JPH08130238A - ウエハ収納容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 製造装置の小型化および省スペース化に対応
できるウエハ収納容器を提供すること。 【構成】 本発明のウエハ収納容器１は、間に複数枚の
ウエハ１０を略平行に配置するため所定の間隔を開けて
設けられる一対の側板２と、長手方向に沿って、複数枚
のウエハ１０における各々の周縁部分を差し入れるため
の複数の溝３ａを有し、一対の側板２の間隔の変化にと
もない伸縮自在に設けられ、かつ一対の側板２の間をつ
なぐ状態で側板２に対して略垂直に設けられており、そ
の伸縮に応じて複数の溝３ａのピッチが可変な少なくと
も３本の伸縮部材であるベローズ３とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、複数枚のウエハを略平
行に所定のピッチで収納するためのウエハ収納容器に関
する。

【０００２】

【従来の技術】複数枚のウエハを収納するためのウエハ
収納容器は例えば耐薬品性の優れたフッ素樹脂にて構成
されており、一対の側板の間に設けられた所定のピッチ
の溝にウエハの周縁部分を差し入れることによって各ウ
エハを所定の間隔で略平行に収納するものである。ウエ
ハ収納容器としては、例えば搬送用のウエハキャリアや
洗浄装置で使用される洗浄用バスケットがあり、いずれ
のウエハ収納容器でもウエハの周縁部分を差し入れるた
めの溝のピッチが固定となっている。また、これに応じ
て全体のサイズもほぼ定まるようになっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなウエハ収納容器においては、溝のピッチが固定であ
るためその全体サイズも固定的であり、このウエハ収納
容器を使用する製造装置の小型化を図る上での問題とな
ってしまう。すなわち、ウエハ収納容器の大きさが定ま
ることで、製造装置においてそのウエハ収納容器を載置
するための載置部分の大きさが決まってしまい、このた
め、製造装置の全体サイズを小さくすることが非常に困
難となる。特に、洗浄装置の場合には、溶液使用量や廃
液量の低減という観点から浴槽の小型化が望まれるが、
大きさの固定的なウエハ収納容器を用いることで浴槽の
大きさは必然的に決まってしまい、小型化を図るのが困
難となっている。このように浴槽の小型化が困難となる
と溶液や廃液による環境への悪影響を無視できない状況
となる。また、ウエハ収納容器を保管しておくスペース
を確保するにも、全体サイズが定まってしまうとこれに
合わせた大きさが必要となり、省スペース化を図る上で
の問題となっている。

【０００４】よって、本発明は製造装置の小型化および
省スペース化に対応できるウエハ収納容器を提供するこ
とを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するために成されたウエハ収納容器である。すなわ
ち、本発明のウエハ収納容器は、複数枚のウエハを略平
行に所定のピッチで収納するためのものであり、間に複
数枚のウエハを配置するため所定の間隔を開けて設けら
れる一対の側板と、長手方向に沿って、複数枚のウエハ
における各々の周縁部分を差し入れるための複数の溝を
有し、一対の側板の間隔の変化にともない伸縮自在に設
けられ、かつ一対の側板の間をつなぐ状態で側板に対し
て略垂直に設けられており、その伸縮に応じて複数の溝
のピッチが可変な少なくとも３本の伸縮部材とを備える
構成となっている。

【０００６】

【作用】本発明では、一対の側板が少なくとも３本の伸
縮部材によってつなっがているため、一対の側板の間隔
を変化させることにより伸縮部材の長さが伸び縮みする
状態となる。この伸縮部材の伸び縮みに応じて、伸縮部
材の長手方向に沿って設けられた複数の溝のピッチが可
変するようになる。すなわち、複数の溝のピッチの可変
によって、これらの溝へ周縁部分が各々差し入れられる
複数枚のウエハの収納ピッチを変更することができるよ
うになる。また、ウエハの収納枚数を減らすことなくウ
エハ収納容器の全体サイズを小さくすることができるよ
うになる。

【０００７】

【実施例】以下に、本発明のウエハ収納容器における実
施例を図に基づいて説明する。図１は本発明におけるウ
エハ収納容器の一実施例を説明する概略斜視図である。
すなわち、本実施例におけるウエハ収納容器１は、主と
して所定の間隔を開けて設けられる一対の側板２と、こ
の一対の側板２をつなぐ状態で側板２に対して略垂直に
伸縮自在に設けられる少なくとも３本の伸縮部材である
ベローズ３（図１では３本の場合を示している）とを備
えた構成となっている。なお、側板２やベローズ３は、
耐薬品性の優れたフッ素樹脂等を用いて形成するのが望
ましい。また、ベローズ３は必要に応じて４本以上あっ
てもかまわない。

【０００８】例えば、このベローズ３の芯として伸縮自
在の軸４が設けられており、一対の側板２の間隔を保つ
ための強度を確保したり、ベローズ３の変形を防止する
役目を果たしている。また、各ベローズ３にはその長手
方向に沿って複数の溝３ａが設けられている。この溝３
ａは、ウエハ１０の周縁部分を差し入れるためのもので
あり、例えばベローズ３が３本の場合には、各ベローズ
３に設けられる溝３ａにウエハ１０の周縁部分を差し入
れることでウエハ１０を側板２と略平行な方向に３点
（ウエハ１０の下部および両側部の３点）で支持するこ
とができるようになっている。

【０００９】ウエハ収納容器１に例えば２５枚のウエハ
１０を収納する場合には、ベローズ３の長手方向に沿っ
て２５個の溝３ａが設けられる。このようなベローズ３
においては、一対の側板２の間隔を変えることでベロー
ズ３自体が伸縮し、この伸縮に応じて複数の溝３ａのピ
ッチも変わることになる。つまり、一対の側板２の間隔
を変えることでウエハ１０の収納ピッチも変えることが
可能となる。

【００１０】図２は本実施例におけるウエハ収納容器１
の主要部を説明する図で、（ａ）は断面図、（ｂ）は
（ａ）のＡ部拡大断面図である。図２（ａ）に示すよう
に、本実施例におけるウエハ収納容器１では、一対の側
板２が例えばシリンダー状の軸４によって連結されてお
り、この軸４の伸縮に応じて一対の側板２の間隔を変え
られるようになっている。さらに、この軸４を芯として
その周りに設けられたベローズ３は、この軸４の伸縮す
なわち一対の側板２の間隔に応じて伸び縮みし、これに
ともない溝３ａのピッチも変わるようになっている。

【００１１】図２（ｂ）に示すように、ベローズ３の断
面視は山と谷とが連続するような構造となっており、そ
の谷側に設けられている凹状の溝３ａにウエハ１０の周
縁部分が差し入れられるようになっている。一対の側板
２の間に設けられる少なくとも３本のベローズ３は全て
同様な構造となっており、各々にウエハ１０の周縁部分
が差し入れられてウエハ１０を支持できるようになって
いる。

【００１２】図３はベローズ３の伸縮を説明する図であ
り、（ａ）は伸び状態、（ｂ）は縮み状態を示してい
る。例えば、図３（ａ）に示すような伸び状態では、ベ
ローズ３の全長がＴ、溝３ａのピッチがｔとなってお
り、各々の溝３ａにウエハ１０を差し入れた際のウエハ
１０の収納ピッチが溝３ａのピッチと等しいｔとなる。
一方、図３（ｂ）に示すような縮み状態では、ベローズ
３の全長がＴより小さいＴ’、溝３ａのピッチがｔ’と
なり、各々の溝３ａにウエハ１０を差し入れた際のウエ
ハ１０の収納ピッチが溝３ａのピッチと等しいｔ’とな
る。

【００１３】つまり、ベローズ３の全長をＴからＴ’に
縮めた場合、その縮み率に応じて溝３ａのピッチもｔか
らｔ’に縮むことになる。例えば、Ｔ’＝Ｔ／２にした
場合には、溝３ａのピッチもｔ’＝ｔ／２となり、ウエ
ハ１０の収納ピッチも１／２となる。反対に、ベローズ
３を伸ばす場合には、その伸び率に応じて溝３ａのピッ
チも伸びることになり、ウエハ１０の収納ピッチも大き
くなる。実際には、図１および図２に示す一対の側板２
の間隔を変更することによりベローズ３を伸縮させ、ウ
エハ１０の収納ピッチを変えることになる。

【００１４】図４は固定機構を説明する図（その１）、
図５は固定機構を説明する図（その２）である。すなわ
ち、図４（ａ）〜（ｄ）および図５に示す各固定機構５
ａ〜５ｄ、５ｅは、先に説明したように一対の側板２の
間隔を変更してベローズ３を伸縮させウエハ１０の収納
ピッチを変更した状態で、これを固定するためのもので
ある。図４（ａ）に示す固定機構５ａは、一対の側板２
の外側をＬ字型から成る２つの止め部材５１にて支え、
これらをねじを介して固定板５２を用いて固定する構造
となっている。この固定機構５ａでは、２つの止め部材
５１の間隔が変更可能となっており、一対の側板２の間
隔が変わっても対応できるようになっている。つまり、
止め部材５１または固定板５２の一方に長穴が設けられ
ており（図４（ａ）では止め部材５１側）、ねじによっ
てその固定位置を変えられるようになっている。

【００１５】また、図４（ｂ）に示す固定機構５ｂは棒
状の止め部材５３から成り、一対の側板２の内側に止め
てその間隔を決めるようになっている。この固定機構５
ｂは、図中一点鎖線で示す位置にて各側板２の外側から
内側に向けてねじ（図示せず）を介して側板２に固定さ
れる。この固定機構５ｂでは構造が簡単であり、一対の
側板２を所定の間隔に設定して固定的に使用する場合に
有効である。

【００１６】また、図４（ｃ）に示す固定機構５ｃはシ
リンダー型から成るものであり、一対の側板２の内側に
ねじ（図示せず）を介して図中一点鎖線で示す位置でそ
の端部が側板２に固定される。この固定機構５ｃでは、
空気入出孔５６ａまたは５６ｂより空気を出し入れする
ことにより一対の側板２の間隔を変更することができ
る。また、その間隔を固定する場合にはロッドをねじ５
４にて固定したり、あるいはねじ５４を使用しないで空
気圧だけで中間固定するようにする。この固定機構５ｃ
では、一対の側板２の間隔を空気圧を利用して容易に変
更することができる点に特徴がある。

【００１７】また、図４（ｄ）に示す固定機構５ｄはピ
ッチゲージ５５を備えているものである。すなわち、こ
の固定機構５ｄを一対の側板２の内側に図中一点鎖線で
示す位置でねじ（図示せず）により固定し、これにとも
ないピッチゲージ５５の各山の部分をベローズ３の各溝
３ａに合わせるようにする。これによって、一対の側板
２の間隔および溝３ａのピッチを正確に設定固定するこ
とができるようになる。

【００１８】また、図５に示す固定機構５ｅはねじ式に
よりその長さを可変できる構成となっている。すなわ
ち、この固定機構５ｅは２つの止め部材５７の間を同軸
上に設けられた右ねじ５８および左ねじ５９にて連結し
た構造となっている。このような固定機構５ｅを一対の
側板２の内側に図中一点鎖線で示す位置でねじ（図示せ
ず）により固定した状態で回転部６０を回転させること
により、右ねじ５８および左ねじ５９の各々の作用によ
って２つの止め部材５７の間隔が変化し、所望の位置で
固定できるようになる。

【００１９】なお、固定機構はこれら図４（ａ）〜
（ｄ）および図５に示す固定機構５ａ〜５ｄ、５ｅに限
定されず、一対の側板２の間隔を固定できるものであれ
ば他の構造であってもよい。また、これらのような固定
機構を設ける代わりに、図２（ａ）に示す左右の軸４の
接触部分にねじ山を形成しておき、一方の軸４を回転さ
せることで軸４の長さを調整できるような機構を設けて
おけば、一対の側板２の間隔の調整および固定の両方を
容易に行うことができるようになる。

【００２０】次に、図６および図７に基づいて本実施例
におけるウエハ収納容器１の適応例を説明する。図６
は、本実施例におけるウエハ収納容器１を洗浄装置のウ
エハ移載プロセスに適応した例を示す図である。先ず、
図６（ａ）に示すように、本実施例におけるウエハ収納
容器１のベローズ３を縮めておき、各々の溝３ａにウエ
ハ１０を収納しておく。次いで、図６（ｂ）に示すよう
に、ウエハ収納容器１の下側から突き上げ装置１１によ
ってウエハ１０を上方に突き上げる処理を行う。この突
き上げ装置１１においては、ウエハ収納容器１に収納さ
れているウエハ１０のピッチに対応して小型のものを使
用することができる。

【００２１】次に、図６（ｃ）に示すように、突き上げ
たウエハ１０を移載ハンドリング装置１２により取り上
げて、所定の位置へ移送する。この移載ハンドリング装
置１２においても、突き上げ装置１１（図６（ｂ）参
照）と同様に、収納されるウエハ１０のピッチに対応し
た小型のものを使用することができる。次いで、この移
載ハンドリング装置１２にて取り上げたウエハ１０を図
６（ｄ）に示すような洗浄用バスケット１３へ移送す
る。そして、ウエハ１０の入った洗浄用バスケット１３
を洗浄装置の浴槽（図示せず）へ浸漬し、ウエハ１０に
対する所定の洗浄を行う。

【００２２】この洗浄用バスケット１３においてもウエ
ハ１０のピッチに対応した小型のものを使用できるとと
もに、洗浄装置の浴槽（図示せず）においても、この小
型の洗浄用バスケット１３に対応した小型の浴槽を使用
することが可能となる。つまり、本実施例におけるウエ
ハ収納容器１を使用することで、小型の突き上げ装置１
１、小型の移載ハンドリング装置１２および小型の浴槽
を使用することができ、移載プロセスに係わる全ての装
置を小さくすることが可能となる。また、これにともな
い洗浄溶液の使用量や廃液の量を低減することが可能と
なる。なお、ここでは洗浄装置への移載プロセスで本実
施例におけるウエハ収納容器１を適応した例を示した
が、他の製造装置に対する移載プロセスであっても同様
であり、これによって製造ライン全体の小型化を図るこ
とが可能となる。

【００２３】また、図７は、ウエハキャッチにおける対
応ピッチが異なる２つの移載ハンドリング装置間におい
て本実施例におけるウエハ収納容器１を適応する例を示
す図である。例えば、各種の製造装置で使用するウエハ
キャリアの対応ピッチが異なる場合において、これらの
製造装置間でウエハの移載を行う場合に、ピッチの異な
るウエハキャリアへの変更を行う必要がある。

【００２４】従来、ピッチの異なるウエハキャリアへの
変更を行うには、あるピッチのウエハキャリアからウエ
ハを一枚づつ取り出して、他のピッチのウエハキャリア
へ一枚づつ収納していかなければならず、非常に手間の
かかる作業が必要となる。そこで、本実施例におけるウ
エハ収納容器１を適応することで、この作業を一括して
容易に行うことが可能となる。図７に示す例では、本実
施例におけるウエハ収納容器１をこのような場合に適応
したものである。

【００２５】この例では、大きなピッチに対応する移載
ハンドリング装置１２ａから小さなピッチに対応する移
載ハンドリング装置１２ｂへウエハ１０を移し替える場
合に、本実施例におけるウエハ収納容器１を用いてい
る。先ず、大きなピッチの移載ハンドリング装置１２ａ
にて搬送してきたウエハ１０を本実施例におけるウエハ
収納容器１に収納する（図７（ａ）参照）。この際、ウ
エハ収納容器１におけるベローズ３を伸ばしておき、大
きなピッチに対応する移載ハンドリング装置１２ａにお
けるウエハ１０のピッチに合わせるようにしておく。こ
れによって、複数枚のウエハ１０を一括してウエハ収納
容器１に収納することができる。

【００２６】次に、ウエハ収納容器１にウエハ１０を収
納した状態でそのベローズ３を縮め、収納されている複
数枚のウエハ１０のピッチを一様に小さくする（図７
（ｂ）参照）。この場合、例えば図４（ｃ）に示すよう
なシリンダー型の固定機構５ｃを用い、空気圧によって
ベローズ３を縮めるようにすれば容易に行うことができ
る。ベローズ３を縮めた状態で次の位置へ移送し、ここ
でウエハ１０の小さなピッチに対応する移載ハンドリン
グ装置１２ｂを用いてウエハ１０を取り出す（図７
（ｃ）参照）。

【００２７】つまり、ベローズ３を縮める際には、この
移載ハンドリング装置１２ｂにおけるウエハ１０のピッ
チに対応させるように設定する。これによって、対応ピ
ッチの異なる移載ハンドリング装置１２ａ、１２ｂ間で
のウエハ１０の移し替えを本実施例におけるウエハ収納
容器１を用いて一括して行うことができるようになる。

【００２８】また、反対に小さなピッチに対応した移載
ハンドリング装置１２ｂから大きなピッチに対応した移
載ハンドリング装置１２ａへウエハ１０の移し替えを行
う場合には、この反対を行えばよい。本実施例における
ウエハ収納容器１ではベローズ３における溝３ａのピッ
チを連続可変することができるため、どのようなピッチ
に対応している移載ハンドリング装置であっても容易
に、しかも正確にその移し替えを行うことが可能とな
る。このように、ウエハ１０の収納状態でのピッチ変更
としては、移載ハンドリング装置間で行う場合以外に
も、各種の製造装置の内部で行ってもよい。

【００２９】また、他の適応例としては、ウエハ１０の
搬送時においては省スペースの観点からなるべくウエハ
１０の収納ピッチを小さくするようベローズ３を縮め全
体サイズを小さくして搬送した後、人手によってウエハ
１０を一枚づつ取り出す際にベローズ３を伸ばしてウエ
ハ１０のピッチを広げるようにする。通常、人手によっ
てウエハ１０を取り出す場合には真空チャックを用いて
ウエハ１０の裏面を吸着保持するようにするが、隣合う
ウエハ１０との間隔が狭いと真空チャックが挿入できな
かったり、誤って隣のウエハ１０の表面に真空チャック
が接触してしまう場合がある。

【００３０】そこで、搬送の際にはウエハ１０のピッチ
を小さくして全体サイズを小さくするようベローズ３を
縮めておき、人手によってウエハ１０を取り出す場合に
はその前にベローズ３を伸ばしてウエハ１０のピッチを
広げるようにする。これによって、搬送時の省スペース
化を図ることができるとともに、人手によるウエハ１０
の取り出しの際に真空チャックを的確に挿入するスペー
スを確保できるようになる。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明におけるウ
エハ収納容器によれば次のような効果がある。すなわ
ち、一対の側板の間をつなぐ状態で伸縮部材が設けられ
ているため、ウエハを収納するための溝のピッチを一対
の側板の間隔に応じて変えることが可能となる。このた
め、必要に応じてウエハの収納ピッチを小さくしウエハ
収納容器全体のサイズを小さくすることが可能となる。
このようなウエハ収納容器を用いることで、製造装置の
小型化を図ることが可能となる。また、ウエハ収納容器
を保管するためのスペースを小さくすることが可能とな
る。

【００３２】特に、本発明のウエハ収納容器を洗浄装置
に適応すれば、洗浄装置の小型化とともに浴槽の小型化
を図ることができ、使用する溶液の量や廃液の量を低減
させることが可能なる。これによって、半導体製造にお
ける環境保護を推進することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のウエハ収納容器の一実施例を説明する
概略斜視図である。

【図２】本発明の主要部を説明する図で、（ａ）は断面
図、（ｂ）は（ａ）のＡ部拡大断面図である。

【図３】ベローズの伸縮を説明する図で、（ａ）は伸び
状態、（ｂ）は縮み状態を示している。

【図４】固定機構を説明する図（その１）である。

【図５】固定機構を説明する図（その２）である。

【図６】本発明の適応例を説明する図（その１）であ
る。

【図７】本発明の適応例を説明する図（その２）であ
る。

【符号の説明】

１ ウエハ収納容器 ２ 側板 ３ ベローズ ３ａ 溝 ４ 軸 １０ ウエハ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数枚のウエハを略平行に所定のピッチ
   で収納するためのウエハ収納容器であって、 間に前記複数枚のウエハを配置するため所定の間隔を開
   けて設けられる一対の側板と、 長手方向に沿って、前記複数枚のウエハにおける各々の
   周縁部分を差し入れるための複数の溝を有し、前記一対
   の側板の間隔の変化にともない伸縮自在に設けられ、か
   つ該一対の側板の間をつなぐ状態で該側板に対して略垂
   直に設けられており、その伸縮に応じて該複数の溝のピ
   ッチが可変な少なくとも３本の伸縮部材とを備えている
   ことを特徴とするウエハ収納容器。
2. 【請求項２】 前記一対の側板の間隔を固定するための
   固定手段を備えていることを特徴とする請求項１記載の
   ウエハ収納容器。