JPS6256205A - 試料搬送機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は電子ビーム転写装置などに用いられる試料搬送
機構に関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

電子ビーム転写装置では、試料に対して平行に配置した
光電マスクに紫外光を照射するととによ−）て放出され
る光電子を試料及びマスク間の均一な電界及び磁界で試
料上に集束させ、マスク上のパターンを試料−ヒに一括
転写する。この装置では転写室内の光電マスクに対向し
たテーブルにウェハを搬送する試料搬送機構が必要不可
決である。

この装置では磁界の均一性の乱れが転写パターンの精度
を悪化させる。そのため試料搬送機構が磁界の均一性を
乱さないように、全て非磁性材料でこの機構を製作しな
ければならない。

実際にこれを実現することは不可能で、例えば駆動モー
タなどは磁界の均一性の乱れが杵容値以内になるような
場所に設置することで、この問題を回避している。また
使用する材料も比透磁率からその良否を判断し、決定し
ている。このような方法で使用材料を判定すると、例え
ば、搬送機構に不可決なリードネジ等で使用材料を判定
すると、例えば搬送機構に不可決なリードネジ等で使用
できる市販品はなく、特注という形で極めて高価なもの
となる。装置の価格をアップさせる原因となる。

〔発明の目的〕

本発明は上述した問題点を解決するもので、市　　。

販品の銅テープを用いてリードネジ等で得られる位置決
め精度に劣ることのない精度をもつ安価な電子ビーム転
写装置用の試料搬送機構を提供することにある。

〔発明の概要〕

本発明の骨子は、市販されている銅製のテープ（幅２０
講１厚さ５０μｍ程度）を使用し、これを巻き取ること
によって試料の搬送を可能としたことにある。

〔発明の効果〕

本発明によれば、均一な磁界に悪影響を与えることのな
い安価な試料搬送機構を提供することができる。まだ、
リードネジ等の使用の際に必要な潤滑油の必要がない。

ざらに銅テープに適当な引張力を加えることによってリ
ードネジに見られるバックラッシュをなくすことができ
、極めて位置決め精度の高い試料搬送機構を達成できる
。

〔発明の実施例〕

第１図は、本発明の一実施例に係わる試料搬送機構の概
略構成を示す斜視図である。第１図中１は搬送される試
料（半導体ウェハ）で２は搬送アームである。搬送アー
ム２には例えば静電チャック３が取付けられており、搬
送中の試料１の保持を確実なものとする。

搬送アーム２は非磁性ベアリング４を介してガイドレー
ル５の長手方向を移動自由に支持されている。

一部の非磁性ベアリング４′は、搬送アーム２の移動方
向以外のガタをおさえるために、例えばアーム２の側板
内に埋設されているバネ６を用いて予圧が加えられるよ
うな構造となっている。搬送アーム２には駆動テープ７
を取付けるための取付穴８があり押え板９を用いてこの
駆動テープ７を挾むようにして固定する。ガイドレール
５０両端には、駆動テープ７を折り返すためのローラ１
０．１０’が取付いている。ローラ１０はガイドレール
５の長手方向左半分側にベアリング１１で回転自由に支
持板１２で支持されており、支持板１２がガイドレール
５に固定されている。ガイドレール５の他端には、ロー
ラｌＯ／が支持枠１３でベアリング１１’を介して回転
自由に支持されている。支持枠１３は支持板１２′に＄
１４を介して搬送アームの移動方向に移動自由に支持さ
れている。

支持柱１３と支持板１２′との間には、バネを介した予
圧調整機構３４があり、これよりローラ１０’の位置を
調整し、駆動テープの張りを調節する。

１５は駆動テープの巻き取りドラムである。巻き取りド
ラム１５は、ベアリング１６を介して支持板１７に回転
自由に取付られておる。

巻き取りドラム１５は１５’と１５″の２つに分割でき
この間に駆動テープを挾んでネジ１８で固定するように
なっている。

ドラム１５の一方には回転軸１９が伸びており、この軸
と大気側から導入される駆動軸２０とがカツブリング２
１で接続される。真空シールは例えば磁性流体シール２
２を用いる。大気側はもう１つのカップリング２３を用
いて電動機２４の軸２５と接続する。駆動テープの張り
方は次のようにして行なう、搬送アーム２をガイドレー
ル５の一端に適当な方法で固定する。

第１の駆動テープ７′を搬送アーム２に押え板９を用い
て固定するガイドレール５の一端にあるローラ１０ＶＣ
かけて方向を反転させ１巻き取りドラム１５にわずかに
たるんだ状態で固定する。駆動ローラを回転させ駆動テ
ープを巻き取り搬送アームを他端に進め、そこで適当な
方法で固定する。

第２の駆動テープ７″は搬送アーム２に押え板９を用い
て固定−しる、ガイドレール５の一端にめるローラ１０
’にかけて方向を反転させ巻き取りドラム１５にわずか
にたるんだ伏線で固定する。駆動ローラを回転させ搬送
アームをほぼ中央に進めそこで適当な方法で固定する。

次に予圧調整機構３４ＶＣよ的ローラ１０’が取り付い
た支持枠をローラ１０とｌＯ′が離れる方向に移動式せ
駆動テープ７／、７／／に所望の引張力を加える。

次にこの搬送機構の操作について説明する。、搬送アー
ム２をローラ１（）の方向に移動させる場合には、電動
機２３を矢印Ａの方向に同転させる駆動テープ７′が巻
き取られるとともに駆動テープ７″がドラムから解放さ
れ搬送アーム２がローラｌＯの方向に進む。この際に駆
動テープ７／、７／／には引張力が常時加えられている
だめテープがたるむことはない。逆方向に移動させるた
めには、′電動機を矢印と反対方向に［！１１転させれ
ば良い。

このような構成とすることによって各部の材料を全て非
磁性材料とすることができ、パターン転写に必要な均一
な磁界に乱れを与えることなく、試料の搬送が可能とな
る。尚、第１図中ＯＡはウェハー１を他の所より搬入搬
出する装置である。

また各種構成部品を市販品で捷かなうことができ特注に
よるコストアップを招くことなく安価な搬送機構を提供
できる。リードネジ等を使用した際に必要な潤滑油が軍
費となりクリーンバキコームを汚染することがない。テ
ープに適当な引張力を与えることによりリードネジを使
用した際に見られるバックラッシュをなくすことができ
、極めて高い位置決め精度が得られる。

なお１本発明では、′成子ビーム転写装置に適用した試
料搬送機構について述べたが、他の各種真空装置の試料
搬送機構に応用しても何ら差し支えなく機構自体も適宜
変形して応用して良く、その要旨を逸脱しない範囲で種
々変形して実施することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す斜視図、第２図は断面図
、第３図は試料搬送機構の部分詳細図である。 ｌ・・・試料、２・・・搬送アーム％　５・・・ガイド
レール。 ７・・・駆動テープ、ｉｏ・・・ローラ、１５・・・巻
き取りドラム、２０・・・駆動軸、２４・・・電動機、
３４・・・与圧調整機構。 代理人　弁理士　則　近　憲　佑 同　　　　竹　花　喜久男

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. （１）ガイドレールと軸受により支持され前記ガイドレ
   ールの長手方向に移動自由な試料搬送アームと前記ガイ
   ドレールの終端にそれぞれ回転自由に支持され、設けら
   れた少なくとも２個のローラと前記ローラ間に設けられ
   た回転自由に支持された駆動ローラと前記各ローラを介
   して前記搬送アームと駆動ローラとを、駆動ローラを回
   転させた際に一方は巻き取られ、他方はほどかれるよう
   に接続した少なくとも２本の駆動テープとから成る駆動
   機構とを具備したことを特徴とする試料搬送機構。
2. （２）ガイドレールに対して試料搬送アームを支持する
   軸受はころがり軸受であることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の試料搬送機構。
3. （３）軸受のうちの少なくとも１個は、ガイドレールに
   対して予圧が加えられることを特徴とした特許請求の範
   囲第１項記載の試料搬送機構。
4. （４）ガイドレールの終端に設けられた２個のローラの
   うち１つはガイドレールの長手方向に対して移動自由に
   前記駆動テープに引張力を加えるようにバネ性部材で支
   持されたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   試料搬送機構。
5. （５）ローラ及び駆動ローラは“たいこ”形の形状であ
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の試料搬
   送機構。
6. （６）駆動テープは非磁性の金属テープであること特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載の試料搬送機構。
7. （７）構成材料を全て非磁性としたことを特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載の試料搬送機構。
8. （８）試料搬送アームは静電チャックを具備したことを
   特徴とする特許請求の範囲第１項記載の試料搬送機構。