JPS63280211A - 二視野顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、主として、ＩＣの周縁に並列して設けられる
多数のリードおよびそれらの結合状態の目視確認のため
に用いる二視野顕微鏡についての改良に関する。

一つの視野内に２個所の像の左右半分づつを結像させて
、位置合わせし、目視による比較検査等が簡単に行なえ
るようにした二視野顕微鏡が開発されている。

この二視野顕微鏡（または比較顕微鏡）は、第１図に示
しているように、顕微鏡光学系りの対物レンズ１０の焦
点を、像合致プリズムＰに結ばせて、左半側の対物光学
系Ａと左半側の対物光学系Ｂとに分け、それら対物光学
系Ａ−Ｂの第１対物レンズａ−１・ｂ−１により平行光
線に戻して第１ミラーｍｌ・第２ミラーｍ２・第３ミラ
ーｍ３によりそれぞれ第２対物レンズａ−２Φｂ−２に
導き、これにより、ステージＳ上に被検査物として例え
ば第２図に示しているＩＣを置いたとき、それの映像が
、顕微鏡光学系りの接眼レンズの視野内または、顕微鏡
光学系りに接続装着したモニターテレビの画面内に、第
３図に示している如く入ってくるようにしている。

そして、このとき、ＩＣの左半側の像と左半側の像との
検査すべき個所であるリード２０・・・およびそれの本
体２１に対する結合部分が、接眼レンズ１１の視野内ま
たはモニターテレビの画面内に正しく入ってくるように
するため、第３ミラーｍ３・ｍ３と第２対物レンズａ−
２・ｂ−２とを、第１図で鎖線で示している如く、それ
ぞれ一つのフレーム３・３°に組込み、それらフレーム
３−３”を顕微鏡のボディに、それぞれのフレーム３・
３゛が、第２ミラーｍ２と第３ミラーｍ３との間の光軸
ｘ−１に沿い左右方向にスライドするように組付けて、
これらフレーム３・３゛をそれらにそれぞれ組付ける調
節ねじなどの作動機構の操作で第２ミラーｍ２と第３ミ
ラーｍ３との間の平行光線に沿いスライドさせることに
より、第２対物レンズａ−２・ｂ−２から下方に向かう
垂直な光軸Ｘ−２・ｘ−２を左右に動かすことで、第２
対物レンズａ−２Φｂ−２の焦点位置を左右に動かす調
整が行なえるようにしている。

ところで、このように構成されている二視野顕微鏡には
、左右のフレーム３・３°を互いに近寄せて、左半側の
対物光学系Ａおよび左半側の対物光学系Ｂの各第２対物
レンズａ−２・ｂ−２から出射される光軸ｘ−２・ｘ−
２を近接させていくときに、それらフレーム３・３゛を
近づける方向にスライドさせる作動が、フレーム３とフ
レーム３゛との互いの衝突によりストロークエンドとな
ることで、左半側の対物光学系Ａの光軸ｘ−２と左半側
の対物光学系Ｂの光軸ｘ−２とを近づける距離に限度が
ある。これは、第２対物レンズａ−２・ｂ−２の直径が
小さいものでもｌＯミリ程度あり、それらを保持するレ
ンズフレームの厚みが少なくとも数ミリあり、かつ、そ
のレンズフレームを組付は支持さす前述のフレーム３・
３°の厚みが数ミリあることから、第２対物レンズａ−
２と第２対物レンズｂ−２とを最も近づけたとしても、
それらの各光軸ｘ−２争ｘ−２が第２対物レンズａ−２
・ｂ−２の各直径の２分の１の２倍の距離に、レンズフ
レームの厚みに対する距離の２倍とフレーム３の厚みと
フレーム３゛の厚みにそれぞれ対応する距離を加えた少
なくとも約２５ミリ程度の距離をおいて並列するように
なることによる。そして、このことから、前記限度とな
る距離を２５ミリとすると、被検査物であるＩＣの巾が
２５ミリより小さいときには、それの像が視野からなく
なって、検鏡が不能になり、小型化が進んできているＩ
Ｃの検査に適応させ得ない問題が生じてきている。

また、もう一つの問題として、二視野顕微鏡によるＩＣ
の検査には、ＩＣの本体２１の左右の両側に前後方向に
並列して設けられている多数のリード２０・・・の像が
、第４図および第５図に示している如く、その並列方向
の一方の端のリード２０から順次、視野またはモニター
テレビの画面の中央に位置してくるようになって、ＩＣ
の左右のり−ド２０・・・およびそれの本体２１に対す
る結合部分が、並列順の端のものから順次検査していけ
るようになることの要望があるが、この要望に応えられ
ない問題がある。

これは、上記の要望が、前述の第１図における第２対物
レンズａ−２・ｂ−２の下方の垂直な光軸ｘ−２・ｘ−
２を、顕微鏡のボディに対し前後方向に変位させていけ
るようにすることであり、垂直な光軸ｘ−２を、第２ミ
ラーｍ２と第３ミラー　ｍ　３との間の光軸ｘ−１に対
し直交する方向に動かすことであるから、実際には無理
なことによる。

このことから、前述の第１図に示している如く構成され
る二視野顕微鏡の左右の対物光学系Ａ・Ｂの各第２対物
レンズａ−２・ｂ−２のそれぞれの下方に、第６図に示
している如く、それら第２対物レンズａ−２・ｂ−２か
ら出射される光軸Ｘ−２・ｘ−２を、二視野顕微鏡のボ
ディの左右方向の中心部に向けて傾斜させる偏角プリズ
ム文をそれぞれ組込んで、顕微鏡のボディに左右のスラ
イド自在に設けるフレーム３・３゛に組付け、さらに、
それらの下方に、それら偏角プリズム文ｅ文を経た前述
の光軸ｘ−２・ｘ−２を水平な方向に反射させる第１ミ
ラーＭ１とその反射した水平な光軸ｘ−３・ｘ−３を垂
直な方向に反射させる第２ミラーＭ２とを組込んだミラ
ーボックス４・４を、それに組込んだ前記第１ミラーＭ
１と第２ミラーＭ２とが顕微鏡のボディの前後方向に並
列対向する状態として組付け（第６図では光軸ｘ−２、
ｘ−３の反射方向の説明のため、第１ミラーＭ１と第２
ミラーＭ２とが左右方向に並列するように示している）
、かつ、それの第２ミラーＭ２を、光軸ｘ−２を横切る
左右方向の枢軸４０により前後方向に回動するようミラ
ーボックス４・４′に組付は支架しておき、その第２ミ
ラーＭ２を調節ねじ４１の操作で傾斜角度を変更さすよ
うに回動させることで、その第２ミラーＭ２を反射した
光軸Ｘ−４・ｘ−４が前後方向に動くようにする手段の
試みがある。しかし、この手段は、偏角プリズム文を用
いることで見え味が悪くなることと。

二枚のミラーＭ１ΦＭ２を要することで、構造が面倒に
なり、価格な高くなる難点がある。

本発明は、これらの問題を解消するためになされたもの
であって、見え味を良好にして、前述の如く標本の左半
側を映す対物光学系Ａおよび右手側を映す対物光学系の
垂直な光軸ｘ−２ｅｘ−２を左右方向において互いに近
づけるよう変位調節したときの、光軸ｘ−２と光軸ｘ−
２との間の距離を極く狭くして、極く小型のＩＣの検査
に対応させ得るようにする新たな手段を提供することを
第１の目的とし、さらに、ミラーを用いることなく、Ｉ
Ｃの本体２１の左右の側縁に前後方向に並列して設けら
れた各リード？Ｏ・・・およびそれの結合部位の映像が
１前後方向の一方の端のリード２０から順次視野または
モニターテレビの画面に映し出されて確認していけるよ
うにする新たな手段を提供することを第２の目的とする
。

そして、・本発明においては、上述の第１の目的を達成
するための手段として、顕微鏡光学系の光軸上に、像合
致プリズムを介して左半側の対物光学系と左半側の対物
光学系とを組込み、それら左右の対物光学系の各第２対
物レンズの下方に、凹レンズを、それの光軸が前記第２
対物レンズの光軸に対し左右方向に変位するよう、前記
第２対物レンズに対し左右方向の変位自在に組込んでな
る二視野顕微鏡を提起し、また第２の目的を達成するた
めの手段として、顕微鏡光学系の光軸上に、像合致プリ
ズムを介して左半側の対物光学系と左半側の対物光学系
とを組込み、それら左右の対物光学系の各第２対物レン
ズの下方に、凹レンズを、それの光軸が前記第２対物レ
ンズの光軸に対し前後方向に変位するよう、前記第２対
物レンズに対し前後に変位自在に組込んでなるを提起す
るものである。

次に実施例を図面に従い詳述する。なお、図面符号は同
効の構成部材については従前手段のものと同一の符号を
付して用いるものとする。

第７図は本発明を実施せる二視野顕微鏡の要部゛の正面
図で、顕微鏡光学系りは省略してあり、また左右の対物
光学系Ａ−Ｈのうちの左半側の対物光学系Ａの第２対物
レンズａ−２およびそれの下方に組込んだ凹レンズ５部
分だけを破断している同図において、６は顕微鏡のボデ
ィの主体部でそれの上面側には、図面では省略している
が、第１図および第６図に示している従前手段と同様に
接眼レンズ１１および対物レンズ１０よりなる顕微鏡光
学系りを組込んだ鏡筒が組付けられる。

また、内部には、図面では明示していないが、顕微鏡光
学系りの対物レンズ１０から出射される光を左右に分け
る像合致プリズムＰおよび左半側の対物光学系Ａならび
に左半側の対物光学系Ｂが組込まれている。

そして、その左半側および左半側の各対物光学系Ａ・Ｂ
の第３ミラーｍ３ｍｍ３と第２対物レンズａ−２・ｂ−
２は前記ボディの主体部６に左右に可動のフレーム３・
３”に支持されていて、そのフレーム３・３゛を調節手
段（図示省略）により左右に摺動調整することで、各対
物光学系Ａ−Ｂの第２対物レンズａ−２・ｂ−２から出
射される光軸ｘ−２・ｘ−２が顕微鏡のボディの左右の
中心に対し離Φ接するようにしである。

そしてまた、その左右に可動のフレーム３拳３゜には、
前述の各第２対物レンズａ−２・ｂ−２の下方位置に１
色消を兼ねた凹レンズ５・５がそれぞれ組込まれ、その
凹レンズ５−５は、同第７図において破断している左半
側の第２対物光学系Ａにあるよう、フレーム３・３°に
対し左右方向に自在に摺動するよう支持される外側レン
ズフレーム５０と、そのレンズフレーム５０に前後方向
に自在に摺動するよう支持される内側レンズフレーム５
１とを介してフレーム３・３°に組付は支持され、かつ
、外側レンズフレーム５０に連繋する調節ねじ５２−５
２の操作で第２対物レンズａ−２・ｂ−２に対し自在に
左右に動き、また、内側レンズフレーム５１に連繋する
調節ねじ５３の操作で第２対物レンズａ−２・ｂ−２に
対し前後に自在に動くようにしである。５４は調節ねじ
５３が。

３１１節ねじ５２の作動で左右方向に動くようになるの
をガイドする窓孔である。

なお、第２対物レンズａ−２・ｂ−２と第３ミラーｍ３
・ｍ３を支持するフレーム３・３゛は、顕微鏡のボディ
に固定して設ける場合がある。

また、第２対物レンズａ−２’ｅｂ−２に対し水平な方
向に沿い動くようそれらの下面側にそれぞれ組込む凹レ
ンズ５・５は、左右方向の変位調節だけが自在に行なわ
れるようにする場合、また１、前後方向の変位調節だけ
が行なわれるようにする場合があり、さらに、水平な方
向に沿い全方向に自在に変位調節が行なわれるようにす
る場合がある。

次にこのように構成せる実施例装置の作用について説明
する。

第８図および第９図は原理の説明図で、ｌｌｌ微光光学
系と左半側の対物光学系Ａとを簡略化して示している。

しかして、第８図は対物光学系Ａの第２対物レンズの光
軸Ｘとそれの下面に設けられた凹レンズ５の光軸Ｘ（中
心線）とは正しく揃った状態にあり、従って、ステージ
Ｓに置かれた標本のＰ点の凹レンズ５による虚像Ｐ′と
、その虚像Ｐ″を見る第２対物レンズの実像Ｐ′点とが
、光軸Ｘ上に揃い標本のＰ点が視野中心に位置している
。

第９図は、上述の状態から凹レンズ５を第２対物レンズ
ａ−２に対し、外側（Ｓ微光のボディの左右の中心線に
対して左右方向の外側）にｄの距離だけ動かした状態を
示している。この状態では凹レンズ５により虚像Ｐ−Ｐ
ｌ′が出来、それの実像Ｐ′・Ｐｌ′が第２対物レンズ
ａ−２により出来ることになる。このとき、視野中心に
ある実像の２１１点は、凹レンズ５の光軸Ｘから内側に
距離ｄだけ離れた虚像の２１２点であり、標本について
見れば、光軸Ｘ上の点ではなく、光軸Ｘから内側に♂だ
けずれたＰｉの点である。

このことは、凹レンズ５を外側にずらしたことで、標本
の光軸Ｘよりも内側（顕微鏡のボディの左右の中心線の
側）に寄る点が、視野中心に移動してくることであり、
標本に対し、光軸Ｘを内側に寄せたことになる。

そして、この凹レンズ５の変位による光軸Ｘの移動は、
凹レンズ５の変位方向と逆の方向になるので、第１０図
に示している如く、組込んだ凹レンズ５を、顕微鏡のボ
ディの左右の中心線Ｗに対し、フレーム３・３゛オよび
レンズフレームの干渉による制約のない、外側に動かし
ていくことで、光軸Ｘが同第１Ｏ図で鎖線に示している
如くその中心線Ｗの側（内側）に寄せられたことになる
。

また、このことから、組込んだ凹レンズ５を前後方向に
動かすようにすれば、標本に対して光軸Ｘが前後方向に
動くことになるので、標本の前後方向の各部を順次視野
中心に位置させていけるようになる。

以上説明したように本発明による二視野顕微鏡（比較顕
微鏡）は、顕微鏡光学系の光軸上に、像合致プリズムを
介して左半側の対物光学系と右半側の対物光学系とを組
込み、それら左右の対物光学系の各第２対物レンズの下
方に、凹レンズを、それの光軸が前記第２対物レンズの
光軸に対し左右方向に変位するよう、前記第２対物レン
ズに対し左右方向の変位自在に組込んで構成しであるの
だから、見え味を悪くする偏角プリズムなどを用イルこ
となく、また、フレームやレンズフレームなどの制約な
しに光軸を中心側に寄せ得るようになる。また、第２の
発明にょる二視野顕微鏡においては、顕微鏡光学系の光
軸上に、像合成プリズムを介して左半側の対物光学系と
左半側の対物光学系とを組込み、それら左右の対物光学
系の各第２対物レンズの下方に、凹レンズを、それの光
軸が前記第２対物レンズの光軸に対し前後方向に変位す
るよう、前記第２対物レンズに対し前後に変位自在に組
込んで構成しであるのだから、ミラーなどの構造を面倒
にする手段を用いることなく、光軸を前後に変位させて
、標本の前後方向の各部を順次視野中心に位置させ得る
ようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従前の二視野顕微鏡の光学系の説明図、第２図
、第３図、第４図、第５図は同上の作用の説明図、第６
図は同上の先行技術の説明図、第７図は本発明を実施せ
る二視野顕微鏡の要部の一部破断した正面図、第８図、
第９図、第１θ図は同上の作用の説明図である。 図面符号の説明 Ａ・Ｂ・・・対物光学系　　　Ｌ・・・顕微鏡光学系Ｐ
・・・像合成プリズム　　　Ｓ・・・ステージａ−１＊
ｂ−１・・・第１対物レンズ ａ−２＊ｂ−２・・・第２対物レンズ Ｍ１・・・第１ミラー　　　　Ｍ２・・・第２ミラーｍ
１・・・第１ミラー　　　　ｍ２・・・第２ミラーｍ３
・・・第３ミラー　　　　ｄ＠♂・・・距離文・・・偏
角プリズム　　　　Ｘ＠ｘ・・・光軸１０・・・対物レ
ンズ　　　　１１・・・接眼レンズ２０・・・ＩＣのリ
ード　　　２１・・・ＩＣの本体３番３゛・・・フレー
ム　　４・４゛・・・ミラーポー、クス４０・・・枢軸
　　　　　　　４１・・・調節ねじ５・・・凹レンズ　
　　　　　６・・・ボディの主体部５０・・・外側レン
ズフレーム ５１・・・内側レンズフレーム ５２・５３・・・調節ねじ　　　　５４・・・窓孔Ｐ′
・Ｐｌ′・・・虚像　　　　　Ｐ−Ｐｌ”・・・実像第
１図 第　２　図 Ｉｃ 第７図 手続補正書（自発） 昭和６２年６月１０日 昭和６２年　特　許　願　第１１５１９９号２、発明の
名称　　　二視舒顕微鏡 ３、補正をする者 事件との関係　出願人 （２）図面の第１図・第６図・第８図・第９図−第１０
図を別添図面の通りに補正する。 （全文補正）明　　　細　　　書 １、発明の名称 比較顕微鏡 ２、特許請求の範囲 （１）、顕微鏡光学系の光軸上に、像合致プリズムを介
して左半側の対物光学系と左半側の対物光学系とを組込
み、それら左右の対物光学系の各第２対物レンズの下方
に、凹レンズを、それの光軸が前記第２対物レンズの光
軸に対し左右方向に変位するよう、前記第２対物レンズ
に対し左右方向の変位自在に組込んでなる比較顕微鏡。 ■、Ｗ４微鏡光学系の光軸−ヒに、像合致プリズムを介
して左半側の対物光学系と左半側の対物光学系とを組込
み、それら左右の対物光学系の各第２対物レンズの下方
に、凹レンズを、それの光軸が前記第２対物レンズの光
軸に対し前後方向に変位するよう、前記第２対物レンズ
に対し前後に変位自在に組込んでなる比較顕微鏡。 ３、発明の詳細な説明 本発明は、主として、ＩＣの周縁に並列して設けられる
多数のリードおよびそれらの結合状態の目視確認のため
に用いる比較顕微鏡についての改良に関する。 一つの視野内に２個所の像の左右半分づつを結像させて
、位置合わせし、目視による比較検査等が簡単に行なえ
るようにした比較顕微鏡が開発されている。 この比較顕微鏡は、第１図に示しているように、顕微鏡
光学系りの対物レンズｉｏの焦点を、像合致プリズムＰ
の頂点位置に結ばせて、左半側の対物光学系Ａと左半側
の対物光学系Ｂとに分け、それら対物光学系Ａ−Ｂの第
１対物レンズａ−１・ｂ−１により平行光線に戻して第
１ミラーｍｌ・第２ミラーｍ２・第３ミラーｍ３により
それぞれ第２対物レンズａ−２・ｂ−２に導かれるよう
にしておき、これにより、ステージＳ上に被検査物とし
て例えば第２図に示しているＩＣを置いたとき、それの
映像が、顕微鏡光学系りの接眼レンズの視野内または、
顕微鏡光学系りに接続装着したモニターテレビの画面内
に、第３図に示している如く入ってくるようにしている
。 そして、このとき、ＩＣの左半側の像と左半側の像との
検査すべき個所であるリード２０・・・およびそれの本
体２１に対する結合部分が、接眼レンズ１，１の視野内
またはモニターテレビの画面内に正しく入ってくるよう
にするため、第３ミラーｍ３・ｍ３と第２対物レンズａ
−２・ｂ−２とを、第１ＵｇＪで鎖線で示している如く
、それぞれ一つのフレーム３・３゛に組込み、それらフ
レーム３・３゜を顕微鏡のボディに、それぞれのフレー
ム３・３゜が、第２ミラーｍ２と第３ミラーｍ３との間
の光軸ｘ−１に沿い左右方向にスライドするように組付
けて、これらフレーム３・３゛をそれらにそれぞれ組付
ける調節ねじなどの作動機構の操作で第２ミラーｍ２と
第３ミラーｍ３との間の平行光線に沿いスライドさせる
ことにより、第２対物レンズａ−２・ｂ−２から下方に
向かう垂直な光軸Ｘ−２・ｘ−２を左右に動かすことで
、第２対物レンズａ−２・ｂ−２の焦点位置を左右に動
かす調整が行なえるようにしている。 ところで、このように構成されている比較ａｌ微微光は
、左右のフレーム３・３°を互いに近寄せて、左半側の
対物光学系Ａおよび左半側の対物光学系Ｂの各第２対物
レンズａ−２＊ｂ−２から出射される光軸ｘ−２・ｘ−
２を近接させていくときに、それらフレーム３・３°を
近づける方向にスライドさせる作動が、フレーム３とフ
レーム３°との互いの衝突によりストロークエンドとな
ることで、左半側の対物光学系Ａの光軸ｘ−２と左半側
の対物光学系Ｂの光軸ｘ−２とを近づける距離に限度が
ある。これは、第２対物レンズａ−２・ｂ−２の直径が
小さいものでも各１５ミリ程度あり、それらを保持する
レンズフレームの厚みが少なくとも数ミリあり、かつ、
そのレンズフレームを組付は支持さす前述のフレーム３
・３゛の厚みが数ミリあることから、第２対物レンズａ
−２と第２対物レンズｂ−２とを最も近づけたとしても
、それらの各光軸ｘ−２・ｘ−２が第２対物レンズａ　
−２・ｂ−２の各直径の２分の１の２倍の距離に、レン
スフレームの厚みに対する距離の２倍とフレーム３の厚
みとフレーム３°の厚みにそれぞれ対応する距離を加え
た少なくとも約２５ミリ程度の中心距離をおいて並列す
るようになることによる。 そして、このことから、前記限度となる距離を２５ミリ
とすると、被検査物であるＩＣの巾が２５ミリより小さ
いときには、それの像が視野からなくなって、検鏡が不
能になり、小型化が進んできているＩＣの検査に適応さ
せ得ない問題が生じてきている。 また、もう一つの問題として、比較顕微鏡によるＩＣの
検査には、ＩＣの本体２１の左右の両側に前後方向に並
列して設けられている多数のり一ド２０・・・の像が、
第４図および第５図に示している如く、その並列方向の
一方の端のリード２０から順次、視野またはモニターテ
レビの画面の中央に位置してくるようになって、ＩＣの
左右のり一ド２０・・・およびそれの本体２１に対する
結合部分が、並列順の端のものから順次検査していける
ようになることの要望があるが、この要望に応えられな
い問題がある。 これは、上記の要望が、前述の第１図における第２対物
レンズａ−２・ｂ−２の下方の垂直な光軸ｘ−２・ｘ−
２を、顕微鏡のボディに対し前後方向に変位させていけ
るようにすることであり、垂直な光軸ｘ−２を、第２ミ
ラーｍ２と第３ミラー　ｍ　３との間の光軸ｘ−１に対
し直交する方向に動かすことであるから、実際には無理
なことによる。 このことから、前述の第１図に示している如く構成され
る比較顕微鏡の左右の対物光学系Ａ・Ｂの各第２対物レ
ンズａ−２・ｂ−２のそれぞれの下方に、第６図に示し
ている如く、それら第２対物レンズａ−２拳ｂ−２から
出射される光軸Ｘ　−２・ｘ−２を、比較顕微鏡のボデ
ィの左右方向の中心部に向けて傾斜させる偏角プリズム
見をそれぞれ組込んで、顕微鏡のボディに左右のスライ
ド自在に設けるフレーム３・３°に組付け、さらに、そ
れらの下方に、それら偏角プリズム見・文を経た前述の
光軸ｘ−２・ｘ−２を水平な方向に反射させる第１ミラ
ーＭ１とその反射した水平な光軸ｘ−３・ｘ−３を垂直
な方向に反射させる第２ミラーＭ２とを組込んだミラー
ボックス４・４を、それに組込んだ前記第１ミラーＭ１
と第２ミラーＭ２とが顕微鏡のボディの前後方向に並列
対向する状態として組付け（第６図では光軸ｘ−２、Ｘ
−３の反射方向の説明のため、第１ミラーＭ１と第２ミ
ラーＭ２とが左右方向に並列するように示している）、
かつ、それの第２ミラーＭ２を、光軸ｘ−２を横切る左
右方向の枢軸４０により前後方向に回動するようミラー
ボックス４・４゛に組付は支架しておき、その第２ミラ
ーＭ２を調節ねじ４１の操作で傾斜角度を変更さすよう
に回動させることで、その第２ミラーＭ２を反射した光
軸Ｘ−４・ｘ−４が前後方向に動くようにする手段の試
みがある。しかし、この手段は、偏角プリズム文を用い
ることで見え味が悪くなることと、二枚のミラーＭ１・
Ｍ２を要することで、構造が面倒になり、価格な高くな
る難点がある。 本発明は、これらの問題を解消するためになされたもの
であって、見え味を良好にして、前述の如く標本の左半
側を映す対物光学系Ａおよび左半側を映す対物光学系の
垂直な光軸ｘ−２・ｘ−２を左右方向において互いに近
づけるよう変位調節したときの、光軸ｘ−２と光軸ｘ−
２との間の距離を極〈狭くして、極く小型のＩＣの検査
に対応させ得るようにする新たな手段を提供することを
第１の目的とし、さらに、ミラーを用いることなく、Ｉ
Ｃの本体２１の左右の側縁に前後方向に並列して設けら
れた各リード２０・・・およびそれの結合部位の映像が
、前後方向の一方の端のリード２０から順次視野または
モニターテレビの画面に映し出されて確認していけるよ
うにする新たな手段を提供することを第２の目的とする
。 そして、本発明においては、上述の第１の目的を達成す
るための手段として、ＳａＷ鏡光常光学系軸とに、像合
致プリズムを介して左半側の対物光学系と左半側の対物
光学系とを組込み、それら左右の対物光学系の各第２対
物レンズの下方に、凹レンズを、それの光軸が前記第２
対物レンズの光軸に対し左右方向に変位するよう、前記
第２対物レンズに対し左右方向の変位自在に組込んでな
る比較顕微鏡を提起し、また第２の目的を達成するため
の手段として、顕微鏡光学系の光軸上に、像合致プリズ
ムを介して左半側の対物光学系と左半側の対物光学系と
を組込み、それら左右の対物光学系の各第２対物レンズ
の下方に、凹レンズを、それの光軸が前記第２対物レン
ズの光軸に対し前後方向に変位するよう、前記第２対物
レンズに対し前後に変位自在に組込んでなるを提起する
ものである。 次に実施例を図面に従い詳述する。なお、図面符号は同
効の構成部材については従前手段のものと同一の符号を
付して用いるものとする。 第７図は本発明を実施せる比較顕微鏡の要部の正面図で
、顕微鏡光学系りは省略してあり、また左右の対物光学
系Ａ−Ｈのうちの左半側の対物光学系Ａの第２対物レン
ズａ−２およびそれの下方に組込んだ凹レンズ５部分だ
けを破断している。 同図において、６は顕微鏡のボディの主体部で、それの
上面側には１図面では省略しているが、第１図および第
６図に示している従前手段と同様に接眼レンズ１１およ
び対物レンズ１０よりなる顕微鏡光学系りを組込んだ鏡
筒が組付けられる。 また、内部には、図面では明示していないが、顕微鏡光
学系りの対物レンズ１０から出射される光を左右に分け
る像合致プリズムＰおよび左半側の対物光学系Ａならび
に左半側の対物光学系Ｂが組込まれている。 そして、その左半側および左半側の各対物光学系Ａ＠Ｈ
の第３ミラーｍ３・ｍ３と第２対物レンズａ−２・ｂ−
２は前記ボディの主体部６に左右に可動のフレーム３・
３゛に支持されていて、そのフレーム３会３°を調節手
段（図示省略）により左右に摺動調整することで、各対
物光学系Ａ−Ｈの第２対物レンズａ−２・ｂ−２から出
射される光軸ｘ−２・ｘ−２が顕微鏡のボディの左右の
中心に対し離・接するようにしである。 そしてまた、その左右に可動のフレーム３・３゛には、
前述の各第２対物レンズａ−２・ｂ−２（７）下方位置
に、色消を兼ねた凹レンズ５・５がそれぞれ組込まれ、
その凹レンズ５・５は、同第７図において破断している
左半側の第２対物光学系Ａにあるよう、フレーム３・３
゛に対し左右方向に自在に摺動するよう支持される外側
レンズフレーム５０と、そのレンズフレーム５０に前後
方向に自在に摺動するよう支持される内側レンズフレー
ム５１とを介してフレーム３・３°に組付は支持され、
かつ、外側レンズフレーム５０に連繋する調節ねじ５２
・５２の操作で第２対物レンズａ−２・ｂ−２に対し自
在に左右に動き、また、内側レンズフレーム５１に連繋
する調節ねじ５３の操作で第２対物レンズａ−２・ｂ−
２に対し前後に自在に動くようにしである。５４は調節
ねじ５３が、調節ねじ５２の作動で左右方向に動くよう
になるのをガイドする窓孔である。 なお、第２対物レンズａ−２・ｂ−２と第３ミラーｍ３
・ｍ３を支持するフレーム３・３°は、顕微鏡のボディ
に固定して設ける場合がある。 また、第２対物レンズａ−２・ｂ−２に対し水平な方向
に沿い動くようそれらの下面側にそれぞれ組込む凹レン
ズ５・５は、左右方向の変位調節だけが自在に行なわれ
るようにする場合、また、前後方向の変位調節だけが行
なわれるようにする場合があり、さらに、水平な方向に
沿い全方向に自在に変位調節が行なわれるようにする場
合がある。 次にこのように構成せる実施例装置の作用について説明
する。 第８図および第９図は原理の説明図で、顕微鏡光学系り
と左半側の対物光学系Ａとを簡略化して示１７ている。 しかして、第８ｖ！：ｉは対物光学系Ａの第２対物レン
ズの光軸Ｘとそれの下面に設けられた凹レンズ５の光軸
Ｘ（中心線）とは正しく揃った状態にあり、従って、ス
テージＳに置かれた標本のＰ点の凹レンズ５による虚像
Ｐ′と、その虚像Ｐ′を見る第２対物レンズの実像Ｐ”
点とが、光軸Ｘ上に揃い標本のＰ点が視野中心に位置し
ている。 第９図は、上述の状態から凹レンズ５を第２対物レンズ
ａ−２に対し、外側（顕微鏡のボディの左右の中心線に
対して左右方向の外側）にｄの距離だけ動かした状態を
示している。この状態では、凹レンズ５により虚像Ｐ′
・ＰＩ’（ＰＩ’は光軸Ｘ上にある）が出来、それの実
像Ｐ”拳Ｐ１″が第２対物レンズａ−２により出来るこ
とになる。このとき、視野中心にある実像のＰ１″点は
、凹レンズ５の光軸Ｘから内側に距離ｄだけ離れた虚像
のＰＩ’点であり、標本について見れば、光軸Ｘ上の点
ではなく、光軸Ｘから内側にｄだけずれたＰｔの点であ
る。 このことは、凹レンズ５を外側にずらしたことで、標本
の光軸Ｘよりも内側（ＷＡ微微光ボディの左右の中心線
の側）に寄る点が、視野中心に移動してくることであり
、標本に対し、光軸Ｘを内側に寄せたことになる。 そして、この凹レンズ５の変位による光軸Ｘの移動は、
凹レンズ５の変位方向と逆の方向になるので、第１Ｏ図
に示している如く、組込んだ凹レンズ５を、顕微鏡のボ
ディの左右の中心Ｂｗに対し、フレーム３・３９および
レンズフレームの干渉による制約のない、外側に動かし
ていくことで、光軸Ｘが同第１０図で鎖線に示している
如くその中心線Ｗの側（内側）に寄せられたことになる
。 また、このことから、組込んだ凹レンズ５を前後方向に
動かすようにすれば、標本に対して光軸Ｘが前後方向に
動くことになるので、標本の前後方向の各部を順次視野
中心に位置させていけるようになる。 以上説明したように本発明による比較顕微鏡は顕微鏡光
学系の光軸上に、像合成プリズムを介して左半側の対物
光学系と右手側の対物光学系とを組込み、それら左右の
対物光学系の各第２対物レンズの下方に、凹レンズを、
それの光軸が前記第２対物レンズの光軸に対し左右方向
に変位するよう、前記第２対物レンズに対し左右方向の
変位自在に組込んで構成しであるのだから、見え味を悪
くする偏角プリズムなどを用いることなく、また、フレ
ームやレンズフレームなどの制約なしに光軸を中心側に
寄せ得るようになる。また、第２の発明による比較顕微
鏡においては、顕微鏡光学系の光軸上に、像合成プリズ
ムを介して左半側の対物光学系と右手側の対物光学系と
を組込み、それら左右の対物光学系の各第２対物レンズ
の下方に、凹レンズを、それの光軸が前記第２対物レン
ズの光軸に対し前後方向に変位するよう、前記第２対物
レンズに対し前後に変位自在に組込んで構成しであるの
だから、ミラーなどの構造を面倒にする手段を用いるこ
となく、光軸を前後に変位させて、標本の前後方向の各
部を順次視野中心に位置させ得るようになる。 ４、図面の簡単な説明 第１図は従前の比較顕微鏡の光学系の説明図、第２図、
第３図、第４図、第５図は同上の作用の説明図、第６図
は同上の先行技術の説明図、第７図は本発明を実施せる
比較顕微鏡の要部の一部破断した正面図、第８図、第９
図、第１０図は同上の作…の説明図である。 図面符号の説明 Ａ・Ｂ・・・対物光学系　　　Ｌ・・・顕微鏡光学系Ｐ
・・・像合成プリズム　　　Ｓ・・・ステージａ−１ｍ
ｂ−１・・・第１対物レンズ ａ−２・ｂ−２・・・第２対物レンズ Ｍｌ・・・第１ミラー　　　　Ｍ２・・・ｌＪ２ミ５−
ｍｌ・・・第１ミラー　　　　ｍ２・・・＄２ミ５−ｍ
３・・・第３ミラー　　　　ｄ−ｄ’・・・距離文・・
・偏角プリズム　　　　Ｘ＊ｘ・・・光軸１０・・・対
物レンズ　　　　１１・・・接眼レンズ２０・・・ＩＣ
のリード　　　２１・・・ＩＣの本体３・３１・・・フ
レーム　　４・４°・・・ミラーボックス４０・・・枢
軸　　　　　　　４１・・・調節ねじ５・・・凹レンズ
　　　　　　６・・・ボディの主体部５０・・・外側レ
ンズフレーム ５１・・・内側レンズフレーム

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）、顕微鏡光学系の光軸上に、像合致プリズムを介
   して左半側の対物光学系と右半側の対物光学系とを組込
   み、それら左右の対物光学系の各第２対物レンズの下方
   に、凹レンズを、それの光軸が前記第２対物レンズの光
   軸に対し左右方向に変位するよう、前記第２対物レンズ
   に対し左右方向の変位自在に組込んでなる二視野顕微鏡
   。
2. （２）、顕微鏡光学系の光軸上に、像合致プリズムを介
   して左半側の対物光学系と右半側の対物光学系とを組込
   み、それら左右の対物光学系の各第２対物レンズの下方
   に、凹レンズを、それの光軸が前記第２対物レンズの光
   軸に対し前後方向に変位するよう、前記第２対物レンズ
   に対し前後に変位自在に組込んでなる二視野顕微鏡。