JPH08121337A

JPH08121337A - クライオパネル

Info

Publication number: JPH08121337A
Application number: JP25718194A
Authority: JP
Inventors: Takashi Yoshimura; 隆吉村; Satoru Uosaki; 哲宇於崎
Original assignee: Daikin Industries Ltd
Current assignee: Daikin Industries Ltd
Priority date: 1994-10-21
Filing date: 1994-10-21
Publication date: 1996-05-14

Abstract

(57)【要約】【目的】簡単な構成で、しかも、十分な排気量が得ら
れるようにして、ポンプ性能を向上できるようにする。【構成】ポンプケース１に内装され、冷凍機３のヒート
ステーション２に取付け、気体を凝縮させて吸着させる
クライオパネルを、ヒートステーション２に取付け、こ
のヒートステーション２の外方に延びる取付部６と、こ
の取付部６の外周部において冷凍機３の軸方向一側に突
出する第１パネル部７と、取付部６の外周部において冷
凍機３の軸方向他側に突出して、内面に活性炭９を付着
した第２パネル部８とから構成して、一方のパネル部内
で、水及び低沸点ガスの凝縮を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はクライオパネル、詳しく
はロードロック室や処理室等を高真空にするために用い
るクライオポンプのクライオパネルに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、一つのヒートステーションにクラ
イオパネルとバッフルを備えるシールドパネルとを結合
したクライオポンプは、例えば特開平２−５７７３号公
報に示されているものが知られている。

【０００３】このクライオポンプは、図４に示したよう
に、一側が開放するポンプケースＣに、極低温膨張機Ａ
のヒートステーションＨを内装して、このヒートステー
ションＨに、有底筒形として、内面に活性炭ＣＨを付着
したクライオパネルＣＰの底壁部を接続すると共に、前
記ポンプケースＣからこのクライオパネルＣＰへの輻射
熱を防ぐシールドパネルＳＰを、２重筒形とし、その内
側筒部を取付筒部として、この取付筒部の端部をヒート
ステーションＨに接続し、この取付筒部のヒートステー
ション近傍部に、低熱伝導部Ｄを設けたものである。

【０００４】さらに、前記ポンプケースＣの開放部に
は、バッフルＢが配設されており、このバッフルＢは前
記シールドパネルＳＰに支持されている。

【０００５】そして、前記シールドパネルＳＰにより、
ポンプケースＣからクライオパネルＣＰへの輻射熱を遮
断すると共に、前記バッフルＢを冷却し、このバッフル
Ｂの表面に水分を凝縮させて吸着するようにしている。

【０００６】また、前記低熱伝導部Ｄは、前記シールド
パネルＳＰの熱がヒートステーションＨに伝わり難くす
ると同時に、前記シールドパネルＳＰの温度をヒートス
テーションＨよりも高くし、両者の間に温度差を確保し
て、酸素、窒素、アルゴンガスなどの低沸点ガスは、専
ら前記ヒートステーションＨに直結するクライオパネル
ＣＰのみで凝縮するようにするために設けている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のクラ
イオポンプでは、前記ポンプケースＣから前記クライオ
パネルＣＰへの輻射熱を遮断するために前記クライオパ
ネルＣＰの周囲に前記シールドパネルＳＰを配設し、前
記ポンプケースＣの開放部に前記バッフルＢを設けてい
ることから、前記バッフルＢにより、水の排気速度はか
なり大きくできるが、水以外の低沸点ガスは、水が凝縮
して堆積している前記バッフルＢの狭い隙間を通過しな
ければならないので、通過する際に大きな抵抗を受ける
ことになり、ガスの前記クライオパネルＣＰへの到達確
率が小さくなって排気速度が低下する問題があった。

【０００８】また、前記シールドパネルＳＰと前記ポン
プケースＣとの間に、低沸点ガスの排気に利用されない
無駄な空間ができ、排気効率が低下するのである。

【０００９】しかも、前記ポンプケースＣ内に前記シー
ルドパネルＳＰを内装し、このシールドパネルＳＰ内に
前記クライオパネルＣＰを内装することから、前記ポン
プケースＣ内に占める前記クライオパネルＣＰの表面積
が小さくなるので、窒素やアルゴンガスなどの低沸点ガ
スの凝縮確率が小さくなり、クライオポンプによる排気
が効率よく行えない問題があった。

【００１０】本発明の目的は、構成が簡単で、しかも、
十分な排気量が得られるクライオパネルを提供して、ポ
ンプ性能を向上できるようにする点にある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
め請求項１記載の発明は、ポンプケース１に内装し、か
つ、冷凍機３のヒートステーション２に取付けて気体を
凝縮及び吸着させるクライオパネルを、前記ヒートステ
ーション２に取付け、このヒートステーション２の外側
方に延びる取付部６と、この取付部６の外周部において
冷凍機３の軸方向一側に突出する第１パネル部７と、前
記取付部６の外周部において前記冷凍機３の軸方向他側
に突出して、内面に活性炭９を付着した第２パネル部８
とから構成したのである。

【００１２】請求項２記載の発明は、前記第１パネル部
７と第２パネル部８とを筒状に形成したのである。

【００１３】請求項３記載の発明は、前記第１パネル部
７と第２パネル部８とを連続した筒部材５１により形成
し、該筒部材５１内に板部材５２から成る取付部６を固
定したのである。

【００１４】請求項４記載の発明は、２つの有底筒状部
材５３，５３の各底部５３ａ，５３ａを突合せて、この
突合せ部を取付部６と成し、各筒部５３ｂ，５３ｂをそ
れぞれ第１パネル部７と第２パネル部８と成したのであ
る。

【００１５】請求項５記載の発明は、前記第１パネル部
７と第２パネル部８とを複数の板状部材５４から構成
し、これら板状部材５４を、前記取付部６の外周部に、
周方向に所定間隔をおいて放射状に設けたのである。

【００１６】

【作用】請求項１記載の発明では、ポンプケース１にお
けるガス導入側に向かって例えば前記第１パネル部７を
突出させられるので、この第１パネル部７の内方側に抵
抗なく水及び窒素、アルゴンなどの低沸点ガスを導入で
き、該第１パネル部７内方において水だけでなく窒素、
アルゴンなどの低沸点ガスを従来に比べて効率よく凝縮
させて、この第１パネル部７に吸着させられ、該第１パ
ネル部７に吸着されなかった水素ガスを、前記第２パネ
ル部８内面に付着した水素吸着用の活性炭により水素ガ
スの吸着を行えるのである。

【００１７】さらに、前記ポンプケース１内に、従来の
ようなシールドパネルを内装しないから、従来生じてい
た低沸点ガスの排気に利用されない無駄な空間を無くす
ことができ、排気速度をより大きくできるし、シールド
パネルを内装しなくとも、該シールドパネルを内装して
いたスペースまで、前記クライオパネルの第１パネル部
７及び第２パネル部８を大きくすることができるので、
クライオパネルを従来に比べて大きくでき、従って、前
記第１パネル部７における酸素、窒素、アルゴンなどの
低沸点ガスを凝縮させる面積と、前記第２パネル部８内
面に付着させた活性炭９で水素ガスを吸着させる吸着面
積とをそれぞれ大きくできるので、全体としての排気速
度をさらに上げることができるのである。

【００１８】また、従来のシールドパネルを廃止するこ
とにより、それだけコストを低廉することができるし、
構造も簡単となるから、組み付け作業性も向上できるの
である。

【００１９】請求項２記載の発明では、前記第１パネル
部７と第２パネル部８とを筒状に形成したから、前記ポ
ンプケース１を筒状とする場合、その内面に沿って各パ
ネル部７，８を形成できるので、構造を簡単にできなが
ら表面積をより効率良く大きくできるのである。

【００２０】請求項３記載の発明では、前記第１パネル
部７と第２パネル部８とを連続した筒部材５１により形
成し、該筒部材５１内に板部材５２から成る取付部６を
固定したから、前記板部材５２の前記筒部材５１への取
付け位置を任意に設定することにより、各パネル部７，
８の軸方向長さを所望の長さに自由に設定することがで
きるので、凝縮作用により排気する水、アルゴン、窒素
などのガスの排気性能と、活性炭９の吸着作用により排
気する水素などのガスの排気性能とのバランスを目的に
応じて種々設定することができるのである。

【００２１】請求項４記載の発明では、２つの有底筒状
部材５３，５３の各底部５３ａ，５３ａを突合せて、こ
の突合せ部を取付部６と成し、各筒部５３ｂ，５３ｂを
それぞれ第１パネル部７と第２パネル部８と成したか
ら、前記各有底筒状部材５３，５３の底部５３ａ，５３
ａを突き合わせて固定するだけでクライオパネルを形成
できるので、加工を簡単にできるし、前記第１パネル部
７と第２パネル部８の径及び筒部長さをそれぞれ個別に
設定することができるので組合せにより多種類のクライ
オパネルを形成することができるのである。

【００２２】請求項５記載の発明では、前記第１パネル
部７と第２パネル部８とを複数の板状部材５４から構成
し、これら板状部材５４を、前記取付部６の外周部に、
周方向に所定間隔をおいて放射状に設けたから、前記各
板状部材５４間に形成される隙間により、低沸点ガスを
凝縮させた第１パネル部７の内方部から吸着されなかっ
た水素ガスを前記第２パネル部８の内方部に到達しやす
くできるので、水素ガスの排気速度を上げることができ
るのである。

【００２３】また、クライオポンプを構成する各部材
は、板状の部材で形成できるので、筒状の部材を形成す
る場合、特別な型を必要とするのに比べて、そのような
特別な型を必要としないし、前記各板状部材５４の取付
部６への固定も簡単に行えることから、加工をさらに容
易にでき、コストも低廉できるのである。

【００２４】

【実施例】図１に示した第１実施例は、上部を開口した
ポンプケース１に、ヒートステーション２をもち、ヘリ
ウムガスを作動流体とする気体膨張形の冷凍機３のシリ
ンダ４を内装すると共に、前記ヒートステーション２
に、前記シリンダ４を包囲する筒状のクライオパネル５
を、熱接触させて接続したものである。

【００２５】図１に示した第１実施例のクライオパネル
５は、前記ヒートステーション２に熱接触状に取付けら
れ、このヒートステーション２の径方向外方に向かって
延びる円板状の取付部６と、この取付部６の外周部にお
いて冷凍機３の軸方向一側、即ち、前記ポンプケース１
の開口部に向けて、該開口部近くまで突出し、内面に水
素分子を吸着する活性炭９を付着させた第１パネル部７
と、前記取付部６の外周部において前記冷凍機３の軸方
向他側に向かって、ポンプケース１の底部近くまで突出
する第２パネル部８とを有しており、前記第１パネル部
７と第２パネル部８とを円筒状に形成している。

【００２６】さらに、第１実施例のクライオパネル５
は、筒部材５１と該筒部材５１内に固定される円板状の
板部材５２とから構成しており、前記筒部材５１内に板
部材５２を固定することにより、該板部材５２を前記取
付部６となし、この取付部６を境にして、前記筒部材５
１に前記第１パネル部７と第２パネル部８とを連続して
形成している。

【００２７】前記板部材５２の外周縁全周には、軸方向
一方側に向かって延びるフランジ部５２ａを形成してお
り、このフランジ部５２ａを前記筒部材５１に固定する
ようにしている。

【００２８】また、前記筒部材５１における第２パネル
部８の内周面には、水素分子を吸着する活性炭９を付着
させている。

【００２９】さらに、前記各パネル部７，８は、前記取
付部６を介して、前記ヒートステーション２により、そ
れぞれの軸方向先端部がほぼ２０Ｋ以下（Ｋは絶対温
度）を保持するように冷却されている。

【００３０】以上の構成とすることにより、前記第１パ
ネル部７内において、水および酸素、窒素、アルゴンな
どの低沸点ガスを凝縮させると共に、前記第２パネル部
８の内周面に付着させた前記活性炭９に水素ガスを吸着
させるようにして気体を排気するようにしている。

【００３１】また、第１実施例におけるクライオポンプ
による排気速度と、従来の図４に示した構造を有するク
ライオポンプによる排気速度とを比較したものを、表１
に示すと、

【００３２】

【表１】

【００３３】となり、第１実施例では、バッフルを設け
なくても水の排気速度は、従来とほとんど変わりなく、
アルゴンガス及び窒素ガスの排気速度は、従来の２倍以
上となるのである。

【００３４】以上のように、第１実施例では、クライオ
パネル５を、前記ヒートステーション２に取付け、この
ヒートステーション２の外方に延びる取付部６と、この
取付部６の外周部において冷凍機３の軸方向一側に突出
する第１パネル部７と、前記取付部６の外周部において
前記冷凍機３の軸方向他側に突出する第２パネル部８と
から構成したから、前記ポンプケース１の開口部に向か
って突出する前記第１パネル部７の内方側に処理室から
抵抗なく水及び窒素、アルゴンなどの低沸点ガスを導入
できるので、該第１パネル部７内方において水だけでな
く窒素、アルゴンなどの低沸点ガスを従来に比べて効率
よく凝縮させて排気することができ、該第１パネル部７
に吸着されなかった水素ガスを、前記第２パネル部８内
に付着させた前記活性炭９に吸着させられるのである。

【００３５】さらに、前記ポンプケース１内には、従来
のようなシールドパネルを内装しないので、従来のよう
な低沸点ガスの排気に利用されない無駄な空間を無くす
ことができ、排気速度をより大きくできるし、シールド
パネルを内装していたスペース近くまで、前記クライオ
パネル５の第１パネル部７及び第２パネル部８を大きく
することができるので、クライオパネルを従来に比べて
大きくでき、吸着面積を大きくしただけ、酸素、窒素、
アルゴンなどの低沸点ガス及び水素ガスの排気速度をさ
らに上げることができるのである。

【００３６】また、従来のシールドパネルを廃止できる
ので、それだけコストを低廉することができるし、構造
も簡単であるから、組み付け作業性も向上できるのであ
る。さらに、第１実施例では、前記第１パネル部７と第
２パネル部８とを円筒状に形成したから、円筒状の前記
ポンプケース１の内周面に沿って各パネル部７，８を形
成できるので、構造を簡単にできながら表面積をより効
率良く大きくできるのである。

【００３７】しかも、前記第１パネル部７と第２パネル
部８とを、連続した筒部材５１により形成し、該筒部材
５１内に板部材５２から成る取付部６を固定したから、
前記板部材５２の前記筒部材５１への取付け位置を任意
に設定することにより、各パネル部７，８の軸方向長さ
を所望の長さに自由に設定することができるので、凝縮
作用により排気する水、アルゴン、窒素などのガスの排
気性能と、活性炭９の吸着作用により排気する水素など
のガスの排気性能とのバランスを目的に応じて種々設定
することができるのである。

【００３８】次にクライオパネルの第２実施例を図２に
基づいて説明する。第２実施例のクライオパネル５は、
２つの円筒を有する有底筒状部材５３，５３から構成し
たものであり、前記各有底筒状部材５３，５３の各底部
５３ａ，５３ａを突合せて、この突合せ部を取付部６と
成し、各筒部５３ｂ，５３ｂをそれぞれ第１パネル部７
と第２パネル部８と成している。

【００３９】第２実施例では、前記各有底筒状部材５
３，５３は径は同じとし、前記筒部５３ｂ，５３ｂの長
さを変えている。筒部５３ｂの長さの短い側を第１パネ
ル部７となし、筒部５３ｂの長さの長い側を第２パネル
部８と成し、この第２パネル部８の内面に活性炭９を付
着させている。

【００４０】尚、前記各有底筒状部材５３，５３は、径
を同径にしてもよいし、それぞれの径を異ならしめても
よく、筒部５３ｂ，５３ｂの長さも任意に設定すること
ができる。

【００４１】以上のように、第２実施例のクライオパネ
ル５は、２つの各有底筒状部材５３，５３から構成し、
これら有底筒状部材５３，５３の各底部５３ａ，５３ａ
を突合せて、この突合せ部を取付部６と成し、各筒部５
３ｂ，５３ｂをそれぞれ第１パネル部７と第２パネル部
８と成したから、前記各有底筒状部材５３，５３の底部
５３ａ，５３ａを突き合わせて固定するだけで前記クラ
イオパネル５を形成できるので、加工をより簡単にでき
るし、前記第１パネル部７と第２パネル部８の径及び筒
部長さをそれぞれ個別に設定することができるので組合
せにより多種類のクライオパネル５を形成することがで
きるのである。

【００４２】尚、前記第１及び第２実施例のクライオポ
ンプは、円筒状に形成したが、多角形状の筒状に形成し
てもよい。

【００４３】次に第３実施例のクライオパネルを図３に
基づいて説明する。第３実施例のクライオパネル５は、
前記第１パネル部７と第２パネル部８とを複数の板状部
材５４から構成し、これら板状部材５４を、取付部６の
外周部に、周方向に所定間隔をおいて放射状に設けたも
のである。

【００４４】前記取付部６を構成する板部材５５は、正
六角形をしており、外周部の６本の辺のうち一つ置きに
軸方向一方側に向かって延びるフランジ部５５ａ，５５
ａ，５５ａを形成している。

【００４５】さらに、前記取付部６における前記各フラ
ンジ部５５ａに前記板状部材５４を固定するのであっ
て、これら板状部材５４は、一枚の板状部材５４により
前記第１パネル部７と第２パネル部８とを連続して形成
するようにしており、その断面形状は、前記取付部６の
正六角形の外周部に沿う、末広がりのコの字形状をして
いる。

【００４６】そして、前記各板状部材５４を、その隣合
う周方向端部間に所定の隙間を形成するように、前記取
付部６に固定しており、前記取付部６を境にして、軸方
向一方側に、第１パネル部７を突出させ、軸方向他方側
に前記第２パネル部８を突出させている。

【００４７】尚、前記取付部６は、正六角形に形成した
が、六角形に限らず、前記各板状部材５４間に所定の隙
間を形成できるのであれば、様々な多角形状とすること
ができる。

【００４８】また、第３実施例では、一枚の板状部材５
４により前記第１パネル部７と第２パネル部８を連続し
て形成したが、それぞれ別の板状部材５４により形成し
てもよい。例えば、第１パネル部７と第２パネル部８と
が軸方向に互い違いに隙間を開けるように取付けるので
ある。

【００４９】以上のように、第３実施例のクライオパネ
ル５は、前記第１パネル部７と第２パネル部８とを複数
の板状部材５４から構成し、これら板状部材５４を、取
付部６の外周部に、周方向に所定間隔をおいて放射状に
設けたから、前記各板状部材５４間に形成される隙間に
より、低沸点ガスを凝縮させた第１パネル部７の内方部
から、吸着されなかった水素ガスを他方の第２パネル部
８の内方部に到達しやすくできるので、この第２パネル
部８内面に付着させた水素吸着用の活性炭９への水素ガ
スの吸着を良好に行えるので、水素ガスの排気速度を上
げることができるのである。

【００５０】また、前記クライオパネル５を構成する各
部材は、板状の部材で形成できるので、第１及び第２実
施例のように筒状の部材を形成する場合、特別な型を必
要とするのに比べて、そのような特別な型を必要としな
いし、前記各板状部材５４の取付部６への固定も簡単に
行えることから、加工を容易にでき、コストも低廉でき
るのである。

【００５１】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、ポンプケ
ース１におけるガス導入側に向かって例えば前記第１パ
ネル部７を突出させられるので、この第１パネル部７の
内方側に抵抗なく水及び窒素、アルゴンなどの低沸点ガ
スを導入でき、該第１パネル部７内方において水だけで
なく窒素、アルゴンなどの低沸点ガスを従来に比べて効
率よく凝縮させて排気することができるのである。

【００５２】さらに、前記ポンプケース１内に、従来の
ようなシールドパネルを内装しない場合、従来生じてい
た低沸点ガスの排気に利用されない無駄な空間を無くす
ことができ、排気速度をより大きくできるし、シールド
パネルを内装しなくとも、該シールドパネルを内装して
いたスペースまで、前記クライオパネルの第１パネル部
７及び第２パネル部８を大きくすることができるので、
クライオパネルを従来に比べて大きくでき、従って、前
記第１パネル部７における酸素、窒素、アルゴンなどの
低沸点ガスを凝縮させる面積と、前記第２パネル部８内
面に活性炭９を付着させることにより該活性炭９で水素
ガスを吸着させる吸着面積とをそれぞれ大きくできるの
で、全体としての排気速度をさらに上げることができる
のである。

【００５３】また、従来のシールドパネルを廃止するこ
とにより、それだけコストを低廉することができるし、
構造も簡単となるから、組み付け作業性も向上できるの
である。

【００５４】請求項２記載の発明によれば、前記第１パ
ネル部７と第２パネル部８とを筒状に形成したから、前
記ポンプケース１を筒状とする場合、その内周面に沿っ
て各パネル部７，８を形成できるので、構造を簡単にで
きながら、表面積をより効率良く大きくできるのであ
る。

【００５５】請求項３記載の発明によれば、前記第１パ
ネル部７と第２パネル部８とを連続した筒部材５１によ
り形成し、該筒部材５１内に板部材５２から成る取付部
６を固定したから、前記板部材５２の前記筒部材５１へ
の取付け位置を任意に設定することにより、各パネル部
７，８の軸方向長さを所望の長さに自由に設定すること
ができるので、凝縮作用により排気する水、アルゴン、
窒素などのガスの排気性能と、活性炭９の吸着作用によ
り排気する水素などのガスの排気性能とのバランスを目
的に応じて種々設定することができるのである。

【００５６】請求項４記載の発明によれば、２つの有底
筒状部材５３，５３の各底部５３ａ，５３ａを突合せ
て、この突合せ部を取付部６と成し、各筒部５３ｂ，５
３ｂをそれぞれ第１パネル部７と第２パネル部８と成し
たから、前記各有底筒状部材５３，５３の底部５３ａ，
５３ａを突き合わせて固定するだけでクライオパネルを
形成できるので、加工を簡単にできるし、前記第１パネ
ル部７と第２パネル部８の径及び筒部長さをそれぞれ個
別に設定することができるので組合せにより多種類のク
ライオパネルを形成することができるのである。

【００５７】請求項５記載の発明によれば、前記第１パ
ネル部７と第２パネル部８とを複数の板状部材５４から
構成し、これら板状部材５４を、前記取付部６の外周部
に、周方向に所定間隔をおいて放射状に設けたから、前
記各板状部材５４間に形成される隙間により、低沸点ガ
スを凝縮させた第１パネル部７の内方部から吸着されな
かった水素ガスを前記第２パネル部８の内方部に到達し
やすくできるので、この第２パネル部８内に付着させた
水素吸着用の活性炭による水素ガスの吸着を良好に行え
るので、水素ガスの排気速度を上げることができるので
ある。

【００５８】また、クライオポンプを構成する各部材
は、板状の部材で形成できるので、筒状の部材を形成す
る場合、特別な型を必要とするのに比べて、そのような
特別な型を必要としないし、前記各板状部材５４の取付
部６への固定も簡単に行えることから、加工をさらに容
易にでき、コストも低廉できるのである。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例を示すクライオポンプの断面図。

【図２】第２実施例を示すクライオパネルの断面図。

【図３】第３実施例を示すクライオパネルの斜視図。

【図４】従来例を示す断面図。

【符号の説明】

２ヒートステーション３冷凍機５クライオパネル５１筒部材５２板部材５３有底筒状部材５３ａ底部５３ｂ筒部５４板状部材６取付部７第１パネル部８第２パネル部９活性炭

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ポンプケース（１）に内装し、かつ、冷
凍機（３）のヒートステーション（２）に取付けて気体
を凝縮及び吸着させるクライオパネルであって、前記ヒートステーション（２）に取付け、このヒートス
テーション（２）の外側方に延びる取付部（６）と、こ
の取付部（６）の外周部において冷凍機（３）の軸方向
一側に突出する第１パネル部（７）と、前記取付部
（６）の外周部において前記冷凍機（３）の軸方向他側
に突出して、内面に活性炭（９）を付着した第２パネル
部（８）とから構成していることを特徴とするクライオ
パネル。
【請求項２】第１パネル部（７）と第２パネル部
（８）とを筒状に形成している請求項１記載のクライオ
パネル。
【請求項３】第１パネル部（７）と第２パネル部
（８）とを連続した筒部材（５１）により形成し、該筒
部材（５１）内に板部材（５２）から成る取付部（６）
を固定している請求項１または請求項２記載のクライオ
パネル。
【請求項４】２つの有底筒状部材（５３）（５３）の
各底部（５３ａ）（５３ａ）を突合せて、この突合せ部
を取付部（６）と成し、各筒部（５３ｂ）（５３ｂ）を
それぞれ第１パネル部（７）と第２パネル部（８）と成
している請求項１または請求項２記載のクライオパネ
ル。
【請求項５】第１パネル部（７）と第２パネル部
（８）とが複数の板状部材（５４）から成り、これら板
状部材（５４）を、取付部（６）外周部に、周方向に所
定間隔をおいて放射状に設けている請求項１記載のクラ
イオパネル。