JPH08114810A - 液晶パネル製造装置および圧着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 圧着ブロックの押圧面の平行度を良好に保ち
液晶駆動用ＩＣ（ＴＡＢ部品）の圧着を良好に行える装
置を提供する。 【構成】 ＴＡＢ部品２を異方性導電膜を介して上記液
晶セル１のガラス基板１ａ、１ｂに押し付ける押圧面３
３ａを有し内部に加熱ヒータ３９が埋設されてなる圧着
ブロック３５と、この圧着ブロック３５を駆動し、上記
ＴＡＢ部品２を上記ガラス基板１ａ、１ｂに熱圧着する
駆動シリンダ２９と、この圧着ブロック３５に設けら
れ、作動することで上記押圧面３３ａの傾きを調整する
複数の圧電アクチュエータ３６と、本圧着されるＴＡＢ
部品２に隣接するＴＡＢ部品２を冷却する冷却機構２８
と、上記圧着ブロック３５の押圧面３３ａが異方性導電
膜の付着物で汚れた場合に、この押圧面３３ａをクリー
ニングし上記異方性導電膜の付着物を除去する洗浄機構
２７とを具備する

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えば、液晶セルを
構成するガラス基板に液晶駆動用ＩＣであるＴＡＢ部品
を圧着する液晶パネル製造装置および圧着装置に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】液晶パネルの製造工程では、図９に示す
ように２枚の第１、第２の液晶ガラス基板１ａ、１ｂを
対向させて形成される液晶セル１の周囲に液晶駆動用Ｉ
Ｃ２が実装される。この液晶駆動用ＩＣとしては、図１
０に示すようなＴＡＢ部品２が一般的に使用されてい
る。

【０００３】このＴＡＢ部品２は、表面に所定の回路パ
ターン３が形成されてなる薄いシネフィルム状のフィル
ムキャリア４に半導体素子５をインナーリードボンディ
ングすることで製造されたものである。

【０００４】このＴＡＢ部品２を、上記液晶セル１の第
１、第２のガラス基板１ａ、１ｂに実装するには、接合
材として例えば異方性導電膜が用いられる。この異方性
導電膜は、熱硬化性あるいは熱可塑性の樹脂フィルム中
に導電粒子を混入させたテープ状の部材であり、図１０
に６で示すように、例えば、上記ＴＡＢ部品２の一端側
に突設された複数本のアウタリード７…に、長手方向を
このアウタリード７と直交させた状態で貼付されてい
る。なお、この異方性導電膜６は、上記第１、第２のガ
ラス基板１ａ、１ｂ側に貼付されていても良い。

【０００５】上記ＴＡＢ部品２と上記第１、第２のガラ
ス基板１ａ、１ｂとを接続する場合には、まず、ＴＡＢ
部品２のアウタリード７とガラス基板１ａ、１ｂの縁部
に形成された図示しない配線パターンとを、両者の間に
上記異方性導電膜６を介在させた状態で対向位置決めす
る。そして、上記ＴＡＢ部品２を上記第１、第２のガラ
ス基板１ａ、１ｂに押し付けることで、このＴＡＢ部品
２を上記第１、第２のガラス基板１ａ、１ｂに仮圧着す
る。

【０００６】ついで、図１１に示すように、圧着ブロッ
ク８の下面に保持された加圧チップ９を用いて上記ＴＡ
Ｂ部品２を上記ガラス基板１ａに対して加圧すると共に
加熱する。このことで、両者の間に挟まれた上記異方性
導電膜６が押し潰されると共に軟化し、このアウタリー
ド７と上記第１、第２のガラス基板１ａ、１ｂの配線パ
ターンは電気的、機械的に接合される。上記ＴＡＢ部品
２は、このような仮圧着工程および本圧着工程を経るこ
とで、上記第１、第２のガラス基板１ａ、１ｂに実装さ
れる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の液晶
パネル製造技術には、以下に説明するような解決すべき
課題がある。上記圧着ブロック８は、エアシリンダ１０
により上下駆動され、上記ＴＡＢ部品２を所定のボンデ
ィング圧力Ｐで上記ガラス基板１ａ、１ｂに押圧するこ
とで、このＴＡＢ部品２をガラス基板１ａ、１ｂにボン
ディングするようになっている。

【０００８】また、上記ガラス基板１ａ、１ｂは、上記
圧着ブロック８の下方に配設されたボンディングステー
ジ（図示せず）によってバックアップ支持されており、
上記圧着ブロック８は、このボンディングステージとの
間に上記ＴＡＢ部品２とガラス基板１ａ、１ｂとを挟み
こむことにより、両者を圧着（アウタリードボンディン
グ）するようになっている。

【０００９】このようなボンディングを行う場合、第１
に、上記圧着ブロック８に保持された加圧チップ９の押
圧面と、上記ボンディングステージのバックアップ面の
平行度が問題となる。すなわち、この平行度が悪い場合
には、局部的に規定値どうりの圧力で上記異方性導電膜
６を挟みこむことができなくなるため、この異方性導電
膜６内の導電粒子が潰れず、上記液晶ガラス基板１ａ、
１ｂの配線パターンと上記ＴＡＢ部品２のアウタリード
７との間で電気的接合がなされない部分が生じる恐れが
ある。

【００１０】また、この平行度の精度を決定する要因と
しては、上記加圧チップ９の押圧面やボンディングステ
ージの形状精度によるものだけでではなく、上記圧着ブ
ロック８の熱変形によるものも挙げられる。

【００１１】すなわち、上記加圧チップ９を加熱する
と、この加圧チップ９を保持する圧着ブロック８に熱変
形が生じるため、この圧着ブロック８に熱歪みが発生
し、この圧着ブロック８に保持された加圧チップ９の押
圧面と上記ボンディングステージの上面との間の平行度
が狂うということがある。

【００１２】この場合にも、局部的に規定値どうりの圧
力を上記異方性導電膜６に与えることができなくなり、
前述したのと同様の問題が生じる。また、ガラス基板１
ａ、１ｂに異方性導電膜６を介してＴＡＢ部品２を圧着
する場合に、圧着ブロック８による加熱によって上記Ｔ
ＡＢ部品２のベースであるフィルムキャリア４（樹脂
製）が膨脹し、あらかじめ位置合わせしたガラス基板１
ａ、１ｂの配線パターンの端子とＴＡＢ部品２のアウタ
リード７との間に位置ずれが生じてしまうことがある。

【００１３】この際、上記加圧チップ９の押圧面と上記
ボンディングステージとの平行度が狂っていて、押圧力
にばらつきがあると、押圧力の低い方向に向かって大き
な膨脹が生じるということがある。

【００１４】また、加圧チップ９の押圧面には、熱圧着
を繰り返す毎に、上記異方性導電膜６のかす等が付着滞
積するということがある。この状態で上記ＴＡＢ部品２
の押圧を行うと、押圧面に凸凹があるために押圧力が均
一とならず、上述した平行度が狂っている場合と同様の
問題が生じるということがある。

【００１５】液晶駆動用のＴＡＢ部品２は、他の実装部
品と比較して大型の部品であるから、一度に接合する長
さ（接合長さ）が比較的長く、平行度の狂いや熱膨張が
ボンディングの精度に大きく影響するということがあ
る。

【００１６】また、近年の液晶パネルの大型化、高精細
化の要請に伴い、液晶ガラス基板１ａ、１ｂは大型化
し、このガラス基板１ａ、１ｂに形成された配線パター
ンは多端子化、高密度化、微細化しているため、上記圧
着にはより高い精度が要求されているということがあ
る。

【００１７】この発明は、このような事情に鑑みて成さ
れたもので、圧着ツールの押圧面とボンディングステー
ジの平行度を高精度に保ち、熱膨張による位置合わせの
狂いを防止しつつ上記液晶駆動用ＩＣ（ＴＡＢ部品）の
圧着を行える液晶パネル製造装置および圧着装置を提供
することを目的とするものである。

【００１８】

【課題を解決するための手段】この発明の第１の手段
は、液晶セルを構成する基板に仮圧着されている液晶駆
動用ＩＣを上記基板に本圧着する本圧着機構を備える液
晶パネルの製造装置において、上記本圧着機構は、上記
液晶駆動用ＩＣを接合材を介して上記基板に押し付ける
押圧面を有する圧着ブロックと、この圧着ブロックを所
定の圧着温度に昇温させる加熱手段と、この圧着ブロッ
クを駆動し、上記押圧面で上記液晶駆動用ＩＣを押し付
けることで、この液晶駆動用ＩＣを上記基板に熱圧着す
る駆動手段と、この圧着ブロックに設けられ、上記作動
することで上記押圧面の傾きを調整するアクチュエータ
と、上記圧着ブロックにより本圧着されるＩＣに隣接す
る位置に仮圧着されている上記ＩＣを冷却する冷却手段
と、上記圧着ブロックの近傍に設けられ、上記圧着ブロ
ックの押圧面が接合材の付着物で汚れたのに基づき、こ
の押圧面をクリーニングし上記接合材の付着物を除去す
るクリーニング機構とを具備することを特徴とする液晶
パネル製造装置である。

【００１９】第２の手段は、液晶セルを構成する基板に
仮圧着されている液晶駆動用ＩＣを上記基板に本圧着す
る本圧着機構を備える液晶パネル製造装置において、上
記本圧着機構は、上記液晶駆動用ＩＣを接合材を介して
上記基板に押し付ける押圧面を有する圧着ブロックと、
この圧着ブロックを駆動し、上記押圧面で上記液晶駆動
用ＩＣを押し付けることで、この液晶駆動用ＩＣを上記
基板に圧着する駆動手段と、この圧着ブロックに設けら
れ、作動することで上記押圧面の傾きを調整するアクチ
ュエータとを有することを特徴とする液晶パネル製造装
置である。

【００２０】第３の手段は、第１、第２の手段の液晶パ
ネル製造装置において、上記アクチュエータは、上記押
圧面と略平行な方向に複数個配設され、通電されること
で、それぞれが個別に上記押圧面と略直交する方向に伸
縮し、上記押圧面の傾きを制御する圧電アクチュエータ
であることを特徴とする液晶パネル製造装置である。

【００２１】第４の手段は、液晶セルを構成する基板に
仮圧着されている液晶駆動用ＩＣを上記基板に本圧着す
る本圧着機構を備える液晶パネル製造装置において、上
記本圧着機構は、上記液晶駆動用ＩＣを接合材を介して
上記基板に押し付ける押圧面を有する圧着ブロックと、
この圧着ブロックを所定の圧着温度に昇温させる加熱手
段と、この圧着ブロックを駆動し、上記押圧面で上記液
晶駆動用ＩＣを押し付けることで、この液晶駆動用ＩＣ
を上記基板に熱圧着する駆動手段と、上記圧着ブロック
により本圧着されるＩＣに隣接する位置に仮圧着されて
いる上記ＩＣを冷却する冷却手段と、を具備することを
特徴とする液晶パネル製造装置である。

【００２２】第５の手段は、第１、第４の手段の液晶パ
ネル製造装置において、上記冷却手段は、上記隣接する
ＩＣに冷却風を吹き付けることで、このＩＣを冷却する
冷却風吹き付けノズルを有することを特徴とする液晶パ
ネル製造装置である。

【００２３】第６の手段は、液晶セルを構成する基板に
仮圧着されている液晶駆動用ＩＣを上記基板に本圧着す
る本圧着機構を備える液晶パネル製造装置において、上
記本圧着機構は、上記液晶駆動用ＩＣを接合材を介して
上記基板に押し付ける押圧面を有する圧着ブロックと、
この圧着ブロックを所定の圧着温度に昇温させる加熱手
段と、この圧着ブロックを駆動し、上記押圧面で上記液
晶駆動用ＩＣを押し付けることで、この液晶駆動用ＩＣ
を上記基板に熱圧着する駆動手段と、上記圧着ブロック
の近傍に設けられ、上記圧着ブロックの押圧面が接合材
の付着物で汚れたのに基づき、この押圧面をクリーニン
グし上記接合材の付着物を除去するクリーニング機構と
を具備することを特徴とする液晶パネル製造装置であ
る。

【００２４】第７の手段は、第１、第６の手段の液晶パ
ネル製造装置において、上記クリーニング機構は、テー
プを駆動し、このテープの粘着面を上記押圧面に押し付
けることで、上記付着物を除去する粘着テープ駆動機構
を有することを特徴とする液晶パネル製造装置である。

【００２５】第８の手段は、基板に対し部品を圧着する
圧着装置において、上記部品を上記基板に押し付ける押
圧面を有する圧着ブロックと、この圧着ブロックを駆動
し、上記押圧面で上記部品を押し付けることで、この部
品を上記基板に圧着する駆動手段と、この圧着ブロック
に設けられ、作動するとで上記押圧面の傾きを調整する
アクチュエータとを有することを特徴とする圧着装置で
ある。

【００２６】第９の手段は、第８の手段の圧着装置にお
いて、上記アクチュエータは、上記押圧面と略平行な方
向に複数個配設され、通電されることでそれぞれが個別
に上記押圧面と略直交する方向に伸縮することで、上記
押圧面の傾きを制御するものであることを特徴とする圧
着装置である。

【００２７】

【作用】このような手段によれば、押圧面が傾いていた
り、この押圧面が付着物により汚れる等して、この押圧
面の平行度が狂っている場合に、このような状態を解消
することができる。したがって、上記部品（ＩＣ）を均
一に押圧することができる。また、隣接するＩＣを冷却
することにより、このＩＣに圧着時の熱が伝達し、この
ＩＣ部品が熱変形するということを防止できる。

【００２８】

【実施例】以下、この発明の一実施例を図面を参照しつ
つ説明する。なお、従来例の項で説明した構成要素と同
一の構成要素については、同一符号を付してその詳しい
説明は省略する。

【００２９】以下に説明する装置は、液晶駆動用ＩＣと
してのＴＡＢ部品２を液晶セル１を構成する第１、第２
のガラス基板１ａ、１ｂの周縁部に本圧着することで上
記ＴＡＢ部品２のアウタリード７と上記液晶セル１側の
配線パターンとを接続し、液晶パネルを製造する液晶パ
ネル製造装置の本圧着装置である。

【００３０】この本圧着装置の前工程には、図示しない
が、上記ＴＡＢ部品２を上記液晶セル１に仮圧着する仮
圧着装置が配置されている。この仮圧着装置は、上記Ｔ
ＡＢ部品２のアウタリード７と上記液晶セル１のガラス
基板１ａ、１ｂに形成された図示しない各配線パターン
（透明電極端子）とを精密に位置合わせした後、両者の
間に粘着性を有する異方性導電膜６を挟み、上記ＴＡＢ
部品２を上記基板１ａ、１ｂに対して押圧することで仮
圧着を行う。

【００３１】上記ＴＡＢ部品２が仮圧着されてなる液晶
セル１は上記仮圧着装置からこの本圧着へと受け渡され
る。そして、この本圧着装置は、上記ＴＡＢ部品２の本
圧着を行う。

【００３２】この本圧着は、上記ＴＡＢ部品２を上記ガ
ラス基板１ａ、１ｂに対して押圧すると共に加熱するこ
とで行う。そして、この本圧着装置は、このために、以
下に説明する構成を有するものである。

【００３３】図１は、この本圧着装置（以下「装置」と
略す）の概略構成を示す正面図であり、図２は、その側
面図である。この装置は、図２に示すように、上面が略
平坦に形成されてなる架台１５を具備する。この架台１
５上には、上記仮圧着装置から液晶セル１を受取り、こ
の液晶セル１をＸＹθ方向に駆動し位置決めするセルス
テージ１６と、このセルステージ１６によって位置決め
された液晶セル１に対して上記ＴＡＢ部品２を本圧着
（ボンディング）するボンディング機構１７（本圧着機
構）とが設けられている。

【００３４】なお、図示しないが、この架台１５上に
は、上記液晶セル１を裏返す液晶セル反転機構が設けら
れている。液晶セル１を裏返すことで、対向する２枚の
ガラス基板１ａ、１ｂの両方に対してそれぞれ上記ＴＡ
Ｂ部品２の本圧着を行えるように構成されているのであ
る。

【００３５】次に、各構成要素について詳しく説明す
る。まず、上記セルステージ１６について説明する。な
お、このセルステージ１６については、図１には図示を
省略しているので、図２および図６を参照して説明す
る。

【００３６】このセルステージ１６は、上記架台１５の
上面に設けられたガイドレール１９（Ｘ駆動装置）に取
り付けられている。このセルステージ１６は、このガイ
ドレール１９に沿ってＸ方向に位置決め自在に駆動され
るようになっている。

【００３７】また、このセルステージ１６は、ＸＹテー
ブル２０とこのＸＹテーブル２０上に設けられたθ駆動
部２１とを有する。このθ駆動部２１には、Ｘ字形状に
形成され先端に吸着部２３ａが設けられてなる吸着アー
ム２３がθ方向に位置決め自在に設けられている。

【００３８】また、上記θ駆動部２１内には、図示しな
いが、このθ駆動部２１の上面から突没可能に設けられ
た３本のリフトピンが収納されている。この３本のリフ
トピンは、突出することで液晶セル１を３点支持の状態
でリフトアップすることができ、上記θ駆動部２１内に
収納されることで、この液晶セル１を上記吸着アーム２
３上に受け渡すようになっている。

【００３９】上記吸着アーム２３上に受け渡された液晶
セル１は、このアーム２３の先端に設けられた吸着部２
３ａによって吸着保持され、上記ガイドレール１９、Ｘ
Ｙテーブル２０およびθ駆動部２１が作動することで、
ＸＹθ方向に搬送位置決めされるようになっている。

【００４０】次に、上記ボンディング機構１７について
説明する。このボンディング機構１７は、図２に示すよ
うに、上記ガイドレール１９の側方に設けられている。
そして、このボンディング機構１７は、上記架台１５上
に立設されたコラム２５を有する。このコラム２５は、
略垂直に形成された前面２５ａを有すると共に、その上
端には図に２５ｂで示す水平板部が略水平に突設されて
いる。

【００４１】このコラム２５には、上記ＴＡＢ部品２の
本圧着を行う加熱押圧機構２６と、この加熱押圧機構２
６の加熱押圧面（後述する）を洗浄する洗浄機構２７
（クリーニング機構）と、ＴＡＢ部品２を冷却する冷却
機構２８（冷却手段）とが取り付けられている。

【００４２】まず、上記加熱押圧機構２６について説明
する。この加熱押圧機構２６は、上記コラム２５の水平
板部２５ｂの上面に固定された上下駆動用の第１のエア
シリンダ２９（駆動手段）を具備する。この第１のエア
シリンダ２９の駆動軸２９ａはこの水平板部２５ｂを貫
通し下方へと導出されている。

【００４３】また、第１のエアシリンダ２９の駆動軸２
９ａの下端には、図に３１で示す保持板が固定されてい
る。この保持板３１は、図１に示すようにＸ方向に長尺
なる板部材であり、その両端部の下面には、加圧用の２
つの第２のシリンダ３２…が軸線を垂直にして並列に固
定されている。そして、各第２のシリンダ３２の駆動軸
３２ａの下端にはホルダ３４が固定され、このホルダ３
４は、下端面に加圧チップ３３が固定されてなる圧着ブ
ロック３５を保持している。

【００４４】この圧着ブロック３５は、図３に示すよう
に、積層形圧電アクチュエータ３６（この発明のアクチ
ュエータ）によって連結された上部ブロック３７および
下部ブロック３８とから構成され、上記加圧チップ３３
はこの下部ブロック３８に固定されている。また、この
下部ブロック３８には、加熱ヒータ３９（加熱手段）が
埋設され、この加熱ヒータ３９を作動させることで、上
記加圧チップ３３を所定の温度に加熱するようになって
いる。

【００４５】また、上記加圧チップ３３の下端部は細幅
に形成され、その下端面は一つの上記ＴＡＢ部品の接合
長さに応じて形成された平坦な押圧面３３ａとなってい
る。この押圧面３３ａにはフッソ樹脂等の耐摩耗性を有
する材質がコーティングされている。

【００４６】一方、上記上部ブロック３７と下部ブロッ
ク３８との間に設けられた積層形圧電アクチュエータ３
６は、図４に示すように、Ｘ方向に３列、Ｙ方向に２列
の計６個設けられ、各アクチュエータ３６の上面および
下面はそれぞれ上記上部ブロック３７および下部ブロッ
ク３８に固着されている。

【００４７】この６個のアクチューエタ３６は、後で説
明するように個別に制御されるようになっていて、それ
ぞれ電圧が印加されることでＺ方向（押圧面３３ａと略
直交する方向）に変位する。そして、任意のアクチュエ
ータ３６を作動させることで、上記下部ブロック３８を
駆動し、上記加圧チップ３３の押圧面３３ａの傾きを調
整することができるようになっている。

【００４８】また、図１および図２に示すように、上記
圧着ブロック３５の下方には、架台１５上に立設された
板状のボンディングステージ（バックアップ）４０が、
その上面４０ａ（バックアップ面）を上記圧着ブロック
３５に設けられた加圧チップ３３の押圧面３３ａに対向
させて設けられている。このボンディングステージ４０
は図示しないカム機構によって上下するようになってい
る。

【００４９】また、このボンディングステージ４０に
は、図示しない傾き補正機構が取り付けられていて、こ
の補正機構を作動させることでバックアップ面４０ａの
傾きを補正できるようになっている。

【００５０】このボンディングステージ４０は、上記カ
ム機構が作動することで上昇駆動され、上記バックアッ
プ面４０ａで上記液晶セル１のガラス基板１ａ、１ｂの
下面を支持するようになっている。

【００５１】なお、上記加圧加熱機構２６は、上記二つ
の圧着ブロック３５を同時に下降させることで、図６に
示すように、間に二つのＴＡＢ部品２を挟んで離間する
二つのＴＡＢ部品２を同時に本圧着することができるよ
うに構成されている。

【００５２】このように複数のＴＡＢ部品２を押圧する
場合において、一つの圧着ブロック３５で複数のＴＡＢ
部品２を押圧するようにせず、２つ圧着ブロック３５を
用い各圧着ブロック３５で一つのＴＡＢ部品２を押圧す
るしているのは、押圧長さが長くなると上記押圧面３３
ａとバックアップ面４０ａとの間の平行度を維持するの
が難しくなるからである。

【００５３】また、上記二つの圧着ブロック３５を二つ
のＴＡＢ部品分離間させたのは、二つの圧着ブロック３
５どうしを近接させると、それらの圧着ブロック３５ど
うしが干渉しあう恐れがあるからである。

【００５４】次に、この加熱加圧機構２６の制御および
動作について説明する。上記第１のエアシリンダ２９は
例えばクローズドセンタ形の４ポート弁（図示せず）を
介して高圧ポンプに接続されている。上記高圧ポンプは
上記第１のエアシリンダ２９の駆動軸２９ａをボンディ
ング圧力Ｐよりも大きい最大圧力Ｆで駆動する役割を有
する。

【００５５】上記第２のエアシリンダ３２は、この第２
のエアシリンダ３２の駆動軸３２ａを最大圧力Ｐ（Ｆ＞
Ｐ）で駆動する低圧ポンプに接続され、この回路にはリ
リーフ弁が接続されている。このリリーフ弁は上記第２
のエアシリンダ３２内の圧力がＰ以上になると作動し、
この第２のエアシリンダ３２内の圧力を常にＰに保つ役
割を有する。

【００５６】上記高圧ポンプに設けられたポート弁は、
図１に４２で示す制御部に接続されていて、この制御部
４２の動作命令に応じて作動するようになっている。す
なわち、上記ボンディングステージ４０のバックアップ
面４０ａ上に上記液晶セル１の上記ＴＡＢ部品２の仮圧
着されてなる部位が保持されたならば、この制御部４２
は、上記ポート弁を開くことで、第１のエアシリンダ２
９を作動させる。

【００５７】このことによって、上記圧着ブロック３５
は下降駆動され、上記加圧チップ３３の押圧面３３ａを
上記ＴＡＢ部品２に当接させる。この加圧チップ３３
は、上記第２のエアシリンダ３２の作用により、一定の
圧力Ｐで上記ＴＡＢ部品２を上記液晶セル１に対して押
し付ける。この際、上記加熱ヒータ３９が作動してい
て、上記ＴＡＢ部品２を加熱する。

【００５８】このことで、上記ＴＡＢ部品２は、上記液
晶セル１に対して熱圧着（アウタリードボンディング）
される。なお、上記加圧チップ３３は、コンスタントヒ
ート形であり、上記下部ブロック３８に埋設された熱電
対からの温度検出信号に基づく上記制御部４２による上
記加熱ヒータ３９の制御により、常に一定の温度に保た
れるようになっている。

【００５９】また、この制御部４２には、上記圧着ブロ
ック３５に設けられた各積層形圧電アクチュエータ３６
が接続されている。この制御部４２は、各圧電アクチュ
エータ３６に印加する電圧を上述したように個別に制御
するようになっている。

【００６０】制御部４２は、上記加圧チップ３３の押圧
面３３ａの傾きに基づいて、各アクチュエータ３６に印
加する電圧を制御し、各アクチュエータ３６を厚さ方向
に変位させることで、上記加圧チップ３３の押圧面３３
ａの傾きを補正するようになっている。

【００６１】次に、上記洗浄機構２７（クリーニング機
構）について説明する。この洗浄機構２７は、図２に示
すように、上記コラム２５の前面２５ａに取着されてお
り、必要に応じて上記加熱加圧機構２６の加圧チップ３
３の押圧面３３ａを洗浄（クリーニング）するものであ
る。この洗浄は、上記加圧チップ３３の押圧面３３ａ
に、図１および図２に４４で示すテープの粘着面を押し
付け、このテープ４４で上記押圧面３３ａの汚れを拭き
とることで行うものである。

【００６２】この洗浄機構２７は、このテープ４４を駆
動するテープ駆動機構として、以下の構成を有する。こ
の洗浄機構２７は、図２に示すように、上記コラム２５
の前面２５ａに固定された進退用の駆動シリンダ４５を
有する。このシリンダ４５の駆動軸４５ａには、このシ
リンダ４５が作動することで上記コラム２５の前面２５
ａから接離する方向に進退駆動される移動体４６が設け
られている。

【００６３】図１に示すように、この移動体４６は、Ｘ
方向に長尺に形成され、上記一対の圧着ブロック３５、
３５の外側に食み出して位置する両端部を有する。この
移動体４６の両端部の上端には、前面側に突出する突出
部４７が設けられており、この突出部４７の上面には、
上下駆動シリンダ４８が固定されている。

【００６４】また、上記移動体４６の両端部の下端側の
前面には、図に５１で示す上下移動スライダがそれぞれ
スライド自在に設けられている。このスライダ５１は、
各上記駆動シリンダ４８の駆動軸４８ａに固定され、上
記上下駆動シリンダ４８が作動することで、それぞれ上
下駆動されるようになっている。

【００６５】また、図１に示すように、上記移動体４６
の図に左側に位置する突出部４７の前面には、上記テー
プ４４を繰り出す繰出しリール５３が設けられ、右側に
位置する突出部４７の前面には、上記テープ４４を巻き
取る巻取リール５４が設けられている。

【００６６】上記巻取リール５４は、図示しない駆動モ
ータによって回転駆動されるようになっており、また、
上記繰出しリール５３にはこの繰出しリール５３から繰
り出されるテープ４４にバックテンションを加える図示
しないテンション機構が接続されている。

【００６７】また、上記一対の上下スライダ５１の前面
には、上記テープ４４を案内し、このテープ４４を上記
加圧チップ３３の押圧面３３ａの下方で略水平に張設す
る複数の案内ローラ５５…が回転自在に固定されてい
る。

【００６８】次に、この洗浄機構２７の動作について説
明する。この洗浄機構２７の移動体４６は、通常のボン
ディング動作を行う場合には、図２に示すように、上記
テープ４４を上記加圧チップ３３の下方から上記コラム
２５側に後退させている。一方、洗浄を行う際には、上
記進退駆動シリンダ４５を作動させることで上記テープ
４４を上記加圧チップ３３の下方に位置させ、上記上下
駆動シリンダ４８を作動させ上記上下スライダ５１を上
昇駆動することで、図７および図８に示すように、上記
テープ４４を上記加圧チップ３３の押圧面３３ａに接触
させる。

【００６９】そして、上記巻取リール５４を回転駆動す
ることで上記テープ４４を巻き取ると、上記テープ４４
は上記押圧面３３ａに摺接しながら移動し、この押圧面
３３ａの汚れを拭きとるようになっている。

【００７０】このような動作を終えると、上記上下シリ
ンダ４８および進退駆動シリンダ４５が作動すること
で、上記テープ４４は上記押圧面３３ａから離間し、図
２に示す元の位置に復帰させられる。

【００７１】次に、冷却機構２８について説明する。こ
の冷却機構２８は、図１および図２に示すように、上記
洗浄機構２７の下方にＸ方向に沿って設けられた冷却風
流通路５６を有する。この冷却風流通路５６は、図示し
ない冷却風供給源に接続され、内部に冷却風が流通する
ようになっている。

【００７２】また、この冷却風流通路５６の側面には、
この流通路５６内の冷却風を上記液晶セル１に圧着され
たＴＡＢ部品２に吹き付けるためのノズル５７が設けら
れている。

【００７３】この冷却機構２８は、ＴＡＢ部品を熱圧着
する際の上記加圧チップ３３の熱が、隣接する他のＴＡ
Ｂ部品２に影響を及ぼさないようにするためのものであ
る。したがって、上記ノズル５７は、図１および図６に
示すように上記各圧着ブロック３５を挟む位置に設けら
れている。

【００７４】そして、この冷却機構２８は、上記加圧加
熱機構２６が作動し、所定のＴＡＢ部品２が液晶セル１
に押し付けられた際に作動し、図５および図６に示すよ
うに、押圧されたＴＡＢ部品２に隣接する位置に仮圧着
されているＴＡＢ部品２に対して上記ノズル５７から冷
却風を吹き付けるようになっている。

【００７５】この本圧着装置（液晶パネル製造装置）
は、以上に述べたような構成を有するものである。次
に、この装置による一連の本圧着動作について説明す
る。この装置では、本圧着動作を行う前に、上記加圧チ
ップ３３の押圧面３３ａとボンディングステージ４０の
バックアップ面４０ａとの間の平行度を調整する。ま
ず、この動作について説明する。

【００７６】平行度の測定は、感圧紙を用いて行う。す
なわち、上記ボンディングステージ４０のバックアップ
面４０ａ上に感圧紙を置き、この感圧紙に対して上記加
圧チップ３３の押圧面３３ａを押し付ける。

【００７７】なお、このとき、上記加熱ヒータ３９を作
動させておく。上記押圧面３３ａの傾きは、機械的誤差
によるものだけでなく、上記圧着ブロック３５の熱変形
により生じるものもあるからである。

【００７８】この感圧紙は、一般的に用いられているも
ので良く、強く押し付けられた箇所ほど濃い赤で表示さ
れるようになっている。作業者は、この感圧紙による検
出結果に基づいて、上記制御部４２を操作し、上記積層
形圧電アクチュエータ３６を作動させることで、上記加
圧チップ３３の押圧面３３ａの傾きを変更する。

【００７９】上記各積層形圧電アクチュエータ３６は、
上記制御部４２からの指令により電圧が印加されること
でそれぞれＺ方向に伸縮するようになっており、印加す
る電圧の値を各アクチュエータ３６毎に制御すること
で、上記加圧チップ３３の押圧面３３ａの傾きを任意の
方向に変更できる。

【００８０】例えば、Ｙ方向に隣り合う積層形圧電アク
チュエータ３６どうしの印加電圧を異ならせることでＺ
Ｙ面内の傾きを変更できる。また、Ｘ方向に隣り合う積
層形圧電アクチュエータ３６どうしの印加電圧を異なら
せることでＸＺ面内の傾きを変更できる。そして、ＸＹ
方向に隣り合う積層形圧電アクチュエータ３６どうしの
印加電圧を異ならせることで、ＺＹ面内およびＸＺ面内
の傾きを同時に補正でき、この押圧面３３ａの傾きを三
次元方向に変更することができる。

【００８１】なお、この実施例では、２つの圧着ブロッ
ク３５が設けられているが、上記加圧チップ３３の押圧
面３３ａの傾きの補正は、上記圧着ブロック３５毎に行
う。

【００８２】このようにして上記加圧チップ３３の押圧
面３３ａの傾きの補正がなされたならば、この装置は、
上記液晶セル１に仮圧着されたＴＡＢ部品の本圧着動作
を行う。

【００８３】まず、上記ＴＡＢ部品が仮圧着されてなる
液晶セル１が、上記ＴＡＢ部品の仮圧着を行う仮圧着装
置から供給される。上記セルステージ１６は、この仮圧
着装置から上記液晶セル１を受取り、この液晶セル１を
ボンディング機構１７に対向する位置に搬送する。

【００８４】上記ボンディング機構１７では、まず、上
記第１のガラス基板１ａに仮圧着されている各ＴＡＢ部
品２を本圧着する。このためには、上記セルステージ１
６に保持した液晶セル１の第１のガラス基板１ａの一辺
の上記ＴＡＢ部品２が仮圧着されてなる部位を上記ボン
ディングステージ４０のバックアップ面４０ａと上記加
熱加圧機構２６の加圧チップ３３（圧着ブロック３５）
との間に挿入する。

【００８５】ついで、上記加圧加熱機構２６を作動させ
ることで、図５および図６に示すように、２個のＴＡＢ
部品２を挟んで位置する２個のＴＡＢ部品２を同時に本
圧着する。この本圧着は、上記ＴＡＢ部品２に対して、
上記加圧チップ３３の押圧面３３ａを所定時間押し付け
ることで行う。

【００８６】なお、このとき、上記冷却機構２８を作動
させ、同図に示すように、加熱、加圧されているＴＡＢ
部品２に隣接する位置に仮圧着されたＴＡＢ部品２を冷
却しつつ行う。

【００８７】この２個のＴＡＢ部品２の圧着が終了した
ならば、上記加圧加熱機構２６は、上記圧着ブロック３
５を上昇させる。ついで、上記セルステージ１６は、上
記液晶セル１（第１のガラス基板１ａ）をＴＡＢ部品１
個分だけＸ方向に移動させ、未だ本圧着されていない２
個のＴＡＢ部品２を上記加圧チップ３３と上記ボンディ
ングステージ４０との間に位置決めする。

【００８８】ついで、上述したのと同じ動作により、こ
の２個のＴＡＢ部品２の本圧着を行う。そして、この本
圧着も、上記ＴＡＢ部品２に隣接するＴＡＢ部品２の冷
却を行いつつ行う。

【００８９】この本圧着装置は、以上述べた動作を繰り
返し行い、上記第１のガラス基板１ａの一辺に仮圧着さ
れたＴＡＢ部品２をすべて本圧着する。第１のガラス基
板１ａの一辺に対する本圧着が終了したならば、上記セ
ルステージ１６は、上記第１のガラス基板１ａを水平方
向に１８０°回転させ、この第１のガラス基板の他辺を
上記ボンディング機構１７（加圧加熱機構２６）に対向
させる。

【００９０】ついで、上述したのと同じ動作により、第
１のガラス基板１ａの他辺に仮圧着されているＴＡＢ部
品２の本圧着を行っていく。この第１のガラス基板１ａ
に仮圧着されたＴＡＢ部品２すべての本圧着が終了した
ならば、前述した図示しない反転機構により、この液晶
セルを裏返す。そして、この液晶セル１の第２のガラス
基板１ｂの上記ＴＡＢ部品２が仮圧着されてなる一辺を
上記ボンディング機構１７（加圧加熱機構２６）に対向
させ、この一辺に仮圧着されているＴＡＢ部品２の本圧
着を上述した動作と同じ動作により行う。

【００９１】このことで、上記液晶セル１の第１、第２
のガラス基板１ａ、１ｂに仮圧着されたすべてのＴＡＢ
部品２の本圧着が終了する。ＴＡＢ部品２の本圧着がな
された液晶セル１は、次工程へと搬送され、上記液晶セ
ル内に液晶が注入されることで液晶パネルとして完成す
る。

【００９２】この本圧着装置には、上記仮圧着装置から
上記ＴＡＢ部品２が仮圧着されてなる液晶セル１が順次
供給される。この本圧着装置は、上述した本圧着動作を
液晶セル１が供給される毎に繰り返す。このことで、上
記液晶パネルを大量に生産していくようになっている。

【００９３】一方、このような本圧着動作を繰り返して
いると、上記加圧チップ３３の押圧面３３ａは、上記異
方性導電接着剤６のかす等の付着物が滞積し、次第に汚
れてくる。

【００９４】この押圧面３３ａの汚れは、前述したよう
に、この加圧チップ３３の押圧面３３ａと上記ボンディ
ングステージ４０のバックアップ面４０ａとの間の平行
度に悪影響を及ぼす。この装置では、所定のボンディン
グ回数毎に、上記洗浄機構２７を作動させることで、こ
の加圧チップ３３の押圧面３３ａの洗浄を行う。なお、
上記所定のボンディング回数は、経験に基づき所望の値
を設定することができる。

【００９５】この洗浄は、上述したように、上記加圧チ
ップ３３の押圧面３３ａにテープ４４の粘着面を摺接さ
せることで行う。この動作については、前述したので、
ここでの説明は省略する。

【００９６】そして、このような洗浄を行ったならば、
この本圧着装置は、上記本圧着動作を再開する。次に、
この発明の効果について説明する。

【００９７】すなわち、上述した構成によれば、加圧チ
ップ３３の押圧面３３ａと上記ボンディングステージ４
０のバックアップ面４０ａとの間の平行度を良好に維持
することができる。

【００９８】すなわち、圧着ブロック３５内に複数の積
層形圧電アクチュエータ３６をＸＹ方向にマトリックス
状に設け、これらを個別に制御することにより、加圧チ
ップ３３の押圧面３３ａの傾きを任意の方向に調整する
ことができる。

【００９９】また、上記洗浄機構２７を用いて定期的に
上記加圧チップ３３の押圧面３３ａの洗浄を行うこと
で、この押圧面３３ａに付着した異方性導電膜６のかす
等の付着物を良好に除去できる。したがって、この押圧
面３３ａに凹凸が生じることを有効に防止できる。

【０１００】これらのことにより、上記ＴＡＢ部品２を
均一に押圧することができるので、上記異方性導電膜６
を良好に押し潰すことができる。このことによって、上
記ＴＡＢ部品２のアウタリード７と上記第１、第２のガ
ラス基板１ａ、１ｂの図示しない配線パターンとの間の
接続を良好に行うことができる効果がある。

【０１０１】また、上記加圧チップ３３の押圧面３３ａ
と上記ボンディングステージ４０のバックアップ面４０
ａとの間の平行度が悪く、上記押圧面３３ａが片当たり
状態となっていると、このＴＡＢ部品２が加熱された際
に、このＴＡＢ部品２のフィルムキャリアが、押圧力の
弱い方向に向かって熱膨張するということがある。この
結果、上記フィルムキャリア４上に形成されたアウタリ
ード７と上記ガラス基板１ａ、１ｂに形成された配線パ
ターンとがずれてしまう恐れがある。

【０１０２】しかし、この発明によれば、上記ＴＡＢ部
品２を均一に押圧することができるので、このＴＡＢ部
品２のフィルムキャリア４の伸びを有効に防止でき、上
記アウタリード７と配線パターン間のずれを有効に防止
できる効果がある。

【０１０３】また、押圧加熱を行った際に、この押圧加
熱の行われているＴＡＢ部品２に隣接するＴＡＢ部品２
にもその熱が伝導し、この隣接するＴＡＢ部品２のキャ
リアテープ４に熱膨張が生じてしまう恐れがある。

【０１０４】この結果、本圧着を行う前に、上記アウタ
リード７と上記第１、第２のガラス基板１ａ、１ｂに設
けられた配線パターン間に位置ずれが生じてしまうとい
うことが考えられる。

【０１０５】しかし、この発明では、上記ボンディング
機構１７に、本圧着を行っているＴＡＢ部品１に隣接す
るＴＡＢ部品２を冷却する冷却機構２８を設けたから、
上記加圧チップ３３の熱が隣接するＴＡＢ部品２に影響
を及ぼすことを有効に防止できる。

【０１０６】なお、この発明は上記一実施例に限定され
るものでなく、発明の要旨を変更しない範囲で種々変形
可能である。例えば、上記一実施例では、部品を実装用
基板に圧着する装置として、液晶パネル製造装置の本圧
着装置を挙げたが、これに限定されるものではなく、他
の同種の作業を行う装置に適用するようにしても良い。

【０１０７】また、上記一実施例では、上記加圧チップ
３３はその上下動作にかかわらず常に一定の温度に保持
されているコンスタントヒート形の加圧チップであった
が、これに限定されるものではなく、上記ＴＡＢ部品２
を押圧する際にだけ通電発熱するパルスヒート形の加圧
チップ３３であっても良い。

【０１０８】

【発明の効果】以上述べたこの発明の構成によれば、圧
着ブロックの押圧面の傾きを良好に維持することができ
る。すなわち、圧着ブロック内に上記押圧面の傾きを調
整する複数個のアクチュエータを設けることにより、上
記押圧面の傾きを３次元的に調整することができる。し
たがって、この押圧面と上記基板および液晶駆動用ＩＣ
の圧着部位との平行度を良好に保つことが可能である。

【０１０９】また、上記クリーニング機構を用いて上記
押圧面の洗浄を行うことで、この押圧面に付着した接合
材のかす等の付着物を良好に除去できる。したがって、
この押圧面に凹凸が生じることを有効に防止できる。

【０１１０】これらのことにより、上記ＴＡＢ部品を均
一に押圧することができ、上記ＩＣと基板とのを良好に
圧着することができる効果がある。また、この発明によ
れば、上記ＩＣを均一に押圧することができるので、こ
のＩＣの熱膨張を有効に防止できる効果がある。

【０１１１】さらに、この発明では、上記本圧着機構
に、隣接するＩＣを冷却する冷却手段を設けたから、こ
の隣接するＩＣに圧着ブロックにからの熱の影響が及ぶ
ことを有効に防止できる。このことにより隣接するＩＣ
の熱膨張も有効に防止できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例を示す概略正面図。

【図２】同じく、概略側面図。

【図３】同じく、圧着ブロックを拡大して示す縦断面
図。

【図４】同じく、圧着ブロックの斜視図。

【図５】同じく、圧着工程を示す概略側面図。

【図６】同じく、圧着工程を示す斜視図。

【図７】同じく、クリーニングの工程を示す正面図。

【図８】同じく、クリーニングの工程を示す側面図。

【図９】同じく、液晶パネルを示す斜視図。

【図１０】同じく、ＴＡＢ部品を拡大して示す斜視図。

【図１１】従来の本圧着装置を示す斜視図。

【符号の説明】

１…液晶セル、１ａ…第１のガラス基板（基板、実装用
基板）、１ｂ…第２のガラス基板（基板、実装用基
板）、２…ＴＡＢ部品（液晶駆動用ＩＣ、部品）１７…
ボンディング機構（本圧着機構）、２７…洗浄機構（ク
リーニング機構、テープ駆動機構）、２８…冷却機構
（冷却手段）、２９…第１のシリンダ（駆動手段）、３
３ａ…押圧面、３５…圧着ブロック、３６…積層形圧電
アクチュエータ（アクチュエータ）、３９…加熱ヒータ
（加熱手段）、４４…テープ。ン。

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液晶セルを構成する基板に仮圧着されて
   いる液晶駆動用ＩＣを上記基板に本圧着する本圧着機構
   を備える液晶パネルの製造装置において、 上記本圧着機構は、 上記液晶駆動用ＩＣを接合材を介して上記基板に押し付
   ける押圧面を有する圧着ブロックと、 この圧着ブロックを所定の圧着温度に昇温させる加熱手
   段と、 この圧着ブロックを駆動し、上記押圧面で上記液晶駆動
   用ＩＣを押し付けることで、この液晶駆動用ＩＣを上記
   基板に熱圧着する駆動手段と、 この圧着ブロックに設けられ、上記作動することで上記
   押圧面の傾きを調整するアクチュエータと、 上記圧着ブロックにより本圧着されるＩＣに隣接する位
   置に仮圧着されている上記ＩＣを冷却する冷却手段と、 上記圧着ブロックの近傍に設けられ、上記圧着ブロック
   の押圧面が接合材の付着物で汚れたのに基づき、この押
   圧面をクリーニングし上記接合材の付着物を除去するク
   リーニング機構とを具備することを特徴とする液晶パネ
   ル製造装置。
2. 【請求項２】 液晶セルを構成する基板に仮圧着されて
   いる液晶駆動用ＩＣを上記基板に本圧着する本圧着機構
   を備える液晶パネル製造装置において、 上記本圧着機構は、 上記液晶駆動用ＩＣを接合材を介して上記基板に押し付
   ける押圧面を有する圧着ブロックと、 この圧着ブロックを駆動し、上記押圧面で上記液晶駆動
   用ＩＣを押し付けることで、この液晶駆動用ＩＣを上記
   基板に圧着する駆動手段と、 この圧着ブロックに設けられ、作動することで上記押圧
   面の傾きを調整するアクチュエータとを有することを特
   徴とする液晶パネル製造装置。
3. 【請求項３】 請求項１あるいは請求項２記載の液晶パ
   ネル製造装置において、 上記アクチュエータは、 上記押圧面と略平行な方向に複数個配設され、通電され
   ることで、それぞれが個別に上記押圧面と略直交する方
   向に伸縮し、上記押圧面の傾きを制御する圧電アクチュ
   エータであることを特徴とする液晶パネル製造装置。
4. 【請求項４】 液晶セルを構成する基板に仮圧着されて
   いる液晶駆動用ＩＣを上記基板に本圧着する本圧着機構
   を備える液晶パネル製造装置において、 上記本圧着機構は、 上記液晶駆動用ＩＣを接合材を介して上記基板に押し付
   ける押圧面を有する圧着ブロックと、 この圧着ブロックを所定の圧着温度に昇温させる加熱手
   段と、 この圧着ブロックを駆動し、上記押圧面で上記液晶駆動
   用ＩＣを押し付けることで、この液晶駆動用ＩＣを上記
   基板に熱圧着する駆動手段と、 上記圧着ブロックにより本圧着されるＩＣに隣接する位
   置に仮圧着されている上記ＩＣを冷却する冷却手段と、 を具備することを特徴とする液晶パネル製造装置。
5. 【請求項５】 請求項１あるいは請求項４記載の液晶パ
   ネル製造装置において、 上記冷却手段は、 上記隣接するＩＣに冷却風を吹き付けることで、このＩ
   Ｃを冷却する冷却風吹き付けノズルを有することを特徴
   とする液晶パネル製造装置。
6. 【請求項６】 液晶セルを構成する基板に仮圧着されて
   いる液晶駆動用ＩＣを上記基板に本圧着する本圧着機構
   を備える液晶パネル製造装置において、 上記本圧着機構は、 上記液晶駆動用ＩＣを接合材を介して上記基板に押し付
   ける押圧面を有する圧着ブロックと、 この圧着ブロックを所定の圧着温度に昇温させる加熱手
   段と、 この圧着ブロックを駆動し、上記押圧面で上記液晶駆動
   用ＩＣを押し付けることで、この液晶駆動用ＩＣを上記
   基板に熱圧着する駆動手段と、 上記圧着ブロックの近傍に設けられ、上記圧着ブロック
   の押圧面が接合材の付着物で汚れたのに基づき、この押
   圧面をクリーニングし上記接合材の付着物を除去するク
   リーニング機構とを具備することを特徴とする液晶パネ
   ル製造装置。
7. 【請求項７】 請求項１あるいは請求項６記載の液晶パ
   ネル製造装置において、 上記クリーニング機構は、 テープを駆動し、このテープの粘着面を上記押圧面に押
   し付けることで、上記付着物を除去する粘着テープ駆動
   機構を有することを特徴とする液晶パネル製造装置。
8. 【請求項８】 基板に対し部品を圧着する圧着装置にお
   いて、 上記部品を上記基板に押し付ける押圧面を有する圧着ブ
   ロックと、 この圧着ブロックを駆動し、上記押圧面で上記部品を押
   し付けることで、この部品を上記基板に圧着する駆動部
   と、 この圧着ブロックに設けられ、作動することで上記押圧
   面の傾きを調整するアクチュエータとを有することを特
   徴とする圧着装置。
9. 【請求項９】 請求項８記載の圧着装置において、 上記アクチュエータは、 上記押圧面と略平行な方向に複数個配設され、通電され
   ることでそれぞれが個別に上記押圧面と略直交する方向
   に伸縮することで、上記押圧面の傾きを制御するもので
   あることを特徴とする圧着装置。