JPH08128805A - 非接触式相対変位測定法及び測定装置 - Google Patents
非接触式相対変位測定法及び測定装置Info
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- JPH08128805A JPH08128805A JP6292343A JP29234394A JPH08128805A JP H08128805 A JPH08128805 A JP H08128805A JP 6292343 A JP6292343 A JP 6292343A JP 29234394 A JP29234394 A JP 29234394A JP H08128805 A JPH08128805 A JP H08128805A
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/16—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 測定点間の距離に比して各測定点の変位が極
めて小さい場合でも測定が可能であり、また各測定点間
の距離が極めて小さい場合でも良好に測定点の相対変位
の測定をすることができる非接触式相対変位測定法及び
測定装置を提供すること。 【構成】 試験片上の２つの測定点に標識を記し、それ
ぞれの標識を別々に２視野顕微鏡３のそれぞれの視野内
に置き、２視野顕微鏡３で形成した２つの標識の画像の
相対変位を測定する。
めて小さい場合でも測定が可能であり、また各測定点間
の距離が極めて小さい場合でも良好に測定点の相対変位
の測定をすることができる非接触式相対変位測定法及び
測定装置を提供すること。 【構成】 試験片上の２つの測定点に標識を記し、それ
ぞれの標識を別々に２視野顕微鏡３のそれぞれの視野内
に置き、２視野顕微鏡３で形成した２つの標識の画像の
相対変位を測定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、材料試験における試
験片の変形の測定や、スプリングのばね特性の検査な
ど、２点以上の測定点の相対変位の測定を行う各種産業
における分野で利用される非接触式相対変位測定法に関
するものである。
験片の変形の測定や、スプリングのばね特性の検査な
ど、２点以上の測定点の相対変位の測定を行う各種産業
における分野で利用される非接触式相対変位測定法に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】材料試験における試験片の変形の測定
や、スプリングのばね特性の検査等において、それらの
試験片やスプリングの引っ張り又は圧縮の変形を測定す
る場合に、試験機に取り付けた試験片上に所定の間隔を
持つ２つの測定点を定め、その測定点の相対変位を測定
することによって、試験片等の変形を測定することが行
われている。このような測定を行う場合、その試験片自
体の大きさが小さかったり、試験片の変形が微小であっ
たり、高温雰囲気での試験である場合などのために、ひ
ずみゲージや伸び計などが使用できず、接触式で測定で
きない場合には、その変形を観測するために顕微鏡を使
用する。すなわち、試験片の２つの測定点を顕微鏡の視
野内において、その測定点の近傍を顕微鏡で拡大し、こ
の拡大像をカメラで撮像し、カメラで撮像した画像を画
像処理して２つの測定点の相対変位を検出するものであ
る。
や、スプリングのばね特性の検査等において、それらの
試験片やスプリングの引っ張り又は圧縮の変形を測定す
る場合に、試験機に取り付けた試験片上に所定の間隔を
持つ２つの測定点を定め、その測定点の相対変位を測定
することによって、試験片等の変形を測定することが行
われている。このような測定を行う場合、その試験片自
体の大きさが小さかったり、試験片の変形が微小であっ
たり、高温雰囲気での試験である場合などのために、ひ
ずみゲージや伸び計などが使用できず、接触式で測定で
きない場合には、その変形を観測するために顕微鏡を使
用する。すなわち、試験片の２つの測定点を顕微鏡の視
野内において、その測定点の近傍を顕微鏡で拡大し、こ
の拡大像をカメラで撮像し、カメラで撮像した画像を画
像処理して２つの測定点の相対変位を検出するものであ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような測定におい
て、従来、使用される顕微鏡は図６に示すような１視野
の顕微鏡５１である。しかし、１視野の顕微鏡５１を使
用する場合には、その顕微鏡の視野内１７に２つの測定
点の標識１１を置かなければならないので、２つの測定
点の測定点間の距離に対して、各測定点の変位が極めて
小さい場合には、その変位だけを拡大することができな
いので変位の測定は困難である。そこで、１つの視野内
に２つの測定点を置くのではなく、１つの視野内に１つ
の測定点だけを置くようにするために、図７に示すよう
に２つの顕微鏡を使用することも考えられるが、この場
合は試験片７の測定点８間の距離が小さい場合には２つ
の顕微鏡の２つの視野内に測定点８を置くことが難し
く、複数の顕微鏡を極めて接近した位置に設定しなけれ
ばならないので顕微鏡５１同士が接触する等の問題があ
って、実現が困難である場合が多い。
て、従来、使用される顕微鏡は図６に示すような１視野
の顕微鏡５１である。しかし、１視野の顕微鏡５１を使
用する場合には、その顕微鏡の視野内１７に２つの測定
点の標識１１を置かなければならないので、２つの測定
点の測定点間の距離に対して、各測定点の変位が極めて
小さい場合には、その変位だけを拡大することができな
いので変位の測定は困難である。そこで、１つの視野内
に２つの測定点を置くのではなく、１つの視野内に１つ
の測定点だけを置くようにするために、図７に示すよう
に２つの顕微鏡を使用することも考えられるが、この場
合は試験片７の測定点８間の距離が小さい場合には２つ
の顕微鏡の２つの視野内に測定点８を置くことが難し
く、複数の顕微鏡を極めて接近した位置に設定しなけれ
ばならないので顕微鏡５１同士が接触する等の問題があ
って、実現が困難である場合が多い。
【０００４】この発明は上記の如き事情に鑑みてなされ
たものであって、測定点間の距離に比して各測定点の変
位が極めて小さい場合でも測定が可能であり、また各測
定点間の距離が極めて小さい場合でも良好に測定点の相
対変位の測定をすることができる非接触式相対変位測定
法及び測定装置を提供することを目的とするものであ
る。
たものであって、測定点間の距離に比して各測定点の変
位が極めて小さい場合でも測定が可能であり、また各測
定点間の距離が極めて小さい場合でも良好に測定点の相
対変位の測定をすることができる非接触式相対変位測定
法及び測定装置を提供することを目的とするものであ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的に対応して、こ
の発明の非接触式相対変位測定法は、試験片上の２つの
測定点に標識を記し、それぞれの標識を別々に２視野顕
微鏡のそれぞれの視野内に置き、２視野顕微鏡で形成し
た２つの標識の画像の相対変位を測定することを特徴と
している。また、この発明の非接触式相対変位測定装置
は、試験片上の２つの測定点を別々に視野内に置くこと
ができる２つの視野をもつ２視野顕微鏡と２視野顕微鏡
で得られる画像を撮像するカメラと、カメラで撮像され
た２つの測定点の像の相対変位を測定する測定装置とを
備えることを特徴としている。
の発明の非接触式相対変位測定法は、試験片上の２つの
測定点に標識を記し、それぞれの標識を別々に２視野顕
微鏡のそれぞれの視野内に置き、２視野顕微鏡で形成し
た２つの標識の画像の相対変位を測定することを特徴と
している。また、この発明の非接触式相対変位測定装置
は、試験片上の２つの測定点を別々に視野内に置くこと
ができる２つの視野をもつ２視野顕微鏡と２視野顕微鏡
で得られる画像を撮像するカメラと、カメラで撮像され
た２つの測定点の像の相対変位を測定する測定装置とを
備えることを特徴としている。
【０００６】
【作用】試験片の２つの測定点に標識を表示し、この標
識間の距離を予め測定しておく。この試験片を試験機に
セットし、２つの標識の１つずつがそれぞれ１個の視野
内に入るように標識を別々に２視野顕微鏡のそれぞれの
視野内におき、標識を拡大する。この２視野顕微鏡の２
つの標識の画像をカメラで撮像し、その情報を画像処理
装置等で処理して２つの標識間の相対変位を測定し、測
定点間の相対変位を測定する。２視野顕微鏡は２つの視
野を持ち、それぞれの視野に１個の標識を置くので標識
の付近だけを拡大することになり、２つの標識間の距離
が視野に影響を与えないので、各測定点の変位が測定点
間の距離に対して、極めて小さい場合でも相対変位を測
定することが可能になる。また、使用する顕微鏡は１台
ですむので、各測定点の間の距離が小さい場合でも複数
の顕微鏡を密に配置する必要がなく、顕微鏡間同士の接
触の可能性もないので、測定点間の変位を容易に測定す
ることができる。
識間の距離を予め測定しておく。この試験片を試験機に
セットし、２つの標識の１つずつがそれぞれ１個の視野
内に入るように標識を別々に２視野顕微鏡のそれぞれの
視野内におき、標識を拡大する。この２視野顕微鏡の２
つの標識の画像をカメラで撮像し、その情報を画像処理
装置等で処理して２つの標識間の相対変位を測定し、測
定点間の相対変位を測定する。２視野顕微鏡は２つの視
野を持ち、それぞれの視野に１個の標識を置くので標識
の付近だけを拡大することになり、２つの標識間の距離
が視野に影響を与えないので、各測定点の変位が測定点
間の距離に対して、極めて小さい場合でも相対変位を測
定することが可能になる。また、使用する顕微鏡は１台
ですむので、各測定点の間の距離が小さい場合でも複数
の顕微鏡を密に配置する必要がなく、顕微鏡間同士の接
触の可能性もないので、測定点間の変位を容易に測定す
ることができる。
【０００７】
【実施例】以下、この発明の詳細を一実施例を示す図面
について説明する。図１において１は非接触式相対変位
測定装置である。非接触式相対変位測定装置１は、材料
試験機２、２視野顕微鏡３、画像合成器４、画像処理装
置５、コンピュータ６を備えている。材料試験機２には
試験片７が取り付けられる。試験片７は図２に示すよう
に測定点８ａ、８ｂを標識１１ａ、１１ｂのエッジや図
心で表示している。標識１１ａ、１１ｂはペイントやイ
ンクで表示される。材料試験機２には固定側チャック１
２ａ及び負荷側チャック１２ｂがあり、これらのチャッ
ク１２ａ、１２ｂによって試験片７の両端が把持されて
試験片７が材料試験機２に取り付けられる。負荷側チャ
ック１２ｂには負荷装置１０及びロードセル１３が連結
し、負荷装置１０によって負荷が与えられ、ロードセル
１３によって負荷が測定される。
について説明する。図１において１は非接触式相対変位
測定装置である。非接触式相対変位測定装置１は、材料
試験機２、２視野顕微鏡３、画像合成器４、画像処理装
置５、コンピュータ６を備えている。材料試験機２には
試験片７が取り付けられる。試験片７は図２に示すよう
に測定点８ａ、８ｂを標識１１ａ、１１ｂのエッジや図
心で表示している。標識１１ａ、１１ｂはペイントやイ
ンクで表示される。材料試験機２には固定側チャック１
２ａ及び負荷側チャック１２ｂがあり、これらのチャッ
ク１２ａ、１２ｂによって試験片７の両端が把持されて
試験片７が材料試験機２に取り付けられる。負荷側チャ
ック１２ｂには負荷装置１０及びロードセル１３が連結
し、負荷装置１０によって負荷が与えられ、ロードセル
１３によって負荷が測定される。
【０００８】ロードセル１３の出力がコンピュータ６に
入力される。一方、試験片７の直上に２視野顕微鏡３の
光学系が配置されている。図３に示すように、２視野顕
微鏡３は２つの視野１７ａ、１７ｂを持つ顕微鏡で、一
方の視野１７ａには一方の測定点８ａに表示した標識１
１ａの近傍を拡大撮像することができ、また、他方の視
野１７ｂは試験片７の他方の測定点８ｂの標識１１ｂを
拡大表示して撮像することができる。２つの視野１７
ａ、１７ｂの画像信号は画像合成器４で合成され、さら
に画像処理装置５で処理されて、２点間の距離が測定さ
れる。画像処理装置５の信号はコンピュータ６に入力さ
れる。２視野顕微鏡３としては市販のものを利用するこ
とができるが、図４には２視野顕微鏡の構成の一例が示
されている。すなわち、２視野顕微鏡３は対物レンズ２
１、ハーフミラー２２、光分割ミラー２３、光路変更用
反射ミラー２４ａ、２４ｂ、接眼レンズ２５ａ、２５ｂ
を備え、接眼レンズ２５ａ、２５ｂに撮像装置２６ａ、
２６ｂ、例えばＣＣＤカメラを取り付けることができ
る。ハーフミラー２２の反射側には光ファイバー照明装
置２７を取り付けてある。
入力される。一方、試験片７の直上に２視野顕微鏡３の
光学系が配置されている。図３に示すように、２視野顕
微鏡３は２つの視野１７ａ、１７ｂを持つ顕微鏡で、一
方の視野１７ａには一方の測定点８ａに表示した標識１
１ａの近傍を拡大撮像することができ、また、他方の視
野１７ｂは試験片７の他方の測定点８ｂの標識１１ｂを
拡大表示して撮像することができる。２つの視野１７
ａ、１７ｂの画像信号は画像合成器４で合成され、さら
に画像処理装置５で処理されて、２点間の距離が測定さ
れる。画像処理装置５の信号はコンピュータ６に入力さ
れる。２視野顕微鏡３としては市販のものを利用するこ
とができるが、図４には２視野顕微鏡の構成の一例が示
されている。すなわち、２視野顕微鏡３は対物レンズ２
１、ハーフミラー２２、光分割ミラー２３、光路変更用
反射ミラー２４ａ、２４ｂ、接眼レンズ２５ａ、２５ｂ
を備え、接眼レンズ２５ａ、２５ｂに撮像装置２６ａ、
２６ｂ、例えばＣＣＤカメラを取り付けることができ
る。ハーフミラー２２の反射側には光ファイバー照明装
置２７を取り付けてある。
【０００９】このように構成された非接触式相対変位測
定装置１を使用して、試験片７の測定点８ａ、８ｂの相
対変位を測定する手順について説明する。予め、２点間
の距離が知られている測定点８ａ、８ｂの標識１１ａ、
１１ｂを表示した試験片７を材料試験機２のチャック１
２ａ、１２ｂに取り付ける。この状態で負荷装置１０を
動作させ、負荷側チャック１２ｂを介して負荷を試験片
７に作用させ、その負荷はロードセル１３で検出する。
一方、試験片７は２視野顕微鏡３で観測し、試験片７上
の測定点８ａの標識１１ａを一方の視野１７ａで撮像
し、他方の測定点８ｂの標識１１ｂを他方の視野１７ｂ
内に置く。２つの視野１７ａ、１７ｂで撮像された拡大
画像は画像合成器４で合成され、さらに画像処理装置５
で２測定点８ａ、８ｂの標識１１ａ、１１ｂのエッジ間
の距離が測定され、そのデータはコンピュータ６に入力
される。コンピュータ６には試験片７に作用する負荷が
ロードセル１３から入力され、また、試験片７の測定点
間８ａ、８ｂの標識１１ａ，１１ｂのエッジ間の距離の
変化は画像処理装置からコンピュータ６に入力され、こ
れによって負荷荷重伸び曲線のグラフを描くことができ
る。
定装置１を使用して、試験片７の測定点８ａ、８ｂの相
対変位を測定する手順について説明する。予め、２点間
の距離が知られている測定点８ａ、８ｂの標識１１ａ、
１１ｂを表示した試験片７を材料試験機２のチャック１
２ａ、１２ｂに取り付ける。この状態で負荷装置１０を
動作させ、負荷側チャック１２ｂを介して負荷を試験片
７に作用させ、その負荷はロードセル１３で検出する。
一方、試験片７は２視野顕微鏡３で観測し、試験片７上
の測定点８ａの標識１１ａを一方の視野１７ａで撮像
し、他方の測定点８ｂの標識１１ｂを他方の視野１７ｂ
内に置く。２つの視野１７ａ、１７ｂで撮像された拡大
画像は画像合成器４で合成され、さらに画像処理装置５
で２測定点８ａ、８ｂの標識１１ａ、１１ｂのエッジ間
の距離が測定され、そのデータはコンピュータ６に入力
される。コンピュータ６には試験片７に作用する負荷が
ロードセル１３から入力され、また、試験片７の測定点
間８ａ、８ｂの標識１１ａ，１１ｂのエッジ間の距離の
変化は画像処理装置からコンピュータ６に入力され、こ
れによって負荷荷重伸び曲線のグラフを描くことができ
る。
【００１０】（実験例）図５にはこの発明の２視野顕微
鏡を使用した非接触式相対変位測定装置による測定結果
と従来の顕微鏡の移動のよる伸び測定の結果３例とを示
している。この発明の測定方法によれば、負荷荷重と伸
びが比例した良好な測定結果を得ることがわかる。ここ
で供試材はｓｕｓ３０４、厚さ５０μｍ、幅２２６μ
ｍ、ゲージレングス６９９μｍのものを使用している。
鏡を使用した非接触式相対変位測定装置による測定結果
と従来の顕微鏡の移動のよる伸び測定の結果３例とを示
している。この発明の測定方法によれば、負荷荷重と伸
びが比例した良好な測定結果を得ることがわかる。ここ
で供試材はｓｕｓ３０４、厚さ５０μｍ、幅２２６μ
ｍ、ゲージレングス６９９μｍのものを使用している。
【００１１】
【発明の効果】この発明の非接触式相対変位測定装置で
は、２視野によって試験片７の測定点８ａ、８ｂの近傍
だけが拡大して撮像されるので、測定点間の距離に比し
て変位が小さい材料試験においても良好にその変位を検
出することができる。また、試験片上の測定点間の距離
が小さい場合でも複数の顕微鏡を必要とせず一個の顕微
鏡で測定点を撮像することができるので、顕微鏡の配置
からくる測定の制限制約が存在せず、良好な測定をする
ことができる。
は、２視野によって試験片７の測定点８ａ、８ｂの近傍
だけが拡大して撮像されるので、測定点間の距離に比し
て変位が小さい材料試験においても良好にその変位を検
出することができる。また、試験片上の測定点間の距離
が小さい場合でも複数の顕微鏡を必要とせず一個の顕微
鏡で測定点を撮像することができるので、顕微鏡の配置
からくる測定の制限制約が存在せず、良好な測定をする
ことができる。
【図１】この発明の非接触式相対変位測定装置の構成を
示す説明図。
示す説明図。
【図２】試験片を示す説明図。
【図３】２視野顕微鏡における２視野を示す説明図。
【図４】２視野顕微鏡の光学計を示す構成説明図。
【図５】測定結果を示す負荷荷重伸び曲線の測定データ
を示すグラフ。
を示すグラフ。
【図６】従来の測定方法を示す説明図。
【図７】従来の他の測定装置を示す説明図。
１ 非接触式相対変位測定装置 ２ 材料試験機 ３ ２視野顕微鏡 ４ 画像合成器 ５ 画像処理装置 ６ コンピュータ ７ 試験片 ８ 測定点 ８ａ、８ｂ 測定点 １０ 負荷装置 １１ 標識 １１ａ、１１ｂ 標識 １２ａ 固定側チャック １２ｂ 負荷側チャック １３ ロードセル １７ａ、１７ｂ 視野 ２１ 対物レンズ ２２ ハーフミラー ２３ 光分割ミラー ２４ａ、２４ｂ 光路変更用反射ミラー ２５ａ、２５ｂ 接眼レンズ ２６ａ、２６ｂ 撮像装置 ２７ 光ファイバー照明装置 ５１ 顕微鏡
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成７年１月１８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００９】このように構成された非接触式相対変位測
定装置１を使用して、試験片７の測定点８ａ、８ｂの相
対変位を測定する手順について説明する。予め、２点間
の距離が知られている測定点８ａ、８ｂの標識１１ａ、
１１ｂを表示した試験片７を材料試験機２のチャック１
２ａ、１２ｂに取り付ける。この状態で負荷装置１０を
動作させ、負荷側チャック１２ｂを介して負荷を試験片
７に作用させ、その負荷はロードセル１３で検出する。
一方、試験片７は２視野顕微鏡３で観測し、試験片７上
の測定点８ａの標識１１ａを一方の視野１７ａで撮像
し、他方の測定点８ｂの標識１１ｂを他方の視野１７ｂ
内に置く。２つの視野１７ａ、１７ｂで撮像された拡大
画像は画像合成器４で合成され、さらに画像処理装置５
で２測定点８ａ、８ｂの標識１１ａ、１１ｂのエッジ間
の距離が測定され、そのデータはコンピュータ６に入力
される。コンピュータ６には試験片７に作用する負荷が
ロードセル１３から入力され、また、試験片７の測定点
８ａ、８ｂの標識１１ａ，１１ｂのエッジ間の距離の変
化は画像処理装置からコンピュータ６に入力され、これ
によって負荷荷重伸び曲線のグラフを描くことができ
る。
定装置１を使用して、試験片７の測定点８ａ、８ｂの相
対変位を測定する手順について説明する。予め、２点間
の距離が知られている測定点８ａ、８ｂの標識１１ａ、
１１ｂを表示した試験片７を材料試験機２のチャック１
２ａ、１２ｂに取り付ける。この状態で負荷装置１０を
動作させ、負荷側チャック１２ｂを介して負荷を試験片
７に作用させ、その負荷はロードセル１３で検出する。
一方、試験片７は２視野顕微鏡３で観測し、試験片７上
の測定点８ａの標識１１ａを一方の視野１７ａで撮像
し、他方の測定点８ｂの標識１１ｂを他方の視野１７ｂ
内に置く。２つの視野１７ａ、１７ｂで撮像された拡大
画像は画像合成器４で合成され、さらに画像処理装置５
で２測定点８ａ、８ｂの標識１１ａ、１１ｂのエッジ間
の距離が測定され、そのデータはコンピュータ６に入力
される。コンピュータ６には試験片７に作用する負荷が
ロードセル１３から入力され、また、試験片７の測定点
８ａ、８ｂの標識１１ａ，１１ｂのエッジ間の距離の変
化は画像処理装置からコンピュータ６に入力され、これ
によって負荷荷重伸び曲線のグラフを描くことができ
る。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１０】（実験例）図５にはこの発明の２視野顕微
鏡を使用した非接触式相対変位測定装置による伸び測定
の結果１例と従来の顕微鏡の移動による伸び測定の結果
３例とを示している。この発明の測定方法によれば、負
荷荷重と伸びが比例した良好な測定結果を得ることがわ
かる。ここで供試材はＳＵＳ３０４、厚さ５０μｍ、幅
２２６μｍ、ゲージレングス６９９μｍのものを使用し
ている。
鏡を使用した非接触式相対変位測定装置による伸び測定
の結果１例と従来の顕微鏡の移動による伸び測定の結果
３例とを示している。この発明の測定方法によれば、負
荷荷重と伸びが比例した良好な測定結果を得ることがわ
かる。ここで供試材はＳＵＳ３０４、厚さ５０μｍ、幅
２２６μｍ、ゲージレングス６９９μｍのものを使用し
ている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の非接触式相対変位測定装置の構成を
示す説明図。
示す説明図。
【図２】試験片を示す説明図。
【図３】２視野顕微鏡における２視野を示す説明図。
【図４】２視野顕微鏡の光学系を示す構成説明図。
【図５】負荷荷重−伸び曲線の測定データを示すグラ
フ。
フ。
【図６】従来の測定方法を示す説明図。
【図７】従来の他の測定方法を示す説明図。
【符号の説明】 １ 非接触式相対変位測定装置 ２ 材料試験機 ３ ２視野顕微鏡 ４ 画像合成器 ５ 画像処理装置 ６ コンピュータ ７ 試験片 ８ 測定点 ８ａ、８ｂ 測定点 １０ 負荷装置 １１ 標識 １１ａ、１１ｂ 標識 １２ａ 固定側チャック １２ｂ 負荷側チャック １３ ロードセル１７ 視野 １７ａ、１７ｂ 視野 ２１ 対物レンズ ２２ ハーフミラー ２３ 光分割ミラー ２４ａ、２４ｂ 光路変更用反射ミラー ２５ａ、２５ｂ 接眼レンズ ２６ａ、２６ｂ 撮像装置 ２７ 光ファイバー照明装置 ５１ 顕微鏡
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図５】
Claims (2)
- 【請求項１】 試験片上の２つの測定点に標識を記し、
それぞれの前記標識を別々に２視野顕微鏡のそれぞれの
視野内に置き、前記２視野顕微鏡で形成した前記２つの
標識の画像の相対変位を測定することを特徴とする非接
触式相対変位測定法。 - 【請求項２】 試験片上の２つの測定点を別々に視野内
に置くことができる２つの視野をもつ２視野顕微鏡と前
記２視野顕微鏡で得られる画像を撮像するカメラと、前
記カメラで撮像された前記２つの測定点の像の相対変位
を測定する測定装置とを備えることを特徴とする非接触
式相対変位測定装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6292343A JP2884041B2 (ja) | 1994-11-01 | 1994-11-01 | 非接触式相対変位測定法及び測定装置 |
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6292343A JP2884041B2 (ja) | 1994-11-01 | 1994-11-01 | 非接触式相対変位測定法及び測定装置 |
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|---|---|
| JPH08128805A true JPH08128805A (ja) | 1996-05-21 |
| JP2884041B2 JP2884041B2 (ja) | 1999-04-19 |
Family
ID=17780573
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6292343A Expired - Lifetime JP2884041B2 (ja) | 1994-11-01 | 1994-11-01 | 非接触式相対変位測定法及び測定装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5625457A (ja) |
| JP (1) | JP2884041B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017190955A (ja) * | 2016-04-11 | 2017-10-19 | 株式会社太陽機械製作所 | 認識装置 |
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1994
- 1994-11-01 JP JP6292343A patent/JP2884041B2/ja not_active Expired - Lifetime
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1995
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