JPH08122206A - 欠陥検査方法 - Google Patents
欠陥検査方法Info
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- JPH08122206A JPH08122206A JP25378194A JP25378194A JPH08122206A JP H08122206 A JPH08122206 A JP H08122206A JP 25378194 A JP25378194 A JP 25378194A JP 25378194 A JP25378194 A JP 25378194A JP H08122206 A JPH08122206 A JP H08122206A
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- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1306—Details
- G02F1/1309—Repairing; Testing
Landscapes
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- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 被検査物における微妙な変化を短い時間で正
確に検出しうる欠陥検査方法を提供する。 【構成】 所定の輝度で発光する発光部と、この発光部
に隣接する非発光部とを有する被検査物の光像を撮像手
段で取り込み、この取り込まれた画像の輝度レベルに基
いて被検査物の欠陥を検査する欠陥検査方法において、
この取り込まれた画像の上記発光部に対応する画素Ｐ１
〜Ｐ６の輝度レベルと上述の非発光部に対応する画素Ｐ
７〜Ｐ９の輝度レベルとに基いて欠陥の検出を行う。
確に検出しうる欠陥検査方法を提供する。 【構成】 所定の輝度で発光する発光部と、この発光部
に隣接する非発光部とを有する被検査物の光像を撮像手
段で取り込み、この取り込まれた画像の輝度レベルに基
いて被検査物の欠陥を検査する欠陥検査方法において、
この取り込まれた画像の上記発光部に対応する画素Ｐ１
〜Ｐ６の輝度レベルと上述の非発光部に対応する画素Ｐ
７〜Ｐ９の輝度レベルとに基いて欠陥の検出を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば液晶パネル等の
液晶表示装置の検査工程に用いられる欠陥検査方法に関
する。
液晶表示装置の検査工程に用いられる欠陥検査方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、組立後の液晶表示装置の欠陥を検
査する方法としては、例えば図６及び図７に示すような
ものが知られている。すなわち、図６に示す方法の場
合、検査すべき液晶パネル２２を駆動ボード２３に接続
して透明なステージ２２の上に載せ、これら液晶パネル
２２及びステージ２１を挟むように２枚の偏光板２４，
２５を配置する。そして、偏光板２５の下方に配置した
バックライト２６を点灯して液晶パネル２２を照明し、
その光像を例えばＣＣＤからなる固体撮像素子３０を有
するテレビカメラ２７によって取り込み、コンピュータ
２８及びディスプレイ装置２９を用いて画像処理を行う
ことにより液晶パネル２２上の欠陥を判別するようにし
ている。
査する方法としては、例えば図６及び図７に示すような
ものが知られている。すなわち、図６に示す方法の場
合、検査すべき液晶パネル２２を駆動ボード２３に接続
して透明なステージ２２の上に載せ、これら液晶パネル
２２及びステージ２１を挟むように２枚の偏光板２４，
２５を配置する。そして、偏光板２５の下方に配置した
バックライト２６を点灯して液晶パネル２２を照明し、
その光像を例えばＣＣＤからなる固体撮像素子３０を有
するテレビカメラ２７によって取り込み、コンピュータ
２８及びディスプレイ装置２９を用いて画像処理を行う
ことにより液晶パネル２２上の欠陥を判別するようにし
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
欠陥検査方法の場合、例えば図７に示すように、開口部
３１Ａとブラックマスク部３１Ｂからなる液晶パネル２
２の表示部の１つの画素３１に対し、複数の固体撮像素
子３０の画素３０Ｐ１〜３０Ｐ９を対応させ、各画素３
０Ｐ１〜３０Ｐ９において得られた輝度レベルの平均値
又は最大値を用いて欠陥の検出を行っているため、液晶
パネル２２の画素３１内で生ずる液晶分子の不均一に起
因するむら、しみ、ドメイン現象に対する変化を判別し
きれなかった。
欠陥検査方法の場合、例えば図７に示すように、開口部
３１Ａとブラックマスク部３１Ｂからなる液晶パネル２
２の表示部の１つの画素３１に対し、複数の固体撮像素
子３０の画素３０Ｐ１〜３０Ｐ９を対応させ、各画素３
０Ｐ１〜３０Ｐ９において得られた輝度レベルの平均値
又は最大値を用いて欠陥の検出を行っているため、液晶
パネル２２の画素３１内で生ずる液晶分子の不均一に起
因するむら、しみ、ドメイン現象に対する変化を判別し
きれなかった。
【０００４】また、上述したように輝度レベルの代表値
を用いて欠陥の判別を行うため、表示画面上にごみや異
物等が付着、侵入した場合であっても、通常の輝点であ
ると判定されてしまい、その結果、再び人間の目視によ
る検査を行わなければならなかった。
を用いて欠陥の判別を行うため、表示画面上にごみや異
物等が付着、侵入した場合であっても、通常の輝点であ
ると判定されてしまい、その結果、再び人間の目視によ
る検査を行わなければならなかった。
【０００５】さらに、液晶パネル２２の画素３１内にお
ける変化を検出しようとすれば、１画素に対応する固体
撮像素子３０の数を非常に多く設けるとともに、テレビ
カメラ２７のレンズの倍率を非常に高くしなければなら
ない。しかも、その場合には、液晶パネル２２の全体を
検査する際の分割数を非常に多くしなければならないた
め、検査時間が長くなってしまうなど種々の問題が生じ
ていた。
ける変化を検出しようとすれば、１画素に対応する固体
撮像素子３０の数を非常に多く設けるとともに、テレビ
カメラ２７のレンズの倍率を非常に高くしなければなら
ない。しかも、その場合には、液晶パネル２２の全体を
検査する際の分割数を非常に多くしなければならないた
め、検査時間が長くなってしまうなど種々の問題が生じ
ていた。
【０００６】本発明はこのような従来の技術の課題を考
慮してなされたものであり、被検査物における微妙な変
化を短い時間で正確に検出しうる欠陥検査方法を提供す
ることを目的とする。
慮してなされたものであり、被検査物における微妙な変
化を短い時間で正確に検出しうる欠陥検査方法を提供す
ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明に係る欠陥検査方
法は、例えば、図１〜図４に示すように、所定の輝度で
発光する発光部１３と、この発光部１３に隣接する非発
光部１２とを有する被検査物２の光像を撮像手段１０で
取り込み、この取り込まれた画像の輝度レベルに基いて
被検査物２の欠陥を検査する欠陥検査方法において、こ
の取り込まれた画像の上記発光部１３に対応する領域の
輝度レベルと上記非発光部１２に対応する領域の輝度レ
ベルとに基いて欠陥の検出を行うものである。
法は、例えば、図１〜図４に示すように、所定の輝度で
発光する発光部１３と、この発光部１３に隣接する非発
光部１２とを有する被検査物２の光像を撮像手段１０で
取り込み、この取り込まれた画像の輝度レベルに基いて
被検査物２の欠陥を検査する欠陥検査方法において、こ
の取り込まれた画像の上記発光部１３に対応する領域の
輝度レベルと上記非発光部１２に対応する領域の輝度レ
ベルとに基いて欠陥の検出を行うものである。
【０００８】この場合、被検査物２を液晶表示装置の表
示画面とすることもできる。
示画面とすることもできる。
【０００９】また、撮像手段１０をＣＣＤからなる固体
撮像素子とすることもできる。
撮像素子とすることもできる。
【００１０】
【作用】一般に、所定の輝度で発光する発光部と、この
発光部に隣接する非発光部とを有する被検査物の光像を
撮像手段で取り込む際には、発光部からの光が撮像手段
上の非発光部に対応する部分に漏れ込むため、取り込ま
れた画像の非発光部に対応する部分の輝度レベルは、発
光部の輝度に応じて上昇し、通常の黒レベルよりも高く
なる。したがって、本発明のように、取り込まれた画像
の上記発光部１３に対応する領域の輝度レベルと上記非
発光部１２に対応する領域の輝度レベルとに基いて欠陥
の検出を行うようにすれば、発光部１３に対応する領域
の輝度レベルのみに基いて欠陥の検出を行う場合より
も、微妙な輝度の変化を正確に認識することができ、精
度の高い欠陥の検出を行うことが可能になる。
発光部に隣接する非発光部とを有する被検査物の光像を
撮像手段で取り込む際には、発光部からの光が撮像手段
上の非発光部に対応する部分に漏れ込むため、取り込ま
れた画像の非発光部に対応する部分の輝度レベルは、発
光部の輝度に応じて上昇し、通常の黒レベルよりも高く
なる。したがって、本発明のように、取り込まれた画像
の上記発光部１３に対応する領域の輝度レベルと上記非
発光部１２に対応する領域の輝度レベルとに基いて欠陥
の検出を行うようにすれば、発光部１３に対応する領域
の輝度レベルのみに基いて欠陥の検出を行う場合より
も、微妙な輝度の変化を正確に認識することができ、精
度の高い欠陥の検出を行うことが可能になる。
【００１１】また、本発明の方法によれば、被検査物
２、特に液晶表示装置の１画素当たりの撮像手段（例え
ばＣＣＤからなる固体撮像素子）１０の取込み画素数が
従来例に比べて少ない数で欠陥の検査を行うことができ
るため、撮像手段２の画素数が少なくて済む。さらに、
テレビカメラに用いるレンズの倍率を低くすることがで
きるため、画像を取り込む際の収差が小さくなる。
２、特に液晶表示装置の１画素当たりの撮像手段（例え
ばＣＣＤからなる固体撮像素子）１０の取込み画素数が
従来例に比べて少ない数で欠陥の検査を行うことができ
るため、撮像手段２の画素数が少なくて済む。さらに、
テレビカメラに用いるレンズの倍率を低くすることがで
きるため、画像を取り込む際の収差が小さくなる。
【００１２】加えて、被検査物２の１画素当たりの撮像
手段１０の取込み数が従来例に比べて少なくて済むこと
から、被検査物２の画像を分割して取り込む際の分割数
を少なくすることができ、その結果、被検査物２全体の
画像の取込時間が短くなる。
手段１０の取込み数が従来例に比べて少なくて済むこと
から、被検査物２の画像を分割して取り込む際の分割数
を少なくすることができ、その結果、被検査物２全体の
画像の取込時間が短くなる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明に係る欠陥検査方法の実施例に
ついて図面を参照して説明する。
ついて図面を参照して説明する。
【００１４】図５は、本発明を実施するためのシステム
の概略構成を示すものである。図５に示すように、この
システムは、例えば透明なガラス等からなる平板状のス
テージ１を備え、このステージ１上に、被検査物である
液晶表示装置としての液晶パネル２が載せられる。この
液晶パネル２は、駆動ボード３に接続され、駆動可能な
状態でステージ１の上に載せられる。
の概略構成を示すものである。図５に示すように、この
システムは、例えば透明なガラス等からなる平板状のス
テージ１を備え、このステージ１上に、被検査物である
液晶表示装置としての液晶パネル２が載せられる。この
液晶パネル２は、駆動ボード３に接続され、駆動可能な
状態でステージ１の上に載せられる。
【００１５】液晶パネル２の上方とステージ１の下方に
は、液晶パネル２及びステージ１を挟むように一組の偏
光板４，５が配置される。これらの偏光板４，５の偏光
方向は直交するように配置される。そして、下側の偏光
板５の下方には、照明用のバックライトが設けられる。
は、液晶パネル２及びステージ１を挟むように一組の偏
光板４，５が配置される。これらの偏光板４，５の偏光
方向は直交するように配置される。そして、下側の偏光
板５の下方には、照明用のバックライトが設けられる。
【００１６】一方、上側の偏光板４の上方には、液晶パ
ネル２の光像を取り込むためのテレビカメラ７が配置さ
れる。このテレビカメラ７には、撮像手段としてのＣＣ
Ｄからなる固体撮像素子１０が設けられる。テレビカメ
ラ７は、テレビカメラ７からの信号に基いて画像処理を
行うためのコンピュータ８に接続される。さらに、この
コンピュータ８には、モニター用のディスプレイ装置９
が接続される。
ネル２の光像を取り込むためのテレビカメラ７が配置さ
れる。このテレビカメラ７には、撮像手段としてのＣＣ
Ｄからなる固体撮像素子１０が設けられる。テレビカメ
ラ７は、テレビカメラ７からの信号に基いて画像処理を
行うためのコンピュータ８に接続される。さらに、この
コンピュータ８には、モニター用のディスプレイ装置９
が接続される。
【００１７】次に、本発明に係る欠陥検査方法の実施例
を図を参照して説明する。図２及び図３に示すように、
本実施例においては、従来例と同様に、例えば液晶パネ
ル２の表示画面上の１個の画素１１に対し、固体撮像素
子１０の３×３＝９個の画素Ｐ（Ｐ１〜Ｐ９）を対応さ
せる場合を考える。この場合、表示画面の１個の画素１
１の右側部分から下側部分にかけて非発光部としてのブ
ラックマスク部１２が形成され、その他の部分は発光部
である開口部１３が形成されているものとする。そし
て、開口部１３の上側の領域１３Ａと下側の領域１３Ｂ
とにおいて、何らかの原因により輝度の差が生じている
ものとする。
を図を参照して説明する。図２及び図３に示すように、
本実施例においては、従来例と同様に、例えば液晶パネ
ル２の表示画面上の１個の画素１１に対し、固体撮像素
子１０の３×３＝９個の画素Ｐ（Ｐ１〜Ｐ９）を対応さ
せる場合を考える。この場合、表示画面の１個の画素１
１の右側部分から下側部分にかけて非発光部としてのブ
ラックマスク部１２が形成され、その他の部分は発光部
である開口部１３が形成されているものとする。そし
て、開口部１３の上側の領域１３Ａと下側の領域１３Ｂ
とにおいて、何らかの原因により輝度の差が生じている
ものとする。
【００１８】図１は、本実施例の手順を示すフローチャ
ートである。図に示すように、まず、検査すべき液晶パ
ネル２をステージ１上に載せ、駆動ボード３によって液
晶パネル２を駆動する。そして、バックライト６を点灯
して液晶パネル２を照明し、その表示画面の光像をテレ
ビカメラ７で取り込む（ステップ）。この場合、表示
画面を所定の数に分割して画像の取り込みを行う。そし
て、テレビカメラ７の固体撮像素子１０にて得られた画
像信号を、コンピュータ８に入力する。
ートである。図に示すように、まず、検査すべき液晶パ
ネル２をステージ１上に載せ、駆動ボード３によって液
晶パネル２を駆動する。そして、バックライト６を点灯
して液晶パネル２を照明し、その表示画面の光像をテレ
ビカメラ７で取り込む（ステップ）。この場合、表示
画面を所定の数に分割して画像の取り込みを行う。そし
て、テレビカメラ７の固体撮像素子１０にて得られた画
像信号を、コンピュータ８に入力する。
【００１９】次に、コンピュータ８において、この入力
された画像信号をディジタル化し（ステップ）、以下
のような方法によって画像処理を行う（ステップ〜
）。
された画像信号をディジタル化し（ステップ）、以下
のような方法によって画像処理を行う（ステップ〜
）。
【００２０】まず、図３に示すように、液晶パネル２の
表示画面の１画素内に異なる輝度差が生じる場合におい
て、その開口部１３に対応する固体撮像素子１０の画素
Ｐ１〜Ｐ６については、従来の方法と同様に、各画素Ｐ
１〜Ｐ６にて得られた輝度レベルの平均値又は最大値を
代表値として算出する。そして、各画素Ｐ１〜Ｐ６に対
応するアドレスのメモリにこの代表値を記憶させるとと
もに、圧縮処理によりその中の１つを輝度情報として用
いる（ステップ）。
表示画面の１画素内に異なる輝度差が生じる場合におい
て、その開口部１３に対応する固体撮像素子１０の画素
Ｐ１〜Ｐ６については、従来の方法と同様に、各画素Ｐ
１〜Ｐ６にて得られた輝度レベルの平均値又は最大値を
代表値として算出する。そして、各画素Ｐ１〜Ｐ６に対
応するアドレスのメモリにこの代表値を記憶させるとと
もに、圧縮処理によりその中の１つを輝度情報として用
いる（ステップ）。
【００２１】ところで、液晶パネル２の上記ブラックマ
スク部１２に対応する画素Ｐ７〜Ｐ９においては、通常
の場合、隣接する開口部１３から発光される光が漏れ込
むため、黒レベルよりも高いある一定の輝度レベルが得
られる。この場合、得られる輝度レベルは、ブラックマ
スク部１２と隣接する開口部１３の領域の輝度に応じて
増減する。
スク部１２に対応する画素Ｐ７〜Ｐ９においては、通常
の場合、隣接する開口部１３から発光される光が漏れ込
むため、黒レベルよりも高いある一定の輝度レベルが得
られる。この場合、得られる輝度レベルは、ブラックマ
スク部１２と隣接する開口部１３の領域の輝度に応じて
増減する。
【００２２】図４Ａ〜Ｃは、ブラックマスク部１２に対
応する画素Ｐ７〜Ｐ９における輝度レベルの変化を示す
ものである。例えば、仮に開口部１３の全域にわたって
輝度が均一であれば、図４Ａに示すように、ブラックマ
スク部１２に対応する画素Ｐ７〜Ｐ９の全てにおいて、
光が侵入しない場合に得られる黒レベルＬB より高い均
一な輝度レベルＬ0 が得られる。
応する画素Ｐ７〜Ｐ９における輝度レベルの変化を示す
ものである。例えば、仮に開口部１３の全域にわたって
輝度が均一であれば、図４Ａに示すように、ブラックマ
スク部１２に対応する画素Ｐ７〜Ｐ９の全てにおいて、
光が侵入しない場合に得られる黒レベルＬB より高い均
一な輝度レベルＬ0 が得られる。
【００２３】しかし、例えば液晶分子のむら等が原因で
開口部１３の各領域１３Ａ，１３Ｂの輝度に差がある場
合には、輝度の高い領域１３Ａに隣接する画素Ｐ７，Ｐ
８に漏れ込む光量が、輝度の低い領域１３Ｂに隣接する
画素Ｐ９に漏れ込む光量よりも多くなるため、例えば図
４Ｂに示すように、画素Ｐ７，Ｐ８の輝度レベルＬ7，
８の方が画素Ｐ９の輝度レベルＬ9 より大きくなる。こ
の場合、図４Ｂに示すように、画素Ｐ９の輝度レベル
は、上述の黒レベルＬ B より高くなる。
開口部１３の各領域１３Ａ，１３Ｂの輝度に差がある場
合には、輝度の高い領域１３Ａに隣接する画素Ｐ７，Ｐ
８に漏れ込む光量が、輝度の低い領域１３Ｂに隣接する
画素Ｐ９に漏れ込む光量よりも多くなるため、例えば図
４Ｂに示すように、画素Ｐ７，Ｐ８の輝度レベルＬ7，
８の方が画素Ｐ９の輝度レベルＬ9 より大きくなる。こ
の場合、図４Ｂに示すように、画素Ｐ９の輝度レベル
は、上述の黒レベルＬ B より高くなる。
【００２４】一方、開口部１３の領域１３Ｂ上にゴミ等
が付着した場合には、図４Ｃに示すように、その領域１
３Ｂに隣接するブラックマスク部１２の画素Ｐ９の輝度
レベルＬ9 は、黒レベルＬB とほぼ同等にまで落ちる。
が付着した場合には、図４Ｃに示すように、その領域１
３Ｂに隣接するブラックマスク部１２の画素Ｐ９の輝度
レベルＬ9 は、黒レベルＬB とほぼ同等にまで落ちる。
【００２５】本実施例の方法は、このような事実を考慮
して、液晶パネル２の表示画面上の欠陥の検出を行うも
のである。
して、液晶パネル２の表示画面上の欠陥の検出を行うも
のである。
【００２６】すなわち、通常の精度で欠陥の検出を行う
場合には、上述したように、液晶パネル２の画素１１の
開口部１３に対応する固体撮像素子１０の画素Ｐ１〜Ｐ
６について得られた画像情報を用い、コンピュータ８に
おいて２値化等の画像処理をすることにより、液晶パネ
ル２の各画素１１の輝度検査や、輝点レベル、個数判断
等の欠陥検出を行う（ステップ，）。そして、その
結果をディスプレイ装置において表示する（ステップ
）。
場合には、上述したように、液晶パネル２の画素１１の
開口部１３に対応する固体撮像素子１０の画素Ｐ１〜Ｐ
６について得られた画像情報を用い、コンピュータ８に
おいて２値化等の画像処理をすることにより、液晶パネ
ル２の各画素１１の輝度検査や、輝点レベル、個数判断
等の欠陥検出を行う（ステップ，）。そして、その
結果をディスプレイ装置において表示する（ステップ
）。
【００２７】一方、高精度で欠陥の検出を行う場合に
は、上記画素Ｐ１〜Ｐ６について得られた画像情報のみ
ならず、液晶パネル２の画素１１のブラックマスク部１
２に対応する固体撮像素子１０の画素Ｐ７〜Ｐ９につい
て得られた画素情報をも用いて欠陥の検出を行う。
は、上記画素Ｐ１〜Ｐ６について得られた画像情報のみ
ならず、液晶パネル２の画素１１のブラックマスク部１
２に対応する固体撮像素子１０の画素Ｐ７〜Ｐ９につい
て得られた画素情報をも用いて欠陥の検出を行う。
【００２８】すなわち、例えば、上記開口部１３に対応
する各画素Ｐ１〜Ｐ６にて得られた輝度レベルと、上記
ブラックマスク部に対応する各画素Ｐ７〜Ｐ９の輝度レ
ベルとの関係を予め調べておき、そのデータの基づいて
上記開口部１３の各領域の輝度レベルを算出する（ステ
ップ）。そして、これによって得られた画像情報を用
い、コンピュータ８において画像処理をすることによ
り、液晶パネル２の各画素１１の輝度検査や、輝点レベ
ル、個数判断等の欠陥検出を行う（ステップ）。さら
に、その結果をディスプレイ装置において表示する（ス
テップ）。
する各画素Ｐ１〜Ｐ６にて得られた輝度レベルと、上記
ブラックマスク部に対応する各画素Ｐ７〜Ｐ９の輝度レ
ベルとの関係を予め調べておき、そのデータの基づいて
上記開口部１３の各領域の輝度レベルを算出する（ステ
ップ）。そして、これによって得られた画像情報を用
い、コンピュータ８において画像処理をすることによ
り、液晶パネル２の各画素１１の輝度検査や、輝点レベ
ル、個数判断等の欠陥検出を行う（ステップ）。さら
に、その結果をディスプレイ装置において表示する（ス
テップ）。
【００２９】かかる構成を有する本実施例の方法によれ
ば、液晶パネル２の画素１１の開口部１３に対応する固
体撮像素子１０の画素Ｐ１〜Ｐ６について得られた画像
情報のみならず、液晶パネル２の画素１１のブラックマ
スク部１２に対応する固体撮像素子１０の画素Ｐ７〜Ｐ
９について得られた画素情報をも用いて欠陥の検出を行
うことから、液晶パネル２の各画素１１内における輝度
の微妙な変化を正確に認識することができ、精度の高い
欠陥の検出を行うことが可能になる。
ば、液晶パネル２の画素１１の開口部１３に対応する固
体撮像素子１０の画素Ｐ１〜Ｐ６について得られた画像
情報のみならず、液晶パネル２の画素１１のブラックマ
スク部１２に対応する固体撮像素子１０の画素Ｐ７〜Ｐ
９について得られた画素情報をも用いて欠陥の検出を行
うことから、液晶パネル２の各画素１１内における輝度
の微妙な変化を正確に認識することができ、精度の高い
欠陥の検出を行うことが可能になる。
【００３０】その結果、本実施例の方法によれば、液晶
パネル２の画素１１内における液晶分子の不均一に起因
するしみ、むら、ドメイン等や、ごみ、異物等の付着に
よる欠陥を容易かつ確実に判別することが可能になる。
パネル２の画素１１内における液晶分子の不均一に起因
するしみ、むら、ドメイン等や、ごみ、異物等の付着に
よる欠陥を容易かつ確実に判別することが可能になる。
【００３１】また、本実施例の方法によれば、液晶パネ
ル２の１画素当たりの固体撮像素子１０の取込み数が従
来例に比べて少ない数で欠陥の検査を行うことができる
ため、固体撮像素子１０の画素数が少なくて済み、高解
像度のテレビカメラ７を用いる必要がなくなる。さら
に、テレビカメラ７に用いるレンズの倍率を低くするこ
とができるため、画像を取り込む際の収差が小さくな
り、より精度の高い欠陥の検出を行うことができる。
ル２の１画素当たりの固体撮像素子１０の取込み数が従
来例に比べて少ない数で欠陥の検査を行うことができる
ため、固体撮像素子１０の画素数が少なくて済み、高解
像度のテレビカメラ７を用いる必要がなくなる。さら
に、テレビカメラ７に用いるレンズの倍率を低くするこ
とができるため、画像を取り込む際の収差が小さくな
り、より精度の高い欠陥の検出を行うことができる。
【００３２】加えて、液晶パネル２の１画素当たりの固
体撮像素子１０の取込み数が従来例に比べて少なくて済
むことから、画像を取り込む際の液晶パネル２の表示画
面の分割数を少なくすることができ、その結果、表示画
面全体の画像の取込時間が短くなって欠陥検査の時間を
短縮することができる。
体撮像素子１０の取込み数が従来例に比べて少なくて済
むことから、画像を取り込む際の液晶パネル２の表示画
面の分割数を少なくすることができ、その結果、表示画
面全体の画像の取込時間が短くなって欠陥検査の時間を
短縮することができる。
【００３３】なお、本発明は上述の実施例に限られるこ
となく、種々の変更を行うことができる。
となく、種々の変更を行うことができる。
【００３４】例えば、上述の実施例においては、液晶パ
ネルの表示画面上の１個の画素に対して固体撮像素子の
９個の画素を対応させるようにしたが、本発明はこれに
限られず、例えば１６（＝４×４）個、２５（＝５×
５）個の画素を対応させるようにしてもよい。
ネルの表示画面上の１個の画素に対して固体撮像素子の
９個の画素を対応させるようにしたが、本発明はこれに
限られず、例えば１６（＝４×４）個、２５（＝５×
５）個の画素を対応させるようにしてもよい。
【００３５】また、本発明の欠陥検査方法は、液晶パネ
ル等の液晶表示装置のみならず、他の表示装置等の被検
査物にも適用することができる。ただし、上述したよう
に、液晶表示装置の検査工程に適用すのが最も効果的で
ある。
ル等の液晶表示装置のみならず、他の表示装置等の被検
査物にも適用することができる。ただし、上述したよう
に、液晶表示装置の検査工程に適用すのが最も効果的で
ある。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る欠陥
検査方法によれば、取り込まれた画像の被検査物の発光
部に対応する領域の輝度レベルと被検査物の非発光部に
対応する領域の輝度レベルとに基いて欠陥の検出を行う
ことから、発光部に対応する領域の輝度レベルのみに基
いて欠陥の検出を行う場合よりも、微妙な輝度の変化を
正確に認識することができ、精度の高い欠陥の検出を行
うことが可能になる。そして、その結果、例えば液晶表
示装置の画素内における液晶分子の不均一に起因するし
み、むら、ドメイン等や、ごみ、異物等の付着による欠
陥を容易かつ確実に判別することが可能になる。
検査方法によれば、取り込まれた画像の被検査物の発光
部に対応する領域の輝度レベルと被検査物の非発光部に
対応する領域の輝度レベルとに基いて欠陥の検出を行う
ことから、発光部に対応する領域の輝度レベルのみに基
いて欠陥の検出を行う場合よりも、微妙な輝度の変化を
正確に認識することができ、精度の高い欠陥の検出を行
うことが可能になる。そして、その結果、例えば液晶表
示装置の画素内における液晶分子の不均一に起因するし
み、むら、ドメイン等や、ごみ、異物等の付着による欠
陥を容易かつ確実に判別することが可能になる。
【００３７】また、本発明の方法によれば、被検査物、
特に液晶表示装置の１画素当たりの撮像手段（例えばＣ
ＣＤからなる固体撮像素子）の取込み画素数が従来例に
比べて少ない数で欠陥の検査を行うことができるため、
撮像手段の画素数が少なくて済み、高解像度のテレビカ
メラを用いる必要がなくなる。さらに、テレビカメラに
用いるレンズの倍率を低くすることができるため、画像
を取り込む際の収差が小さくなり、より精度の高い欠陥
の検出を行うことができる。
特に液晶表示装置の１画素当たりの撮像手段（例えばＣ
ＣＤからなる固体撮像素子）の取込み画素数が従来例に
比べて少ない数で欠陥の検査を行うことができるため、
撮像手段の画素数が少なくて済み、高解像度のテレビカ
メラを用いる必要がなくなる。さらに、テレビカメラに
用いるレンズの倍率を低くすることができるため、画像
を取り込む際の収差が小さくなり、より精度の高い欠陥
の検出を行うことができる。
【００３８】加えて、被検査物の１画素当たりの撮像手
段の取込み数が従来例に比べて少なくて済むことから、
被検査物の画像を分割して取り込む際の分割数を少なく
することができ、その結果、被検査物全体の画像の取込
時間が短くなって欠陥検査の時間を短縮することができ
る。
段の取込み数が従来例に比べて少なくて済むことから、
被検査物の画像を分割して取り込む際の分割数を少なく
することができ、その結果、被検査物全体の画像の取込
時間が短くなって欠陥検査の時間を短縮することができ
る。
【図１】本発明に係る欠陥検査方法の実施例を示すフロ
ーチャートである。
ーチャートである。
【図２】同実施例における液晶パネルの画素を模式的に
示す説明図である。
示す説明図である。
【図３】同実施例における固体撮像素子の画素を模式的
に示す説明図である。
に示す説明図である。
【図４】同実施例におけるブラックマスク部に対応する
画素Ｐ７〜Ｐ９の輝度レベルの変化を示す説明図であ
る。
画素Ｐ７〜Ｐ９の輝度レベルの変化を示す説明図であ
る。
【図５】本発明を実施するためのシステムの一例を示す
概略構成図である。
概略構成図である。
【図６】従来の欠陥検査方法を実施するためのシステム
の一例を示す概略構成図である。
の一例を示す概略構成図である。
【図７】従来の欠陥検査方法の要部を示す説明図であ
る。
る。
２ 液晶パネル（被検査物、液晶表示装置） ７ テレビカメラ ８ コンピュータ ９ ディスプレイ装置 １０ 固体撮像素子（撮像手段） １１ 画素 １２ ブラックマスク部（非発光部） １３ 開口部（発光部） Ｌ0 ，Ｌ7 ，Ｌ8 ，Ｌ9 輝度レベル ＬB 黒レベル Ｐ１、Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５，Ｐ６ 開口部１３に対
応する画素 Ｐ７，Ｐ８，Ｐ９ ブラックマスク部に対応する画素
応する画素 Ｐ７，Ｐ８，Ｐ９ ブラックマスク部に対応する画素
Claims (3)
- 【請求項１】 所定の輝度で発光する発光部と、この発
光部に隣接する非発光部とを有する被検査物の光像を撮
像手段で取り込み、この取り込まれた画像の輝度レベル
に基いて被検査物の欠陥を検査する欠陥検査方法におい
て、 上記取り込まれた画像の上記発光部に対応する領域の輝
度レベルと上記非発光部に対応する領域の輝度レベルと
に基いて欠陥の検出を行うことを特徴とする欠陥検査方
法。 - 【請求項２】 被検査物が液晶表示装置の表示画面であ
ることを特徴とする請求項１記載の欠陥検査方法。 - 【請求項３】 撮像手段がＣＣＤからなる固体撮像素子
であることを特徴とする請求項１又は２記載の欠陥検査
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25378194A JPH08122206A (ja) | 1994-10-19 | 1994-10-19 | 欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25378194A JPH08122206A (ja) | 1994-10-19 | 1994-10-19 | 欠陥検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08122206A true JPH08122206A (ja) | 1996-05-17 |
Family
ID=17256066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25378194A Pending JPH08122206A (ja) | 1994-10-19 | 1994-10-19 | 欠陥検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08122206A (ja) |
-
1994
- 1994-10-19 JP JP25378194A patent/JPH08122206A/ja active Pending
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