JPH08114412A - 耐振動型干渉計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 耐振動型干渉計において、干渉縞観察面上に
配された光検出手段の出力の変動に基づき参照光と物体
光の光路差を所定の値に維持する構成とすることによ
り、光学系の構成を簡単なものとし、その調整を容易な
ものとし、さらに製造コストやメンテナンスコストも安
価なものとする。 【構成】 参照光と物体光の一部を側方に反射するビー
ムスプリッタ11と、この反射された参照光と物体光によ
る干渉縞像が形成される観察面12と、この観察面12上
に、互いに離れて配された３つのフォトディテクタ17ａ
〜ｃと、これらフォトディテクタ17ａ〜ｃにより検出さ
れた光量に基づき、これらの光量の変動が小さくなるよ
うにして上記参照光と物体光の光路差の変動が小さくな
るように制御する制御手段19と、この制御手段19からの
制御信号に基づき基準面９ａを振動させるＰＺＴ15ａ，
15ｂに所定の駆動信号を送出するＰＺＴ駆動回路20を備
えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、外部からの振動や被検
体付近の空気のじょう乱の影響を受け難い耐振動型干渉
計に関し、特に高精度の測定結果が要求される光学部材
等の製作現場においてその表面形状の測定に好適な耐振
動型干渉計に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、光干渉によって形成された干
渉縞を観察して光学部材等の表面の微妙な凹凸形状を判
別するための手段として干渉計が知られている。

【０００３】ところで、近年の高精度加工技術の発達に
伴ない、加工現場で加工機械等に搭載して被加工面を高
精度で測定し得る干渉計が要求されている。

【０００４】加工現場で加工機械等に搭載される干渉計
は外部から光学系が受ける振動や被加工面付近の空気の
じょう乱等の影響を受けやすく、原理的には高精度で測
定し得るものであってもこれらの振動や空気のじょう乱
の影響を排除して、干渉縞の乱れを少なくし得るもので
なければ実際に高精度の測定結果を得ることは難しい。

【０００５】そこで、このような振動や空気のじょう乱
の影響を排除し得る干渉計として、参照光束と物体光束
が略同様な系路を進むようにして、上記影響を同様に受
けるようにし、これら両光束の相対的な位相変化を略キ
ャンセルするようにした、いわゆるコモンパス干渉計が
注目されている。

【０００６】図４はコモンパス干渉計の代表例であるゾ
ーンプレート干渉計を示すものである。すなわち、この
干渉計はレーザ光ビーム１をレンズ２，３によって被検
体４の被検面4aである凹面上に収束せしめるように、か
つこの収束光束の光路中にゾーンプレート５を配設する
ようにしたものである。レーザ光ビーム１がゾーンプレ
ート５に入射すると、被検面4aの曲率中心から発散され
る第１の光束と被検体表面の中心に向かう第２の光束に
分割され、この後各々の光束は被検面4aで反射されてゾ
ーンプレート５に再入射し、第１の光束はこのゾーンプ
レート５を透過して直進するように、また第２の光束は
このゾーンプレート５で回折するようにして相重なり、
この後ミラー７，８を介してカメラ９のフイルム面に達
し、このフイルム面上に被検面4aの凹凸形状に応じた干
渉縞を形成する。

【０００７】ここで、上記第１の光束の被検面4aからの
反射光は物体光として、また上記第２の光束の被検面4a
からの反射光は参照光として各々機能する。これら２つ
の光束は同じ被検面4aで反射され、しかも略同様の位置
を通過することとなるので外部からの振動や被検面付近
の空気のじょう乱等が生じても、各光束の位相差の変化
が互いにキャンセルされることとなり、これら２つの光
束の干渉により得られた干渉縞画像から精度の高い測定
結果を得ることができる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記ゾ
ーンプレート（フレネルゾーンプレート）干渉計等のコ
モンパス干渉計においては、このゾーンプレートや他の
光学系を配設する位置調整が面倒で光学系の構成がどう
しても複雑となり、また製作コストやメンテナンスコス
トもより高価なものとなる。

【０００９】本発明はこのような事情に鑑みなされたも
ので、装置光学系の構成が簡単でその調整も容易であ
り、該光学系の製作コストおよびメンテナンスコストの
安価な耐振動型干渉計を提供することを目的とするもの
である。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本願発明の第１の耐振動
型干渉計は、可干渉光を基準板上の基準面と被検体上の
被検面に照射し、該基準面からの参照光と該被検面から
の物体光とによる干渉縞を観察面上に形成する干渉縞形
成手段と、前記観察面上の所定位置に配された、干渉縞
像の局部的な光量を検出する光検出手段と、前記参照光
と前記物体光との光路差を調整するように、前記干渉縞
形成手段の光路中のいずれかの部材に所定の振動を付与
する振動付与手段と、前記光検出手段により検出された
光量の変化が小さくなるように前記振動付与手段の振動
を制御する制御手段を備えてなることを特徴とするもの
である。

【００１１】また、本願発明の第２の耐振動型干渉計
は、可干渉光を基準板上の基準面と被検体上の被検面に
照射し、該基準面からの参照光と該被検面からの物体光
とによる干渉縞を観察面上に形成する干渉縞形成手段
と、前記観察面上の所定位置に配された、干渉縞像の局
部的な光量を検出する光検出手段と、前記基準面と前記
被検面の相対的な傾きを補正する傾き補正手段と、前記
光検出手段により検出された光量の変化が小さくなるよ
うに、前記傾き補正手段を制御する制御手段とを備えて
なることを特徴とするものである。

【００１２】さらに、前記振動付与手段が前記基準板も
しくは前記被検体に取り付けられており、この振動付与
手段の取付位置に対応した前記観察面上の位置に前記光
検出手段が配設されてなるように構成することも可能で
ある。

【００１３】また、前記光検出手段が前記観察面上の互
いに離れた３つの位置に配設されるように構成したり、
さらに前記３つの位置の各々において、干渉縞の濃度極
大部分もしくは濃度極小部分を挾んで対向するよう２つ
の光検出手段が配設されるように構成することも可能で
ある。

【００１４】なお、上述した観察面は実在するスクリー
ンであってもよいし、実在しない仮想的な平面であって
もよい。

【００１５】

【作用および発明の効果】本願発明の第１の耐振動型干
渉計によれば、光検出手段によって得られた、被検面の
表面形状を表わす観察面上の所定位置における干渉縞像
の局部の光量の変化に基づき制御手段から振動付与手段
に制御信号を出力している。この制御信号は光検出手段
により検出された光量の変化が小さくなるように、そし
てこれにより基準面からの参照光と被検面からの物体光
との光路差が所定の値に近づくように制御するための信
号であり、この制御信号が入力された振動付与手段は光
路中のいずれかの部材に所定の振動を与えて外部振動の
影響を打ち消すようにしている。これにより、基準面と
被検面の距離、すなわち参照光と物体光との光路差が所
定の値となるように制御され、観察される干渉縞は振動
の影響を小さくしたものとすることができる。

【００１６】また、上記第１の耐振動型干渉計では被検
面の振動量そのものを問題としているのに対し、本願発
明の第２の耐振動型干渉計によれば、被検面の振動によ
る該被検面の傾きを問題としている。すなわち、光検出
手段によって得られた、被検面の表面形状を表わす観察
面上の所定位置における干渉縞像の局部の光量の変化に
基づき制御手段において制御信号を出力するようになっ
ており、この点については上記第１の耐振動型干渉計と
同じであるが、この制御信号が、光検出手段により検出
された光量の変化が小さくなるように、そしてこれによ
り基準面と被検面が互いに略平行な所定の角度（平行の
場合を含む）となるように基準面と被検面のうちいずれ
かの面の傾きを補正する信号であって、この制御信号を
傾き補正手段に対して出力するようにしている点におい
て異なる。これにより、基準面と被検面の角度が略平行
となるように制御されて参照光と物体光の光路差が所定
の値に維持され、観察される干渉縞は振動の影響を小さ
くすることができる。

【００１７】上記の如く構成された本願発明装置によれ
ば耐振動系の光学素子としてフォトディテクタ等の光検
出手段を用いればよいので、前述したコモンパス干渉計
等のように光学系の構成が複雑とならず、したがって光
学系の位置調整が容易であり、製作コストおよびメンテ
ナンスコストを安価なものとすることができる。

【００１８】また、上記制御手段はアナログもしくはデ
ジタルの回路素子を用いてハード的に、またコンピュー
タを用いてソフト的に構成してもよく、コンピュータを
用いてソフト的に構成した場合には振動量あるいは傾き
量の制御条件の設定変更が特に容易で、振動の周波数、
振幅あるいは応答性等を考慮してその状況に応じた適切
な条件設定を行なうことができる。

【００１９】また、振動付与手段もしくは傾き補正手段
を基準板もしくは被検体に取り付け、しかもこの振動付
与手段もしくは傾き補正手段の取付位置に対応した観察
面上の位置に光検出手段を配設すれば、光検出手段によ
り検出された光量の変動分に基づきこの光検出手段に対
応した位置に配された振動付与手段もしくは傾き補正手
段を駆動することができ、制御手段の構成が容易とな
る。

【００２０】また、光検出手段を観察面上の互いに離れ
た３つの位置に配設すれば、干渉縞の２次元的な移動を
最小の数の光検出手段により検出することができ好まし
い。

【００２１】さらに、上記３つの位置の各々において干
渉縞の濃度極大部分もしくは濃度極小部分を挾んで対向
するように２つの光検出手段を配設すればこれら２つの
光検出手段の検出結果の差分を求めることにより、より
高精度の制御を行なうことができる。

【００２２】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。

【００２３】図１は本発明の第１の実施例に係る耐振動
型干渉計を説明するための概略構成図である。この耐振
動型干渉計は、レーザ光源１と、レーザビーム２を発散
光５に変換するレンズ３およびアパーチャ４と、ビーム
スプリッタ６と、拡大された平行光８を生成するコリメ
ータレンズ７と、この平行光８をこの平行光に対して垂
直に配された、半透鏡基準面９ａにより一部反射せしめ
るとともにその残りの平行光８を透過せしめて被検体10
の被検面10ａに照射せしめる基準板９と、この基準板９
を上下方向に移動させたり、この基準板９を傾けたりす
るためのピエゾ素子（以下単にＰＺＴと称する；ＰＺＴ
１，ＰＺＴ２，ＰＺＴ３）15ａ，15ｂと、基準面９ａか
ら反射された参照光と被検面10ａから反射された物体光
との干渉により形成される干渉縞を観察するための，レ
ンズ13およびＣＣＤカメラ14を備えている。

【００２４】さらに、ビームスプリッタ６とレンズ13の
間には参照光と物体光の一部を側方に反射するビームス
プリッタ11と、この反射された参照光と物体光による干
渉縞画像が形成される観察面12と、この観察面12上に、
互いに離れて配された３つのフォトディテクタ17ａ，17
ｂ，17ｃと、これらフォトディテクタ17ａ，17ｂ，17ｃ
により検出された光量に基づき、これらの光量の変動が
小さくなるようにして上記参照光と物体光の光路差の変
動が小さくなるように制御する制御手段19と、この制御
手段19からの制御信号に基づき上記ＰＺＴ15ａ，15ｂに
所定の駆動信号を送出するＰＺＴ駆動回路20を備えてい
る。

【００２５】なお、上述したように基準板９は図示され
ている２つのＰＺＴ15ａ，15ｂの他に図示されない１つ
のＰＺＴを有しており、これら３つのＰＺＴ15ａ，15ｂ
（以下、ＰＺＴ15ａ，15ｂとした場合には図示されない
ＰＺＴも含むものとする）が円形の基準板９の周囲に略
等間隔で配され、これら３つのＰＺＴ15ａ，15ｂを介し
て基準板９が固定保持枠16に保持されている。

【００２６】また、ＣＣＤカメラ14により得られた干渉
縞画像情報はモニタ21に送出されて映出されるようにな
っており、その干渉縞画像をオペレータが目視により判
断することができるようになっている。

【００２７】次に、本実施例装置の作用について説明す
る。

【００２８】すなわち、レーザ光源１はビームスプリッ
タ６の反射面において基準板９方向に反射され、コリメ
ータレンズ７で平行光８とされ、基準面９ａと被検面10
ａにおける反射により各々参照光と物体光が生成され
る。

【００２９】この後、参照光と物体光は互いに重なりあ
ってビームスプリッタ６の反射面を透過し、ＣＣＤカメ
ラ14のＣＣＤ受像面上に干渉縞画像を形成する。

【００３０】このＣＣＤ受像面上の干渉縞画像は映像信
号に光電変換されてモニタ21に送出される。

【００３１】一方、ビームスプリッタ11により反射され
た参照光と物体光は観察面12上にも干渉縞画像を形成す
る。この観察面12上には３つのフォトディテクタ17ａ，
17ｂ，17ｃの受光面が図２に示す如く互いに離れた位置
に略等間隔で配されており、これらフォトディテクタ17
ａ，17ｂ，17ｃにより検出された光量に応じた電気レベ
ル信号が各々制御手段19に入力される。制御手段19で
は、入力された各フォトディテクタ17ａ，17ｂ，17ｃの
レベル信号が所定の値となるように制御するよう各ＰＺ
Ｔ駆動回路20ａ，20ｂ，20ｃに所定の制御信号を出力す
る。

【００３２】この制御信号が入力されたＰＺＴ駆動回路
20ａ，20ｂ，20ｃはこの制御信号に応じて各ピエゾ素子
15ａ，15ｂに所定の駆動電圧を送出しこのピエゾ素子15
ａ，15ｂを駆動する。

【００３３】この３つのピエゾ素子15ａ，15ｂの基準面
９ａに対する配置は、フォトディテクタ17ａ，17ｂ，17
ｃの観察面12に対する配置と同様の位置関係（同一位
置、もしくは同一半径上）または対向する位置関係とな
っており、各フォトディテクタ17ａ，17ｂ，17ｃにより
得られた光量信号と各ピエゾ素子15ａ，15ｂに送出すべ
き駆動信号は各々１：１に対応しており、これにより面
倒な計算をすることなく１つのフォトディテクタ17ａ，
17ｂ，17ｃの光量検出結果に基づき１つのピエゾ素子15
ａ，15ｂを駆動することができる。しかもピエゾ素子15
ａ，15ｂによるこの駆動は基準面９ａの３つの離れた位
置において行なわれるから、この３つの離れた位置にお
いて基準面９ａと被検面10ａの間隔が一定となり、基準
面９ａと被検面10ａの傾きが平行に、かつ一定間隔に保
たれることとなる。

【００３４】上記制御手段19は図２に示すように、各フ
ォトディテクタ17ａ，17ｂ，17ｃに対応して増幅器31
ａ，31ｂ，31ｃ、乗算器32ａ，32ｂ，32ｃ、積分器33
ａ，33ｂ，33ｃ、加算器34ａ，34ｂ，34ｃを各々備えれ
ており、また、ウォブリング法による制御を行なうため
に微小振動信号を乗算器32ａ，32ｂ，32ｃおよび加算器
34ａ，34ｂ，34ｃに加える正弦波信号発生器35を備えて
いる。

【００３５】制御手段19により検出された電気レベル信
号は上記増幅器31ａ，31ｂ，31ｃにより増幅され、乗算
器32ａ，32ｂ，32ｃ、積分器33ａ，33ｂ，33ｃおよび加
算器34ａ，34ｂ，34ｃによりウォブリング用の正弦波信
号とのアナログ乗算およびフィルタリングが行なわれ、
振動に伴なう干渉縞の位置ずれの方向を示す直流成分が
得られる。

【００３６】また、本実施例装置においては全ピエゾ素
子15ａ，15ｂを同一振幅、同一位相で振動させて基準面
９ａと被検面10ａを互いに平行に保ちながら両者の相対
距離を変化させ、これに伴なう所定位置の濃度変化に基
づき干渉縞の解析を行なう、いわゆるフリンジスキャニ
ング法を用いており、該表面形状の凹凸が良好に判別で
きるようになっている。このため上記制御部19には所定
周期のフリンジスキャン用信号を発生するフリンジスキ
ャン用信号発生器36、およびＰＺＴ駆動回路20ａ，20
ｂ，20ｃに送出するための信号として上記制御信号とフ
リンジスキャン信号とを択一的に選択するＳＷ切替信号
発生器37が配されている。すなわち、通常は、外部振動
の影響を除去するため、被検面10ａに対する基準面９ａ
の位置および傾きを一定にするように制御信号がＰＺＴ
駆動回路20ａ，20ｂ，20ｃに送出されるが、被検面10ａ
の表面形状測定時には、ＳＷ切替信号発生器37から所定
のＳＷ切替信号が各信号切替ＳＷ38ａ〜ｅおよびフリン
ジスキャン用信号発生器36に送出され、これにより各切
替信号38ａ〜ｅが切り替えられてフリンジスキャン用信
号発生器36により発生されたフリンジスキャン用信号36
がＰＺＴ駆動回路20ａ，20ｂ，20ｃに送出されるように
なっている。

【００３７】なおフリンジスキャニング法を用いて得ら
れた干渉縞画像信号はＣＣＤカメラ14からフリンジスキ
ャン用演算部40に送出され、被検面10ａの形状が演算さ
れることとなる。

【００３８】なお、このフリンジスキャン用演算部40と
上記制御部19は一つのコンピュータにより構成してもよ
い。

【００３９】フリンジスキャニング法を用いた被検面10
ａの表面形状測定が終了すると、ＳＷ切替信号発生器37
から所定のＳＷ切替信号が出力され、これによりフリン
ジスキャン用信号の発生が停止し、さらに信号切替ＳＷ
38ａ〜ｅの状態が制御用の状態に戻り、ＰＺＴ駆動回路
20ａ，20ｂ，20ｃに制御信号が送出されることとなる。

【００４０】なお、上記実施例装置において乗算器32
ａ，32ｂ，32ｃおよび積分器33ａ，33ｂ，33ｃに代え
て、これらと同様の機能を発揮するロックインアンプを
用いることも可能である。また、制御信号とフリンジス
キャン用信号が加算器34ａ，34ｂ，34ｃで加算され、制
御しながらフリンジスキャニング法が実行されるような
ＳＷ切替タイミングとするように構成を変更することも
可能である。

【００４１】次に、図３を用いて第２の実施例に係る耐
振動型干渉計について説明する。

【００４２】この第２の実施例装置では観察面12ａ上で
のフォトディテクタ17ｄ〜ｉの配置、および制御手段19
ａ内の構成が第１の実施例装置とは異なっている。なお
干渉縞形成手段部分については第１の実施例装置と同様
であるから説明を省略する。

【００４３】すなわち、この第２の実施例ではこの観察
面12ａの３位置である、上記第１の実施例と同様にピエ
ゾ素子15ａ，15ｂと各々対応した位置において、各々１
対のフォトディテクタ17ｄ〜ｉを設けている。これら各
位置において１対のフォトディテクタ17ｄ〜ｉは互いに
１本の干渉縞（濃度極大部分あるいは濃度極小部分）を
挾んで対向する位置に配されている。また、制御手段19
ａは上記第１の実施例装置と同様にフリンジスキャン用
信号発生器36ａ、ＳＷ切替信号発生器37ａおよび加算器
34ｄ，34ｅ，34ｆを有しており、さらに、上記第１の実
施例装置と異なり差動増幅器41ａ，41ｂ，41ｃおよびサ
ンプルホールド回路42ａ，42ｂ，42ｃを備えている。

【００４４】上記各位置における１対のフォトディテク
タ17ｄ〜ｉからの出力信号に基づき差動増幅器41ａ，41
ｂ，41ｃにおいてそれらの差信号が出力される。この差
信号はサンプルホールド回路42ａ，42ｂ，42ｃにおいて
所定のタイミングでサンプルホールドされ、加算器34
ｄ，34ｅ，34ｆを介して制御信号としてＰＺＴ駆動回路
20ａ，20ｂ，20ｃに出力される。すなわち、この制御手
段19ａは観察面12ａ上の各位置における１対のフォトデ
ィテクタ17ｄ〜ｉの出力値の差が常に小さくなるように
ピエゾ素子15ａ，15ｂを駆動して、上記各位置の対応位
置における基準面９ａと被検面10ａの間隔が常に一定と
なるように制御する。

【００４５】このようにして基準面９ａの３位置におい
て被検面10ａとの間隔が一定となるように制御されるこ
とから、上記第１の実施例装置の場合と同様に基準面９
ａと被検面10ａが傾きを平行とするように、かつ一定間
隔となるように制御される。

【００４６】なお、ＳＷ切替信号発生器37ａから出力さ
れるＳＷ切替信号によって切替スイッチ38ｆが切り替え
られ、サンプルホールド回路42ａ，42ｂ，42ｃからの信
号出力のＯＮ／ＯＦＦが切り替えられる。

【００４７】このＳＷ切替信号により、サンプルホール
ド回路42ａ，42ｂ，42ｃからの制御信号とフリンジスキ
ャン用信号発生器36ａからのフリンジスキャン用信号の
いずれかが択一的に加算器34ｄ，34ｅ，34ｆに入力され
る。なお、両信号を同時に加算器34ｄ，34ｅ，34ｆに入
力して、両信号を重畳せしめてピエゾ素子15ａ，15ｂを
駆動することも可能である。

【００４８】また、上記差動増幅器41ａ，41ｂ，41ｃに
代えて演算器を用いることも可能である。

【００４９】なお、本発明の耐振動型干渉計としては上
記実施例のものに限られるものではなく、種々の態様の
変更が可能である。

【００５０】上記実施例装置においては、被検面の形状
を測定している間における外部振動の影響に伴なう被検
面の傾きをより高精度で補正するために、フリンジスキ
ャニング法による処理が一部終了する度に振動制御を行
なうことも可能である。

【００５１】例えば、光検出手段や振動付与手段の配設
個数としては上記実施例のものに限られるものではなく
その他の所定の数を選択することができ、光検出手段と
して１つの４分割フォトダイオードを使用することも可
能である。

【００５２】また、上記光検出手段や振動付与手段とし
ても上記実施例のものに限られるものではない。

【００５３】また、上述した実施例においては、観察面
上における光検出手段の位置と基準面上の振動付与手段
の位置を対応させるようにしているが、相互の位置関係
の変換を制御手段により行ない、かつこの演算を高速な
ものとすれば、必ずしも対応させる必要はない。

【００５４】また、上記実施例装置はフィゾー型の干渉
計であるが、これに代えてマイケルソン型あるいはマッ
ハツェンダ型等の他の干渉計を用いることも可能であ
る。

【００５５】また、上述した実施例では被検面の傾きを
補正するために、参照面を傾けるようにしているが、参
照面を傾ける代わりに、被検面そのものを傾けたり、干
渉計全体を動かしたりすることも可能であり、また、干
渉計のタイプによっては参照光もしくは物体光の光路中
の光学部材を可動させることも可能である。

【００５６】さらに、上記被検面としては平面のものに
限られず、例えば凸状の球面や非球面等にも適用可能で
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願発明の第１の実施例に係る耐振動型干渉計
を示す概略図

【図２】図１に示す耐振動型干渉計の一部を示すブロッ
ク図

【図３】本願発明の第２の実施例に係る耐振動型干渉計
の一部を示すブロック図

【図４】従来の耐振動型干渉計を示す概略図

【符号の説明】

１ レーザ光源 ６，11 ビームスプリッタ ９ 基準板 ９ａ 基準面 10 被検体 10ａ 被検面 12，12ａ 観察面 14 ＣＣＤカメラ 15ａ，15ｂ ピエゾ素子（ＰＺＴ） 17ａ〜ｉ フォトディテクタ 19，19ａ 制御手段 20，20ａ，20ｂ，20ｃ ＰＺＴ駆動回路 21 モニタ 32ａ，32ｂ，32ｃ 乗算器 33ａ，33ｂ，33ｃ 積分器 34ａ〜ｆ 加算器 35 正弦波信号発生器 36，36ａ フリンジスキャン用信号発生器 37，37ａ ＳＷ切替信号発生器 38ａ〜ｆ 切替スイッチ 40 フリンジスキャン用演算部 41ａ，41ｂ，41ｃ 差動増幅器 42ａ，42ｂ，42ｃ サンプルホールド回路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡田 勝行 千葉県千葉市稲毛区小仲台５−６−４− 303 (72)発明者 小林 富美男 埼玉県大宮市植竹町１丁目324番地 富士 写真光機株式会社内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 可干渉光を基準板上の基準面と被検体上
   の被検面に照射し、該基準面からの参照光と該被検面か
   らの物体光とによる干渉縞を観察面上に形成する干渉縞
   形成手段と、 前記観察面上の所定位置に配された、干渉縞像の局部的
   な光量を検出する光検出手段と、 前記参照光と前記物体光との光路差を調整するように、
   前記干渉縞形成手段の光路中のいずれかの部材に所定の
   振動を付与する振動付与手段と、 前記光検出手段により検出された光量の変化が小さくな
   るように前記振動付与手段の振動を制御する制御手段を
   備えてなることを特徴とする耐振動型干渉計。
2. 【請求項２】 可干渉光を基準板上の基準面と被検体上
   の被検面に照射し、該基準面からの参照光と該被検面か
   らの物体光とによる干渉縞を観察面上に形成する干渉縞
   形成手段と、 前記観察面上の所定位置に配された、干渉縞像の局部的
   な光量を検出する光検出手段と、 前記基準面と前記被検面の相対的な傾きを補正する傾き
   補正手段と、 前記光検出手段により検出された光量の変化が小さくな
   るように、前記傾き補正手段を制御する制御手段とを備
   えてなることを特徴とする耐振動型干渉計。
3. 【請求項３】 前記振動付与手段が前記基準板もしくは
   前記被検体に取り付けられており、この振動付与手段の
   取付位置に対応した前記観察面上の位置に前記光検出手
   段が配設されてなることを特徴とする請求項１もしくは
   ２記載の耐振動型干渉計。
4. 【請求項４】 前記光検出手段が前記観察面上の互いに
   離れた３つの位置に配設されてなることを特徴とする請
   求項１〜３のうちいずれか１項記載の耐振動型干渉計。
5. 【請求項５】 前記３つの位置の各々において、干渉縞
   の濃度極大部分もしくは濃度極小部分を挾んで対向する
   ように２つの光検出手段が配設されてなることを特徴と
   する請求項４記載の耐振動型干渉計。