JPH08114761A - 偏向走査装置 - Google Patents
偏向走査装置Info
- Publication number
- JPH08114761A JPH08114761A JP27451594A JP27451594A JPH08114761A JP H08114761 A JPH08114761 A JP H08114761A JP 27451594 A JP27451594 A JP 27451594A JP 27451594 A JP27451594 A JP 27451594A JP H08114761 A JPH08114761 A JP H08114761A
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- laser
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- photosensor
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 走査開始信号を検出する光センサを半導体レ
ーザの近傍に配設する。 【構成】 半導体レーザ1aから発生されたレーザ光L
1 は回転多面鏡2によって偏向走査され、その一部分は
走査開始信号として検出ミラー5によって反射され、前
記レーザ光L1 の光路の反対側に配設された光センサ6
に導入され、残りは回転ドラム4に結像される。光セン
サ6は半導体レーザ1aの近傍に配設され、同じフレキ
シブル基板7に搭載される。
ーザの近傍に配設する。 【構成】 半導体レーザ1aから発生されたレーザ光L
1 は回転多面鏡2によって偏向走査され、その一部分は
走査開始信号として検出ミラー5によって反射され、前
記レーザ光L1 の光路の反対側に配設された光センサ6
に導入され、残りは回転ドラム4に結像される。光セン
サ6は半導体レーザ1aの近傍に配設され、同じフレキ
シブル基板7に搭載される。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザビームプリンタ
やレーザファクシミリあるいはデジタル複写機等の画像
形成装置に用いられる偏向走査装置に関するものであ
る。
やレーザファクシミリあるいはデジタル複写機等の画像
形成装置に用いられる偏向走査装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】レーザビームプリンタやレーザファクシ
ミリあるいはデジタル複写機等の画像形成装置に用いら
れる偏向走査装置の一従来例を図2に基づいて説明す
る。これは、レーザ光Lo を出射するレーザユニットE
と、レーザ光Lo を偏向走査する回転多面鏡Rを有し、
回転多面鏡Rによって偏向走査されたレーザ光は結像レ
ンズ系Fを経て回転ドラムM上の感光体に結像する。
ミリあるいはデジタル複写機等の画像形成装置に用いら
れる偏向走査装置の一従来例を図2に基づいて説明す
る。これは、レーザ光Lo を出射するレーザユニットE
と、レーザ光Lo を偏向走査する回転多面鏡Rを有し、
回転多面鏡Rによって偏向走査されたレーザ光は結像レ
ンズ系Fを経て回転ドラムM上の感光体に結像する。
【0003】感光体に結像するレーザ光は、回転多面鏡
Rの回転による主走査と、回転ドラムMの回転による副
走査によって静電潜像を形成する。
Rの回転による主走査と、回転ドラムMの回転による副
走査によって静電潜像を形成する。
【0004】また、回転多面鏡Rによって偏向走査され
たレーザ光の一部分は、検出ミラーBによって光センサ
Dの受光面に導入され、レーザユニットEは、光センサ
Dの出力信号によって書き込み変調を開始する。
たレーザ光の一部分は、検出ミラーBによって光センサ
Dの受光面に導入され、レーザユニットEは、光センサ
Dの出力信号によって書き込み変調を開始する。
【0005】検出ミラーBは、回転多面鏡Rによって反
射されたレーザ光を、主走査方向(Y軸方向)の末端に
おいて主走査面(XY平面)の下方へ反射し、主走査面
の反対側に位置する光センサDに導入する。光センサD
の出力は図示しない増幅器や光強度検出器を経て走査開
始信号としてレーザユニットEの半導体レーザE1 の駆
動回路に送信される。
射されたレーザ光を、主走査方向(Y軸方向)の末端に
おいて主走査面(XY平面)の下方へ反射し、主走査面
の反対側に位置する光センサDに導入する。光センサD
の出力は図示しない増幅器や光強度検出器を経て走査開
始信号としてレーザユニットEの半導体レーザE1 の駆
動回路に送信される。
【0006】半導体レーザE1 の駆動回路は、外部のコ
ンピュータから送られる画像信号を記憶するメモリや走
査開始信号によって駆動開始するタイマ等を有し、走査
開始信号を受信してから所定時間後にメモリの出力に基
づく書き込み変調を開始する。
ンピュータから送られる画像信号を記憶するメモリや走
査開始信号によって駆動開始するタイマ等を有し、走査
開始信号を受信してから所定時間後にメモリの出力に基
づく書き込み変調を開始する。
【0007】光センサDの近傍には、その受光面に近接
して集光レンズNやスリットSが配設され、また、光セ
ンサDの受光面の配設位置は、結像レンズ系Fから検出
ミラーBを経て光センサDに到達するレーザ光の光路の
長さと、結像レンズ系Fから回転ドラムMに到達するレ
ーザ光の光路の長さがほぼ等しくなる位置、すなわち、
光センサDの受光面に導入されるレーザ光の結像位置で
あるのが望ましい。その理由は以下の通りである。
して集光レンズNやスリットSが配設され、また、光セ
ンサDの受光面の配設位置は、結像レンズ系Fから検出
ミラーBを経て光センサDに到達するレーザ光の光路の
長さと、結像レンズ系Fから回転ドラムMに到達するレ
ーザ光の光路の長さがほぼ等しくなる位置、すなわち、
光センサDの受光面に導入されるレーザ光の結像位置で
あるのが望ましい。その理由は以下の通りである。
【0008】図3に示すように、光センサDの受光面に
導入されるレーザ光の光強度分布は、前記受光面がレー
ザ光の結像位置であれば曲線(a)で示すようにガウス
分布に近似したものとなるが、レーザ光の結像位置から
ずれると、ガウス分布より立ち上がりの鈍いなだらかな
曲線(b)となる。
導入されるレーザ光の光強度分布は、前記受光面がレー
ザ光の結像位置であれば曲線(a)で示すようにガウス
分布に近似したものとなるが、レーザ光の結像位置から
ずれると、ガウス分布より立ち上がりの鈍いなだらかな
曲線(b)となる。
【0009】光センサDの受光面に導入されるレーザ光
の光強度分布の立ち上がりが曲線(b)で示すように鈍
いと、光センサDに導入されるレーザ光の光強度が回転
多面鏡Rの汚染等のためにわずかに変化した場合でも、
走査開始信号を発生するタイミングが著しく変化するお
それがある。
の光強度分布の立ち上がりが曲線(b)で示すように鈍
いと、光センサDに導入されるレーザ光の光強度が回転
多面鏡Rの汚染等のためにわずかに変化した場合でも、
走査開始信号を発生するタイミングが著しく変化するお
それがある。
【0010】例えば、図4に示すように、回転多面鏡R
の反射面の汚染のためにその反射率が変化し、その結
果、本来曲線(b1 )に沿って変化する光センサDの出
力が曲線(b2 )に沿って変化する状況になったとき、
光センサDが走査開始信号を発生する出力値Qに到達す
るタイミングが△Tだけずれるが、このずれ量は、光セ
ンサDの受光面に導入されるレーザ光の光強度の立ち上
がりが鈍い程増大し、走査開始信号を発生するタイミン
グが著しく変化することになる。
の反射面の汚染のためにその反射率が変化し、その結
果、本来曲線(b1 )に沿って変化する光センサDの出
力が曲線(b2 )に沿って変化する状況になったとき、
光センサDが走査開始信号を発生する出力値Qに到達す
るタイミングが△Tだけずれるが、このずれ量は、光セ
ンサDの受光面に導入されるレーザ光の光強度の立ち上
がりが鈍い程増大し、走査開始信号を発生するタイミン
グが著しく変化することになる。
【0011】走査開始信号のタイミングのずれは回転ド
ラムMの感光体に形成される静電潜像に歪を発生させ、
画像形成装置の画質を大きく低下させる。
ラムMの感光体に形成される静電潜像に歪を発生させ、
画像形成装置の画質を大きく低下させる。
【0012】なお、レーザユニットEは、半導体レーザ
E1 から発生されたレーザ光を平行化するコリメータレ
ンズE2 とその出射光を所定のビーム径に絞るためのス
リットE3 を有し、このようにして所定のビーム径に整
形された平行ビームはシリンドリカルレンズCによって
回転多面鏡Rの反射面に線状に集光される。
E1 から発生されたレーザ光を平行化するコリメータレ
ンズE2 とその出射光を所定のビーム径に絞るためのス
リットE3 を有し、このようにして所定のビーム径に整
形された平行ビームはシリンドリカルレンズCによって
回転多面鏡Rの反射面に線状に集光される。
【0013】回転多面鏡Rに集光されるレーザ光は線状
ではあってもある程度の幅を有するため、回転多面鏡R
の反射光の主走査面は結像レンズ系Fの光軸(X軸)に
対してレーザユニットEに近い側のY軸方向の幅が遠い
側のY軸方向の幅より大きい非対称となる。従って、走
査開始信号として光センサDに導入されるレーザ光につ
いては、レーザユニットEに近い側の主走査面のY軸方
向の末端に到達するものを検出ミラーBで分離するとと
もに、これを、主走査面の直下を横切って反対側の光セ
ンサDに導入することで、結像レンズ系Fから光センサ
Dに至るレーザ光の光路の長さが回転ドラムMに結像す
るレーザ光の光路の長さにほぼ等しくなるように工夫さ
れている。
ではあってもある程度の幅を有するため、回転多面鏡R
の反射光の主走査面は結像レンズ系Fの光軸(X軸)に
対してレーザユニットEに近い側のY軸方向の幅が遠い
側のY軸方向の幅より大きい非対称となる。従って、走
査開始信号として光センサDに導入されるレーザ光につ
いては、レーザユニットEに近い側の主走査面のY軸方
向の末端に到達するものを検出ミラーBで分離するとと
もに、これを、主走査面の直下を横切って反対側の光セ
ンサDに導入することで、結像レンズ系Fから光センサ
Dに至るレーザ光の光路の長さが回転ドラムMに結像す
るレーザ光の光路の長さにほぼ等しくなるように工夫さ
れている。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の技術によれば、前述のように、走査開始信号を検出す
る光センサが、回転多面鏡の反射光の主走査面に対して
レーザユニットの反対側に配設されており、このため
に、光センサの出力をレーザユニットの半導体レーザの
駆動回路に導入するための接続配線が著しく長くなり、
その結果、外乱によって走査開始信号のタイミングに著
しいずれを発生するおそれがあり、また、接続配線の設
置スペース等のために装置全体の小型化が障げられると
いう未解決の課題がある。
の技術によれば、前述のように、走査開始信号を検出す
る光センサが、回転多面鏡の反射光の主走査面に対して
レーザユニットの反対側に配設されており、このため
に、光センサの出力をレーザユニットの半導体レーザの
駆動回路に導入するための接続配線が著しく長くなり、
その結果、外乱によって走査開始信号のタイミングに著
しいずれを発生するおそれがあり、また、接続配線の設
置スペース等のために装置全体の小型化が障げられると
いう未解決の課題がある。
【0015】本発明は、上記従来の技術の有する未解決
の課題に鑑みてなされたものであり、走査開始信号を検
出する走査開始信号検出系の精度を向上させるととも
に、装置の小型化に大きく貢献できる偏向走査装置を提
供することを目的とするものである。
の課題に鑑みてなされたものであり、走査開始信号を検
出する走査開始信号検出系の精度を向上させるととも
に、装置の小型化に大きく貢献できる偏向走査装置を提
供することを目的とするものである。
【0016】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明の偏向走査装置は、回転多面鏡と、該回転多
面鏡によって偏向走査された照明光の一部分を除く残り
を感光体に結像させる第1の光学系と、前記照明光の光
源に近接して配設された走査開始信号検出器と、前記照
明光の前記一部分を前記光源から前記回転多面鏡に到る
前記照明光の光路の反対側に反射して前記走査開始信号
検出器に導入するための第2の光学系を有することを特
徴とする。
め、本発明の偏向走査装置は、回転多面鏡と、該回転多
面鏡によって偏向走査された照明光の一部分を除く残り
を感光体に結像させる第1の光学系と、前記照明光の光
源に近接して配設された走査開始信号検出器と、前記照
明光の前記一部分を前記光源から前記回転多面鏡に到る
前記照明光の光路の反対側に反射して前記走査開始信号
検出器に導入するための第2の光学系を有することを特
徴とする。
【0017】第2の光学系が、照明光の一部分を走査開
始信号検出器に向かって集光するための集光手段を備え
ているとよい。
始信号検出器に向かって集光するための集光手段を備え
ているとよい。
【0018】また、照明光の光源と走査開始信号検出器
が同じフレキシブル基板に搭載されているとよい。
が同じフレキシブル基板に搭載されているとよい。
【0019】
【作用】走査開始信号検出器が照明光の光源に近接して
配設されているため、走査開始信号検出器を光源に接続
するための接続配線等が短くてすむ。
配設されているため、走査開始信号検出器を光源に接続
するための接続配線等が短くてすむ。
【0020】その結果、走査開始信号検出系の精度を低
下させる外乱を防ぎ、かつ、接続配線等の設置スペース
を大きく節約できる。
下させる外乱を防ぎ、かつ、接続配線等の設置スペース
を大きく節約できる。
【0021】また、走査開始信号検出器と照明光の光源
を同じフレキシブル基板に搭載することも容易であり、
これによって、より一層外乱が少ないうえに小型で組み
立ての簡単な走査開始信号検出器を実現できる。
を同じフレキシブル基板に搭載することも容易であり、
これによって、より一層外乱が少ないうえに小型で組み
立ての簡単な走査開始信号検出器を実現できる。
【0022】
【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【0023】図1は一実施例による偏向走査装置を説明
する説明図であって、これは、照明光であるレーザ光L
1 を出射するレーザユニット1と、レーザ光L1 を偏向
走査する回転多面鏡2を有し、回転多面鏡2によって偏
向走査されたレーザ光は第1の光学系である結像レンズ
系3を経て回転ドラム4上の感光体に結像する。
する説明図であって、これは、照明光であるレーザ光L
1 を出射するレーザユニット1と、レーザ光L1 を偏向
走査する回転多面鏡2を有し、回転多面鏡2によって偏
向走査されたレーザ光は第1の光学系である結像レンズ
系3を経て回転ドラム4上の感光体に結像する。
【0024】感光体に結像するレーザ光は、回転多面鏡
2の回転による主走査と、回転ドラム4の回転による副
走査によって静電潜像を形成する。
2の回転による主走査と、回転ドラム4の回転による副
走査によって静電潜像を形成する。
【0025】また、回転多面鏡2によって偏向走査され
たレーザ光の一部分は、第2の光学系である検出ミラー
5によって走査開始信号検出器である光センサ6の受光
面に導入され、レーザユニット1は、光センサ6の出力
信号によって書き込み変調を開始する。
たレーザ光の一部分は、第2の光学系である検出ミラー
5によって走査開始信号検出器である光センサ6の受光
面に導入され、レーザユニット1は、光センサ6の出力
信号によって書き込み変調を開始する。
【0026】検出ミラー5は、回転多面鏡2の走査光を
主走査面のレーザユニット1に近い側のY軸方向の端縁
近傍において光センサ6に向かって反射するもので、検
出ミラー5の反射光は、レーザユニット1から回転多面
鏡2に向かって出射されるレーザ光L1 に干渉しないよ
うにその上あるいは下を通って光センサ6に導入され
る。
主走査面のレーザユニット1に近い側のY軸方向の端縁
近傍において光センサ6に向かって反射するもので、検
出ミラー5の反射光は、レーザユニット1から回転多面
鏡2に向かって出射されるレーザ光L1 に干渉しないよ
うにその上あるいは下を通って光センサ6に導入され
る。
【0027】すなわち、検出ミラー5は、主走査面の末
端に到達したレーザ光を、レーザユニット1から出射さ
れるレーザ光L1 の光路の反対側に位置する光センサ6
に導入する。
端に到達したレーザ光を、レーザユニット1から出射さ
れるレーザ光L1 の光路の反対側に位置する光センサ6
に導入する。
【0028】光センサ6の受光面の近傍には光センサス
リット6aと集光手段である集光レンズ6bが配設され
る。光センサスリット6aは、光センサ6の受光面に導
入されるレーザ光を所定のビーム径に絞ることで走査開
始信号の立ち上りの信頼性を向上させる。
リット6aと集光手段である集光レンズ6bが配設され
る。光センサスリット6aは、光センサ6の受光面に導
入されるレーザ光を所定のビーム径に絞ることで走査開
始信号の立ち上りの信頼性を向上させる。
【0029】集光レンズ6bは、検出ミラー5から光セ
ンサ6に到るレーザ光の光路の長さより結像レンズ3か
ら回転ドラム4に到るレーザ光の光路の方が短い場合に
これを光センサ6の受光面に結像させる働きをする。
ンサ6に到るレーザ光の光路の長さより結像レンズ3か
ら回転ドラム4に到るレーザ光の光路の方が短い場合に
これを光センサ6の受光面に結像させる働きをする。
【0030】これとは逆に、結像レンズ3から回転ドラ
ム4に到る光路が検出ミラー5から光センサ6に到る光
路より短い場合には集光レンズ6bの替わりに発散レン
ズを用いる。
ム4に到る光路が検出ミラー5から光センサ6に到る光
路より短い場合には集光レンズ6bの替わりに発散レン
ズを用いる。
【0031】レーザユニット1の光源である半導体レー
ザ1aと光センサ6はフレキシブル基板7に実装されて
おり、光センサ6の出力は図示しない増幅器や光強度検
出器を経て走査開始信号としてレーザユニット1の半導
体レーザ1aの駆動回路に送信される。
ザ1aと光センサ6はフレキシブル基板7に実装されて
おり、光センサ6の出力は図示しない増幅器や光強度検
出器を経て走査開始信号としてレーザユニット1の半導
体レーザ1aの駆動回路に送信される。
【0032】半導体レーザ1aの駆動回路は、外部のコ
ンピュータから送られる画像信号を記憶するメモリや走
査開始信号によって駆動開始するタイマ等を有し、走査
開始信号を受信してから所定時間後にメモリの出力に基
づく書き込み変調を開始する。
ンピュータから送られる画像信号を記憶するメモリや走
査開始信号によって駆動開始するタイマ等を有し、走査
開始信号を受信してから所定時間後にメモリの出力に基
づく書き込み変調を開始する。
【0033】前述のように、検出ミラー5の反射光の結
像位置を集光レンズ6bまたは発散レンズによって調節
することで、光センサ6の配設位置を、レーザユニット
1の半導体レーザ1aと光センサ6を電気接続するのに
最も都合の良い場所に設定できる。
像位置を集光レンズ6bまたは発散レンズによって調節
することで、光センサ6の配設位置を、レーザユニット
1の半導体レーザ1aと光センサ6を電気接続するのに
最も都合の良い場所に設定できる。
【0034】なお、レーザユニット1はその出射光を平
行化するコリメータレンズ1bと平行化されたレーザ光
を所定のビーム径に絞るためのスリット1cを有する。
また、レーザユニット1と回転多面鏡2の間には、レー
ザユニット1の出射光L1 を回転多面鏡2の反射面に線
状に集光するシリンドリカルレンズ8が配設される。
行化するコリメータレンズ1bと平行化されたレーザ光
を所定のビーム径に絞るためのスリット1cを有する。
また、レーザユニット1と回転多面鏡2の間には、レー
ザユニット1の出射光L1 を回転多面鏡2の反射面に線
状に集光するシリンドリカルレンズ8が配設される。
【0035】本実施例は、検出ミラー5の反射光をレー
ザユニット1とシリンドリカルレンズ8の間においてレ
ーザユニット1の出射光L1 の上または下を横切って光
センサ6に導入するように構成されているが、検出ミラ
ー5の反射光がシリンドリカルレンズ8の下流側におい
てレーザユニット1の出射光L1 を横切るように構成し
てもよい。
ザユニット1とシリンドリカルレンズ8の間においてレ
ーザユニット1の出射光L1 の上または下を横切って光
センサ6に導入するように構成されているが、検出ミラ
ー5の反射光がシリンドリカルレンズ8の下流側におい
てレーザユニット1の出射光L1 を横切るように構成し
てもよい。
【0036】また、レーザユニット1と光センサ6をフ
レキシブル基板7に実装する替わりに、公知の接続コー
ドやケーブルを用いてレーザユニット1と光センサ6を
電気接続することもできることは言うまでもない。
レキシブル基板7に実装する替わりに、公知の接続コー
ドやケーブルを用いてレーザユニット1と光センサ6を
電気接続することもできることは言うまでもない。
【0037】本実施例によれば、回転多面鏡の反射光の
主走査面に対して光センサとレーザユニットが同じ側で
互いに近接して配設されているため、従来例のように検
出ミラーの反射光を回転多面鏡の走査光の主走査面の反
対側の光センサへ導入する場合に比べて、光センサとレ
ーザユニットを電気接続するための接続配線の長さを大
幅に短縮することができる。また、光センサとレーザユ
ニットを共通のフレキシブル基板に実装することも容易
である。
主走査面に対して光センサとレーザユニットが同じ側で
互いに近接して配設されているため、従来例のように検
出ミラーの反射光を回転多面鏡の走査光の主走査面の反
対側の光センサへ導入する場合に比べて、光センサとレ
ーザユニットを電気接続するための接続配線の長さを大
幅に短縮することができる。また、光センサとレーザユ
ニットを共通のフレキシブル基板に実装することも容易
である。
【0038】従って、外乱によって走査開始信号のタイ
ミングがずれるおそれがないうえに、長いコードやケー
ブルのために余分なスペースを必要とせず、偏向走査装
置の高精度化と小型化を大幅に促進できる。
ミングがずれるおそれがないうえに、長いコードやケー
ブルのために余分なスペースを必要とせず、偏向走査装
置の高精度化と小型化を大幅に促進できる。
【0039】
【発明の効果】本発明は、上述のとおり構成されている
ので、次に記載するような効果を奏する。
ので、次に記載するような効果を奏する。
【0040】走査開始信号を検出する走査開始信号検出
系の精度を向上させるとともに、装置の小型化に大きく
貢献できる。その結果、小型で高性能な偏向走査装置を
実現できる。このような偏向走査装置を用いることで、
画像形成装置の小型化と高性能化を大きく促進できる。
系の精度を向上させるとともに、装置の小型化に大きく
貢献できる。その結果、小型で高性能な偏向走査装置を
実現できる。このような偏向走査装置を用いることで、
画像形成装置の小型化と高性能化を大きく促進できる。
【図1】一実施例による偏向走査装置を説明する説明図
である。
である。
【図2】一従来例を説明する説明図である。
【図3】光センサの受光面におけるレーザ光の光強度分
布を示すグラフである。
布を示すグラフである。
【図4】光センサの出力の立ち上がりと走査開始信号発
生のタイミングのずれを説明するグラフである。
生のタイミングのずれを説明するグラフである。
1 レーザユニット 1a 半導体レーザ 2 回転多面鏡 3 結像レンズ 4 回転ドラム 5 検出ミラー 6 光センサ 6b 集光レンズ 7 フレキシブル基板 8 シリンドリカルレンズ
Claims (3)
- 【請求項1】 回転多面鏡と、該回転多面鏡によって偏
向走査された照明光の一部分を除く残りを感光体に結像
させる第1の光学系と、前記照明光の光源に近接して配
設された走査開始信号検出器と、前記照明光の前記一部
分を前記光源から前記回転多面鏡に到る前記照明光の光
路の反対側に反射して前記走査開始信号検出器に導入す
るための第2の光学系を有する偏向走査装置。 - 【請求項2】 第2の光学系が、照明光の一部分を走査
開始信号検出器に向かって集光するための集光手段を備
えていることを特徴とする請求項1記載の偏向走査装
置。 - 【請求項3】 照明光の光源と走査開始信号検出器が同
じフレキシブル基板に搭載されていることを特徴とする
請求項1または2記載の偏向走査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27451594A JPH08114761A (ja) | 1994-10-13 | 1994-10-13 | 偏向走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27451594A JPH08114761A (ja) | 1994-10-13 | 1994-10-13 | 偏向走査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08114761A true JPH08114761A (ja) | 1996-05-07 |
Family
ID=17542779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27451594A Pending JPH08114761A (ja) | 1994-10-13 | 1994-10-13 | 偏向走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08114761A (ja) |
-
1994
- 1994-10-13 JP JP27451594A patent/JPH08114761A/ja active Pending
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