JPH08118618A

JPH08118618A - インクジェット記録ヘッド

Info

Publication number: JPH08118618A
Application number: JP25521994A
Authority: JP
Inventors: Kenichi Satake; 健一佐武; Koichi Baba; 弘一馬場; Kikunosuke Tsuji; 菊之助辻; Takashi Watanabe; 剛史渡辺; Setsuo Hori; 節夫堀; Kazuhisa Kondo; 和久近藤; Makoto Ekuroki; 誠重黒木
Original assignee: Mita Industrial Co Ltd
Current assignee: Kyocera Mita Industrial Co Ltd
Priority date: 1994-10-20
Filing date: 1994-10-20
Publication date: 1996-05-14

Abstract

(57)【要約】【目的】大型化することなくインク吐出性能を向上す
る。【構成】基板部材３の表面には、溝３０１、加圧室３
０３及び溝３０２が形成され、振動板２は、基板部材３
の上面に密着され、溝３０１、加圧室３０３及び溝３０
２を覆ってインク流路を形成する。加圧室３０３は、イ
ンク流路方向に長い平面視六角形の箱形状で、中央部が
側壁面３３１，３３２で囲まれる。振動板２の上面に
は、加圧室３０３の側壁面３３１，３３２で囲まれる平
面視長方形の範囲内に、所要の小幅の溝部２０１〜２０
６が切り欠いて形成されている。溝部２０１，２０２
は、側壁面３３１，３３２に対応する位置に沿って直線
状に形成され、溝部２０３〜２０６は、側壁面３３１，
３３２で囲まれる平面視長方形の４隅に対向してＬ字状
に形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ファクシミリ、複写機
やプリンタ等に適用されるインクジェット記録装置に用
いられるインクジェット記録ヘッドに関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】近年、インクジェット記録ヘッドのノズ
ルからインクを吐出して用紙に印字するインクジェット
記録装置が実用化されている。従来のインクジェット記
録ヘッドのインク吐出部を図１１に示す。基板部材５０
３には、表面に凹状の加圧室５３３及び溝５３１，５３
２が形成されている。振動板５０２は、加圧室５３３及
び溝５３１，５３２を覆うように基板部材５０３に密着
して固定され、Ｘ軸方向にインク流路が形成されるとと
もに、ノズル５３４が形成されている。加圧室５３３
は、インク流路方向に長尺で、溝５３１，５３２に向け
て先細りの六角形状になっている。また、上下面に電極
が配設された圧電素子５０１は、加圧室５３３の平面視
長方形部分と同一の大きさで、加圧室５３３の対向位置
で振動板５０２に密着して固定されている。そして、所
定の極性の電圧が印加され、圧電素子５０１の変形によ
って振動板５０２が加圧室５３３内のインクを押圧する
と、ノズル５３４からインクが吐出されるようになって
いる。

【０００３】圧電素子５０１の電極間に電圧が印加され
ると、圧電素子５０１には、Ｘ，Ｙ軸に沿って縮もうと
する歪み力が生じる一方、圧電素子５０１のＸ軸に平行
な辺と加圧室５３３の側壁面とが一致し、しかも振動板
５０２が基板部材５０３に固定されているので、基板部
材５０３が高負荷として作用し、圧電素子５０１、すな
わち振動板５０２は、Ｘ軸方向に対して撓み難くなって
いる。ところが、圧電素子５０１のＹ軸に平行な辺に対
向する位置の振動板５０２は、加圧室５３３上にあるた
め基板部材５０３に固定されてないので、基板部材５０
３が負荷として作用せず、Ｙ軸方向に対して撓み易くな
っている。従って、振動板５０２は、図１２に示すよう
に圧電素子５０１のＹ軸に平行な辺に沿って撓み、加圧
室５３３内のインクを押圧することとなる。図１２は圧
電素子５０１及び振動板５０２が電圧印加によって撓ん
だ状態を示す図で、振動板５０２は加圧室５３３に対向
する範囲のみを示している。

【０００４】圧電素子５０１の撓み量は、歪み力が生じ
る方向の圧電素子５０１の寸法に比例するので、加圧室
５３３への押圧力を増大してノズル５３４からのインク
吐出性能を向上させるためには、圧電素子５０１及び加
圧室５３３をＹ軸方向に長寸法化する必要がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、加圧室５３
３のＹ軸方向への寸法を大きく取ると、インクジェット
記録ヘッドが大型化してしまう。また、複数の加圧室５
３３及びノズル５３４を設ける場合には一般にＹ軸方向
に並設されるので、加圧室５３３のＹ軸方向への寸法を
大きく取ると隣接するノズル５３４の間隔（ピッチ）が
増大するため、インクジェット記録ヘッドのノズルの高
密度化が困難になる。

【０００６】本発明は、上記問題を解決するもので、大
型化することなくインク吐出性能を向上するインクジェ
ット記録ヘッドを提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、基板とこの基板に密着固定された所定厚
さの振動板とからなり、インクの加圧室、ノズル及び上
記加圧室と上記ノズルとを連通するインク流路が形成さ
れたヘッド部材と、上記振動板の上記基板と反対側の面
であって上記加圧室に対向する位置に固定され、上記振
動板の板面に直交する方向に変形力を与える圧電部材と
を備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、上記加圧
室は、上記インク流路方向に平行な互いに対向する壁面
を有する同方向に長寸法の箱形状で、上記圧電部材は、
上記インク流路方向に長寸法を有する板状体で、上記振
動板は、上記加圧室の上記両壁面に沿ってそれぞれ形成
され、上記両壁面に対応する位置から互いに内側に小幅
の範囲を有する厚さ方向への切欠きを備えたものである
（請求項１）。

【０００８】また、請求項１記載のインクジェット記録
ヘッドにおいて、上記振動板は、上記インク流路方向に
直交する方向に小幅の範囲を有する厚さ方向への切欠き
が形成されている（請求項２）。

【０００９】また、上記切欠きは、上記振動板の上記基
板と反対側の面に形成されている（請求項３）。

【００１０】また、上記基板は、平板状で、上記振動板
は、上記基板側の面に溝及びこの溝に連通する箱状の凹
部が形成されている（請求項４）。

【００１１】また、上記振動板は、上記圧電部材の固定
範囲が上記所定厚さより薄く形成され、上記切欠きは、
それぞれ上記所定厚さを有する凸部によって複数個に分
割して形成されている（請求項５）。

【００１２】また、請求項１記載のインクジェット記録
ヘッドにおいて、インクを透過しない材質で形成された
フィルム部材を備え、上記切欠きは、上記振動板を貫通
して形成されたスリットからなり、上記フィルム部材
は、上記振動板と上記基板間の上記スリットの範囲に介
設されている（請求項６）。

【００１３】また、上記フィルム部材は、上記基板と上
記振動板間の全面に亘って介設され、上記基板と上記振
動板とは、上記フィルム部材を接着層として熱融着によ
って密着固定されている（請求項７）。

【００１４】

【作用】請求項１記載の発明によれば、切欠きが加圧室
のインク流路方向に平行な両壁面に沿って小幅の範囲だ
け形成されているので、その部分の振動板の剛性が低下
している。従って、変形力を得るべくインク流路方向及
び同方向に直交する方向に縮もうとする歪みが圧電部材
に発生すると、圧電部材及び振動板は、圧電部材の長寸
法方向に対して撓むこととなる。

【００１５】また、請求項２記載の発明によれば、切欠
きがインク流路方向に直交する方向に小幅の範囲だけ形
成されているので、更に振動板の剛性が低下するため、
変形力を得るべくインク流路方向及び同方向に直交する
方向に縮もうとする歪みが圧電部材に発生すると、圧電
部材及び振動板は更に撓み易くなる。

【００１６】また、請求項３記載の発明によれば、切欠
きが振動板の基板と反対側の面に形成されているので、
圧電部材を振動板に固定するときに、切欠きに位置合わ
せして配設すればよいため、圧電部材の位置合わせが容
易に行われる。

【００１７】また、請求項４記載の発明によれば、基板
と振動板を密着固定すると、振動板に形成された溝及び
この溝に連通する箱状の凹部が平板状の基板に覆われ
て、加圧室、ノズル及びインク流路が形成される。従っ
て、加圧室を構成する振動板の一方の面に形成された箱
状の凹部の両壁面に位置合わせして、振動板の他方の面
に溝部を形成すればよいので、加圧室の両壁面に対する
溝部の位置精度が向上する。

【００１８】また、請求項５記載の発明によれば、圧電
部材は、切欠きが形成された側の周縁に凸部が当接する
ので、圧電部材の位置合わせが容易に、かつ精度良く行
われる。

【００１９】また、請求項６記載の発明によれば、スリ
ットが加圧室のインク流路方向に平行な両壁面に沿って
小幅の範囲だけ形成されているので、その部分の振動板
の剛性が低下している。従って、変形力を得るべくイン
ク流路方向及び同方向に直交する方向に縮もうとする歪
みが圧電部材に発生すると、圧電部材及び振動板は、圧
電部材の長寸法方向に対して撓むこととなる。また、フ
ィルム部材によってスリットからのインク漏れが防止さ
れている。

【００２０】また、請求項７記載の発明によれば、フィ
ルム部材によって、基板と振動板が確実に密着固定され
るとともに、スリットからのインク漏れが確実に防止さ
れている。

【００２１】

【実施例】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの第
１実施例について、図１〜図３を用いて説明する。図１
は同第１実施例のインク吐出部の分解斜視図で、図２は
同インク吐出部の平面図である。図３（ａ）は図２のＡ
−Ａ線階段断面図、（ｂ）は図２のＢ−Ｂ線断面図であ
る。なお、図２、図３では、圧電部材に配設された電極
を図略している。

【００２２】このインクジェット記録ヘッドのインク吐
出部は、圧電部材１、振動板２及び基板部材３から構成
されている。

【００２３】基板部材３は、例えばガラス等からなる所
要厚の板状体で、その表面には図１中、Ｘ軸方向に一端
から他端に亘って互いに連通するように、小断面積の溝
３０１、ほぼ中央部の凹状の加圧室３０３及び溝３０１
と同形状の溝３０２が形成されている。振動板２は、例
えばガラス製の薄板で、基板部材３の上面に密着して固
定され、溝３０１、加圧室３０３及び溝３０２を覆って
Ｘ軸方向にインク流路を形成している。振動板２及び基
板部材３により、溝３０２の先端にノズル３０４（図
３）が形成されている。

【００２４】加圧室３０３は、インク流路方向に長い平
面視六角形の箱形状で、中央部がインク流路方向に平行
な側壁面３３１，３３２で囲まれている。そして、後述
するように圧電部材１の変形により振動板２を下方に変
形させることで、内部に満たされたインクを加圧してノ
ズル３０４からインクを吐出するようになっている。ま
た、溝３０１は、不図示のインクカートリッジに連通し
ており、加圧室３０３にインクが供給されるようになっ
ている。

【００２５】また、振動板２の上面、すなわち基板部材
３と反対側の表面には、加圧室３０３の側壁面３３１，
３３２で囲まれる平面視長方形の範囲内に溝部２０１〜
２０６が切り欠いて形成されている。

【００２６】溝部２０１〜２０６は、所要の小幅に形成
されており、溝部２０１，２０２は、加圧室３０３の側
壁面３３１，３３２に対応する位置に沿って直線状に形
成され、溝部２０３〜２０６は、側壁面３３１，３３２
で囲まれる平面視長方形の４隅に対向してＬ字状に形成
されている。

【００２７】また、互いに隣接する溝部間は、切り欠か
れていない凸部として残されている。すなわち、溝部２
０１，２０３間には凸部２１１が、溝部２０３，２０４
間には凸部２１２が、溝部２０４，２０２間には凸部２
１３が、溝部２０２，２０５間には凸部２１４が、溝部
２０５，２０６間には凸部２１５が、溝部２０６，２０
１間には凸部２１６が、それぞれ形成されている。

【００２８】凸部２１１〜２１６は、振動板２の上面と
面一で、溝部２０１〜２０６と同一幅を有している。そ
して、溝部２０１〜２０６及び凸部２１１〜２１６の内
側には、平面状の載置部２２０が形成されている。載置
部２２０は、インク流路方向に長尺の長方形で、板厚が
振動板２より薄く、かつ溝部２０１〜２０６より厚く形
成されている。

【００２９】圧電部材１は、上下面に薄膜状の電極１０
１，１０２が配設された平面視長方形の薄板で、チタン
酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電素子で形成され、厚
さ方向に分極されている。この圧電部材１は、載置部２
２０と同一の大きさで、載置部２２０上に接着等によっ
て密着して固定されている。また、電極１０１，１０２
には、不図示の配線を介して、図外の電源が接続されて
いる。この電源は、圧電部材１の電極１０１，１０２間
に所定の極性の電圧を印加するものである。

【００３０】以上のような構成のインクジェット記録ヘ
ッドにおいて、電極１０１，１０２間に電源の出力電圧
が印加されると、圧電部材１には図１のＸ，Ｙ軸方向に
縮むような歪みが発生し、この歪みによって圧電部材１
が加圧室３０３側に変形し、これにより加圧室３０３内
のインクが押圧されて、ノズル３０４からインクが吐出
される。

【００３１】このとき、圧電部材１は、溝部２０１〜２
０６の内側に配設されているので、圧電部材１のインク
流路方向（図１のＸ軸）に平行な周縁部は、加圧室３０
３の側壁面３３１，３３２から溝部２０１，２０２の幅
分だけ内側にある。このため圧電部材１のＸ軸に平行な
周縁部に対向する位置の振動板２は、加圧室３０３に対
向しており基板部材３に固定されていない。しかも、圧
電部材１に隣接して溝部２０１，２０２が形成されてい
るので、この部分の振動板２の剛性が低下している。従
って、振動板２は、長尺のＸ軸方向に対して撓み易くな
っている。

【００３２】これによって、圧電部材１の撓み量は歪み
の発生方向の長さに比例するので、大きい撓み量を得る
ことができる。従って、加圧室３０３のインクへの押圧
力が増大するので、インク吐出性能を向上させることが
できる。

【００３３】また、圧電部材１の周囲に溝部２０３〜２
０６が形成されているので、圧電部材１は、Ｙ軸方向に
も撓み易くなっている。このため、更に大きい撓み量を
得ることができるので、更にインク吐出性能の向上が図
れる。

【００３４】また、載置部２２０が薄く形成されている
ので、圧電部材１を載置部２２０に配設する際に、凸部
２１１〜２１６によって圧電部材１の位置設定を容易、
確実に行うことができる。

【００３５】このように、溝部２０１〜２０６によって
インク吐出性能を向上することができる。従って、加圧
室３０３を図１のＹ軸方向へ長寸法化する必要がないの
で、インクジェット記録ヘッドの小型化が可能になる。

【００３６】なお、載置部２２０の表面を振動板２の上
面と面一に形成しても、溝部２０１〜２０６がある以
上、振動板２は長尺のＸ軸方向に対して撓み易くなって
いるので、大きい撓み量を得ることができ、インク吐出
性能の向上が図れる。

【００３７】また、複数の加圧室３０３を有する場合に
は、図４に示すように、各加圧室３０３の内側に、第１
実施例と同様に溝部２０１，２０２を形成すればよい。
この場合には、上記電源は、各圧電部材１の電極１０
１，１０２間に選択的に電圧印加が可能なように構成
し、所望の圧電部材１を変形可能にすればよい。これに
よって、第１実施例と同様の効果が得られるとともに、
高密度化されたノズル３０４が維持可能になる。

【００３８】また、振動板２は、図５に示すように、加
圧室３０３の側壁面３３１，３３２に対応する位置に沿
って形成された溝部２０１，２０２のみを有するもので
もよい。この場合でも、圧電部材１は長尺のＸ軸方向に
撓み易いので、第１実施例と同様に大きい撓み量が得ら
れる。また、第１実施例の凸部２１１〜２１６と同様
に、溝部２０１，２０２の両端に凸部２２３〜２２６を
形成することによって、圧電部材１の位置設定を容易、
確実に行うことができる。

【００３９】また、図６（ａ）（ｂ）に示すように、溝
３０１，３０２及び加圧室３０３は、基板部材３に代え
て、振動板２に形成するようにしても、第１実施例と同
様の効果が得られる。また、この場合には、加圧室３０
３と載置部２２０が精度良く対向するようにこれらを振
動板２に形成できるので、加圧室３０３と圧電部材１の
位置精度を向上することができる。また、基板部材３を
密着固定する際に位置設定する必要がないので、組立効
率を向上させることができる。

【００４０】次に、本発明に係るインクジェット記録ヘ
ッドの第２実施例について、図７〜図９を用いて説明す
る。図７は同第２実施例のインク吐出部の平面図で、図
８（ａ）は図７のＡ−Ａ線階段断面図、（ｂ）は図７の
Ｂ−Ｂ線断面図である。図９は図７のＣ−Ｃ線断面図
で、変形状態を示している。なお、第１実施例と同一物
については同一符号を付している。

【００４１】第２実施例では、振動板２には、第１実施
例の溝部に代えて、スリット２３１，２３２が形成され
ている。

【００４２】スリット２３１，２３２は、加圧室３０３
の側壁面３３１，３３２で挾まれる平面視長方形に対向
する範囲内であって側壁面３３１，３３２に沿って穿設
され、所要幅で側壁面３３１，３３２と同一長さを有し
ている。

【００４３】振動板２と基板部材３の間には、フィルム
部材４が介設されている。このフィルム部材４は、イン
クを透過しない材質で形成された可撓性の薄膜で、加圧
室３０３からスリット２３１，２３２を通してインクが
漏洩するのを防止するものである。そして、振動板２と
基板部材３は、フィルム部材４を接着層とする熱融着に
よって密着固定されている。

【００４４】圧電部材１は、幅がスリット２３１，２３
２で挾まれる領域と同一で、長さがスリット２３１，２
３２より多少短く形成された平面視長方形の薄板形状を
有し、上下面に不図示の電極が配設され、上記スリット
２３１，２３２で挾まれる領域に接着等によって密着固
定されている。

【００４５】基板部材３は、複数の加圧室３０３が形成
されており、振動板２には、各加圧室３０３に対向して
上記したようにスリット２３１，２３２が穿設されてい
る。また、電源は、各圧電部材１の電極間に選択的に電
圧印加が可能なように接続され、所定レベルの電圧を出
力するもので、所望の圧電部材１が変形可能になってい
る。

【００４６】以上のような構成のインクジェット記録ヘ
ッドにおいて、圧電部材１の電極間に電圧が印加される
と、圧電部材１には第１実施例と同様に縮むような歪み
が発生し、この歪みによって圧電部材１が加圧室３０３
側に変形し、これにより加圧室３０３内のインクが押圧
されて、ノズル３０４からインクが吐出される。

【００４７】このとき、スリット２３１，２３２の間に
圧電部材１を配設しているので、圧電部材１のインク流
路方向に平行な周縁部は、加圧室３０３の側壁面３３
１，３３２からスリット２３１，２３２の幅分だけ内側
にある。このため圧電部材１の上記周縁部に対向する位
置の振動板２は、加圧室３０３に対向しており基板部材
３に固定されていない。しかも、圧電部材１に隣接して
スリット２３１，２３２が形成されているので、この部
分の振動板２の剛性が低下している。従って、図９に示
すように、長尺のインク流路方向に対して撓み易くなっ
ている。

【００４８】これによって、圧電部材１の撓み量は歪み
の発生方向の長さに比例するので、大きい撓み量を得る
ことができる。従って、加圧室３０３のインクへの押圧
力が増大するので、インク吐出性能を向上できる。ま
た、加圧室３０３をインク流路方向に直交する方向に拡
大する必要がないので、高密度化されたノズル３０４が
維持可能になる。

【００４９】なお、フィルム部材４は、スリット２３
１，２３２及びその周辺部分のみに配設するようにし、
振動板２と基板部材３は接着等によって密着固定するよ
うにしても、同様の効果が得られる。

【００５０】また、振動板２は、図１０に示すようなス
リット２３３が形成されたものを用いてもよい。スリッ
ト２３３は、第２実施例において、隣接する加圧室３０
３に対向するスリット２３１，２３２が、一体的に穿設
されてなるものである。この場合でも、同様の効果が得
られる。

【００５１】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、加圧室は、インク流路方向に平行な互いに対向
する壁面を有する同方向に長寸法の箱形状で、圧電部材
は、インク流路方向に長寸法を有する板状体で、振動板
は、加圧室の上記両壁面に沿ってそれぞれ形成され、上
記両壁面に対応する位置から互いに内側に小幅の範囲を
有する厚さ方向への切欠きを備えるようにしたので、圧
電部材に発生する歪みによって、圧電部材及び振動板を
圧電部材の長寸法方向に対して撓ませることができる。
従って、撓み量を増大することができるので、インク吐
出性能を向上できる。

【００５２】また、請求項２の発明によれば、切欠きを
インク流路方向に直交する方向に小幅の範囲だけ形成す
るようにしたので、圧電部材及び振動板を更に撓み易く
できる。従って、インク吐出性能を更に向上できる。

【００５３】また、請求項３の発明によれば、切欠きを
振動板の基板と反対側の面に形成しているので、圧電部
材を振動板に固定するときに、切欠きに位置合わせすれ
ばよいので、圧電部材の配設を容易に行える。

【００５４】また、請求項４の発明によれば、基板は、
平板状で、振動板は、基板側の面に溝及びこの溝に連通
する箱状の凹部を形成するようにしたので、加圧室を構
成する振動板の一方の面に形成された箱状の凹部の両壁
面に位置合わせして、振動板の他方の面に溝部を形成す
ればよいため、加圧室の両壁面に対する溝部の位置精度
を向上させることができる。

【００５５】また、請求項５の発明によれば、振動板
は、圧電部材の固定範囲が所定厚さより薄く形成され、
切欠きは、それぞれ上記所定厚さを有する凸部によって
複数個に分割して形成されているので、圧電部材は、切
欠きが形成された側の周縁に凸部が当接するため、圧電
部材の位置合わせを容易に、かつ精度良く行うことがで
きる。

【００５６】また、請求項６の発明によれば、スリット
が加圧室のインク流路方向に平行な両壁面に沿って小幅
の範囲だけ形成されているので、圧電部材に発生する歪
みによって、圧電部材及び振動板を圧電部材の長寸法方
向に対して撓ませることができる。従って、撓み量を増
大することができるので、インク吐出性能を向上でき
る。また、インクを透過しない材質で形成されたフィル
ム部材を振動板と基板間のスリットの範囲に介設するよ
うにしたので、スリットからのインク漏れを防止するこ
とができる。

【００５７】また、請求項７の発明によれば、フィルム
部材を基板と振動板間の全面に亘って介設し、基板と振
動板は、上記フィルム部材を接着層として熱融着によっ
て密着固定するようにしたので、基板と振動板を確実に
密着固定できる。また、スリットからのインク漏れを確
実に防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの第１
実施例のインク吐出部の分解斜視図である。

【図２】同インク吐出部の平面図である。

【図３】（ａ）は図２のＡ−Ａ線階段断面図、（ｂ）は
図２のＢ−Ｂ線断面図である。

【図４】複数の加圧室を有する場合の溝部の形成例を示
す断面図である。

【図５】溝部の異なる形成例を示す斜視図である。

【図６】（ａ）は加圧室を振動板に形成した例を示す断
面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。

【図７】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの第２
実施例のインク吐出部の平面図である。

【図８】（ａ）は図７のＡ−Ａ線階段断面図、（ｂ）は
図７のＢ−Ｂ線断面図である。

【図９】図７のＣ−Ｃ線断面図で、変形状態を示してい
る。

【図１０】スリットの異なる形成例を示す断面図であ
る。

【図１１】従来のインクジェット記録ヘッドのインク吐
出部の斜視図である。

【図１２】図１１の圧電素子及び振動板が電圧印加によ
って撓んだ状態を示す図で、振動板は加圧室に対向する
範囲のみを示している。

【符号の説明】

１圧電部材１０１，１０２電極２振動板２０１〜２０６溝部２１１〜２１６凸部２２０載置部２３１，２３２スリット３基板部材３０１，３０２溝３０３加圧室３０４ノズル３３１，３３２側壁面４フィルム部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者渡辺剛史大阪市中央区玉造１丁目２番28号三田工業株式会社内 (72)発明者堀節夫大阪市中央区玉造１丁目２番28号三田工業株式会社内 (72)発明者近藤和久大阪市中央区玉造１丁目２番28号三田工業株式会社内 (72)発明者重黒木誠大阪市中央区玉造１丁目２番28号三田工業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板とこの基板に密着固定された所定厚
さの振動板とからなり、インクの加圧室、ノズル及び上
記加圧室と上記ノズルとを連通するインク流路が形成さ
れたヘッド部材と、上記振動板の上記基板と反対側の面
であって上記加圧室に対向する位置に固定され、上記振
動板の板面に直交する方向に変形力を与える圧電部材と
を備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、上記加圧
室は、上記インク流路方向に平行な互いに対向する壁面
を有する同方向に長寸法の箱形状で、上記圧電部材は、
上記インク流路方向に長寸法を有する板状体で、上記振
動板は、上記加圧室の上記両壁面に沿ってそれぞれ形成
され、上記両壁面に対応する位置から互いに内側に小幅
の範囲を有する厚さ方向への切欠きを備えたことを特徴
とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】請求項１記載のインクジェット記録ヘッ
ドにおいて、上記振動板は、上記インク流路方向に直交
する方向に小幅の範囲を有する厚さ方向への切欠きが形
成されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッ
ド。
【請求項３】上記切欠きは、上記振動板の上記基板と
反対側の面に形成されていることを特徴とする請求項１
または２記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】上記基板は、平板状で、上記振動板は、
上記基板側の面に溝及びこの溝に連通する箱状の凹部が
形成されていることを特徴とする請求項３記載のインク
ジェット記録ヘッド。
【請求項５】上記振動板は、上記圧電部材の固定範囲
が上記所定厚さより薄く形成され、上記切欠きは、それ
ぞれ上記所定厚さを有する凸部によって複数個に分割し
て形成されていることを特徴とする請求項３または４記
載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】請求項１記載のインクジェット記録ヘッ
ドにおいて、インクを透過しない材質で形成されたフィ
ルム部材を備え、上記切欠きは、上記振動板を貫通して
形成されたスリットからなり、上記フィルム部材は、上
記振動板と上記基板間の上記スリットの範囲に介設され
ていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】上記フィルム部材は、上記基板と上記振
動板間の全面に亘って介設され、上記基板と上記振動板
とは、上記フィルム部材を接着層として熱融着によって
密着固定されていることを特徴とする請求項５記載のイ
ンクジェット記録ヘッド。