JPH0811360B2 - 均一加圧・接着方法 - Google Patents
均一加圧・接着方法Info
- Publication number
- JPH0811360B2 JPH0811360B2 JP62008288A JP828887A JPH0811360B2 JP H0811360 B2 JPH0811360 B2 JP H0811360B2 JP 62008288 A JP62008288 A JP 62008288A JP 828887 A JP828887 A JP 828887A JP H0811360 B2 JPH0811360 B2 JP H0811360B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- bonding
- jig
- pressure
- adhesive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
- B29C66/80—General aspects of machine operations or constructions and parts thereof
- B29C66/84—Specific machine types or machines suitable for specific applications
- B29C66/843—Machines for making separate joints at the same time in different planes; Machines for making separate joints at the same time mounted in parallel or in series
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C65/00—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor
- B29C65/48—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor using adhesives, i.e. using supplementary joining material; solvent bonding
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
- B29C66/80—General aspects of machine operations or constructions and parts thereof
- B29C66/81—General aspects of the pressing elements, i.e. the elements applying pressure on the parts to be joined in the area to be joined, e.g. the welding jaws or clamps
- B29C66/814—General aspects of the pressing elements, i.e. the elements applying pressure on the parts to be joined in the area to be joined, e.g. the welding jaws or clamps characterised by the design of the pressing elements, e.g. of the welding jaws or clamps
- B29C66/8145—General aspects of the pressing elements, i.e. the elements applying pressure on the parts to be joined in the area to be joined, e.g. the welding jaws or clamps characterised by the design of the pressing elements, e.g. of the welding jaws or clamps characterised by the constructional aspects of the pressing elements, e.g. of the welding jaws or clamps
- B29C66/81455—General aspects of the pressing elements, i.e. the elements applying pressure on the parts to be joined in the area to be joined, e.g. the welding jaws or clamps characterised by the design of the pressing elements, e.g. of the welding jaws or clamps characterised by the constructional aspects of the pressing elements, e.g. of the welding jaws or clamps being a fluid inflatable bag or bladder, a diaphragm or a vacuum bag for applying isostatic pressure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
- B29C66/40—General aspects of joining substantially flat articles, e.g. plates, sheets or web-like materials; Making flat seams in tubular or hollow articles; Joining single elements to substantially flat surfaces
- B29C66/47—Joining single elements to sheets, plates or other substantially flat surfaces
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （１）発明の目的 〔産業上の利用分野〕 本発明は各種接着、特に小片チップもしくは曲率半径
の大なる湾曲試料を研磨用治具に高精度で接着するのに
供せられる均一加圧・接着方法およびその実施に直接使
用する装置に関する。
の大なる湾曲試料を研磨用治具に高精度で接着するのに
供せられる均一加圧・接着方法およびその実施に直接使
用する装置に関する。
従来において、小片チップもしくは曲率半径の大なる
湾曲試料に研磨加工を施す場合、高精度に製作された試
料接着治具に前記試料を接着してから研磨作業が実行さ
れる。試料を超精密に研磨するに際して、精度を得るた
めには高精度に仕上げられた試料接着治具の接着面に試
料を高精度に接着することが不可欠となる。
湾曲試料に研磨加工を施す場合、高精度に製作された試
料接着治具に前記試料を接着してから研磨作業が実行さ
れる。試料を超精密に研磨するに際して、精度を得るた
めには高精度に仕上げられた試料接着治具の接着面に試
料を高精度に接着することが不可欠となる。
普通接着する場合、試料接着治具を加熱して、塗布予
定の接着剤の融点前後の所定温度に達してから熱軟化性
の接着剤（ワックス）を試料接着治具の接着面に塗布す
る。次いで試料を接着面に設置し、加圧しつつ冷却・固
化させる。こゝで問題となるのは加圧方法であるが、従
来の加圧方法は、平面板を介してデット・ウェイトを単
純に付加する方法をとっているため、試料の非接着面側
の全域を均一に加圧できなかった。その結果、接着剤層
が不均一となり、研磨工程で平面に加工しようとしても
仕上り後の試料の平行度が悪くなってしまう。
定の接着剤の融点前後の所定温度に達してから熱軟化性
の接着剤（ワックス）を試料接着治具の接着面に塗布す
る。次いで試料を接着面に設置し、加圧しつつ冷却・固
化させる。こゝで問題となるのは加圧方法であるが、従
来の加圧方法は、平面板を介してデット・ウェイトを単
純に付加する方法をとっているため、試料の非接着面側
の全域を均一に加圧できなかった。その結果、接着剤層
が不均一となり、研磨工程で平面に加工しようとしても
仕上り後の試料の平行度が悪くなってしまう。
しかして第３図は、従来の接着方法で試料を接着した
ときの断面模式図であり、αは試料接着治具、βは熱軟
化性の接着剤、γは試料，εは荷重用平面板を示す。
ときの断面模式図であり、αは試料接着治具、βは熱軟
化性の接着剤、γは試料，εは荷重用平面板を示す。
そこで第３図（ａ）は、単数の試料γを試料接着治具
αに加圧・接着するに際し、接着剤βの厚さが不均一と
なる場合を示したものであり、普通接着剤βの厚さは数
〜10数μｍである。
αに加圧・接着するに際し、接着剤βの厚さが不均一と
なる場合を示したものであり、普通接着剤βの厚さは数
〜10数μｍである。
また第３図（ｂ）は、試料γ1,γ2,γ３自身の平行度
がでていない試料γ１〜γ３を接着する場合、もしくは
厚さの異なる複数の試料γ１〜γ３を試料接着治具αの
同一接着面α′に接着する場合を示すもので、接着剤β
の厚さに極めて大きな差が生ずる欠点がある。
がでていない試料γ１〜γ３を接着する場合、もしくは
厚さの異なる複数の試料γ１〜γ３を試料接着治具αの
同一接着面α′に接着する場合を示すもので、接着剤β
の厚さに極めて大きな差が生ずる欠点がある。
要するに従来の加圧・接着方法では、平面板（剛板）
で試料の非接着面を押し付けているので、微視的に見る
と、試料の一部分のみを加圧していることとなる。即ち
試料の一部分に集中荷重を付与していることになるので
試料自身が傾いた姿勢で接着されることになるし、しか
も複数枚の同時接着では特に厚さの薄い試料は完全にフ
リー状態となって平面の荷重で拘束されず傾いた姿勢で
接着されることになる。
で試料の非接着面を押し付けているので、微視的に見る
と、試料の一部分のみを加圧していることとなる。即ち
試料の一部分に集中荷重を付与していることになるので
試料自身が傾いた姿勢で接着されることになるし、しか
も複数枚の同時接着では特に厚さの薄い試料は完全にフ
リー状態となって平面の荷重で拘束されず傾いた姿勢で
接着されることになる。
また、単数枚の試料でも、荷重の載せ方が悪かったり
すると試料が傾斜して接着される。
すると試料が傾斜して接着される。
このような接着態様で次の研磨加工工程に入ると、た
とえこの段階で如何に精密研磨を行い得ても、結果的に
は、図中の仮想Ｌ線のように研磨が施されることになる
ので、試料γ，γ１〜γ３の厚さのバラツキが大きく平
行度が極めて悪い加工試料となり、重大な問題を孕むこ
ととなる。
とえこの段階で如何に精密研磨を行い得ても、結果的に
は、図中の仮想Ｌ線のように研磨が施されることになる
ので、試料γ，γ１〜γ３の厚さのバラツキが大きく平
行度が極めて悪い加工試料となり、重大な問題を孕むこ
ととなる。
これは、接着する工程において、試料の非接着面側全
域を均一に加圧することができないことに帰因する。
域を均一に加圧することができないことに帰因する。
本発明は、前記従来の欠点に鑑み、接着すべき試料を
均一に加圧して高精度接着するのに有効適切な均一加圧
接着方法とその装置を提供せんとするもである。
均一に加圧して高精度接着するのに有効適切な均一加圧
接着方法とその装置を提供せんとするもである。
（２）発明の構成 〔問題点を解決するための手段〕 本発明は、試料の接着面もしくは試料接着治具の接着
面に接着剤を塗布して当該試料接着治具の接着面に前記
試料を位置決め仮付けして置き、次いで密封した内側に
流体圧を付加して膨張した加圧弾性フイルムで前記試料
を前記試料接着治具の接着面形状に倣わせて本付けして
なる均一加圧・接着方法を実施するに当り、治具加熱ヒ
ーターを内蔵した定盤に取付ける試料接着治具に離近調
節設定自在に相対設した圧力封入容体の対向面側解放口
をダイヤフラム状に加圧弾性フイルムで密閉封止して圧
力封入室を内設するとともに前記圧力封入容体に開設し
た圧力流体給入口に圧力調整弁を接続してなる均一加圧
・接着装置を使用するものであって、平行度の悪い試料
でも、また厚さの異なる複数の試料でも、各々の試料の
非接着面側全域に瓦って均一に等分布荷重で加圧しつつ
接着し得るものである。
面に接着剤を塗布して当該試料接着治具の接着面に前記
試料を位置決め仮付けして置き、次いで密封した内側に
流体圧を付加して膨張した加圧弾性フイルムで前記試料
を前記試料接着治具の接着面形状に倣わせて本付けして
なる均一加圧・接着方法を実施するに当り、治具加熱ヒ
ーターを内蔵した定盤に取付ける試料接着治具に離近調
節設定自在に相対設した圧力封入容体の対向面側解放口
をダイヤフラム状に加圧弾性フイルムで密閉封止して圧
力封入室を内設するとともに前記圧力封入容体に開設し
た圧力流体給入口に圧力調整弁を接続してなる均一加圧
・接着装置を使用するものであって、平行度の悪い試料
でも、また厚さの異なる複数の試料でも、各々の試料の
非接着面側全域に瓦って均一に等分布荷重で加圧しつつ
接着し得るものである。
〔実施例１〕 本発明法の実施例１で使用する装置を第１図（ａ）に
ついて説明する。
ついて説明する。
均一加圧・接着装置Ａは、真空孔１により載置面２上
に真空吸着して取付けた試料接着治具αを治具加熱ヒー
ター３により加熱する定盤４と、当該定盤４の直上に昇
降離近動自在に対架して定盤４上の試料接着治具αと相
対向する下向解放口５の内縁に添ってダイヤフラム状に
周縁7aを封止具６により挾み付け密閉封止した加圧弾性
フィルム７を圧力流体給入口８より圧力封入室９内に流
入した圧力流体Ｐで膨張する圧力封入容体10とを備え、
第１図（ａ）のように当該圧力封入容体10は、中央に円
突する圧力流体給入口８を自由端で挾着せる片持水平並
行アーム11,11（片方のみ図示）の基端部を近隣柱立し
たアプライトガイドスタンド12に二つ割筒スライダー13
を介し上下昇降滑動自在に取付けてノブ付調整螺子14に
て締付け固定する。
に真空吸着して取付けた試料接着治具αを治具加熱ヒー
ター３により加熱する定盤４と、当該定盤４の直上に昇
降離近動自在に対架して定盤４上の試料接着治具αと相
対向する下向解放口５の内縁に添ってダイヤフラム状に
周縁7aを封止具６により挾み付け密閉封止した加圧弾性
フィルム７を圧力流体給入口８より圧力封入室９内に流
入した圧力流体Ｐで膨張する圧力封入容体10とを備え、
第１図（ａ）のように当該圧力封入容体10は、中央に円
突する圧力流体給入口８を自由端で挾着せる片持水平並
行アーム11,11（片方のみ図示）の基端部を近隣柱立し
たアプライトガイドスタンド12に二つ割筒スライダー13
を介し上下昇降滑動自在に取付けてノブ付調整螺子14に
て締付け固定する。
図中15,16,17は取付螺子、18はスプリングである。
第１図（ｂ）のような片持水平並行アーム11,11（片
方のみ図示）の基端部の筒スライダー19を近隣柱立した
アプライトガイドスタンド12に昇降滑動自在に嵌挿する
とともに当該アプライトガイドスタッド12に設けたラッ
ク20に外接噛合うピニオン21の正逆回転により定盤４上
の試料接着治具αに対して自動的に加圧封入容体10を離
近調節設定自在に設けることもできる。
方のみ図示）の基端部の筒スライダー19を近隣柱立した
アプライトガイドスタンド12に昇降滑動自在に嵌挿する
とともに当該アプライトガイドスタッド12に設けたラッ
ク20に外接噛合うピニオン21の正逆回転により定盤４上
の試料接着治具αに対して自動的に加圧封入容体10を離
近調節設定自在に設けることもできる。
前記加圧弾性フィルム７は、耐熱性でなければなら
ず、通常の熱軟化性ワックスが50℃前後から250℃程度
の融点であるので、シリコンゴム、テフロン等の厚さ50
〜500μｍ位のフィルムを用いるのが好適である。シリ
コンゴムの場合は、弾性に富むので比較的厚くても良
く、例えば、2mm程度の厚さでも使用可能である。
ず、通常の熱軟化性ワックスが50℃前後から250℃程度
の融点であるので、シリコンゴム、テフロン等の厚さ50
〜500μｍ位のフィルムを用いるのが好適である。シリ
コンゴムの場合は、弾性に富むので比較的厚くても良
く、例えば、2mm程度の厚さでも使用可能である。
図中22は流体圧力源23と圧力流体供給管24の途中に介
接した圧力調整弁である。
接した圧力調整弁である。
なお第１図（ｂ）の前記ラック20とピニオン21の昇降
伝達機構に代えて片持水平並行アーム11,11の基端部を
アプライトガイドスタンド12に固着し当該アプライトガ
イドスタンド12自体を適宜動力源（図示せず）を介して
上下昇降動せしめても良い。
伝達機構に代えて片持水平並行アーム11,11の基端部を
アプライトガイドスタンド12に固着し当該アプライトガ
イドスタンド12自体を適宜動力源（図示せず）を介して
上下昇降動せしめても良い。
また本実施例では縦型装置につき専ら説明して来たが
条件により横型装置や斜型装置でも一向に構わない。
条件により横型装置や斜型装置でも一向に構わない。
さらに試料接着治具に限らず高精度接着を要するあら
ゆる試料接着対象物例えばプレート等が適用可能なるこ
とは言うまでもないし、試料接着治具αの定盤４載置面
２上に位置決め取付ける他の手段としては電磁吸着手
段、止金具によるクランプ手段等任意に選択可能であ
る。
ゆる試料接着対象物例えばプレート等が適用可能なるこ
とは言うまでもないし、試料接着治具αの定盤４載置面
２上に位置決め取付ける他の手段としては電磁吸着手
段、止金具によるクランプ手段等任意に選択可能であ
る。
次に装置Ａを使用した本発明法の第１実施例を第１図
につき説明する。
につき説明する。
まず接着しようとする試料接着治具αを定盤４の載置
面２上に位置決め載せて真空孔１を介して真空吸着した
後、治具加熱ヒーター３を動作し加熱する。試料接着治
具αの表面が接着剤βの融点よりも若干高くなったとこ
ろで一定温度に保持して置き、試料接着治具αの接着面
α′又は試料γ１〜γ３の接着面γ１′〜γ３′に熱軟
化性接着剤βを塗布し、試料γ１〜γ３を試料接着治具
αの接着面α′上の予定位置に軽く載せて仮付け工程を
行う。
面２上に位置決め載せて真空孔１を介して真空吸着した
後、治具加熱ヒーター３を動作し加熱する。試料接着治
具αの表面が接着剤βの融点よりも若干高くなったとこ
ろで一定温度に保持して置き、試料接着治具αの接着面
α′又は試料γ１〜γ３の接着面γ１′〜γ３′に熱軟
化性接着剤βを塗布し、試料γ１〜γ３を試料接着治具
αの接着面α′上の予定位置に軽く載せて仮付け工程を
行う。
引続いて第１図（ａ）のようにノブ付調整螺子14を緩
めて二つ割筒スライダー13をアプライトガイドスタンド
12に沿って滑らせるか、図示しない駆動源を駆動して第
１図（ｂ）のようにピニオン20を矢印反時計方向に回動
しラック19に沿って移動するかして片持水平並行アーム
11,11を下方へ移行することにより一体的に圧力封入容
体10を下げて、加圧弾性フィルム７を試料γ１〜γ３の
非接着面γ１″〜γ３″側に接触させる。
めて二つ割筒スライダー13をアプライトガイドスタンド
12に沿って滑らせるか、図示しない駆動源を駆動して第
１図（ｂ）のようにピニオン20を矢印反時計方向に回動
しラック19に沿って移動するかして片持水平並行アーム
11,11を下方へ移行することにより一体的に圧力封入容
体10を下げて、加圧弾性フィルム７を試料γ１〜γ３の
非接着面γ１″〜γ３″側に接触させる。
その際、加圧弾性フィルム７は圧力封入容体10の下向
解放口５に太鼓の皮を張ってあるように張力をかけられ
ているので片持水平並行アーム11,11の降下位置は容易
に分かる。
解放口５に太鼓の皮を張ってあるように張力をかけられ
ているので片持水平並行アーム11,11の降下位置は容易
に分かる。
そこで加圧弾性フィルム７が試料γ１〜γ３の非接着
面γ１″〜γ３″側に接近するか接触した時点で、第１
図（ａ）ではノブ付調整螺子14を締付け固定し第１図
（ｂ）では図示しない駆動源の駆動をストップし圧力封
入容体10の降下を停止し固定される。この状態で流体圧
力源23から途中圧力調整弁22を介して圧力流体供給管24
を通し圧力流体給入口８からエアーもしくはN2ガス等の
圧力流体Ｐを送給すると、加圧弾性フィルム７は風船の
ように膨らみ、試料γ１〜γ３の非接着面γ１″〜
γ３″に沿って全面に密着し均一に圧力が加えられるの
で、試料γ１〜γ３の厚さにバラツキがあっても等分布
加圧が可能となる。
面γ１″〜γ３″側に接近するか接触した時点で、第１
図（ａ）ではノブ付調整螺子14を締付け固定し第１図
（ｂ）では図示しない駆動源の駆動をストップし圧力封
入容体10の降下を停止し固定される。この状態で流体圧
力源23から途中圧力調整弁22を介して圧力流体供給管24
を通し圧力流体給入口８からエアーもしくはN2ガス等の
圧力流体Ｐを送給すると、加圧弾性フィルム７は風船の
ように膨らみ、試料γ１〜γ３の非接着面γ１″〜
γ３″に沿って全面に密着し均一に圧力が加えられるの
で、試料γ１〜γ３の厚さにバラツキがあっても等分布
加圧が可能となる。
加圧の調整は、圧力封入室９内へ給入する流体圧力を
圧力調整弁22の操作によって簡単に制御でき、一定圧
力、一定温度で一定時間加圧を持続し、所定の接着剤β
の厚さ、精度に達したところで、治具加熱ヒーター３の
加熱動作を停止して定盤４を冷却し接着剤βを固化させ
て試料γ１〜γ３を試料接着治具αの接着面α′に接着
させる本付け工程が完了する。
圧力調整弁22の操作によって簡単に制御でき、一定圧
力、一定温度で一定時間加圧を持続し、所定の接着剤β
の厚さ、精度に達したところで、治具加熱ヒーター３の
加熱動作を停止して定盤４を冷却し接着剤βを固化させ
て試料γ１〜γ３を試料接着治具αの接着面α′に接着
させる本付け工程が完了する。
前記、接着剤βは、熱軟化性接着剤に限定されること
なく常温硬化性の接着剤でも適用し得ることは言うまで
もない。
なく常温硬化性の接着剤でも適用し得ることは言うまで
もない。
ところで設定する温度、とその保持時間、加圧力等の
処理条件は、使用する接着剤βとその融点ならびに使用
する加圧弾性フィルム７の種類、厚さ等によっても異な
り、大体の目安として、加圧弾性フィルム７には0.2〜
0.5mm前後のシリコンゴムを用いて、圧力１〜3kg/cm2の
N2ガスもしくは空気を圧力封入室９内に送給充満した状
態で加熱することになる。
処理条件は、使用する接着剤βとその融点ならびに使用
する加圧弾性フィルム７の種類、厚さ等によっても異な
り、大体の目安として、加圧弾性フィルム７には0.2〜
0.5mm前後のシリコンゴムを用いて、圧力１〜3kg/cm2の
N2ガスもしくは空気を圧力封入室９内に送給充満した状
態で加熱することになる。
なお圧力流体Ｐとして専ら本発明の実施例１はN2ガ
ス、空気を用いた場合を説明して来たがその他Arガス等
の不活性ガスならば適用し得るとともに、水等の液体で
も適用可能であるがせっかく加熱した試料γ１〜γ３、
試料接着治具αを冷却しないように、事前に温めて置く
必要はある。
ス、空気を用いた場合を説明して来たがその他Arガス等
の不活性ガスならば適用し得るとともに、水等の液体で
も適用可能であるがせっかく加熱した試料γ１〜γ３、
試料接着治具αを冷却しないように、事前に温めて置く
必要はある。
〔実施例２〕 こゝで本発明法の第２実施例を第２図について説明す
る。
る。
特に曲率半径の大なる湾曲試料γを接着する場合、中
心部の接着剤Ζβを徐々に外方向に押出しながら接着し
た方が高精度接着し得る場合がある。
心部の接着剤Ζβを徐々に外方向に押出しながら接着し
た方が高精度接着し得る場合がある。
従って仮付け工程は前記本発明法の第１実施例と何等
変るところがないので説明を省略する。
変るところがないので説明を省略する。
本付け工程に当っては、加熱された試料γの中央部に
圧力封入室９内に充満した圧力流体Ｐにより膨張した加
圧弾性フィルム７を一旦接触させて一定時間経過後、漸
次徐々に片持水平並行アーム11,11と一体的に圧力封入
容体10を下方向に下降して行くか、あるいは試料γの中
央部に加圧弾性フィルム７を一旦接触させて一定時間経
過後、片持水平並行アーム11,11および圧力封入容体10
を静止固定した状態下で圧力調整弁22を操作して圧力流
体給入口８から圧力封入室９内に送給される流体圧を漸
増して行けば、加圧弾性フィルム７の拡大膨張につれ試
料γの非接着面γ″との接触が経時的に中央部から外方
向へ漸次増大し終には全領域に瓦り密着接触することと
なる。その結果中央付近の余分な接着剤βが外方向に押
し出されて、試料γの接着面γ′が試料接着治具αの接
着面α′に対し均一的な加圧・加熱状態になるので高精
度な本付け処理が実現する。
圧力封入室９内に充満した圧力流体Ｐにより膨張した加
圧弾性フィルム７を一旦接触させて一定時間経過後、漸
次徐々に片持水平並行アーム11,11と一体的に圧力封入
容体10を下方向に下降して行くか、あるいは試料γの中
央部に加圧弾性フィルム７を一旦接触させて一定時間経
過後、片持水平並行アーム11,11および圧力封入容体10
を静止固定した状態下で圧力調整弁22を操作して圧力流
体給入口８から圧力封入室９内に送給される流体圧を漸
増して行けば、加圧弾性フィルム７の拡大膨張につれ試
料γの非接着面γ″との接触が経時的に中央部から外方
向へ漸次増大し終には全領域に瓦り密着接触することと
なる。その結果中央付近の余分な接着剤βが外方向に押
し出されて、試料γの接着面γ′が試料接着治具αの接
着面α′に対し均一的な加圧・加熱状態になるので高精
度な本付け処理が実現する。
図中第１図に示す第１実施例と同一構成部材は同一符
号を付した。
号を付した。
当該第２実施例は、精度の高い接着剤βを用いたとき
や接着剤βの塗付厚が大である場合に有利である。
や接着剤βの塗付厚が大である場合に有利である。
（３）本発明の効果 かくして本発明によれば試料の表面が凹凸状を呈した
り、複雑形状に反っていても、加圧弾性フィルムが確実
に試料非接着面側全体に密着なじんで均等に加圧押付け
ることになるので試料の接着姿勢を矯正しつつ高精度に
接着することができる。
り、複雑形状に反っていても、加圧弾性フィルムが確実
に試料非接着面側全体に密着なじんで均等に加圧押付け
ることになるので試料の接着姿勢を矯正しつつ高精度に
接着することができる。
従って試料の平行度が悪かったり、厚さの異なる複数
の試料を同時に接着する場合でも、試料の非接着面側全
面に亙って正確に均一加圧して常に信頼性の高い高精度
接着を達成する等優れた効果を奏する。
の試料を同時に接着する場合でも、試料の非接着面側全
面に亙って正確に均一加圧して常に信頼性の高い高精度
接着を達成する等優れた効果を奏する。
第１図（ａ）は本発明法の第１実施例で使用される装置
を示す中央縦断概略図、第１図（ｂ）は他の実施例を示
す昇降伝達機構の中央縦断面図、第２図は本発明法の第
２実施例説明図、第３図（ａ），（ｂ）は従来の接着方
法の説明図である。 Ａ……均一加圧・接着装置 Ｐ……圧力流体 α……試料接着治具 α′……接着面 β……接着剤 γ，γ１〜γ３……試料 γ′，γ１′〜γ３′……接着面 γ″，γ１″〜γ３″……非接着面 １……真空孔、３……治具加熱ヒーター ４……定盤、５……下向解放口 ７……加圧弾性フィルム ８……圧力流体給入口 ９……圧力封入室 10……圧力封入容体 11,11……片持水平並行アーム 12……アプライトガイドスタンド 14……ノブ付調整螺子
を示す中央縦断概略図、第１図（ｂ）は他の実施例を示
す昇降伝達機構の中央縦断面図、第２図は本発明法の第
２実施例説明図、第３図（ａ），（ｂ）は従来の接着方
法の説明図である。 Ａ……均一加圧・接着装置 Ｐ……圧力流体 α……試料接着治具 α′……接着面 β……接着剤 γ，γ１〜γ３……試料 γ′，γ１′〜γ３′……接着面 γ″，γ１″〜γ３″……非接着面 １……真空孔、３……治具加熱ヒーター ４……定盤、５……下向解放口 ７……加圧弾性フィルム ８……圧力流体給入口 ９……圧力封入室 10……圧力封入容体 11,11……片持水平並行アーム 12……アプライトガイドスタンド 14……ノブ付調整螺子
Claims (1)
- 【請求項１】治具加熱ヒータを内蔵した定盤に試料接着
治具を搭載し，前記治具加熱ヒータにより前記定盤の温
度を上昇させ，前記試料接着治具の表面が接着剤の融点
よりも高くなったところで一定温度に保持した状態で試
料の接着面もしくは前記試料接着治具の接着面に接着剤
を塗布して当該試料接着治具の接着面に前記試料を位置
決め仮付けし，次いで密封した内側に流体圧を可変調整
自在に負荷して膨張した加圧弾性フイルムで，前記試料
の非接着面側全域を当初弾性フイルムの中央付近から除
々に外方向に漸次拡大移行して押付けて前記試料を前記
試料接着治具の接着面形状に倣わせて本付けし，所定の
接着剤厚さに達したところで前記治具加熱ヒータの加熱
動作を停止し，前記定盤を冷却することを特徴とする均
一加圧・接着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62008288A JPH0811360B2 (ja) | 1987-01-19 | 1987-01-19 | 均一加圧・接着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62008288A JPH0811360B2 (ja) | 1987-01-19 | 1987-01-19 | 均一加圧・接着方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63180469A JPS63180469A (ja) | 1988-07-25 |
| JPH0811360B2 true JPH0811360B2 (ja) | 1996-02-07 |
Family
ID=11688986
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62008288A Expired - Lifetime JPH0811360B2 (ja) | 1987-01-19 | 1987-01-19 | 均一加圧・接着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0811360B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6793479B1 (en) * | 1998-04-17 | 2004-09-21 | Alliant Techsystems Inc. | Remotely actuated localized pressure and heat apparatus and method of use |
| SG82058A1 (en) * | 1998-12-30 | 2001-07-24 | Applied Materials Inc | Carrier head with controllable pressure and loading area for chemical mechanical polishing |
| JP2006308322A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Olympus Corp | 走査型プローブ顕微鏡用走査ステージ |
| CN113473712B (zh) * | 2021-05-27 | 2022-06-10 | 苏州如辉机电设备有限公司 | 一种线路板压合方法 |
| CN114577546A (zh) * | 2022-03-08 | 2022-06-03 | 重庆市计量质量检测研究院 | 一种环境空气采样器校准专用连接头 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5444299A (en) * | 1977-09-13 | 1979-04-07 | Uingoo Kk | Grinding method and apparatus |
| JPS5796767A (en) * | 1980-11-28 | 1982-06-16 | Toshiba Corp | Polishing device |
-
1987
- 1987-01-19 JP JP62008288A patent/JPH0811360B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63180469A (ja) | 1988-07-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3662156B2 (ja) | 液晶パネル製造装置 | |
| TWI750463B (zh) | 用於接合基板之方法及裝置 | |
| TWI228183B (en) | Apparatus and method for fabricating bonded substrate | |
| JPH1164811A (ja) | 液晶表示素子の製造方法およびその装置 | |
| JPH1012578A (ja) | ウエハ・支持基板貼付け方法，及びウエハ・支持基板貼付け装置 | |
| JPH06131705A (ja) | 光ディスク貼り合わせ装置 | |
| US5720849A (en) | Wafer mounting device | |
| US5545283A (en) | Apparatus for bonding wafer pairs | |
| JP2009071145A (ja) | 半導体ウエハ等の板状部材のダイシングテープ貼付け方法及び装置 | |
| JPS63180469A (ja) | 均一加圧・接着方法とその装置 | |
| JPH11271782A (ja) | 基板接合装置、基板接合方法、および液晶装置の製造方法 | |
| JPS5932135A (ja) | 半導体ウエハの接着装置 | |
| JP5977592B2 (ja) | 貼付装置 | |
| JPH07142431A (ja) | ウェーハ接着装置 | |
| JP6046926B2 (ja) | 貼付装置 | |
| JPS60137035A (ja) | ウエ−ハ接着装置 | |
| TWI813866B (zh) | 剝離膠膜壓接裝置 | |
| TW202346080A (zh) | 基板黏貼裝置及基板黏貼方法 | |
| JP6291275B2 (ja) | 貼付方法 | |
| US7303643B2 (en) | Touchless TFT panel lamination fixture and process | |
| JPH10296624A (ja) | 多孔質定盤へのウエハ貼付方法及び装置 | |
| JP2003033926A (ja) | 光学素子の製造方法 | |
| JPH05326353A (ja) | はり合わせ基板形成用支持装置 | |
| JP2003502784A (ja) | データキャリヤを製造するための装置及び方法 | |
| JP2003039554A (ja) | 加熱圧着方法及び装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |