方法 - Google Patents
インクジェットプリンタ用プリントヘッドの接合方法Info
- Publication number
- JPH06320738A JPH06320738A JP11301693A JP11301693A JPH06320738A JP H06320738 A JPH06320738 A JP H06320738A JP 11301693 A JP11301693 A JP 11301693A JP 11301693 A JP11301693 A JP 11301693A JP H06320738 A JPH06320738 A JP H06320738A
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- Japan
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- thin plate
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- print head
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- Pending
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】インクジェットプリンタ用プリントヘッドの接
合において、簡単な接合方法で熱的ダメージを与えるこ
となく、インク及び熱サイクルに対して耐久性に優れた
接合部を得る。 【構成】薄板積層構造のプリントヘッドを有するインク
ジェットプリンタ用プリントヘッドの接合方法におい
て、前記薄板はSn拡散防止層4を有し、半田で接合す
ることを特徴とする。
合において、簡単な接合方法で熱的ダメージを与えるこ
となく、インク及び熱サイクルに対して耐久性に優れた
接合部を得る。 【構成】薄板積層構造のプリントヘッドを有するインク
ジェットプリンタ用プリントヘッドの接合方法におい
て、前記薄板はSn拡散防止層4を有し、半田で接合す
ることを特徴とする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットプリン
タに用いられる薄板積層プリントヘッドの接合方法に関
する。
タに用いられる薄板積層プリントヘッドの接合方法に関
する。
【0002】
【従来の技術】従来、ステンレス製の厚さ10〜50μ
mの薄板からなるインクジェットプリンタ用プリントヘ
ッドの接合は、有機系接着剤を用いて行ってきた。
mの薄板からなるインクジェットプリンタ用プリントヘ
ッドの接合は、有機系接着剤を用いて行ってきた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】前記した従来技術によ
れば、有機系の接着剤がインク及び熱サイクルにより劣
化し、インク漏れを生じる等、耐久性に問題があった。
れば、有機系の接着剤がインク及び熱サイクルにより劣
化し、インク漏れを生じる等、耐久性に問題があった。
【0004】そして、この問題を解決するためには、半
田付けによる接合が考えられる。しかし、薄板積層構造
物であるプリントヘッドには高精度が要求され、穴形状
も複雑であり、薄板がNi製のものは直接半田層を形成
できるが、ステンレス製の場合はNiメッキを介する必
要があり、またこれらを接合した時、一般のSnを含有
する半田の場合、接合時の加熱によりSnがNi側に拡
散し、半田の組成が変化して融点が上昇し、所定の温度
で接合できなくなる。
田付けによる接合が考えられる。しかし、薄板積層構造
物であるプリントヘッドには高精度が要求され、穴形状
も複雑であり、薄板がNi製のものは直接半田層を形成
できるが、ステンレス製の場合はNiメッキを介する必
要があり、またこれらを接合した時、一般のSnを含有
する半田の場合、接合時の加熱によりSnがNi側に拡
散し、半田の組成が変化して融点が上昇し、所定の温度
で接合できなくなる。
【0005】なお、この問題を解決するためには、抵抗
加熱法等により急加熱する方法も考えられるが、特殊な
装置が必要となり、被接合物の形状も制限されることに
なる。また、半田層を厚くすることも考えられるが、寸
法精度及びインクの通り穴の目詰りの面から問題があ
る。一方、ろう付けの場合は、接合温度が高く、被接合
物に与える熱的ダメージが大きい問題がある。
加熱法等により急加熱する方法も考えられるが、特殊な
装置が必要となり、被接合物の形状も制限されることに
なる。また、半田層を厚くすることも考えられるが、寸
法精度及びインクの通り穴の目詰りの面から問題があ
る。一方、ろう付けの場合は、接合温度が高く、被接合
物に与える熱的ダメージが大きい問題がある。
【0006】本発明の目的は、簡単な接合方法で熱的ダ
メージを与えることなく、インク及び熱サイクルに対し
て耐久性に優れたインクジェットプリンタ用プリントヘ
ッドを提供することにある。
メージを与えることなく、インク及び熱サイクルに対し
て耐久性に優れたインクジェットプリンタ用プリントヘ
ッドを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】前記目的は、薄板積層構
造のプリントヘッドを有するインクジェットプリンタ用
プリントヘッドの接合方法において、前記薄板はSn拡
散防止層を有し、半田で接合することによって達成され
る。
造のプリントヘッドを有するインクジェットプリンタ用
プリントヘッドの接合方法において、前記薄板はSn拡
散防止層を有し、半田で接合することによって達成され
る。
【0008】これを具体例に基づいて説明すると、プリ
ントヘッド用薄板は、図1に示すような断面構造をして
おり、これはステンレス製薄板上にNiメッキを施した
後、Sn拡散防止層としてPdまたはCoを0.1μm
以上形成し、その上に半田層を形成する。Ni製薄板の
場合はNiメッキは省く。なお、前記半田層は、接合す
る面の両側もしくはいずれか片側のみでも良い。
ントヘッド用薄板は、図1に示すような断面構造をして
おり、これはステンレス製薄板上にNiメッキを施した
後、Sn拡散防止層としてPdまたはCoを0.1μm
以上形成し、その上に半田層を形成する。Ni製薄板の
場合はNiメッキは省く。なお、前記半田層は、接合す
る面の両側もしくはいずれか片側のみでも良い。
【0009】前記半田は、接合性の面からAu−Sn系
またはPb−Sn系が良く、その組成は、Au−Sn半
田の場合Sn含有量を15〜40wt%、Pb−Sn半
田の場合Sn含有量を5〜65wt%とし、これらの薄
板を真空中あるいは不活性ガス中で加熱、加圧して接合
する。
またはPb−Sn系が良く、その組成は、Au−Sn半
田の場合Sn含有量を15〜40wt%、Pb−Sn半
田の場合Sn含有量を5〜65wt%とし、これらの薄
板を真空中あるいは不活性ガス中で加熱、加圧して接合
する。
【0010】ここで、Sn拡散防止層のPdまたはCo
の厚さを0.1μm以上としたのは、0.1μm以下で
はSnが下地のNiに拡散する場合があり、半田の濡れ
性も下地のNiの影響を受けて低下するためであり、
0.1μm以上の厚さであればその効果は十分である。
の厚さを0.1μm以上としたのは、0.1μm以下で
はSnが下地のNiに拡散する場合があり、半田の濡れ
性も下地のNiの影響を受けて低下するためであり、
0.1μm以上の厚さであればその効果は十分である。
【0011】前記半田組成によれば、Sn拡散による融
点の変化が大きいので拡散防止層の効果が大きくなり、
融点も400℃以下でプリントヘッド用薄板に熱的ダメ
ージを与えない。
点の変化が大きいので拡散防止層の効果が大きくなり、
融点も400℃以下でプリントヘッド用薄板に熱的ダメ
ージを与えない。
【0012】
【作用】前記接合方法を採用する本発明によれば、薄板
積層構造のプリントヘッドは、その薄板積層構造物の中
にSn拡散防止層を有しているから、簡単な接合方法で
熱的ダメージを与えることなく、インク及び熱サイクル
に対して耐久性に優れた接合部を得ることができる。
積層構造のプリントヘッドは、その薄板積層構造物の中
にSn拡散防止層を有しているから、簡単な接合方法で
熱的ダメージを与えることなく、インク及び熱サイクル
に対して耐久性に優れた接合部を得ることができる。
【0013】これを具体例に基づいて説明すると、Sn
拡散防止のPdまたはCoを0.1μm以上形成し、前
記半田組成のもので接合されたプリントヘッドは、加熱
接合中の化合物生成に起因して半田中のSn濃度が低下
して融点が上昇することがないため、接合中に十分な融
液を生じて高い接合強度が得られる。
拡散防止のPdまたはCoを0.1μm以上形成し、前
記半田組成のもので接合されたプリントヘッドは、加熱
接合中の化合物生成に起因して半田中のSn濃度が低下
して融点が上昇することがないため、接合中に十分な融
液を生じて高い接合強度が得られる。
【0014】また、Sn拡散がないので半田層厚さも薄
くて良く、プリントヘッドの目詰りをも防ぐことができ
る。
くて良く、プリントヘッドの目詰りをも防ぐことができ
る。
【0015】さらに、Pb及びCoは、Sn拡散防止効
果とともに前記組成からなる半田との濡れ性に優れてい
るため、真空中または不活性ガス中においてフラックス
レスで均一に接合し、接合不良によるインクの混色がな
い。
果とともに前記組成からなる半田との濡れ性に優れてい
るため、真空中または不活性ガス中においてフラックス
レスで均一に接合し、接合不良によるインクの混色がな
い。
【0016】そして、これらは金属的な接合であるた
め、有機系接着剤に比べてインク及び熱サイクルに対す
る耐熱性に優れている。
め、有機系接着剤に比べてインク及び熱サイクルに対す
る耐熱性に優れている。
【0017】
【実施例】以下、図面を参照して本発明を説明する。
【0018】〔実施例1〕図1は本発明になる接合方法
を適用したプリントヘッド用薄板の断面構造図、図2は
同プリントヘッド用薄板の外観形状図、図3は本発明に
なる接合方法を適用したプリントヘッド用薄板の加熱、
加圧方法の一例を説明する図である。
を適用したプリントヘッド用薄板の断面構造図、図2は
同プリントヘッド用薄板の外観形状図、図3は本発明に
なる接合方法を適用したプリントヘッド用薄板の加熱、
加圧方法の一例を説明する図である。
【0019】図2には、プリントヘッドの一部を構成す
るダイアフラム6(SUS304製、厚さ10μm)、
リストリクタ7(SUS304製、厚さ50μm)、フ
ィルタ8(Ni製、厚さ20μm)の3枚の薄板を接合
した場合が示されている。
るダイアフラム6(SUS304製、厚さ10μm)、
リストリクタ7(SUS304製、厚さ50μm)、フ
ィルタ8(Ni製、厚さ20μm)の3枚の薄板を接合
した場合が示されている。
【0020】ここで、本実施例の薄板の断面構造を図1
により説明する。ダイアフラム6及びリストリクタ7
は、図1の構造であり、Niメッキ3を1μm、Sn拡
散防止層4としてPdメッキを0.2μm、半田層5と
してPb−50wt%Snメッキを5μm施した。
により説明する。ダイアフラム6及びリストリクタ7
は、図1の構造であり、Niメッキ3を1μm、Sn拡
散防止層4としてPdメッキを0.2μm、半田層5と
してPb−50wt%Snメッキを5μm施した。
【0021】次に、前記3枚の薄板を位置合わせし、図
3に示すように加熱、加圧治具10、10間にセット
し、図示しない接合室内で、真空中で300℃に加熱す
るとともに、図示しない加圧装置で5kgf/cm2の
加圧力を加え、冷却後、接合室内を大気リークして被接
合物を取り出した。
3に示すように加熱、加圧治具10、10間にセット
し、図示しない接合室内で、真空中で300℃に加熱す
るとともに、図示しない加圧装置で5kgf/cm2の
加圧力を加え、冷却後、接合室内を大気リークして被接
合物を取り出した。
【0022】なお、本実施例では、被接合物の接合雰囲
気を真空とした場合について例示したが、これに代えて
不活性ガス雰囲気としても良い。
気を真空とした場合について例示したが、これに代えて
不活性ガス雰囲気としても良い。
【0023】〔実施例2〕実施例1と同様の接合方法で
Sn拡散防止層4のPd及びCoの厚さを0.05、
0.1、0.3及び0.5μmと変えて接合した。その
後、被接合物の接合部を切断し、断面の濃度分布を調
べ、SnとNiとの化合物形成層の厚さを求めた。
Sn拡散防止層4のPd及びCoの厚さを0.05、
0.1、0.3及び0.5μmと変えて接合した。その
後、被接合物の接合部を切断し、断面の濃度分布を調
べ、SnとNiとの化合物形成層の厚さを求めた。
【0024】その結果を図4に示す。本結果から、拡散
防止層4の厚さが0.1μm以上あればNiとの反応を
抑止できることが判る。
防止層4の厚さが0.1μm以上あればNiとの反応を
抑止できることが判る。
【0025】
【発明の効果】本発明によれば、薄板積層構造のプリン
トヘッドを有するインクジェットプリンタ用プリントヘ
ッドの接合において、前記薄板はSn拡散防止層を有し
ているから、簡単な接合方法で熱的ダメージを与えるこ
となく、インク及び熱サイクルに対して耐久性に優れた
接合部を得ることができる。
トヘッドを有するインクジェットプリンタ用プリントヘ
ッドの接合において、前記薄板はSn拡散防止層を有し
ているから、簡単な接合方法で熱的ダメージを与えるこ
となく、インク及び熱サイクルに対して耐久性に優れた
接合部を得ることができる。
【0026】これを具体例に基づいて説明すると、厚さ
10〜50μmのステンレス製及びNi製の薄板の組合
せからなる被接合物をPbまたはCoのSn拡散防止層
を介し、Pb−5〜65wt%SnまたはAu−15〜
40wt%Snの半田によって真空中または不活性ガス
中で加熱、加圧接合することで薄板に熱的ダメージを与
えず、インク及び熱サイクルに対して耐久性に優れた接
合部を得ることができた。
10〜50μmのステンレス製及びNi製の薄板の組合
せからなる被接合物をPbまたはCoのSn拡散防止層
を介し、Pb−5〜65wt%SnまたはAu−15〜
40wt%Snの半田によって真空中または不活性ガス
中で加熱、加圧接合することで薄板に熱的ダメージを与
えず、インク及び熱サイクルに対して耐久性に優れた接
合部を得ることができた。
【図1】本発明になる接合方法を適用したプリントヘッ
ド用薄板の断面構造図である。
ド用薄板の断面構造図である。
【図2】本発明になる接合方法を適用したプリントヘッ
ド用薄板の外観形状図である。
ド用薄板の外観形状図である。
【図3】本発明になる接合方法を適用したプリントヘッ
ド用薄板の加熱、加圧方法の一例を説明する図である。
ド用薄板の加熱、加圧方法の一例を説明する図である。
【図4】Sn拡散防止層の厚さとNi−Sn化合物層厚
さとの関係を示す図である。
さとの関係を示す図である。
1はステンレス製薄板、2はNi製薄板、3はNiメッ
キ、4はSn拡散防止層、5は半田層、6はダイアフラ
ム、7はリストリクタ、8はフィルタ、9はインク流
路、10は加熱、加圧治具である。
キ、4はSn拡散防止層、5は半田層、6はダイアフラ
ム、7はリストリクタ、8はフィルタ、9はインク流
路、10は加熱、加圧治具である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 B23K 35/30 310 A (72)発明者 堀野 正也 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内
Claims (4)
- 【請求項1】薄板積層構造のプリントヘッドを有するイ
ンクジェットプリンタ用プリントヘッドの接合方法にお
いて、前記薄板はSn拡散防止層を有し、半田で接合す
ることを特徴とするインクジェットプリンタ用プリント
ヘッドの接合方法。 - 【請求項2】前記Sn拡散防止層は、Niメッキしたス
テンレス薄板上に形成され、PdまたはCoで、厚さ
0.1μm以上であることを特徴とする請求項1記載の
インクジェットプリンタ用プリントヘッドの接合方法。 - 【請求項3】半田組成は、Sn含有量が15wt%以上
40wt%以下のAu−Sn半田、もしくはSn含有量
が5wt%以上65wt%以下のPb−Sn半田である
ことを特徴とする請求項1記載のインクジェットプリン
タ用プリントヘッドの接合方法。 - 【請求項4】プリンヘッドの接合は、真空中あるいは不
活性ガス中で加熱、加圧することを特徴とする請求項1
記載のインクジェットプリンタ用プリントヘッドの接合
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11301693A JPH06320738A (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | インクジェットプリンタ用プリントヘッドの接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11301693A JPH06320738A (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | インクジェットプリンタ用プリントヘッドの接合方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06320738A true JPH06320738A (ja) | 1994-11-22 |
Family
ID=14601330
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11301693A Pending JPH06320738A (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | インクジェットプリンタ用プリントヘッドの接合方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06320738A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001054851A3 (en) * | 2000-01-31 | 2002-03-14 | Picojet Inc | Microfluid device and ultrasonic bonding process |
-
1993
- 1993-05-14 JP JP11301693A patent/JPH06320738A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001054851A3 (en) * | 2000-01-31 | 2002-03-14 | Picojet Inc | Microfluid device and ultrasonic bonding process |
| US6464324B1 (en) | 2000-01-31 | 2002-10-15 | Picojet, Inc. | Microfluid device and ultrasonic bonding process |
| US6530653B2 (en) | 2000-01-31 | 2003-03-11 | Picojet, Inc. | Ultrasonic bonding of ink-jet print head components |
| US6783213B2 (en) | 2000-01-31 | 2004-08-31 | Picojet, Inc. | Microfluid device and ultrasonic bonding process |
| US6928731B2 (en) | 2000-01-31 | 2005-08-16 | Picojet, Inc. | Ultrasonic bonding process for making a microfluid device |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20011016 |