JPH0812280B2 - Electron beam irradiation device - Google Patents
Electron beam irradiation deviceInfo
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- JPH0812280B2 JPH0812280B2 JP61046969A JP4696986A JPH0812280B2 JP H0812280 B2 JPH0812280 B2 JP H0812280B2 JP 61046969 A JP61046969 A JP 61046969A JP 4696986 A JP4696986 A JP 4696986A JP H0812280 B2 JPH0812280 B2 JP H0812280B2
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- scanning
- electron beam
- coil
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- beam irradiation
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は電子線照射装置に関する。The present invention relates to an electron beam irradiation apparatus.
（従来の技術） 周知のように電子線照射装置においては、加速管によ
って加速された電子線は、走査管によって走査されなが
ら被照射物に照射されるようになっている。通常走査管
による走査は電磁装置によって行われるのが普通で、具
体的には走査管の基部に走査コイルが設置されてあり、
これに三角波形の電流を励磁電流として供給し、これに
よって発生する磁界により電子線を一定の範囲内で往復
動させるようにして走査する。走査された電子線は走査
管の端部に設けられてある走査窓の箔を通って外部に放
射される。(Prior Art) As is well known, in an electron beam irradiation apparatus, an electron beam accelerated by an accelerating tube irradiates an irradiation target while being scanned by a scanning tube. Normally, scanning by a scanning tube is usually performed by an electromagnetic device, specifically, a scanning coil is installed at the base of the scanning tube,
A triangular waveform current is supplied to this as an exciting current, and the magnetic field generated by this causes the electron beam to reciprocate within a certain range for scanning. The scanned electron beam is emitted to the outside through the foil of the scanning window provided at the end of the scanning tube.
ところでこの種走査管における走査コイル用のコアの
形状によっては、電子線照射領域の走査方向の端部に近
付くほど、第４図に示す照射領域Ａのように走査幅が狭
くなって電子線ビームが絞られ、その端部において電子
線密度が高くなることがある。このように電子線密度が
照射窓の箔の端部において高くなると、その箔の部分が
他の部分よりも熱が集中して痛みやすくなり、寿命が短
くなってしまう。By the way, depending on the shape of the core for the scanning coil in this type of scanning tube, the scanning width becomes narrower as in the irradiation area A shown in FIG. May be narrowed down, and the electron beam density may become high at the ends. If the electron beam density becomes higher at the edge of the foil of the irradiation window as described above, heat is concentrated on the foil portion more easily than other portions, causing pain and shortening the life.
（発明が解決しようとする問題点） この発明は電磁的に電子線を走査する電子線照射装置
において、その走査領域の端部に対応する照射窓の箔の
端部に熱が集中するを防止するようにし、これによって
その箔の寿命の低下を回避することを目的とする。(Problems to be Solved by the Invention) In the electron beam irradiation device for electromagnetically scanning an electron beam, the present invention prevents heat from concentrating on the edge portion of the foil of the irradiation window corresponding to the edge portion of the scanning region. In order to avoid a reduction in the life of the foil.
（問題点を解決するための手段） この発明は走査コイルによる電子線の走査端部に、そ
の走査方向に対して直交する方向に電子線を振らすため
の磁束を発生するコイルを設置したことを特徴とする。(Means for Solving Problems) According to the present invention, a coil for generating a magnetic flux for oscillating an electron beam in a direction orthogonal to the scanning direction is provided at a scanning end portion of the electron beam by the scanning coil. Is characterized by.
（作用） 走査コイルによって電子線を走査するとき、その走査
周波数よりも低い周波数で、電子線を走査領域の端部に
おいて振らすようにすると、その端部において電子線ビ
ームは走査方向に対して直交する方向に幅が広がる。こ
の広かりにより端部での電子線ビームの絞りが回避され
る。その結果走査領域の端部での電子線の高密度化が回
避されることになる。(Operation) When the electron beam is scanned by the scanning coil, if the electron beam is oscillated at the end of the scanning region at a frequency lower than the scanning frequency, the electron beam at the end is scanned in the scanning direction. The width expands in the orthogonal direction. Due to this widening, the aperture of the electron beam at the end is avoided. As a result, it is possible to avoid increasing the density of electron beams at the edges of the scanning region.
（実施例） この発明を第１図以降の各図によって説明する。１は
電子線照射装置本体で、加速管２、走査管３などによっ
て構成されてあり、４は走査管３の基部3Aの外側に配置
された走査コイル、５は照射窓で、これは箔によって閉
塞されてある。走査コイル４には通常三角波の励磁電流
が供給され、これによつて発生する磁束によって、電子
線は発生した磁束に対して直交する矢印Ｐ方向に走査さ
れる。これらの構成は通常のこの種装置と特に相違する
ところはない。(Embodiment) The present invention will be described with reference to FIGS. Reference numeral 1 is an electron beam irradiation apparatus main body, which is composed of an acceleration tube 2, a scanning tube 3, etc., 4 is a scanning coil arranged outside the base portion 3A of the scanning tube 3, 5 is an irradiation window, and this is a foil. It is blocked. An excitation current of a triangular wave is normally supplied to the scanning coil 4, and the magnetic flux generated by the excitation current causes the electron beam to scan in the direction of arrow P orthogonal to the generated magnetic flux. There is no particular difference between these structures and an ordinary device of this type.
この発明にしたがい、走査コイル４による走査方向の
端部において、電子線を前記走査方向に対して直交する
方向に振らすための磁束を発生する、対のコイル６を使
用する。このコイル６は第２図に示すように走査コイル
４の左右に位置するように基部3Aの外側に設置する。According to the present invention, a pair of coils 6 is used which generate a magnetic flux for oscillating an electron beam in a direction orthogonal to the scanning direction at the end of the scanning coil 4 in the scanning direction. This coil 6 is installed outside the base 3A so as to be positioned on the left and right of the scanning coil 4 as shown in FIG.
たとえばコイル６は走査コイル４の励磁電流の周波数
よりも低い周波数の電流によって励磁される。たとえば
走査コイル４の励磁電流の周波数が200Hz程度であると
き、コイル６の励磁電流の周波数を商用周波数（50また
は60Hz）程度とする。そして両コイル６は互いに逆相の
正弦波電流によって励磁されるようにしてある。For example, the coil 6 is excited by a current having a frequency lower than that of the exciting current of the scanning coil 4. For example, when the frequency of the exciting current of the scanning coil 4 is about 200 Hz, the frequency of the exciting current of the coil 6 is set to about the commercial frequency (50 or 60 Hz). Both coils 6 are excited by sinusoidal currents having opposite phases.
以上の構成において、走査コイル４によって発生する
磁束により、第２図において左右方向に走査されている
とき、その走査端部においてコイル６によって発生する
磁束により、電子線はその走査方向に対して直交する方
向に振られるようになる。In the above configuration, when the magnetic flux generated by the scanning coil 4 is scanned in the left-right direction in FIG. 2, the magnetic flux generated by the coil 6 at the scanning end portion causes the electron beam to be orthogonal to the scanning direction. You will be shaken in the direction of doing.
すなわち、コイル６がなんら励磁されていないとき
は、第２図において直線ａに示す方向に走査されるが、
その走査周波数よりもたとえば低い周波数でコイル６が
励磁されたとすると、直線ａに対してその中央で交差す
る直線b,cに示す方向に走査されるようになる。That is, when the coil 6 is not excited at all, it is scanned in the direction indicated by the straight line a in FIG.
If the coil 6 is excited at a frequency lower than the scanning frequency, the coil 6 is scanned in the directions indicated by the straight lines b and c intersecting the straight line a at its center.
これによって走査領域の端部において、電子ビームは
走査コイル４によって直線ａ方向に走査されながら、そ
の走査方向と直交する方向に沿って振られるようにな
る。このように電子ビームが振られると、走査領域の端
部での電子線の絞りが少なくなり、その結果走査領域Ａ
の幅は第３図のように全域にわたってほぼ均等となる。As a result, at the end of the scanning region, the electron beam is swung along the direction orthogonal to the scanning direction while being scanned by the scanning coil 4 in the straight line a direction. When the electron beam is swung in this way, the electron beam aperture at the end of the scanning area decreases, and as a result, the scanning area A
The width of is almost uniform over the entire area as shown in FIG.
以上の結果走査領域の端部での電子線の集中が回避さ
れ、その端部での電子線の密度が高くなるようなことは
なく、したがって走査領域の端部に相当する部分の照射
窓箔の損傷は確実に防止されるようになる。As a result of the above, concentration of electron beams at the end of the scanning region is avoided, and the density of electron beams at the end is not increased. Therefore, the irradiation window foil of the portion corresponding to the end of the scanning region is not formed. Damage will be reliably prevented.
（発明の効果） 以上詳述したようにこの発明によれば、走査コイルに
よる走査とは別にその走査方向に対して直交する方向に
電子ビームを振らせるための磁束を発生させるようにし
たので、電子線の走査領域の端部に相当する照射窓箔の
損傷を確実に防止することができるといった効果を奏す
る。As described above in detail, according to the present invention, in addition to the scanning by the scanning coil, a magnetic flux for oscillating the electron beam in a direction orthogonal to the scanning direction is generated. It is possible to reliably prevent damage to the irradiation window foil corresponding to the end of the scanning area of the electron beam.
第１図はこの発明の実施例を示す正面図、第２図は要部
の拡大断面図、第３図はこの発明による電子線による走
査領域の平面図、第４図は従来の電子線による走査領域
の平面図である。 １……電子線照射装置本体、３……走査管、４……走査
コイル、５……照射窓、６……コイル、FIG. 1 is a front view showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of an essential part, FIG. 3 is a plan view of a scanning area by an electron beam according to the present invention, and FIG. 4 is a conventional electron beam. It is a top view of a scanning field. 1 ... Electron beam irradiation device main body, 3 ... scanning tube, 4 ... scanning coil, 5 ... irradiation window, 6 ... coil,
Claims (1)
コイルを、前記走査管に設けてなる電子線照射装置にお
いて、前記走査コイルによる走査領域の幅がその全域に
わたってほぼ均一となるように、前記走査コイルによる
電子線の走査方向に沿う中央で交差する方向に前記電子
線を振らすための磁束を発生するコイルを、前記走査管
に設けてなる電子線照射装置。1. An electron beam irradiating device, wherein a scanning coil for reciprocally scanning an electron beam in a scanning tube is provided in said scanning tube, so that a width of a scanning region by said scanning coil is substantially uniform over the entire area. An electron beam irradiating device having a coil for generating a magnetic flux for oscillating the electron beam in a direction intersecting at a center along a scanning direction of the electron beam by the scanning coil.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61046969A JPH0812280B2 (en) | 1986-03-03 | 1986-03-03 | Electron beam irradiation device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61046969A JPH0812280B2 (en) | 1986-03-03 | 1986-03-03 | Electron beam irradiation device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62203100A JPS62203100A (en) | 1987-09-07 |
| JPH0812280B2 true JPH0812280B2 (en) | 1996-02-07 |
Family
ID=12762088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61046969A Expired - Lifetime JPH0812280B2 (en) | 1986-03-03 | 1986-03-03 | Electron beam irradiation device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0812280B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01162200A (en) * | 1987-12-18 | 1989-06-26 | Nissin High Voltage Co Ltd | Scanning for electron beam irradiation device |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5738880B2 (en) * | 1973-11-29 | 1982-08-18 |
-
1986
- 1986-03-03 JP JP61046969A patent/JPH0812280B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62203100A (en) | 1987-09-07 |
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