JPH0811609B2 - 試料搬送機構 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は電子ビーム転写装置などに用いられる試料搬
送機構に関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

電子ビーム転写装置では、試料に対して平行に配置し
た光電マスクに紫外光を照射することによって放出され
る光電子を試料及びマスク間の均一な電界及び磁界で試
料上に集束させ、マスク上のパターンを試料上に一括転
写する。この装置では転写室内の光電マスクに対向した
テーブルにウェハを搬送する試料搬送機構が必要不可決
である。この装置では磁界の均一性の乱れが転写パター
ンの精度を悪化させる。そのため試料搬送機構が磁界の
均一性を乱さないように、全て非磁性材料でこの機構を
製作しなければならない。

実際にこれを実現することは不可能で、例えば駆動モ
ータなどは磁界の均一性の乱れが許容値以内になるよう
な場所に設置することで、この問題を回避している。ま
た使用する材料も比透磁率からその良否を判断し、決定
している。このような方法で使用材料を判定すると、例
えば、搬送機構に不可決なリードネジ等で使用材料を判
定すると、例えば搬送機構に不可決なリードネジ等で使
用できる市販品はなく、特注という形で極めて高価なも
のとなる。装置の価格をアップさせる原因となる。

〔発明の目的〕

本発明は上述した問題点を解決するもので、市販品の
銅テープを用いてリードネジ等で得られる位置決め精度
に劣ることのない精度をもつ安価な電子ビーム転写装置
用の試料搬送機構を提供することにある。

〔発明の概要〕

本発明の骨子は、市販されている銅製のテープ（幅20
mm,厚さ50μｍ程度）を使用し、これを巻き取ることに
よって試料の搬送を可能としたことにある。

〔発明の効果〕

本発明によれば、均一な磁界に悪影響を与えることの
ない安価な試料搬送機構を提供することができる。ま
た、リードネジ等の使用の際に必要な潤滑油の必要がな
い。さらに銅テープに適当な引張力を加えることによっ
てリードネジに見られるバックラッシュをなくすことが
でき、極めて位置決め精度の高い試料搬送機構を達成で
きる。

〔発明の実施例〕

第１図は、本発明の一実施例に係わる試料搬送機構の
概略構成を示す斜視図である。第１図中１は搬送される
試料（半導体ウエハ）で２は搬送アームである。搬送ア
ーム２には例えば静電チャック３が取付けられており、
搬送中の試料１の保持を確実なものとする。

搬送アーム２は非磁性ベアリング４を介してガイドレ
ール５の長手方向を移動自由に支持されている。

一部の非磁性ベアリング４′は、搬送アーム２の移動
方向以外のガタをおさえるために、例えばアーム２の側
板内に埋設されているバネ６を用いて予圧が加えられる
ような構造となっている。搬送アーム２には駆動テープ
７を取付けるための取付穴８があり押え板９を用いてこ
の駆動テープ７を挾むようにして固定する。ガイドレー
ル５の両端には、駆動テープ７を折り返すためのローラ
10,10′が取付いている。ローラ10はガイドレール５の
長手方向左半分側にベアリング11で回転自由に支持板12
で支持されており、支持板12がガイドレール５に固定さ
れている。ガイドレール５の他端には、ローラ10′が支
持枠13でベアリング11′を介して回転自在に支持されて
いる。支持枠13は支持板12′に溝14を介して搬送アーム
の移動方向に移動自由に支持されている。支持柱13と支
持板12′との間には、バネを介した予圧調整機構34があ
り、これよりローラ10′の位置を調整し、駆動テープの
張りを調節する。

15は駆動テープの巻き取りドラムである。巻き取りド
ラム15は、ベアリング16を介して支持板17に回転自由に
取付られておる。

巻き取りドラム15は15′と15″の２つに分割できこの
間に駆動テープを挾んでネジ18で固定するようになって
いる。

ドラム15の一方には回転軸19が伸びており、この軸と
大気側から導入される駆動軸20とがカップリング21で接
続される。真空シールは例えば磁性流体シール22を用い
る。大気側はもう１つのカップリング23を用いて電動機
24の軸25と接続する。駆動テープの張り方は次のように
して行なう。搬送アーム２をガイドレール５の一端に適
当な方法で固定する。

第１の駆動テープ７′を搬送アーム２に押え板９を用
いて固定するガイドレール５の一端にあるローラ10にか
けて方向を反転させ、巻き取りドラム15にわずかにたる
んだ状態で固定する。駆動ローラを回転させ駆動テープ
を巻き取り搬送アームを他端に進め、そこで適当な方法
で固定する。第２の駆動テープ７″は搬送アーム２に押
え板９を用いて固定する、ガイドレール５の一端にある
ローラ10′にかけて方向を反転させ巻き取りドラム15に
わずかにたるんだ状態で固定する。駆動ローラを回転さ
せ搬送アームをほぼ中央に進めそこで適当な方法で固定
する。次に予圧調整機構34によりローラ10′が取り付い
た支持枠をローラ10と10′が離れる方向に移動させ駆動
テープ７′,7″に所望の引張力を加える。

次にこの搬送機構の操作について説明する。搬送アー
ム２をローラ10の方向に移動させる場合には、電動機23
を矢印Ａの方向に回転させる駆動テープ７′が巻き取ら
れるとともに駆動テープ７″がドラムから解放され搬送
アーム２がローラ10の方向に進む。この際に駆動テープ
７′,7″には引張力が常時加えられているためテープが
たるむことはない。逆方向に移動させるためには、電動
機を矢印と反対方向に回転させれば良い。

このような構成とすることによって各部の材料を全て
非磁性材料とすることができ、パターン転写に必要な均
一な磁界に乱れを与えることなく、試料の搬送が可能と
なる。尚、第１図中のＡはウエハー１を他の所より搬入
搬出する装置である。

また各種構成部品を市販品でまかなうことができ特注
によるコストアップを招くことなく安価な搬送機構を提
供できる。リードネジ等を使用した際に必要な潤滑油が
不要となりクリーンバキュームを汚染することがない。
テープに適当な引張力を与えることによりリードネジを
使用した際に見られるバックラッシュをなくすことがで
き、極めて高い位置決め精度が得られる。

なお、本発明では、電子ビーム転写装置に適用した試
料搬送機構について述べたが、他の各種真空装置の試料
搬送機構に応用しても何ら差し支えなく機構自体も適宜
変形して応用して良く、その要旨を逸脱しない範囲で種
々変形して実施することができる。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の実施例を示す斜視図、第２図は断面
図、第３図は試料搬送機構の部分詳細図である。 １…試料、２…搬送アーム、５…ガイドレール、７…駆
動テープ、10…ローラ、15…巻き取りドラム、20…駆動
軸、24…電動機、34…与圧調整機構。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ガイドレールと軸受により支持され前記ガ
   イドレールの長手方向に移動自由な試料搬送アームと前
   記ガイドレールの終端にそれぞれ回転自由に支持され、
   設けられた少なくとも２個のローラと前記ローラ間に設
   けられ回転自由に支持され電動機と連結された駆動ロー
   ラと前記各ローラを介して前記搬送アームと駆動ローラ
   とを、駆動ローラを回転させた際に一方は巻き取られ、
   他方はほどかれるように接続した少なくとも２本の駆動
   テープとから成る駆動機構とを有しこの駆動テープは前
   記搬送アームに偶力が生じる様に異なる２点で反対方向
   にとりつけられたことを特徴とする試料搬送機構。