JPH08136142A

JPH08136142A - トンネル型乾燥炉

Info

Publication number: JPH08136142A
Application number: JP27539194A
Authority: JP
Inventors: 英之 ▲柳▼瀬; Hideyuki Yanase
Original assignee: Ibiden Co Ltd
Current assignee: Ibiden Co Ltd
Priority date: 1994-11-09
Filing date: 1994-11-09
Publication date: 1996-05-31

Abstract

(57)【要約】【目的】凝縮異物の落下に起因する被乾燥物の汚損を
確実に防止することができるトンネル式乾燥炉を提供す
ることにある。【構成】この乾燥炉１においては、トンネル状をなす
乾燥ゾーン２の入口部４及び出口部５にガス排出用の排
気口１１，１２が設置されている。入口側の排気口１１
は、被乾燥物である基板７が搬送される経路の直上とな
る位置以外の位置、例えば入口部１１の側壁に設けられ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、トンネル型乾燥炉に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、プリント配線板の製造プロセスに
おいては、例えば基板に塗布された液状レジストインク
等から溶媒を除去するなど、基板の乾燥を必要とする場
面がいくつかある。

【０００３】図３（ａ）〜図３（ｃ）には、基板２０の
乾燥を行う装置の一例としてトンネル型乾燥炉２１が示
されている。このトンネル乾燥炉２１は、トンネル状を
なす乾燥ゾーン２２を備えている。この乾燥ゾーン２２
内にはヒータ２２ａが配置されている。乾燥ゾーン２２
の入口部２３及び出口部２４の天井には、それぞれガス
排出用の排気ファン２５，２６の排気口２５ａ，２６ａ
が設けられている。また、乾燥ゾーン２２と入口部２３
との境界には、天井から底部に向かってエアを吹き出す
エアカーテン２７が設けられている。乾燥ゾーン２２と
出口部２４との境界についても同様である。

【０００４】被乾燥物である基板２０は、台車やコンベ
ア等の搬送手段２８によって乾燥炉２１内を搬送される
際、主にヒータ２２ａの熱によって乾燥される。そし
て、乾燥ゾーン２２内に溜まった溶剤を含むガスは、各
排気口２５ａ，２６ａから吸引された後、乾燥炉２１の
外部に排出される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、入口部２３
においてはまだ基板２０が未乾燥状態であるため、基板
２０には依然として多くの溶媒が含まれている。従っ
て、入口部２３の排気口２５ａからは、比較的多湿なガ
スが排出されることになる。このため、排気ファン２５
のプロペラや排気口２５ａの周辺には、溶剤の凝縮によ
ってできた異物が付着しやすい。

【０００６】しかし、従来のトンネル型乾燥炉２１では
入口部２３の天井に排気口２５ａが設置されていたた
め、その下方にある搬送経路上に凝縮異物が落下するこ
とによって、基板２０が汚損されることが多かった。ま
た、未乾燥状態（即ち、Ｂステージ状態）のレジストに
付着した異物の除去は容易ではないため、不良品発生率
の増加の原因となることもあった。

【０００７】本発明は上記の課題を解消するためになさ
れたものであり、その目的は、凝縮異物の落下に起因す
る被乾燥物の汚損を確実に防止することができるトンネ
ル式乾燥炉を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１に記載の発明は、トンネル状をなす乾燥
ゾーンの入口部及び出口部にガス排出用の排気口が設置
された乾燥炉において、少なくとも入口側の排気口を、
被乾燥物が搬送される経路の直上となる位置以外の位置
に設けたトンネル型乾燥炉をその要旨とする。

【０００９】請求項２に記載の発明では、請求項１にお
いて、前記入口部の側壁に前記入口側の排気口を設けて
いる。請求項３に記載の発明では、請求項２において、
前記入口部の一方の側壁に前記入口側の排気口を設け、
他方の側壁に吸気口を設けている。

【００１０】

【作用】請求項１に記載の発明によると、排気口が搬送
経路の直上に設置されていないため、排気口の周囲等に
付着した凝縮異物が落下したとしても、その凝縮異物が
被乾燥物に付着する可能性が小さい。

【００１１】請求項２に記載の発明によると、排気口が
搬送経路の側壁に設置されているため、排気口の周囲等
に付着した凝縮異物が落下したとしても、その凝縮異物
が被乾燥物に付着することはない。

【００１２】請求項３に記載の発明によると、入口部の
内部において吸気口から排気口に抜けるエアの流れがで
きるため、乾燥ゾーンに溜まった多湿なガスがスムーズ
に排出される。

【００１３】

【実施例】

〔実施例１〕以下、本発明をプリント配線板製造プロセ
スにおいて使用されるトンネル型乾燥炉１に具体化した
実施例１を図１（ａ）〜図１（ｃ）に基づき詳細に説明
する。

【００１４】本実施例のトンネル型乾燥炉１は、トンネ
ル状をなす断面略長方形状の乾燥ゾーン２を備えてい
る。この乾燥ゾーン２内には、内部を約１００℃〜２０
０℃程度に加熱することができる電気ヒータ３が配置さ
れている。乾燥ゾーン２の前段には、その乾燥ゾーン２
よりも長さが短くかつ断面略長方形状をした入口部４が
設けられている。また、乾燥ゾーン２の後段には、同じ
くその乾燥ゾーン２よりも長さが短くかつ断面略長方形
状をした出口部５が設けられている。

【００１５】前記トンネル型乾燥炉１の内部には、搬送
手段としてのコンベア６が敷設されている。このコンベ
ア６は、被乾燥物としての基板７を入口部４、乾燥ゾー
ン２及び出口部５の順に一定速度で搬送する。なお、各
基板７は同コンベア６に設けられた図示しないラックに
立て掛けられる。

【００１６】乾燥ゾーン２と入口部４との境界には、天
井から底部に向かってエアを吹き出す長尺状のエアカー
テン８が設けられている。乾燥ゾーン２と出口部５との
境界についても、同様のエアカーテン８が設けられてい
る。各々のエアカーテン８から供給されるエアの流量
は、０．５ｍ³／分〜３．０ｍ³／分程度である。その
エアの流れ方向は、図中において矢印Ａ2 で示されるよ
うに垂直方向である。

【００１７】入口部４及び出口部５の第１の側壁（進行
方向に向かって左側となる側壁）Ｓ1 の外面には、それ
ぞれガス排出用の排気ファン９，１０が設置されてい
る。また、前記第１の側壁Ｓ1 には、排気ファン９，１
０と搬送空間とをつなぐ排気口１１，１２が貫設されて
いる。

【００１８】一方、第２の側壁（進行方向に向かって右
側となる側壁）Ｓ2 の外面には、それぞれ搬送空間内に
エアを供給するための吸気ファン１３，１４が設置され
ている。また、各吸気ファン１３，１４には、図示しな
いエアフィルタが設けられている。前記第２の側壁Ｓ2
には、吸気ファン１３，１４と搬送空間とをつなぐ吸気
口１５，１６が貫設されている。なお、入口側の吸気口
１５は前記排気口１１と対向する位置に配設されてお
り、出口側の吸気口１６は前記排気口１２と対向する位
置に配設されている。各々の吸気ファン１３，１４から
供給されるエアの流量は、１０ｍ³／分〜３０ｍ³／分
程度である。そのエアの流れ方向は、図中において矢印
Ａ1 で示されるように水平方向である。

【００１９】入口部４から搬入された基板７は、乾燥ゾ
ーン２を所定の時間をかけて通過した後に出口部５から
搬出される。乾燥ゾーン２内には電気ヒータ３が設けら
れていることから、基板７に塗布された液状レジストの
溶剤は、乾燥ゾーン２の通過時に電気ヒータ３の熱によ
ってガス化する。乾燥ゾーン２内に溜まった溶剤を含む
ガスは、乾燥ゾーン２の長手方向に沿って移動し、入口
部４または出口部５へ到る。入口部４または出口部５へ
到ったガスは、各排気ファン９，１０の回転によって各
排気口１１，１２に吸引される。吸引されたガスは、図
示しない配管に集められた後、処理施設等を経て建物の
外部に排出される。基板７は、以上のようなプロセスを
経て乾燥される。

【００２０】さて、本実施例のトンネル型乾燥炉１によ
ると、入口側の排気口１１が搬送経路の第１の側壁Ｓ1
に、即ち搬送経路の直上ではない位置に設けられてい
る。このため、同排気口１１の周囲等に付着した凝縮異
物が落下したとしても、その凝縮異物が基板７に付着す
ることがない。従って、基板７の汚損が確実に防止さ
れ、不良品発生率の低減が図られる。

【００２１】また、この実施例では排気口１１に対向し
て吸気口１５を設けているため、入口部４の搬送空間内
部に、吸気口１５から排気口１１に抜ける水平方向に沿
ったエアの流れができる。このため、乾燥ゾーン２に溜
まった多湿なガスがスムーズにかつムラなく排出され
る。従って、従来に比べて乾燥効率も向上する。

【００２２】なお、本実施例では入口部４のみならず出
口部５にも同様の構造を設けている。このため、出口部
５における凝縮異物の落下防止も図ることができる。〔実施例２〕次に、図２（ａ）〜図２（ｃ）に基づき実
施例２のトンネル型乾燥炉１８を説明する。なお、この
トンネル型乾燥炉１８は、実施例１のトンネル型乾燥炉
１とほとんど同じ構成を備えるものであるため、ここで
は両者の相違点を中心に説明する。なお、両者の共通点
については、図中において実施例１と共通の部材番号を
付す。

【００２３】図２（ａ）〜図２（ｃ）に示されるよう
に、本実施例のトンネル型乾燥炉１８では、実施例１の
ときとエアカーテン８の配設位置が異なっている。即
ち、実施例１ではエアカーテン８が天井に配設されてい
たのに対し、この実施例ではそれらが第２の側壁Ｓ2 に
設けられている。従って、エアカーテン８のエア流れ方
向Ａ2 は、吸気ファン９，１０と排気ファン１３，１４
とによるエアの流れ方向Ａ1 とほぼ同一になる。ゆえ
に、両者のエアの流れ方向が同一でないときと比較し
て、乱流の発生等によるエアの流れのロスが少なくな
る。従って、多湿なガスの排出をよりスムーズにかつ省
力的に行うことができる。

【００２４】なお、本発明は例えば次のように変更する
ことが可能である。（１）排気口１１，１２を入口部４または出口部５の底
部に設けてもかまわない。また、排気口１１，１２の
配設位置がたとえ天井であっても、搬送経路の直上でな
い位置（例えば、側壁に近い位置）であれば、ある程度
凝縮異物の付着防止を図ることができる。

【００２５】（２）第２の側壁Ｓ2 以外の位置、即ち天
井、底面または第１の側壁Ｓ1 に吸気口１５，１６を設
けてもよい。また、吸気口１５，１６と排気口１１，１
２とは、必ずしも対向していなくてもよい。

【００２６】（３）出口側の吸気口１２を省略したり、
各エアカーテン８等を省略したりしてもよい。このよう
にすると全体構造の簡略化が図られる。また、入口部４
のみを実施例１，２のような構成とし、出口部５を従来
通りの構成としてもよい。

【００２７】（４）入口部４において複数の排気口１１
を設けてもよい。この場合、入口部４の両方の側壁Ｓ1
，Ｓ2 に排気口１１を設けたり、側壁Ｓ1 と底部とに
設けたりしてもよい。なお、出口部５についてもこれと
同様のことがいえる。

【００２８】（５）吸気ファン１３，１４以外の吸気手
段を使用してもよい。（６）電気式ヒータ３のほか、例えば熱風式ヒータ等を
使用してもよい。ここで、特許請求の範囲に記載された技術的思想のほか
に、前述した実施例及び別例によって把握される技術的
思想をその効果とともに以下に列挙する。

【００２９】（１）請求項３において、乾燥ゾーンと
入口部との境界にエアカーテンを設けるとともに、その
エアカーテンのエア流れ方向を、入口部内において吸気
ファンと排気ファンとによるエアの流れ方向に沿わせる
こと。この構成であると、両者のエアの流れのロスが極
めて少なくなる。

【００３０】なお、本明細書中において使用した技術用
語を次のように定義する。「乾燥ゾーン：トンネル型乾燥炉の主要部分であって
ヒータを備える領域をいう。」

【００３１】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１に記載の
発明によれば、凝縮異物の落下に起因する被乾燥物の汚
損を確実に防止することができる。請求項２に記載の発
明によれば、前記の汚損をさらに確実に防止することが
できる。請求項３に記載の発明によれば、乾燥ゾーンに
溜まった多湿なガスがスムーズに排出されるため、乾燥
効率を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は実施例１のトンネル型乾燥炉を示す部
分破断概略断面図、（ｂ）はその概略平面図、（ｃ）は
（ａ）のＡ−Ａ線における断面図。

【図２】（ａ）は実施例２のトンネル型乾燥炉を示す部
分破断概略断面図、（ｂ）はその概略平面図、（ｃ）は
（ａ）のＢ−Ｂ線における断面図。

【図３】（ａ）は従来のトンネル型乾燥炉の問題点を説
明するための部分破断概略断面図、（ｂ）はその概略平
面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ線における断面図。

【符号の説明】

１，１８…トンネル型乾燥炉、２…乾燥ゾーン、４…入
口部、５…出口部、７…被乾燥物としての基板、１１，
１２…排気口、１５，１６…吸気口、Ｓ1 …第１の側
壁、Ｓ2 …第２の側壁。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】トンネル状をなす乾燥ゾーンの入口部及び
出口部にガス排出用の排気口が設置された乾燥炉におい
て、少なくとも入口側の排気口を、被乾燥物が搬送され
る経路の直上となる位置以外の位置に設けたトンネル型
乾燥炉。
【請求項２】前記入口部の側壁に前記入口側の排気口を
設けた請求項１に記載のトンネル型乾燥炉。
【請求項３】前記入口部の一方の側壁に前記入口側の排
気口を設け、他方の側壁に吸気口を設けた請求項２に記
載のトンネル型乾燥炉。