JPH08117619A - 恒温装置 - Google Patents
恒温装置Info
- Publication number
- JPH08117619A JPH08117619A JP28141494A JP28141494A JPH08117619A JP H08117619 A JPH08117619 A JP H08117619A JP 28141494 A JP28141494 A JP 28141494A JP 28141494 A JP28141494 A JP 28141494A JP H08117619 A JPH08117619 A JP H08117619A
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- Japan
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- heat exchange
- tank
- cold water
- liquid
- exchange tank
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 大容量の恒温槽に対応できる低価格の恒温装
置を提供する。 【構成】 恒温槽１と、熱交換器４および加熱ヒーター
５を内蔵した熱交換タンク２と、冷却装置６を備えた冷
水タンク３で構成し、前記恒温槽１内の液体を前記熱交
換タンク２内へ循環させる型式の恒温装置において、前
記恒温槽１の出口１ａと前記熱交換器４の入口４ａとを
循環ポンプ７を備えた供給ライン８で接続するととも
に、前記熱交換器４の出口４ｂと前記恒温槽１の入口１
ｂとを温度センサ９を備えた還流ライン１０で接続し、
前記熱交換タンク２の上部と前記冷水タンク３の上部を
連結管１１で接続するとともに、前記熱交換タンク２の
下部と前記冷水タンク３の下部とを循環ポンプ１２を備
えた回路１３で接続した構成。
置を提供する。 【構成】 恒温槽１と、熱交換器４および加熱ヒーター
５を内蔵した熱交換タンク２と、冷却装置６を備えた冷
水タンク３で構成し、前記恒温槽１内の液体を前記熱交
換タンク２内へ循環させる型式の恒温装置において、前
記恒温槽１の出口１ａと前記熱交換器４の入口４ａとを
循環ポンプ７を備えた供給ライン８で接続するととも
に、前記熱交換器４の出口４ｂと前記恒温槽１の入口１
ｂとを温度センサ９を備えた還流ライン１０で接続し、
前記熱交換タンク２の上部と前記冷水タンク３の上部を
連結管１１で接続するとともに、前記熱交換タンク２の
下部と前記冷水タンク３の下部とを循環ポンプ１２を備
えた回路１３で接続した構成。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えばＬＳＩ製造工
程でのエッチング液や洗浄液等を所定温度に管理する恒
温装置に関するものである。
程でのエッチング液や洗浄液等を所定温度に管理する恒
温装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＬＳＩ製造工程で用いられているエッチ
ング液や洗浄液等の温度管理用恒温装置は、従来、電子
冷却加熱方式の熱交換装置が用いられてきたが、高価で
あり大容量のものには不適当であった。また、近年液晶
パネルの大型化によりフッ酸エッチング工程で大容量の
恒温槽が要望されている。
ング液や洗浄液等の温度管理用恒温装置は、従来、電子
冷却加熱方式の熱交換装置が用いられてきたが、高価で
あり大容量のものには不適当であった。また、近年液晶
パネルの大型化によりフッ酸エッチング工程で大容量の
恒温槽が要望されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、上記問題
点に鑑み、大容量の恒温槽に対応することができて、し
かも低価格の恒温装置を提供することを目的とするもの
である。
点に鑑み、大容量の恒温槽に対応することができて、し
かも低価格の恒温装置を提供することを目的とするもの
である。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明は、前記課題を
解決するためになされたものであって、恒温槽と、熱交
換器および加熱ヒーターを内蔵した熱交換タンクと、冷
却装置を備えた冷水タンクで構成し、前記恒温槽内の液
体を前記熱交換タンク内へ循環させる型式の恒温装置に
おいて、前記恒温槽の出口と前記熱交換器の入口とを循
環ポンプを備えた供給ラインで接続するとともに、前記
熱交換器の出口と前記恒温槽の入口とを温度センサを備
えた還流ラインで接続し、前記熱交換タンクの上部と前
記冷水タンクの上部を連結管で接続するとともに、前記
熱交換タンクの下部と前記冷水タンクの下部とを循環ポ
ンプを備えた回路で接続したことを特徴としており、ま
た、前記熱交換タンク内の液位を前記連結管より低い位
置で制御する液位センサを設けたことを特徴としてい
る。
解決するためになされたものであって、恒温槽と、熱交
換器および加熱ヒーターを内蔵した熱交換タンクと、冷
却装置を備えた冷水タンクで構成し、前記恒温槽内の液
体を前記熱交換タンク内へ循環させる型式の恒温装置に
おいて、前記恒温槽の出口と前記熱交換器の入口とを循
環ポンプを備えた供給ラインで接続するとともに、前記
熱交換器の出口と前記恒温槽の入口とを温度センサを備
えた還流ラインで接続し、前記熱交換タンクの上部と前
記冷水タンクの上部を連結管で接続するとともに、前記
熱交換タンクの下部と前記冷水タンクの下部とを循環ポ
ンプを備えた回路で接続したことを特徴としており、ま
た、前記熱交換タンク内の液位を前記連結管より低い位
置で制御する液位センサを設けたことを特徴としてい
る。
【０００５】
【作用】この発明によれば、恒温槽内の液体を熱交換タ
ンク内を循環させて所定温度に調節する。すなわち、熱
交換器の出口側の液温を温度センサで検出し、この検出
信号に基づき熱交換タンク内の液体を加熱または冷却
し、熱交換器を介して恒温槽内の液体を所定温度に調節
する。そして、加熱時においては、熱交換タンク内の液
位を冷水タンクと連結している連結管より低い液位に
し、熱水が冷水タンク内へ流入するのを防止する。
ンク内を循環させて所定温度に調節する。すなわち、熱
交換器の出口側の液温を温度センサで検出し、この検出
信号に基づき熱交換タンク内の液体を加熱または冷却
し、熱交換器を介して恒温槽内の液体を所定温度に調節
する。そして、加熱時においては、熱交換タンク内の液
位を冷水タンクと連結している連結管より低い液位に
し、熱水が冷水タンク内へ流入するのを防止する。
【０００６】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。図１は、この発明の一実施例を示すもの
であり、恒温槽１と、熱交換器４および加熱ヒーター５
を内蔵した熱交換タンク２と、冷却装置６を備えた冷水
タンク３で構成し、前記恒温槽１内の液体を熱交換タン
ク２へ循環させる型式の恒温装置である。
細に説明する。図１は、この発明の一実施例を示すもの
であり、恒温槽１と、熱交換器４および加熱ヒーター５
を内蔵した熱交換タンク２と、冷却装置６を備えた冷水
タンク３で構成し、前記恒温槽１内の液体を熱交換タン
ク２へ循環させる型式の恒温装置である。
【０００７】前記恒温槽１には、例えば液晶パネルをエ
ッチングするフッ酸液を収容している。この恒温槽１の
下部に設けた出口１ａと、前記熱交換タンク２内に設け
た熱交換器４の入口４ａとを供給ライン８で接続し、途
中に循環ポンプ７を設けている。一方、前記熱交換器４
の出口４ｂと前記恒温槽１の入口１ｂとを還流ライン１
０で接続し、途中に温度センサ９を挿入している。ま
た、前記熱交換タンク２内の下部に加熱ヒーター５を挿
入し熱交換液を加熱する。符号１５は液面計で、液位セ
ンサ１４（例えば光電管方式）を所定位置に付設してい
る。
ッチングするフッ酸液を収容している。この恒温槽１の
下部に設けた出口１ａと、前記熱交換タンク２内に設け
た熱交換器４の入口４ａとを供給ライン８で接続し、途
中に循環ポンプ７を設けている。一方、前記熱交換器４
の出口４ｂと前記恒温槽１の入口１ｂとを還流ライン１
０で接続し、途中に温度センサ９を挿入している。ま
た、前記熱交換タンク２内の下部に加熱ヒーター５を挿
入し熱交換液を加熱する。符号１５は液面計で、液位セ
ンサ１４（例えば光電管方式）を所定位置に付設してい
る。
【０００８】前記熱交換タンク２の近傍に冷水タンク３
を併設し、この冷水タンク３と前記熱交換タンク２のそ
れぞれの上部所定位置を連結管１１で接続するととも
に、それぞれの下部を回路１３で接続し途中に循環ポン
プ１２を設けている。また前記冷水タンク３内の下部に
冷却装置６の熱交換部を挿入し、冷水タンク３内の液体
を冷却する。符号１６は補給水ラインで、電磁弁１８を
備えている。また、符号１７は排水ラインで、電磁弁１
９を備えている。尚、前記電磁弁１８、１９、循環ポン
プ７、１２、温度センサ９、液位センサ１４および加熱
ヒーター５、ならびに冷却装置６は、それぞれ回線（図
示省略）を介して制御器（図示省略）に接続している。
を併設し、この冷水タンク３と前記熱交換タンク２のそ
れぞれの上部所定位置を連結管１１で接続するととも
に、それぞれの下部を回路１３で接続し途中に循環ポン
プ１２を設けている。また前記冷水タンク３内の下部に
冷却装置６の熱交換部を挿入し、冷水タンク３内の液体
を冷却する。符号１６は補給水ラインで、電磁弁１８を
備えている。また、符号１７は排水ラインで、電磁弁１
９を備えている。尚、前記電磁弁１８、１９、循環ポン
プ７、１２、温度センサ９、液位センサ１４および加熱
ヒーター５、ならびに冷却装置６は、それぞれ回線（図
示省略）を介して制御器（図示省略）に接続している。
【０００９】つぎに、前記構成の作用を説明する。ま
ず、補給ライン１６より熱交換タンク２内へ熱交換液を
所定液位まで供給する。この所定液位は、前記熱交換タ
ンク２と冷水タンク３を接続した連結管１１より下位に
設定してあって、前記熱交換タンク２の液面計１５に付
設の液位センサ１４により制御する。そして、恒温槽１
内の液体（被恒温液）を予め設定した所定温度に調節す
るため、前記恒温槽１の下部より循環ポンプ７を駆動し
供給ライン８を介して熱交換器４内へ供給する。尚、前
記熱交換タンク２内の熱交換液は、予め設定した所定温
度に加熱または冷却してあって、前記被恒温液と熱交換
器４を介して熱交換する。熱交換後の被恒温液の液温を
還流ライン１０に設けた温度センサ９が検知し、検知信
号を制御器（図示省略）へ通報する。制御器は、温度セ
ンサ９の検知信号に基づいて、前記加熱ヒーター５また
は冷却装置６を制御する。
ず、補給ライン１６より熱交換タンク２内へ熱交換液を
所定液位まで供給する。この所定液位は、前記熱交換タ
ンク２と冷水タンク３を接続した連結管１１より下位に
設定してあって、前記熱交換タンク２の液面計１５に付
設の液位センサ１４により制御する。そして、恒温槽１
内の液体（被恒温液）を予め設定した所定温度に調節す
るため、前記恒温槽１の下部より循環ポンプ７を駆動し
供給ライン８を介して熱交換器４内へ供給する。尚、前
記熱交換タンク２内の熱交換液は、予め設定した所定温
度に加熱または冷却してあって、前記被恒温液と熱交換
器４を介して熱交換する。熱交換後の被恒温液の液温を
還流ライン１０に設けた温度センサ９が検知し、検知信
号を制御器（図示省略）へ通報する。制御器は、温度セ
ンサ９の検知信号に基づいて、前記加熱ヒーター５また
は冷却装置６を制御する。
【００１０】ところで、前記熱交換タンク２内の液位を
前記連結管１１より上にすると、熱水と冷水が対流して
混合し、冷水タンク３内の水温が上昇するため前記冷却
装置６が無駄な運転をすることになる。また、熱交換液
を加熱する場合には冷水が流入して加熱速度を低下させ
ることになるため、前述のように、熱交換タンク２内の
液位は前記連結管１１より下位に設定することが必要で
ある。
前記連結管１１より上にすると、熱水と冷水が対流して
混合し、冷水タンク３内の水温が上昇するため前記冷却
装置６が無駄な運転をすることになる。また、熱交換液
を加熱する場合には冷水が流入して加熱速度を低下させ
ることになるため、前述のように、熱交換タンク２内の
液位は前記連結管１１より下位に設定することが必要で
ある。
【００１１】前記熱交換タンク２内の熱交換液を加熱す
る場合は、前記回路１３に設けた循環ポンプ１２を停止
し、前記加熱ヒーター５をＯＮさせて熱交換液を加熱す
る。この加熱により熱交換液の液温は上昇し、前記熱交
換タンク２と前記冷水タンク３の液位は、前記連結管１
１から分流すると同時に前記回路１３の連通管作用によ
り同一液位となる。この液位は前記連結管１１より下位
に位置しているので、熱水が冷水タンク３内へ流入する
ことはなくなる。したがって、加熱中に熱水が冷水と混
合すると冷水タンク３内の水温が上昇し、前記冷却装置
６が無駄な運転をして効率が低下し、さらに加熱速度が
低下するが熱水が冷水と混合しないので効率的である。
尚、加熱中に熱交換タンク２内の液位が前記連結管１１
の下位に設定した所定液位以下になると、前記液位セン
サ１４の信号に基づいて制御器は補給水ライン１６の電
磁弁１８を開き所定液位まで給水する。
る場合は、前記回路１３に設けた循環ポンプ１２を停止
し、前記加熱ヒーター５をＯＮさせて熱交換液を加熱す
る。この加熱により熱交換液の液温は上昇し、前記熱交
換タンク２と前記冷水タンク３の液位は、前記連結管１
１から分流すると同時に前記回路１３の連通管作用によ
り同一液位となる。この液位は前記連結管１１より下位
に位置しているので、熱水が冷水タンク３内へ流入する
ことはなくなる。したがって、加熱中に熱水が冷水と混
合すると冷水タンク３内の水温が上昇し、前記冷却装置
６が無駄な運転をして効率が低下し、さらに加熱速度が
低下するが熱水が冷水と混合しないので効率的である。
尚、加熱中に熱交換タンク２内の液位が前記連結管１１
の下位に設定した所定液位以下になると、前記液位セン
サ１４の信号に基づいて制御器は補給水ライン１６の電
磁弁１８を開き所定液位まで給水する。
【００１２】つぎに、前記熱交換タンク２内の熱交換液
を冷却する場合は、前記回路１３の循環ポンプ１２を駆
動し冷水を熱交換タンク２内へ供給し、オーバーフロー
した熱交換液は前記連結管１１を介して冷水タンク３内
に流入し、循環回路を形成して熱交換液を冷却する。ま
た、逆に、熱交換タンク２内の高温液を回路１３の循環
ポンプ１２を駆動して冷水タンク３内に供給し、オーバ
ーフローした冷水を熱交換タンク２内へ流入させること
も実施に応じて好適である。
を冷却する場合は、前記回路１３の循環ポンプ１２を駆
動し冷水を熱交換タンク２内へ供給し、オーバーフロー
した熱交換液は前記連結管１１を介して冷水タンク３内
に流入し、循環回路を形成して熱交換液を冷却する。ま
た、逆に、熱交換タンク２内の高温液を回路１３の循環
ポンプ１２を駆動して冷水タンク３内に供給し、オーバ
ーフローした冷水を熱交換タンク２内へ流入させること
も実施に応じて好適である。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、恒温槽と、熱交換器および加熱ヒーターを内蔵した
熱交換タンクと、冷却装置を備えた冷水タンクで構成
し、前記恒温槽内の液体を前記熱交換タンク内へ循環さ
せる型式の恒温装置において、前記熱交換タンクの上部
と前記冷水タンクの上部を連結管で接続するとともに、
両タンクの下部を循環ポンプを備えた回路で接続するこ
とにより、熱交換タンクと冷水タンクとを一体的なもの
として構成することができ、付加的な配管等を省略して
コンパクトな装置とすることができる。さらに、熱交換
タンク内の液位を加熱中は前記連結管より低くすること
で、熱水が冷水タンク内へ流入することを防止し、省エ
ネ運転と加熱冷却速度を下げることがなく効率的な運転
ができる。
ば、恒温槽と、熱交換器および加熱ヒーターを内蔵した
熱交換タンクと、冷却装置を備えた冷水タンクで構成
し、前記恒温槽内の液体を前記熱交換タンク内へ循環さ
せる型式の恒温装置において、前記熱交換タンクの上部
と前記冷水タンクの上部を連結管で接続するとともに、
両タンクの下部を循環ポンプを備えた回路で接続するこ
とにより、熱交換タンクと冷水タンクとを一体的なもの
として構成することができ、付加的な配管等を省略して
コンパクトな装置とすることができる。さらに、熱交換
タンク内の液位を加熱中は前記連結管より低くすること
で、熱水が冷水タンク内へ流入することを防止し、省エ
ネ運転と加熱冷却速度を下げることがなく効率的な運転
ができる。
【図１】この発明の一実施例を示す概略説明図である。
１ 恒温槽 １ａ 出口 １ｂ 入口 ２ 熱交換タンク ３ 冷水タンク ４ 熱交換器 ４ａ 入口 ４ｂ 出口 ５ 加熱ヒーター ６ 冷却装置 ７ 循環ポンプ ８ 供給ライン ９ 温度センサ １０ 還流ライン １１ 連結管 １２ 循環ポンプ １３ 回路 １４ 液位センサ
Claims (2)
- 【請求項１】 恒温槽１と、熱交換器４および加熱ヒー
ター５を内蔵した熱交換タンク２と、冷却装置６を備え
た冷水タンク３で構成し、前記恒温槽１内の液体を前記
熱交換タンク２内へ循環させる型式の恒温装置におい
て、前記恒温槽１の出口１ａと前記熱交換器４の入口４
ａとを循環ポンプ７を備えた供給ライン８で接続すると
ともに、前記熱交換器４の出口４ｂと前記恒温槽１の入
口１ｂとを温度センサ９を備えた還流ライン１０で接続
し、前記熱交換タンク２の上部と前記冷水タンク３の上
部を連結管１１で接続するとともに、前記熱交換タンク
２の下部と前記冷水タンク３の下部とを循環ポンプ１２
を備えた回路１３で接続したことを特徴とする恒温装
置。 - 【請求項２】 前記熱交換タンク２内の液位を前記連結
管１１より低い位置で制御する液位センサ１４を設けた
ことを特徴とする請求項１に記載の恒温装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28141494A JPH08117619A (ja) | 1994-10-19 | 1994-10-19 | 恒温装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28141494A JPH08117619A (ja) | 1994-10-19 | 1994-10-19 | 恒温装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08117619A true JPH08117619A (ja) | 1996-05-14 |
Family
ID=17638832
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28141494A Pending JPH08117619A (ja) | 1994-10-19 | 1994-10-19 | 恒温装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08117619A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009174831A (ja) * | 2008-01-28 | 2009-08-06 | Naigai Shisetsu Kogyo Kk | 空調システム及び空調方法 |
| WO2013105512A1 (ja) * | 2012-01-12 | 2013-07-18 | 信越化学工業株式会社 | 熱交換器およびシリコン系材料用エッチング液の除熱方法 |
| CN110762867A (zh) * | 2019-10-25 | 2020-02-07 | 山东华春新能源有限公司 | 一种太阳能毛细管温度梯度箱 |
| CN117309452A (zh) * | 2023-11-21 | 2023-12-29 | 中国国检测试控股集团陕西有限公司 | 一种洗衣机能效水效测试系统装置 |
-
1994
- 1994-10-19 JP JP28141494A patent/JPH08117619A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009174831A (ja) * | 2008-01-28 | 2009-08-06 | Naigai Shisetsu Kogyo Kk | 空調システム及び空調方法 |
| WO2013105512A1 (ja) * | 2012-01-12 | 2013-07-18 | 信越化学工業株式会社 | 熱交換器およびシリコン系材料用エッチング液の除熱方法 |
| JP2013143549A (ja) * | 2012-01-12 | 2013-07-22 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 熱交換器およびシリコン系材料用エッチング液の除熱方法 |
| CN110762867A (zh) * | 2019-10-25 | 2020-02-07 | 山东华春新能源有限公司 | 一种太阳能毛细管温度梯度箱 |
| CN117309452A (zh) * | 2023-11-21 | 2023-12-29 | 中国国检测试控股集团陕西有限公司 | 一种洗衣机能效水效测试系统装置 |
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