JPH08113284A - 薄板状ワークの位置決め収納装置 - Google Patents
薄板状ワークの位置決め収納装置Info
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- JPH08113284A JPH08113284A JP24980994A JP24980994A JPH08113284A JP H08113284 A JPH08113284 A JP H08113284A JP 24980994 A JP24980994 A JP 24980994A JP 24980994 A JP24980994 A JP 24980994A JP H08113284 A JPH08113284 A JP H08113284A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ワークが大きくかつ薄くなって撓み易くと
も、破損等を招くことなく円滑にセンタリングを行なっ
て収納することができる薄板状ワークの位置決め収納装
置を提供すること。 【構成】 ワークＷの左右の端部下面を支持する左右の
支持片４と、各支持片４の上方に配置されて、ワークＷ
の左右の端部をワーク中心側へ水平方向に押圧可能とし
て、ワークＷの中心を所定位置に配置させるセンタリン
グロッド８と、を備える。ワークＷの左右の端部下方に
おける支持片４と干渉しない位置には、ワークＷの左右
の端部を各支持片４より上方に押上可能で、かつ、ワー
クＷの左右の端部を水平方向に移動可能に支持可能な、
押上部材１５が配置されている。
も、破損等を招くことなく円滑にセンタリングを行なっ
て収納することができる薄板状ワークの位置決め収納装
置を提供すること。 【構成】 ワークＷの左右の端部下面を支持する左右の
支持片４と、各支持片４の上方に配置されて、ワークＷ
の左右の端部をワーク中心側へ水平方向に押圧可能とし
て、ワークＷの中心を所定位置に配置させるセンタリン
グロッド８と、を備える。ワークＷの左右の端部下方に
おける支持片４と干渉しない位置には、ワークＷの左右
の端部を各支持片４より上方に押上可能で、かつ、ワー
クＷの左右の端部を水平方向に移動可能に支持可能な、
押上部材１５が配置されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶パネルに使用され
るガラス基板やＩＣ回路のシリコンウエハ等の薄板状の
ワークを収納するための収納カセット等の位置決め収納
装置に関する。
るガラス基板やＩＣ回路のシリコンウエハ等の薄板状の
ワークを収納するための収納カセット等の位置決め収納
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ガラス基板を収納するカセット
は、ガラス基板の左右の端部下面を支持する左右の支持
片と、カセット内の中心位置へガラス基板の中心を配置
させるためのセンタリングロッドと、を備えて構成され
ていた。
は、ガラス基板の左右の端部下面を支持する左右の支持
片と、カセット内の中心位置へガラス基板の中心を配置
させるためのセンタリングロッドと、を備えて構成され
ていた。
【０００３】センタリングロッドは、左右の支持片の上
方に配置されて、ガラス基板の左右の端部をガラス基板
の中心側へ水平方向に押圧可能として構成されていた。
方に配置されて、ガラス基板の左右の端部をガラス基板
の中心側へ水平方向に押圧可能として構成されていた。
【０００４】これらの左右の支持片とセンタリングロッ
ドとは、収納するガラス基板の枚数に応じて、所定組、
上下方向に配設されている。
ドとは、収納するガラス基板の枚数に応じて、所定組、
上下方向に配設されている。
【０００５】なお、収納カセットにセンタリングロッド
が配設されている理由は、カセット内に収納したガラス
基板を次工程の加工で使用する場合には、作業ロボット
がガラス基板の下面に支持アームを挿入させるとともに
上昇させて、ガラス基板を下面側から持ち上げ、その状
態で次工程まで運ぶことから、その支持アームに対し
て、傾斜や落下等して破損しないように、バランス良く
ガラス基板を支持するために、ガラス基板の中心を一定
の位置に配置させる必要があるからである。
が配設されている理由は、カセット内に収納したガラス
基板を次工程の加工で使用する場合には、作業ロボット
がガラス基板の下面に支持アームを挿入させるとともに
上昇させて、ガラス基板を下面側から持ち上げ、その状
態で次工程まで運ぶことから、その支持アームに対し
て、傾斜や落下等して破損しないように、バランス良く
ガラス基板を支持するために、ガラス基板の中心を一定
の位置に配置させる必要があるからである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のカセッ
トでは、左右のセンタリングロッドの押圧作動時には、
左右の支持片上で、ガラス基板を滑らせて、ガラス基板
のセンタリングを行なっており、円滑に滑らない場合に
は、ガラス基板の左右の端部に破損を招く場合があっ
た。
トでは、左右のセンタリングロッドの押圧作動時には、
左右の支持片上で、ガラス基板を滑らせて、ガラス基板
のセンタリングを行なっており、円滑に滑らない場合に
は、ガラス基板の左右の端部に破損を招く場合があっ
た。
【０００７】さらに、収納するガラス基板の寸法が、幅
３６０mm、長さ４６０mm、厚さ１．５mm程度であったも
のから、幅５００mm、長さ６００mm、厚さ１．１mmに、
大きく、薄くなった場合には、その大きく薄くなったガ
ラス基板が支持片間の中央で下方へ凹むように撓み易く
なる。
３６０mm、長さ４６０mm、厚さ１．５mm程度であったも
のから、幅５００mm、長さ６００mm、厚さ１．１mmに、
大きく、薄くなった場合には、その大きく薄くなったガ
ラス基板が支持片間の中央で下方へ凹むように撓み易く
なる。
【０００８】そのため、このような撓み易いガラス基板
を支持片上に載置させて左右のセンタリングロッドで押
圧すると、支持片上を円滑に滑らない場合には、ガラス
基板の中央を下方へ撓ませる態様となって、正確な位置
合せができなかったり、ガラス基板がその中央で折損す
る場合も生じさせてしまう。
を支持片上に載置させて左右のセンタリングロッドで押
圧すると、支持片上を円滑に滑らない場合には、ガラス
基板の中央を下方へ撓ませる態様となって、正確な位置
合せができなかったり、ガラス基板がその中央で折損す
る場合も生じさせてしまう。
【０００９】本発明は、上述の課題を解決するものであ
り、ワークが大きくかつ薄くなって撓み易くとも、破損
等を招くことなく円滑にセンタリングを行なって収納す
ることができる薄板状ワークの位置決め収納装置を提供
することを目的とする。
り、ワークが大きくかつ薄くなって撓み易くとも、破損
等を招くことなく円滑にセンタリングを行なって収納す
ることができる薄板状ワークの位置決め収納装置を提供
することを目的とする。
【００１０】尚、本明細書でいう収納装置には、ワーク
の位置決めのためにワークを収納する装置も含む。
の位置決めのためにワークを収納する装置も含む。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明に係る位置決め収
納装置は、薄板状のワークの左右の端部下面を支持する
左右の支持片と、該左右の支持片の上方に配置されて、
前記ワークの左右の端部をワーク中心側へ水平方向に押
圧可能として、前記ワークの中心を所定位置に配置させ
るセンタリングロッドと、を備えてなる薄板状ワークの
位置決め収納装置であって、前記ワークの左右の端部下
方における前記支持片と干渉しない位置に、前記ワーク
の左右の端部を前記各支持片より上方に押上可能で、か
つ、前記ワークの左右の端部を水平方向に移動可能に支
持可能な、押上部材が配置されていることを特徴とす
る。
納装置は、薄板状のワークの左右の端部下面を支持する
左右の支持片と、該左右の支持片の上方に配置されて、
前記ワークの左右の端部をワーク中心側へ水平方向に押
圧可能として、前記ワークの中心を所定位置に配置させ
るセンタリングロッドと、を備えてなる薄板状ワークの
位置決め収納装置であって、前記ワークの左右の端部下
方における前記支持片と干渉しない位置に、前記ワーク
の左右の端部を前記各支持片より上方に押上可能で、か
つ、前記ワークの左右の端部を水平方向に移動可能に支
持可能な、押上部材が配置されていることを特徴とす
る。
【００１２】前記押上部材は、回動自在なローラを上方
へ突出させて支持する押上片から構成したり、鉛直方向
に回転軸を配置させて水平面上の回転面を備える回転板
から構成するとともに、回転板の上面における回転板の
回転時にワークの左右の縁下方に侵入・離脱する位置
に、半球状の押上突起を配設させて構成しても良い。
へ突出させて支持する押上片から構成したり、鉛直方向
に回転軸を配置させて水平面上の回転面を備える回転板
から構成するとともに、回転板の上面における回転板の
回転時にワークの左右の縁下方に侵入・離脱する位置
に、半球状の押上突起を配設させて構成しても良い。
【００１３】
【発明の作用・効果】本発明に係る薄板状ワークの位置
決め収納装置では、左右の支持片上にワークを載置させ
て、センタリングを行なう際には、押上部材を移動させ
て、ワークの左右の端部を支持片の上方に押上げた後、
センタリングロッドを移動させてワークを押圧する。
決め収納装置では、左右の支持片上にワークを載置させ
て、センタリングを行なう際には、押上部材を移動させ
て、ワークの左右の端部を支持片の上方に押上げた後、
センタリングロッドを移動させてワークを押圧する。
【００１４】すると、押上部材が、ワークの左右端部を
支持片から離脱させて水平方向に移動可能に支持してい
るため、ワークが、大きくかつ薄くてその中央を下方へ
撓ませ易くとも、押上部材上を滑り、円滑に、ワークの
中心を所定位置に配置させることとなる。
支持片から離脱させて水平方向に移動可能に支持してい
るため、ワークが、大きくかつ薄くてその中央を下方へ
撓ませ易くとも、押上部材上を滑り、円滑に、ワークの
中心を所定位置に配置させることとなる。
【００１５】その際、押上部材が、回動自在なローラを
上方へ突出させて支持する押上片から構成されている場
合には、ワークは、押上部材のローラに当接した状態で
押上げられ、その後のセンタリングロッドの押圧によ
り、ローラを回転させながら、センタリングされること
となる。
上方へ突出させて支持する押上片から構成されている場
合には、ワークは、押上部材のローラに当接した状態で
押上げられ、その後のセンタリングロッドの押圧によ
り、ローラを回転させながら、センタリングされること
となる。
【００１６】また、押上部材が、鉛直方向に回転軸を配
置させて水平面上の回転面を備える回転板から構成する
とともに、回転板の上面における回転板の回転時にワー
クの左右の縁下方に侵入・離脱する位置に、半球状の押
上突起を配設させて構成されている場合には、ワーク
は、回転板の回転に伴なう押上突起におけるワークの左
右の縁下方への侵入によって、押上突起に押上げられ、
その後のセンタリングロッドの押圧により、押上突起の
摩擦抵抗の少ない頂部を滑りながら、センタリングされ
ることとなる。
置させて水平面上の回転面を備える回転板から構成する
とともに、回転板の上面における回転板の回転時にワー
クの左右の縁下方に侵入・離脱する位置に、半球状の押
上突起を配設させて構成されている場合には、ワーク
は、回転板の回転に伴なう押上突起におけるワークの左
右の縁下方への侵入によって、押上突起に押上げられ、
その後のセンタリングロッドの押圧により、押上突起の
摩擦抵抗の少ない頂部を滑りながら、センタリングされ
ることとなる。
【００１７】したがって、本発明に係る位置決め収納装
置では、ワークが大きくかつ薄くなって撓み易くとも、
破損等を招くことなく円滑にセンタリングを行なって、
ワークを収納することができる。
置では、ワークが大きくかつ薄くなって撓み易くとも、
破損等を招くことなく円滑にセンタリングを行なって、
ワークを収納することができる。
【００１８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。
明する。
【００１９】図１〜４に示す第１実施例の位置決め収納
装置は、薄板状のワークとしてのガラス基板Ｗを９枚収
納可能な収納カセットＣ１であり、基板１の上方に天板
２が配置されて、基板１と天板２とが、左右片側に３本
ずつ配置されて、計６本となる支柱３によって連結され
ている。
装置は、薄板状のワークとしてのガラス基板Ｗを９枚収
納可能な収納カセットＣ１であり、基板１の上方に天板
２が配置されて、基板１と天板２とが、左右片側に３本
ずつ配置されて、計６本となる支柱３によって連結され
ている。
【００２０】各支柱３の内側面には、それぞれ、ガラス
基板Ｗを支持するために、斜め上方に突出する９個の支
持片４が突設されている。
基板Ｗを支持するために、斜め上方に突出する９個の支
持片４が突設されている。
【００２１】また、基板１の左右両側の前後の部位に
は、第１ロッド５が４本立設されている。
は、第１ロッド５が４本立設されている。
【００２２】これらの第１ロッド５は、基板１に接触す
る基部６と、基部６から上方へ延びる支持杆部７と、か
ら構成され、基部６の下面と基板１とには、あり６ａと
あり溝１ａとが形成されて（図２参照）、各第１ロッド
５が、収納カセットＣ１の内側へ移動する際に案内され
るように、構成されている。さらに、基部６の上面に
は、収納カセットＣ１の内側へ向かう方向に配置される
ラック６ｂが形成されており、各ラック６ｂには、駆動
モータ９の駆動軸９ａに固着されたピニオン１０が噛合
している。
る基部６と、基部６から上方へ延びる支持杆部７と、か
ら構成され、基部６の下面と基板１とには、あり６ａと
あり溝１ａとが形成されて（図２参照）、各第１ロッド
５が、収納カセットＣ１の内側へ移動する際に案内され
るように、構成されている。さらに、基部６の上面に
は、収納カセットＣ１の内側へ向かう方向に配置される
ラック６ｂが形成されており、各ラック６ｂには、駆動
モータ９の駆動軸９ａに固着されたピニオン１０が噛合
している。
【００２３】これらの各第１ロッド５の支持杆部７に
は、ガラス基板Ｗの左右の端部を押圧可能に、センタリ
ングロッド８が突設されている。
は、ガラス基板Ｗの左右の端部を押圧可能に、センタリ
ングロッド８が突設されている。
【００２４】なお、左右で対向するセンタリングロッド
８は、それらの先端８ａを、駆動モータ９の作動によ
り、相互に接近させた際、２つの先端８ａ・８ａの間の
中心が、左右で対向する支持片４間の中心位置と一致
し、また、先端８ａ・８ａ相互の間隔が、収納するガラ
ス基板Ｗの左右方向の幅寸法と一致するように構成され
ている。
８は、それらの先端８ａを、駆動モータ９の作動によ
り、相互に接近させた際、２つの先端８ａ・８ａの間の
中心が、左右で対向する支持片４間の中心位置と一致
し、また、先端８ａ・８ａ相互の間隔が、収納するガラ
ス基板Ｗの左右方向の幅寸法と一致するように構成され
ている。
【００２５】そして、第１実施例の収納カセットＣ１に
は、支柱３や第１ロッド５と干渉しない位置における基
板１の左右両側の前後の部位に、第２ロッド１１が４本
立設されている。
は、支柱３や第１ロッド５と干渉しない位置における基
板１の左右両側の前後の部位に、第２ロッド１１が４本
立設されている。
【００２６】これらの第２ロッド１１は、基板１に固定
される基部１２と、基部１２から上方へ延びる支持杆部
１３と、から構成され、各支持杆部１３には、上下動可
能に昇降ロッド１４が保持されている。これらの支持杆
部１３には、上下方向に延びるあり溝１３ａが形成さ
れ、昇降ロッド１４には、あり溝１３ａに対応するあり
１４ａが形成されている（図３参照）。
される基部１２と、基部１２から上方へ延びる支持杆部
１３と、から構成され、各支持杆部１３には、上下動可
能に昇降ロッド１４が保持されている。これらの支持杆
部１３には、上下方向に延びるあり溝１３ａが形成さ
れ、昇降ロッド１４には、あり溝１３ａに対応するあり
１４ａが形成されている（図３参照）。
【００２７】また、各昇降ロッド１４には、ラック１４
ｂが上下方向に形成され、各ラック１４ｂには、駆動モ
ータ１６の駆動軸１６ａに固着されたピニオン１７が噛
合している。
ｂが上下方向に形成され、各ラック１４ｂには、駆動モ
ータ１６の駆動軸１６ａに固着されたピニオン１７が噛
合している。
【００２８】なお、各駆動モータ９・１６は、減速機を
内蔵させた可逆モータであり、それぞれ、基板１に固定
されている。
内蔵させた可逆モータであり、それぞれ、基板１に固定
されている。
【００２９】そして、各昇降ロッド１４におけるカセッ
トＣ１の内側の面には、本体１５ａに回動自在のローラ
１５ｂを上方へ突出させて保持した９本の押上片１５が
突設されている。各ローラ１５ｂは、その回転軸の方向
を、カセットＣ１の前後方向における水平方向に配置さ
せている。なお、各ローラ１５ｂは、円板状のものでな
くとも、任意の方向に回動自在に本体１５ａに支持され
れば、球状のものを使用しても良い。
トＣ１の内側の面には、本体１５ａに回動自在のローラ
１５ｂを上方へ突出させて保持した９本の押上片１５が
突設されている。各ローラ１５ｂは、その回転軸の方向
を、カセットＣ１の前後方向における水平方向に配置さ
せている。なお、各ローラ１５ｂは、円板状のものでな
くとも、任意の方向に回動自在に本体１５ａに支持され
れば、球状のものを使用しても良い。
【００３０】これらの押上片１５は、駆動モータ１６の
作動による昇降ロッド１４の上下動により、配置させた
ローラ１５ｂを、各支持片４の下方位置から上方位置ま
での範囲で、上下動させることとなる。
作動による昇降ロッド１４の上下動により、配置させた
ローラ１５ｂを、各支持片４の下方位置から上方位置ま
での範囲で、上下動させることとなる。
【００３１】この第１実施例の収納カセットＣ１では、
水平方向の左右で対向する９組の支持片４上にガラス基
板Ｗを載置させた後、各ガラス基板Ｗのセンタリングを
行なう際には、まず、駆動モータ１６を作動させて、４
本の昇降ロッド１４を上昇させる。
水平方向の左右で対向する９組の支持片４上にガラス基
板Ｗを載置させた後、各ガラス基板Ｗのセンタリングを
行なう際には、まず、駆動モータ１６を作動させて、４
本の昇降ロッド１４を上昇させる。
【００３２】すると、各ガラス基板Ｗの左右の端部下方
に配置されていた各押上片１５のローラ１５ｂが、支持
片４の下方から上方へ上昇し、図４に示すように、各ガ
ラス基板Ｗの左右の端部を、各支持片４の頂部４ａの上
方位置へ離脱させることとなる。
に配置されていた各押上片１５のローラ１５ｂが、支持
片４の下方から上方へ上昇し、図４に示すように、各ガ
ラス基板Ｗの左右の端部を、各支持片４の頂部４ａの上
方位置へ離脱させることとなる。
【００３３】その後、駆動モータ９を作動させて、各第
１ロッド５を収納カセットＣ１の中央側に移動させ、各
センタリングロッド８によって、各ガラス基板Ｗのセン
タリングを行なう。
１ロッド５を収納カセットＣ１の中央側に移動させ、各
センタリングロッド８によって、各ガラス基板Ｗのセン
タリングを行なう。
【００３４】その際、各ガラス基板Ｗは、各押上片１５
のローラ１５ｂを回転させて滑ることから、ガラス基板
Ｗが大きくかつ薄くなって撓み易くとも、破損等を招く
ことなく円滑にセンタリングされることとなる。
のローラ１５ｂを回転させて滑ることから、ガラス基板
Ｗが大きくかつ薄くなって撓み易くとも、破損等を招く
ことなく円滑にセンタリングされることとなる。
【００３５】そして、センタリングが終了すれば、駆動
モータ９・１６を作動させて、各センタリングロッド８
を復帰させるとともに、各昇降ロッド１４を下降させ
て、各押上片１５のローラ１５ｂを支持片４の下方位置
に復帰させ、各ガラス基板Ｗの左右の端部下面を各支持
片４で支持させれば良い。
モータ９・１６を作動させて、各センタリングロッド８
を復帰させるとともに、各昇降ロッド１４を下降させ
て、各押上片１５のローラ１５ｂを支持片４の下方位置
に復帰させ、各ガラス基板Ｗの左右の端部下面を各支持
片４で支持させれば良い。
【００３６】第２実施例の収納カセットＣ２は、図５・
６に示すように、第１実施例の収納カセットＣ１と同様
に、基板１・天板２・支柱３・支持片４・第１ロッド５
・センタリングロッド８・駆動モータ９を備えて構成さ
れている。
６に示すように、第１実施例の収納カセットＣ１と同様
に、基板１・天板２・支柱３・支持片４・第１ロッド５
・センタリングロッド８・駆動モータ９を備えて構成さ
れている。
【００３７】そして、このカセットＣ２は、ガラス基板
Ｗを押上げる押上部材として、鉛直方向に回転軸２３を
配置させて水平面上の回転面２１ａを備える回転板２１
から構成されている。
Ｗを押上げる押上部材として、鉛直方向に回転軸２３を
配置させて水平面上の回転面２１ａを備える回転板２１
から構成されている。
【００３８】なお、この実施例の場合には、９個の回転
板２１が共通する回転軸２３により、上下方向に配置さ
れており、４本の回転軸２３は、収納したガラス基板Ｗ
と干渉しない位置に配置され、元部側を、基板１に固定
された駆動モータ２４の駆動軸２４ａに直結させてい
る。
板２１が共通する回転軸２３により、上下方向に配置さ
れており、４本の回転軸２３は、収納したガラス基板Ｗ
と干渉しない位置に配置され、元部側を、基板１に固定
された駆動モータ２４の駆動軸２４ａに直結させてい
る。
【００３９】各回転板２１は、回転面、すなわち、上面
２１ａを、各支持片４の頂部４ａの下方に配置させるよ
うに、回転軸２３に固定されており（図８参照）、さら
に、その上面２１ａにおける回転板２１の回転時にガラ
ス基板Ｗの左右の縁下方に侵入・離脱する位置に、半球
状の押上突起２２を突設させている（図７参照）。押上
突起２２の頂部２２ａの高さは、支持片４の頂部４ａよ
り高くなるように設定されている（図８参照）。
２１ａを、各支持片４の頂部４ａの下方に配置させるよ
うに、回転軸２３に固定されており（図８参照）、さら
に、その上面２１ａにおける回転板２１の回転時にガラ
ス基板Ｗの左右の縁下方に侵入・離脱する位置に、半球
状の押上突起２２を突設させている（図７参照）。押上
突起２２の頂部２２ａの高さは、支持片４の頂部４ａよ
り高くなるように設定されている（図８参照）。
【００４０】この第２実施例の収納カセットＣ２では、
水平方向の左右で対向する９組の支持片４上にガラス基
板Ｗを載置させた後、各ガラス基板Ｗのセンタリングを
行なう際には、まず、駆動モータ２４を作動させて、４
本の回転軸２３を回転させる。なお、収納カセットＣ２
にガラス基板Ｗを収納した当初には、各回転板２１の押
上突起２２は、各ガラス基板Ｗの左右の縁の下方から離
脱した位置に待機させておく。
水平方向の左右で対向する９組の支持片４上にガラス基
板Ｗを載置させた後、各ガラス基板Ｗのセンタリングを
行なう際には、まず、駆動モータ２４を作動させて、４
本の回転軸２３を回転させる。なお、収納カセットＣ２
にガラス基板Ｗを収納した当初には、各回転板２１の押
上突起２２は、各ガラス基板Ｗの左右の縁の下方から離
脱した位置に待機させておく。
【００４１】すると、各回転軸２３の回転に伴ない、各
ガラス基板Ｗの左右の縁の下方から離脱していた各回転
板２１の押上突起２２が、各ガラス基板Ｗの左右の縁下
方へ侵入するため、図７・８に示すように、各ガラス基
板Ｗが押上突起２２に押上げられ、各ガラス基板Ｗの左
右の端部が、各支持片４の頂部４ａの上方位置へ離脱す
ることとなる。
ガラス基板Ｗの左右の縁の下方から離脱していた各回転
板２１の押上突起２２が、各ガラス基板Ｗの左右の縁下
方へ侵入するため、図７・８に示すように、各ガラス基
板Ｗが押上突起２２に押上げられ、各ガラス基板Ｗの左
右の端部が、各支持片４の頂部４ａの上方位置へ離脱す
ることとなる。
【００４２】ついで、駆動モータ９を作動させて、各第
１ロッド５を収納カセットＣ２の中央側に移動させ、各
センタリングロッド８によって、各ガラス基板Ｗのセン
タリングを行なう。
１ロッド５を収納カセットＣ２の中央側に移動させ、各
センタリングロッド８によって、各ガラス基板Ｗのセン
タリングを行なう。
【００４３】その際、各ガラス基板Ｗは、押上突起２２
の摩擦抵抗の少ない頂部２２ａを滑ることから、ガラス
基板Ｗが大きくかつ薄くなって撓み易くとも、破損等を
招くことなく円滑にセンタリングされることとなる。
の摩擦抵抗の少ない頂部２２ａを滑ることから、ガラス
基板Ｗが大きくかつ薄くなって撓み易くとも、破損等を
招くことなく円滑にセンタリングされることとなる。
【００４４】なお、各センタリングロッド８の移動は、
各回転板２１が回転移動している時に行なわれることが
望ましい。なぜなら、押上突起２２が、ガラス基板Ｗの
左右の縁下面を摺動しており、ガラス基板Ｗと押上突起
２２との摩擦抵抗が静止摩擦抵抗で無く動摩擦抵抗とな
っており、一層、摩擦抵抗が小さい状態となるため、こ
の時に、センタリングロッド８によってセンタリングす
れば、円滑に押上突起２２上をガラス基板Ｗが滑るから
である。
各回転板２１が回転移動している時に行なわれることが
望ましい。なぜなら、押上突起２２が、ガラス基板Ｗの
左右の縁下面を摺動しており、ガラス基板Ｗと押上突起
２２との摩擦抵抗が静止摩擦抵抗で無く動摩擦抵抗とな
っており、一層、摩擦抵抗が小さい状態となるため、こ
の時に、センタリングロッド８によってセンタリングす
れば、円滑に押上突起２２上をガラス基板Ｗが滑るから
である。
【００４５】そして、センタリングが終了した後、駆動
モータ９を作動させてセンタリングロッド８を復帰させ
るとともに、各回転板２１の押上突起２２を各ガラス基
板Ｗの左右の縁から離脱させれば、各ガラス基板Ｗが下
降し、ガラス基板Ｗの左右の端部が各支持片４で支持さ
れることとなる。
モータ９を作動させてセンタリングロッド８を復帰させ
るとともに、各回転板２１の押上突起２２を各ガラス基
板Ｗの左右の縁から離脱させれば、各ガラス基板Ｗが下
降し、ガラス基板Ｗの左右の端部が各支持片４で支持さ
れることとなる。
【００４６】したがって、第１・２実施例の収納カセッ
トＣ１・Ｃ２では、押上片１５や回転板２１が、センタ
リング時、ガラス基板Ｗの左右端部を支持片４から離脱
させて水平方向に移動可能に支持するため、ガラス基板
Ｗが、大きくかつ薄くてその中央を下方へ撓ませ易くと
も、押上片１５や回転板２１によって滑り、円滑に、ガ
ラス基板Ｗを所定位置に配置させることとなって、ガラ
ス基板Ｗが大きくかつ薄くなって撓み易くとも、破損等
を招くことなく円滑にセンタリングを行なって、収納す
ることができる。
トＣ１・Ｃ２では、押上片１５や回転板２１が、センタ
リング時、ガラス基板Ｗの左右端部を支持片４から離脱
させて水平方向に移動可能に支持するため、ガラス基板
Ｗが、大きくかつ薄くてその中央を下方へ撓ませ易くと
も、押上片１５や回転板２１によって滑り、円滑に、ガ
ラス基板Ｗを所定位置に配置させることとなって、ガラ
ス基板Ｗが大きくかつ薄くなって撓み易くとも、破損等
を招くことなく円滑にセンタリングを行なって、収納す
ることができる。
【００４７】なお、第１・２実施例では、９枚のガラス
基板Ｗを収納させるように構成したものを示したが、１
枚のワークを収納させるようにしても良く、さらに多数
のワークを収納させるように構成しても良い。
基板Ｗを収納させるように構成したものを示したが、１
枚のワークを収納させるようにしても良く、さらに多数
のワークを収納させるように構成しても良い。
【００４８】そして勿論、各実施例では、ガラス基板Ｗ
を位置決めして収納する収納カセットＣ１・Ｃ２を例と
して説明したが、他のワークを収納する装置に本発明を
利用しても良く、さらに、カセットとしてでは無く、他
のワークを収納する装置に本発明を一体的に組み合せる
ように利用しても良い。
を位置決めして収納する収納カセットＣ１・Ｃ２を例と
して説明したが、他のワークを収納する装置に本発明を
利用しても良く、さらに、カセットとしてでは無く、他
のワークを収納する装置に本発明を一体的に組み合せる
ように利用しても良い。
【図１】本発明の第１実施例の収納カセットの正面図で
ある。
ある。
【図２】同実施例の側面図である。
【図３】同実施例の平面図である。
【図４】同実施例の使用態様を示す断面図である。
【図５】第２実施例の収納カセットを示す平面図であ
る。
る。
【図６】同実施例の側面図である。
【図７】同実施例の回転板の回転状態を示す斜視図であ
る。
る。
【図８】同実施例の使用態様を示す断面図である。
４…支持片、 ８…センタリングロッド、 １５…（押上部材）押上片、 ２１…（押上部材）回転板、 ２２…押上突起、 Ｗ…（ワーク）ガラス基板、 Ｃ１・Ｃ２…（位置決め収納装置）収納カセット。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０２Ｆ 1/1333 ５００ Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｔ
Claims (3)
- 【請求項１】 薄板状のワークの左右の端部下面を支持
する左右の支持片と、 該左右の支持片の上方に配置されて、前記ワークの左右
の端部をワーク中心側へ水平方向に押圧可能として、前
記ワークの中心を所定位置に配置させるセンタリングロ
ッドと、 を備えてなる薄板状ワークの位置決め収納装置であっ
て、 前記ワークの左右の端部下方における前記支持片と干渉
しない位置に、前記ワークの左右の端部を前記各支持片
より上方に押上可能で、かつ、前記ワークの左右の端部
を水平方向に移動可能に支持可能な、押上部材が配置さ
れていることを特徴とする薄板状ワークの位置決め収納
装置。 - 【請求項２】 前記押上部材が、回動自在なローラを上
方へ突出させて支持する押上片から構成されていること
を特徴とする請求項１記載の薄板状ワークの位置決め収
納装置。 - 【請求項３】 前記押上部材が、鉛直方向に回転軸を配
置させて水平面上の回転面を備える回転板から構成さ
れ、 該回転板の上面における回転板の回転時に前記ワークの
左右の縁下方に侵入・離脱する位置に、半球状の押上突
起が配設されていることを特徴とする請求項１記載の薄
板状ワークの位置決め収納装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24980994A JPH08113284A (ja) | 1994-10-14 | 1994-10-14 | 薄板状ワークの位置決め収納装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24980994A JPH08113284A (ja) | 1994-10-14 | 1994-10-14 | 薄板状ワークの位置決め収納装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08113284A true JPH08113284A (ja) | 1996-05-07 |
Family
ID=17198534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24980994A Withdrawn JPH08113284A (ja) | 1994-10-14 | 1994-10-14 | 薄板状ワークの位置決め収納装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08113284A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011053503A (ja) * | 2009-09-03 | 2011-03-17 | Fuk:Kk | 板状部材貼り合せ装置 |
| JP2014116492A (ja) * | 2012-12-11 | 2014-06-26 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器 |
| CN106483691A (zh) * | 2016-12-28 | 2017-03-08 | 武汉华星光电技术有限公司 | 基板对位机构 |
| CN107367857A (zh) * | 2017-07-13 | 2017-11-21 | 武汉华星光电技术有限公司 | 对位装置 |
| JP2018104099A (ja) * | 2018-02-26 | 2018-07-05 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板移動規制装置、及びガラス物品の製造方法 |
-
1994
- 1994-10-14 JP JP24980994A patent/JPH08113284A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011053503A (ja) * | 2009-09-03 | 2011-03-17 | Fuk:Kk | 板状部材貼り合せ装置 |
| JP2014116492A (ja) * | 2012-12-11 | 2014-06-26 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器 |
| CN106483691A (zh) * | 2016-12-28 | 2017-03-08 | 武汉华星光电技术有限公司 | 基板对位机构 |
| CN106483691B (zh) * | 2016-12-28 | 2019-12-10 | 武汉华星光电技术有限公司 | 基板对位机构 |
| CN107367857A (zh) * | 2017-07-13 | 2017-11-21 | 武汉华星光电技术有限公司 | 对位装置 |
| CN107367857B (zh) * | 2017-07-13 | 2020-07-28 | 武汉华星光电技术有限公司 | 对位装置 |
| JP2018104099A (ja) * | 2018-02-26 | 2018-07-05 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板移動規制装置、及びガラス物品の製造方法 |
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|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020115 |