JP2003292152A - 枚葉基板の収納方法及び収納装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 移載時には必要な支持部材同士の間隔を確保
し、常時は狭い棚ピッチとすることにより、収納効率の
良い高密度の枚葉基板の収納方法を提供する。 【解決手段】昇降可能に支持された支持部材２と、支持
部材２を所定の位置に保持するストッパーと、ストッパ
ーを解除するとともに支持部材２を選択的に昇降させる
昇降機構６とを設け、少なくとも枚葉基板１を取り出そ
うとする任意の支持部材２を上昇させるとともに、該支
持部材２の下の支持部材２を下降させ、これら昇降した
支持部材２の間にハンドを挿入し、前記任意の支持部材
２をハンドより下に下降させることにより枚葉基板１を
ハンドに移載し、ハンドの抜き出し後に各支持部材２を
元の位置に復帰させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は液晶基板等の枚葉基
板を相互に接触させずに積載収納する枚葉基板の収納方
法及び収納装置に関し、特に大型の液晶基板等を高密度
に積載収納する枚葉基板の収納方法及び収納装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、枚葉基板を収納するカセットは、
液晶基板等を互いに接触せずに積載収納し、製造装置間
を移動したり、或いは、バッファの役目をするストッカ
に収納されるもので、基板の収納枚数は多いことが望ま
れている。また、ストッカも枚葉基板を相互に接触せず
に積載収納するものであるが、基板の収納枚数は多いこ
とが望まれている。これらの収納装置への枚葉基板の移
載は、従来、２本のアームを持つＵ字形のフォークで行
っていたが、この２本アームのフォークでは、液晶基板
が大きくなると基板を支持するスパンも大きくなり、移
載中及び収納装置内で保持しているときの基板撓みが１
０ｍｍを超える大きなものとなり、各種の処理を受けた
基板が内部歪によって損傷することになる。

【０００３】このような事態を避けるために、図９〜図
１０に示すように、フィッシュボーン形状をしたハンド
４と、片持で基板１を支持するように装置本体の両側か
ら張り出した支持部材２とを備えた収納装置が提案され
ている。支持部材２は、先端同士の間に所定の間隔を有
して対向するように配設された櫛歯状のものからなり、
フレーム２２に固定されている。また、ハンド４は、ハ
ンド４の昇降位置で、並列する支持部材２の間に位置す
る複数の幅方向の横ハンド支持部４１と、対向する支持
部材２の間に位置し、前記横ハンド支持部４１を連結す
る長さ方向の縦ハンド支持部４２とにより構成されてい
る。このハンド４と支持部材２で基板１を支持すること
により、基板１を小さいスパンで支持することができ、
これにより、基板１の撓みを、例えば１ｍｍ以下のよう
に小さく抑えることができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このフ
ィッシュボーン型のハンドや片持式の支持部材は、基部
からの突出量が長いことから、基板の撓みを小さくする
にはある程度の厚みが必要となり、基板がさらに大きく
なると、ハンドや支持部材の突出量が増えることから、
剛性を確保するために益々その厚みが大きくならざるを
得なくなる。その結果、支持部材同士の上下間隔、すな
わち棚ピッチが、通常の収納装置の倍近くなる。これ
は、基板の収納枚数が半減するということであり、収納
枚数を同じとすれば、高さが２倍の巨大な収納装置とな
ることから、収納密度が低いものにならざるを得なかっ
た。

【０００５】本発明は、上記従来の枚葉基板の収納装置
が有する問題点に鑑み、移載時には必要な支持部材同士
の間隔を確保し、常時は狭い棚ピッチとすることによ
り、収納効率の良い高密度の枚葉基板の収納方法及び収
納装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本第１発明の枚葉基板の収納方法は、枚葉基板を支
持する支持部材を、収納装置本体の両側に上下に複数段
配設し、収納装置本体に挿入した移載機のハンドにより
枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の収納方法におい
て、昇降可能に支持された支持部材と、該支持部材を所
定の位置に保持するストッパーと、該ストッパーを解除
するとともに前記支持部材を選択的に昇降させる昇降機
構とを設け、少なくとも枚葉基板を取り出そうとする任
意の支持部材を上昇させるとともに、該支持部材の下の
支持部材を下降させ、これら昇降した支持部材の間にハ
ンドを挿入し、前記任意の支持部材をハンドより下に下
降させることにより枚葉基板をハンドに移載し、ハンド
の抜き出し後に各支持部材を元の位置に復帰させること
を特徴とする。

【０００７】この枚葉基板の収納方法は、昇降可能に支
持された支持部材と、該支持部材を所定の位置に保持す
るストッパーと、該ストッパーを解除するとともに前記
支持部材を選択的に昇降させる昇降機構とを設け、少な
くとも枚葉基板を取り出そうとする任意の支持部材を上
昇させるとともに、該支持部材の下の支持部材を下降さ
せ、これら昇降した支持部材の間にハンドを挿入し、前
記任意の支持部材をハンドより下に下降させることによ
り枚葉基板をハンドに移載し、ハンドの抜き出し後に各
支持部材を元の位置に復帰させることから、収納装置か
ら枚葉基板を取り出すときには必要な支持部材同士の間
隔を確保し、常時は狭い棚ピッチとすることができ、こ
れにより、収納装置を格段に収納効率の良い高密度なも
のとすることができる。

【０００８】また、同じ目的を達成するため、本第２発
明の枚葉基板の収納方法は、枚葉基板を支持する支持部
材を、収納装置本体の両側に上下に複数段配設し、収納
装置本体に挿入した移載機のハンドにより枚葉基板の出
し入れを行う枚葉基板の収納方法において、昇降可能に
支持された支持部材と、該支持部材を所定の位置に保持
するストッパーと、該ストッパーを解除するとともに前
記支持部材を選択的に昇降させる昇降機構とを設け、少
なくとも枚葉基板を挿入しようとする任意の支持部材と
該支持部材の下の支持部材とを下降させるとともに、下
降した任意の支持部材の上に枚葉基板を支持したハンド
を挿入し、該任意の支持部材をハンドより上に上昇させ
ることにより枚葉基板を支持部材に移載し、ハンドの抜
き出し後に各支持部材を元の位置に復帰させることを特
徴とする。

【０００９】この枚葉基板の収納方法は、昇降可能に支
持された支持部材と、該支持部材を所定の位置に保持す
るストッパーと、該ストッパーを解除するとともに前記
支持部材を選択的に昇降させる昇降機構とを設け、少な
くとも枚葉基板を挿入しようとする任意の支持部材と該
支持部材の下の支持部材とを下降させるとともに、下降
した任意の支持部材の上に枚葉基板を支持したハンドを
挿入し、該任意の支持部材をハンドより上に上昇させる
ことにより枚葉基板を支持部材に移載し、ハンドの抜き
出し後に各支持部材を元の位置に復帰させることから、
収納装置に枚葉基板を挿入するときには必要な支持部材
同士の間隔を確保し、常時は狭い棚ピッチとすることが
でき、これにより、収納装置を格段に収納効率の良い高
密度なものとすることができる。

【００１０】この場合において、前記任意の支持部材と
共に上段の支持部材を上昇させることができる。

【００１１】これにより、ハンドの挿入に必要な支持部
材同士の間隔を大きく確保することができる。

【００１２】さらに、同じ目的を達成するため、本発明
の枚葉基板の収納装置は、枚葉基板を支持する支持部材
を、収納装置本体の両側に上下に複数段配設し、収納装
置本体に挿入した移載機のハンドにより枚葉基板の出し
入れを行うようにした枚葉基板の収納装置において、昇
降可能に支持された支持部材と、該支持部材を所定の位
置に保持するストッパーと、該ストッパーを解除すると
ともに前記支持部材を選択的に昇降させる昇降機構とを
備え、該昇降機構が、支持部材の基部を摺動可能に嵌挿
する複数のガイド溝を備え、かつ回転することによりガ
イド溝に嵌挿した支持部材を昇降させる回転ローラと、
該回転ローラを支持部材に係脱可能に進退させる横移動
装置と、該回転ローラを昇降させる縦移動装置とを備え
たことを特徴とする。

【００１３】この枚葉基板の収納装置は、昇降可能に支
持された支持部材と、該支持部材を所定の位置に保持す
るストッパーと、該ストッパーを解除するとともに前記
支持部材を選択的に昇降させる昇降機構とを備え、該昇
降機構が、支持部材の基部を摺動可能に嵌挿する複数の
ガイド溝を備え、かつ回転することによりガイド溝に嵌
挿した支持部材を昇降させる回転ローラと、該回転ロー
ラを支持部材に係脱可能に進退させる横移動装置と、該
回転ローラを昇降させる縦移動装置とを備えることか
ら、収納装置から枚葉基板を取り出すときには、枚葉基
板を取り出そうとする任意の支持部材を上昇させるとと
もに、該支持部材の下の支持部材を下降させた後、任意
の支持部材を挿入されたハンドより下に下降させること
により枚葉基板をハンドに移載し、ハンドの抜き出し後
に各支持部材を元の位置に復帰させることができ、これ
により、収納装置から枚葉基板を取り出すときには必要
な支持部材同士の間隔を確保し、常時は狭い棚ピッチと
することができる。そして、収納装置に枚葉基板を挿入
するときには、枚葉基板を挿入しようとする任意の支持
部材と該支持部材の下の支持部材とを下降させた後、任
意の支持部材を挿入されたハンドより上に上昇させるこ
とにより枚葉基板を支持部材に移載し、ハンドの抜き出
し後に各支持部材を元の位置に復帰させることができ、
これにより、収納装置に枚葉基板を挿入するときには必
要な支持部材同士の間隔を確保し、常時は狭い棚ピッチ
とすることができる。

【００１４】この場合において、前記昇降機構が、任意
の支持部材と共に上段の支持部材を上昇させることがで
きる。

【００１５】これにより、ハンドの挿入に必要な支持部
材同士の間隔を大きく確保することができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の枚葉基板の収納方
法及び収納装置の実施の形態を図面に基づいて説明す
る。

【００１７】図１〜図６に、本発明の枚葉基板のカセッ
ト収納装置の一実施例を示す。この枚葉基板のカセット
収納装置は、枚葉基板１を支持する支持部材２を、収納
装置本体３の両側に上下に複数段配設し、収納装置本体
３に挿入した移載機のハンド４により枚葉基板１の出し
入れを行うようになっている。そして、このカセット収
納装置は、かかる構成を基本として、昇降可能に支持さ
れた支持部材２と、該支持部材２を所定の位置に保持す
るストッパー５と、該ストッパー５を解除するとともに
前記支持部材２を選択的に昇降させる昇降機構６とを備
えている。昇降機構６は、支持部材２の基部を摺動可能
に嵌挿する複数のガイド溝７１を備え、かつ回転するこ
とによりガイド溝７１に嵌挿した支持部材２を昇降させ
る回転ローラ７と、該回転ローラ７を支持部材２に係脱
可能に進退させる横移動装置８と、該回転ローラ７を昇
降させる縦移動装置９とを備えている。

【００１８】支持部材２は、図２に示すように、先端同
士の間に所定の間隔を有して対向するように配設された
櫛歯状のものからなり、基部２ａが枠体となって一体化
されている。この支持部材２は、ＬＭナット２１を介し
て、カセットフレーム２２に固定されたリニアガイド２
３により上下方向に移動可能となっている。この支持部
材２は、移載時以外は、ストッパー５によってカセット
フレーム２２の所定の位置に支持されている。支持部材
２の基部２ａには、幅方向のほぼ中央部にガイドローラ
２４が取り付けられており、このガイドローラ２４は、
移載作業中に回転ローラ７のガイド溝７１に嵌挿され
る。

【００１９】移載機（図示省略）のハンド４は、図２に
示すように、ハンド４の昇降位置で、並列する支持部材
２の間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部４１
と、対向する支持部材２の間に位置し、前記横ハンド支
持部４１を連結する長さ方向の縦ハンド支持部４２とに
より構成されている。

【００２０】ストッパー５は、図２に示すように、内装
されたバネにより付勢された状態で、支持部材２の基部
２ａからカセットフレーム２２側に突出するように設け
られており、カセットフレーム２２に設けられた受け部
に係止することにより、支持部材２を所定の高さに支持
するとともに、押し込まれて退入することにより、受け
部との係止状態を解除することができる。

【００２１】回転ローラ７は、収納装置本体の左右に１
対設けられており、各回転ローラ７には、それぞれが別
の弧を描く３本のガイド溝７１が周方向に形成されてい
る。この回転ローラ７は、横移動装置８のローラフレー
ム８１に支持されており、ローラ用モータ７２によって
正逆方向に回転する。ローラフレーム８１は、横移動装
置の着脱シリンダ８２により昇降フレーム８３内を水平
方向に移動できる構造になっている。また、ローラフレ
ーム８１には、押し棒８４が取り付けられており、回転
ローラ７のガイド溝７１と支持部材２のガイドローラ２
４とが噛み合うときには、この押し棒８４により支持部
材２のストッパー５が押し込まれ、これにより、支持部
材２はカセットフレーム２２による支持から開放され
る。

【００２２】一方、縦移動装置９は、昇降フレーム８３
を介して回転ローラ７を支持し、ＬＭナット９１、昇降
装置フレーム９２、リニアガイド９３、昇降モータ９４
及びボールネジ９５を備えている。昇降フレーム８３
は、ＬＭナット９１を介して、昇降装置フレーム９２に
固定されたリニアガイド９３によって案内され、ボール
ネジ９５の回転により上下に移動する。ボールネジ９５
は、図１に示すように、傘歯車９６と伝導軸９７を介し
て昇降モータ９４により駆動されている。

【００２３】かくして、本実施例のカセット収納装置
は、収納装置から枚葉基板１を取り出すときには、図４
の左半に示すように、枚葉基板１を取り出そうとする任
意の支持部材２ｂとその上の支持部材２ａとを上昇させ
るとともに、任意の支持部材２ｂの下の支持部材２ｃを
下降させた後、これら昇降した支持部材２ａ〜２ｃの間
にハンド４を挿入し、任意の支持部材２ｂを挿入された
ハンド４より下に下降させることにより枚葉基板１をハ
ンド４に移載し、ハンド４の抜き出し後に各支持部材２
ａ〜２ｃを元の位置に復帰させることから、収納装置か
ら枚葉基板１を取り出すときには必要な支持部材２同士
の間隔を確保し、常時は狭い棚ピッチとすることがで
き、これにより、収納装置を格段に収納効率の良い高密
度なものとすることができる。そして、収納装置に枚葉
基板１を挿入するときには、図４の右半に示すように、
枚葉基板１を挿入しようとする任意の支持部材２ｂとそ
の下の支持部材２ｃとを下降させた後、下降した任意の
支持部材２ｂの上に枚葉基板１を支持したハンド４を挿
入し、上の支持部材２ａと共に、任意の支持部材２ｂを
挿入されたハンド４より上に上昇させることにより枚葉
基板１を支持部材２ｂに移載し、ハンド４の抜き出し後
に各支持部材２ａ〜２ｃを元の位置に復帰させることか
ら、収納装置に枚葉基板１を挿入するときには必要な支
持部材２同士の間隔を確保し、常時は狭い棚ピッチとす
ることができ、これにより、収納装置を格段に収納効率
の良い高密度なものとすることができる。

【００２４】次に、実施例のカセット収納装置を用いた
本発明の枚葉基板のカセット収納方法について説明す
る。移載作業中でない通常の基板１の収納状態では、カ
セット収納装置の支持部材２は、狭い棚ピッチでストッ
パー５によりカセットフレーム２２に保持固定されてい
る。また、回転ローラ７も、着脱シリンダ８２により昇
降フレーム８３内で後退しており、回転ローラ７のガイ
ド溝７１は支持部材２のガイドローラ２４とは噛み合っ
ていない状態にある。

【００２５】次に、移載時の動作について説明すると、
まず昇降モータ９４により、昇降フレーム８３が移載す
る支持部材２の高さに上下移動して停止する。そして、
着脱シリンダ８２により、ローラフレーム８１と回転ロ
ーラ７が水平方向に前進移動し、カセット収納装置の両
側において、それぞれ回転ローラ７の３本のガイド溝７
１が３段の支持部材２のガイドローラ２４と噛み合う。
このローラフレーム８１の前進時に、押し棒８４により
支持部材２のストッパー５が押されて退入し、その結
果、支持部材２はカセットフレーム２２による支持から
開放される。ついで、回転ローラ７が、移載作業に対応
して回転し、３段の支持部材２が各自上下に移動し、移
載作業が行われる。移載が終了すると回転ローラ７は後
退し、同時に押し棒８４も後退し、ストッパー５が突出
してカセットフレーム２２に噛み合い、その結果、支持
部材２はカセットフレーム２２に保持固定される。

【００２６】ここで、支持部材２の昇降動作について詳
しく説明すると、回転ローラ７の３本のガイド溝７１
は、図６に示すように、各支持部材２の動作順を示す点
線の形状に形成されており、支持部材２は、回転ローラ
７の一回転で元の高さ位置に復帰する。これを図４〜図
６を参照して説明する。なお、ここで、移載作業中に移
動するのは上中下段の支持部材２ａ、２ｂ、２ｃのみで
あり、基板１を取り出したり挿入したりするのは中段の
支持部材２ｂである。図４に示すように、基板１の「取
り出し」や「挿入」作業中、複数の支持部材２ａ〜２ｃ
が相互に移動することにより、移載作業に必要なハンド
４の挿入スペースが確保できることがわかる。特に、図
５は、１７００×１３５０×０．７ｍｍのサイズの大型
基板１において、本発明による「取り出し」作業での支
持部材２の動作位置寸法を示すが、棚ピッチは２５ｍｍ
でよく、図１０に示すような従来の棚ピッチ６０．５ｍ
ｍに比較して、１／２．４でよいことになり、積載収納
効率が大幅にアップしていることがわかる。図６は、移
動する支持部材２ａ、２ｂ、２ｃの各動作中の高さ位置
の変化を示したもので、「取り出し」の場合は図の左か
ら右へ、「挿入」の場合は図の右から左に沿ってちょう
ど同じ高さ位置に移動することを示している。すなわ
ち、「取り出し」と「挿入」では、支持部材２はちょう
ど逆の順序で移動することになるので、回転ローラ７の
正回転と逆回転が、それぞれ「取り出し」と「挿入」に
対応することになる。

【００２７】以上の移載サイクルが完了すると、支持部
材２は通常の狭いピッチの位置に戻り、収納効率のよい
カセット収納装置を実現することになる。このように、
本実施例の枚葉基板のカセット収納方法及びカセット収
納装置は、内部に収納できる基板１の枚数は２倍以上、
或いは、収納する基板１の数を同じとすれば、カセット
収納装置の高さは半分以下でよいことになり、移載やス
トッカでの収納の省スペースの効果は非常に大きなもの
になる。

【００２８】次に、図７〜図８を参照して、本発明の枚
葉基板のストッカの一実施例を説明する。なお、この実
施例のストッカは、第１実施例のカセット収納装置とほ
ぼ同様の構成を備えるため、第１実施例のカセット収納
装置の図面を一部援用してその構成を説明する。この枚
葉基板のストッカは、枚葉基板１を支持する支持部材２
を、装置本体３の両側に上下に複数段配設し、装置本体
３に挿入した移載機のハンド４により枚葉基板１の出し
入れを行うようになっている。そして、このストッカ
は、かかる構成を基本として、昇降可能に支持された支
持部材２と、該支持部材２を所定の位置に保持するスト
ッパー５と、該ストッパー５を解除するとともに前記支
持部材２を選択的に昇降させる昇降機構６とを備えてい
る。昇降機構６は、支持部材２の基部を摺動可能に嵌挿
する複数のガイド溝７１を備え、かつ回転することによ
りガイド溝７１に嵌挿した支持部材２を昇降させる回転
ローラ７と、該回転ローラ７を支持部材２に係脱可能に
進退させる横移動装置８と、該回転ローラ７を昇降させ
る縦移動装置９とを備えている。

【００２９】支持部材２は、図８に示すように、先端同
士の間に所定の間隔を有して対向するように配設された
櫛歯状のものからなり、基部２ａが枠体となって一体化
されている。この支持部材２は、ＬＭナット２１を介し
て、フレーム２２に固定されたリニアガイド２３により
上下方向に移動可能となっている。この支持部材２は、
移載時以外は、ストッパー５によってフレーム２２の所
定の位置に支持されている。支持部材２の基部２ａに
は、幅方向のほぼ中央部にガイドローラ２４が取り付け
られており、このガイドローラ２４は、移載作業中に回
転ローラ７のガイド溝７１に嵌挿される。

【００３０】移載機（図示省略）のハンド４は、図８に
示すように、ハンド４の昇降位置で、並列する支持部材
２の間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部４１
と、対向する支持部材２の間に位置し、前記横ハンド支
持部４１を連結する長さ方向の縦ハンド支持部４２とに
より構成されている。

【００３１】ストッパー５は、図８に示すように、内装
されたバネにより付勢された状態で、支持部材２の基部
２ａからフレーム２２側に突出するように設けられてお
り、フレーム２２に設けられた受け部に係止することに
より、支持部材２を所定の高さに支持するとともに、押
し込まれて退入することにより、受け部との係止状態を
解除することができる。

【００３２】回転ローラ７は、装置本体の左右に１対設
けられており、各回転ローラ７には、それぞれが別の弧
を描く３本のガイド溝７１が周方向に形成されている。
この回転ローラ７は、横移動装置８のローラフレーム８
１に支持されており、ローラ用モータ７２によって正逆
方向に回転する。ローラフレーム８１は、横移動装置の
着脱シリンダ８２により昇降フレーム８３内を水平方向
に移動できる構造になっている。また、ローラフレーム
８１には、押し棒８４が取り付けられており、回転ロー
ラ７のガイド溝７１と支持部材２のガイドローラ２４と
が噛み合うときには、この押し棒８４により支持部材２
のストッパー５が押し込まれ、これにより、支持部材２
はフレーム２２による支持から開放される。

【００３３】一方、縦移動装置９は、昇降フレーム８３
を介して回転ローラ７を支持し、ＬＭナット９１、昇降
装置フレーム９２、リニアガイド９３、昇降モータ９４
及びボールネジ９５を備えている。昇降フレーム８３
は、ＬＭナット９１を介して、昇降装置フレーム９２に
固定されたリニアガイド９３によって案内され、ボール
ネジ９５の回転により上下に移動する。ボールネジ９５
は、図７に示すように、傘歯車９６と伝導軸９７を介し
て昇降モータ９４により駆動されている。

【００３４】かくして、本実施例のストッカは、ストッ
カから枚葉基板１を取り出すときには、図４の左半に示
すように、枚葉基板１を取り出そうとする任意の支持部
材２ｂとその上の支持部材２ａとを上昇させるととも
に、任意の支持部材２ｂの下の支持部材２ｃを下降させ
た後、これら昇降した支持部材２ａ〜２ｃの間にハンド
４を挿入し、任意の支持部材２ｂを挿入されたハンド４
より下に下降させることにより枚葉基板１をハンド４に
移載し、ハンド４の抜き出し後に各支持部材２ａ〜２ｃ
を元の位置に復帰させることから、ストッカから枚葉基
板１を取り出すときには必要な支持部材２同士の間隔を
確保し、常時は狭い棚ピッチとすることができ、これに
より、ストッカを格段に収納効率の良い高密度なものと
することができる。そして、ストッカに枚葉基板１を挿
入するときには、図４の右半に示すように、枚葉基板１
を挿入しようとする任意の支持部材２ｂとその下の支持
部材２ｃとを下降させた後、下降した任意の支持部材２
ｂの上に枚葉基板１を支持したハンド４を挿入し、上の
支持部材２ａと共に、任意の支持部材２ｂを挿入された
ハンド４より上に上昇させることにより枚葉基板１を支
持部材２ｂに移載し、ハンド４の抜き出し後に各支持部
材２ａ〜２ｃを元の位置に復帰させることから、ストッ
カに枚葉基板１を挿入するときには必要な支持部材２同
士の間隔を確保し、常時は狭い棚ピッチとすることがで
き、これにより、ストッカを格段に収納効率の良い高密
度なものとすることができる。

【００３５】次に、実施例のストッカを用いた本発明の
枚葉基板の収納方法について説明する。移載作業中でな
い通常の基板１の収納状態では、ストッカの支持部材２
は、狭い棚ピッチでストッパー５によりフレーム２２に
保持固定されている。また、回転ローラ７も、着脱シリ
ンダ８２により昇降フレーム８３内で後退しており、回
転ローラ７のガイド溝７１は支持部材２のガイドローラ
２４とは噛み合っていない状態にある。

【００３６】次に、移載時の動作について説明すると、
まず昇降モータ９４により、昇降フレーム８３が移載す
る棚の位置に上下移動して停止する。そして、着脱シリ
ンダ８２により、ローラフレーム８１と回転ローラ７が
水平方向に前進移動し、ストッカの両側で、それぞれ回
転ローラ７の３本のガイド溝７１が３段の支持部材２の
ガイドローラ２４と噛み合う。このローラフレーム８１
の前進時に、押し棒８４によりストッパー５が押されて
退入し、その結果、支持部材２はフレーム２２による支
持から開放される。ついで、回転ローラ７が、移載作業
に対応して回転し、３段の支持部材２が各自上下に移動
し、移載作業が行われる。移載が終了すると回転ローラ
７は後退し、同時に押し棒８４も後退し、ストッパー５
が突出してフレーム２２に噛み合い、その結果、支持部
材２はフレーム２２に保持固定される。

【００３７】ここで、支持部材２の昇降動作について説
明すると、回転ローラ７の３本のガイド溝７１は、図６
に示すように、各支持部材２の動作順を示す点線の形状
に形成されており、支持部材２は、回転ローラ７の一回
転で元の高さ位置に復帰する。これを図４〜図６を参照
して説明する。なお、ここで、移載作業中に移動するの
は上中下段の支持部材２ａ、２ｂ、２ｃのみであり、基
板１を取り出したり挿入したりするのは中段の支持部材
２ｂである。図４に示すように、基板１の「取り出し」
や「挿入」作業中、複数の支持部材２ａ〜２ｃが相互に
移動することにより、移載作業に必要なハンド４の挿入
スペースが確保できることがわかる。特に、図５は、１
７００×１３５０×０．７ｍｍのサイズの大型基板１に
おいて、本発明による「取り出し」作業での支持部材２
の動作位置寸法を示すが、棚ピッチは２５ｍｍでよく、
図１０に示すような従来の棚ピッチ６０．５ｍｍに比較
して、１／２．４でよいことになり、積載収納効率が大
幅にアップしていることがわかる。図６は、移動する支
持部材２ａ、２ｂ、２ｃの各動作中の高さ位置の変化を
示したもので、「取り出し」の場合は図の左から右へ、
「挿入」の場合は図の右から左に沿ってちょうど同じ高
さ位置に移動することを示している。すなわち、「取り
出し」と「挿入」では、支持部材２はちょうど逆の順序
で移動することになるので、回転ローラ７の正回転と逆
回転が、それぞれ「取り出し」と「挿入」に対応するこ
とになる。

【００３８】以上の移載サイクルが完了すると、支持部
材２は通常の狭いピッチの位置に戻り、収納効率のよい
ストッカを実現することになる。このように、本実施例
の枚葉基板の収納方法及びストッカは、内部に収納でき
る基板１の枚数は２倍以上、或いは、収納する基板１の
数を同じとすれば、ストッカの高さは半分以下でよいこ
とになり、移載やストッカでの収納の省スペースの効果
は非常に大きなものになる。

【００３９】以上、本発明の実施例を説明したが、本発
明の枚葉基板の収納方法及び収納装置は、実施例の記載
に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲
において適宜に変更することが可能である。

【００４０】

【発明の効果】本第１発明の枚葉基板の収納方法によれ
ば、昇降可能に支持された支持部材と、該支持部材を所
定の位置に保持するストッパーと、該ストッパーを解除
するとともに前記支持部材を選択的に昇降させる昇降機
構とを設け、少なくとも枚葉基板を取り出そうとする任
意の支持部材を上昇させるとともに、該支持部材の下の
支持部材を下降させ、これら昇降した支持部材の間にハ
ンドを挿入し、前記任意の支持部材をハンドより下に下
降させることにより枚葉基板をハンドに移載し、ハンド
の抜き出し後に各支持部材を元の位置に復帰させること
から、収納装置から枚葉基板を取り出すときには必要な
支持部材同士の間隔を確保し、常時は狭い棚ピッチとす
ることができ、これにより、収納装置を格段に収納効率
の良い高密度なものとすることができる。

【００４１】また、本第２発明の枚葉基板の収納方法に
よれば、昇降可能に支持された支持部材と、該支持部材
を所定の位置に保持するストッパーと、該ストッパーを
解除するとともに前記支持部材を選択的に昇降させる昇
降機構とを設け、少なくとも枚葉基板を挿入しようとす
る任意の支持部材と該支持部材の下の支持部材とを下降
させるとともに、下降した任意の支持部材の上に枚葉基
板を支持したハンドを挿入し、該任意の支持部材をハン
ドより上に上昇させることにより枚葉基板を支持部材に
移載し、ハンドの抜き出し後に各支持部材を元の位置に
復帰させることから、収納装置に枚葉基板を挿入すると
きには必要な支持部材同士の間隔を確保し、常時は狭い
棚ピッチとすることができ、これにより、収納装置を格
段に収納効率の良い高密度なものとすることができる。

【００４２】また、前記任意の支持部材と共に上段の支
持部材を上昇させることにより、ハンドの挿入に必要な
支持部材同士の間隔を大きく確保することができる。

【００４３】さらに、本発明の枚葉基板の収納装置によ
れば、昇降可能に支持された支持部材と、該支持部材を
所定の位置に保持するストッパーと、該ストッパーを解
除するとともに前記支持部材を選択的に昇降させる昇降
機構とを備え、該昇降機構が、支持部材の基部を摺動可
能に嵌挿する複数のガイド溝を備え、かつ回転すること
によりガイド溝に嵌挿した支持部材を昇降させる回転ロ
ーラと、該回転ローラを支持部材に係脱可能に進退させ
る横移動装置と、該回転ローラを昇降させる縦移動装置
とを備えることから、収納装置から枚葉基板を取り出す
ときには、枚葉基板を取り出そうとする任意の支持部材
を上昇させるとともに、該支持部材の下の支持部材を下
降させた後、任意の支持部材を挿入されたハンドより下
に下降させることにより枚葉基板をハンドに移載し、ハ
ンドの抜き出し後に各支持部材を元の位置に復帰させる
ことができ、これにより、収納装置から枚葉基板を取り
出すときには必要な支持部材同士の間隔を確保し、常時
は狭い棚ピッチとすることができる。そして、収納装置
に枚葉基板を挿入するときには、枚葉基板を挿入しよう
とする任意の支持部材と該支持部材の下の支持部材とを
下降させた後、任意の支持部材を挿入されたハンドより
上に上昇させることにより枚葉基板を支持部材に移載
し、ハンドの抜き出し後に各支持部材を元の位置に復帰
させることができ、これにより、収納装置に枚葉基板を
挿入するときには必要な支持部材同士の間隔を確保し、
常時は狭い棚ピッチとすることができる。

【００４４】また、前記昇降機構が、任意の支持部材と
共に上段の支持部材を上昇させることにより、ハンドの
挿入に必要な支持部材同士の間隔を大きく確保すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の枚葉基板のカセット収納装置の一実施
例を示す正面図である。

【図２】同実施例のカセット収納装置を示す平面図であ
る。

【図３】同実施例のカセット収納装置を示す要部の正面
図である。

【図４】支持部材の移載動作中の昇降動作を示す説明図
である。

【図５】支持部材の移載動作中の棚ピッチの寸法を示す
図である。

【図６】回転ローラのガイド溝の形状と、このガイド溝
により移動する支持部材の動作中の高さ位置の変化を示
す図である。

【図７】本発明の枚葉基板のストッカの一実施例を示す
正面図である。

【図８】同実施例のストッカを示す平面図である。

【図９】従来のフィッシュボーン型ハンドを用いる収納
装置を示す平面図である。

【図１０】同平面図である。

【符号の説明】

１ 枚葉基板 ２ 支持部材 ２１ ＬＭナット ２２ フレーム（カセットフレーム） ２３ リニアガイド ２４ ガイドローラ ３ 収納装置本体 ４ ハンド ４１ 横ハンド支持部 ４２ 縦ハンド支持部 ５ ストッパー ６ 昇降機構 ７ 回転ローラ ７１ ガイド溝 ７２ ローラ用モータ ８ 横移動装置 ８１ ローラフレーム ８２ 着脱シリンダ ８３ 昇降フレーム ８４ 押し棒 ９ 縦移動装置 ９１ ＬＭナット ９２ 昇降装置フレーム ９３ リニアガイド ９４ 昇降モータ ９５ ボールネジ ９６ 傘歯車 ９７ 伝導軸

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 杉山 徳治 兵庫県尼崎市下坂部３丁目４番１号 日立 機電工業株式会社内 (72)発明者 福渡 一郎 兵庫県尼崎市下坂部３丁目４番１号 日立 機電工業株式会社内 Ｆターム(参考） 2H088 FA17 FA30 HA01 5F031 CA05 DA01 DA08 DA17 EA19 FA02 FA07 FA11 FA24 GA05 GA06 KA15 LA12 LA14 LA15 MA11 PA18

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 枚葉基板を支持する支持部材を、収納装
   置本体の両側に上下に複数段配設し、収納装置本体に挿
   入した移載機のハンドにより枚葉基板の出し入れを行う
   枚葉基板の収納方法において、昇降可能に支持された支
   持部材と、該支持部材を所定の位置に保持するストッパ
   ーと、該ストッパーを解除するとともに前記支持部材を
   選択的に昇降させる昇降機構とを設け、少なくとも枚葉
   基板を取り出そうとする任意の支持部材を上昇させると
   ともに、該支持部材の下の支持部材を下降させ、これら
   昇降した支持部材の間にハンドを挿入し、前記任意の支
   持部材をハンドより下に下降させることにより枚葉基板
   をハンドに移載し、ハンドの抜き出し後に各支持部材を
   元の位置に復帰させることを特徴とする枚葉基板の収納
   方法。
2. 【請求項２】 前記任意の支持部材と共に上段の支持部
   材を上昇させることを特徴とする請求項１記載の枚葉基
   板の収納方法。
3. 【請求項３】 枚葉基板を支持する支持部材を、収納装
   置本体の両側に上下に複数段配設し、収納装置本体に挿
   入した移載機のハンドにより枚葉基板の出し入れを行う
   枚葉基板の収納方法において、昇降可能に支持された支
   持部材と、該支持部材を所定の位置に保持するストッパ
   ーと、該ストッパーを解除するとともに前記支持部材を
   選択的に昇降させる昇降機構とを設け、少なくとも枚葉
   基板を挿入しようとする任意の支持部材と該支持部材の
   下の支持部材とを下降させるとともに、下降した任意の
   支持部材の上に枚葉基板を支持したハンドを挿入し、該
   任意の支持部材をハンドより上に上昇させることにより
   枚葉基板を支持部材に移載し、ハンドの抜き出し後に各
   支持部材を元の位置に復帰させることを特徴とする枚葉
   基板の収納方法。
4. 【請求項４】 前記任意の支持部材と共に上段の支持部
   材を上昇させることを特徴とする請求項３記載の枚葉基
   板の収納方法。
5. 【請求項５】 枚葉基板を支持する支持部材を、収納装
   置本体の両側に上下に複数段配設し、収納装置本体に挿
   入した移載機のハンドにより枚葉基板の出し入れを行う
   ようにした枚葉基板の収納装置において、昇降可能に支
   持された支持部材と、該支持部材を所定の位置に保持す
   るストッパーと、該ストッパーを解除するとともに前記
   支持部材を選択的に昇降させる昇降機構とを備え、該昇
   降機構が、支持部材の基部を摺動可能に嵌挿する複数の
   ガイド溝を備え、かつ回転することによりガイド溝に嵌
   挿した支持部材を昇降させる回転ローラと、該回転ロー
   ラを支持部材に係脱可能に進退させる横移動装置と、該
   回転ローラを昇降させる縦移動装置とを備えたことを特
   徴とする枚葉基板の収納装置。
6. 【請求項６】 前記昇降機構が、任意の支持部材と共に
   上段の支持部材を上昇させることを特徴とする請求項５
   記載の枚葉基板の収納装置。