JPH08136473A - 欠陥検出装置の調整方法、調整装置およびその基準板 - Google Patents
欠陥検出装置の調整方法、調整装置およびその基準板Info
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- JPH08136473A JPH08136473A JP6271164A JP27116494A JPH08136473A JP H08136473 A JPH08136473 A JP H08136473A JP 6271164 A JP6271164 A JP 6271164A JP 27116494 A JP27116494 A JP 27116494A JP H08136473 A JPH08136473 A JP H08136473A
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- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims description 38
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 13
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 13
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract description 16
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 abstract description 8
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N Fe2+ Chemical compound [Fe+2] CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- -1 ferrous metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 欠陥検出装置の調整に使用される基準板を提
供すること。 【構成】 両端部分にそれぞれ所定の幅の第1および第
2の線M、Nが描かれ、そして、第1および第2の線
M、Nに挟まれた領域で、かつ第1および第2の線M、
Nと同じ面に互いに幅が異なる少なくとも2本の線a〜
cが平行に描かれている
供すること。 【構成】 両端部分にそれぞれ所定の幅の第1および第
2の線M、Nが描かれ、そして、第1および第2の線
M、Nに挟まれた領域で、かつ第1および第2の線M、
Nと同じ面に互いに幅が異なる少なくとも2本の線a〜
cが平行に描かれている
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、鉄や非鉄、化学材料な
ど例えばシート状の被検査物の欠陥、例えば、塗装ムラ
やメッキムラ、油じみ、気泡などを検出する欠陥検出装
置の調整方法、調整装置、およびその基準板に関する。
ど例えばシート状の被検査物の欠陥、例えば、塗装ムラ
やメッキムラ、油じみ、気泡などを検出する欠陥検出装
置の調整方法、調整装置、およびその基準板に関する。
【0002】
【従来の技術】まず、鉄や非鉄、化学材料など例えばシ
ート状の被検査物の欠陥を検出する従来の欠陥検出方法
について説明する。
ート状の被検査物の欠陥を検出する従来の欠陥検出方法
について説明する。
【0003】被検査物の欠陥を検出する場合、被検査物
の所定領域に対し光源から照明光を照射し、照明光が照
射された領域の被検査物の光学画像をカメラ装置に入力
している。そして、カメラ装置に入力された光学画像を
解析し、被検査物の欠陥、例えば塗装ムラやメッキム
ラ、油じみ、気泡などを検出している。
の所定領域に対し光源から照明光を照射し、照明光が照
射された領域の被検査物の光学画像をカメラ装置に入力
している。そして、カメラ装置に入力された光学画像を
解析し、被検査物の欠陥、例えば塗装ムラやメッキム
ラ、油じみ、気泡などを検出している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、照明光が照
射された領域の被検査物の画像をカメラ装置54に入力
し、被検査物の欠陥を検出する場合、欠陥の検出に先だ
っていくつかの項目についてカメラ装置の調整が行われ
る。
射された領域の被検査物の画像をカメラ装置54に入力
し、被検査物の欠陥を検出する場合、欠陥の検出に先だ
っていくつかの項目についてカメラ装置の調整が行われ
る。
【0005】その1つは、例えば、被検査物の画像を正
確に結像するためのピント調整である。もう1つは、あ
る幅を持っている被検査物を撮影して得られる電気信号
が、その幅方向の位置に関係なく一様であるようにする
出力調整である。もう1つは、被検査物の幅方向におけ
るカメラ装置の視野を設定する視野調整である。
確に結像するためのピント調整である。もう1つは、あ
る幅を持っている被検査物を撮影して得られる電気信号
が、その幅方向の位置に関係なく一様であるようにする
出力調整である。もう1つは、被検査物の幅方向におけ
るカメラ装置の視野を設定する視野調整である。
【0006】従来、これらの調整は、カメラ装置をオシ
ロスコープなどの波形観測装置に接続し、カメラ装置の
出力波形を作業者が観測しながら行っている。このよう
に、波形観測でカメラ装置の調整を行う場合、例えばピ
ント調整や視野調整が良好な状態にあるかどうかの判断
を正しく行うことは容易ではない。
ロスコープなどの波形観測装置に接続し、カメラ装置の
出力波形を作業者が観測しながら行っている。このよう
に、波形観測でカメラ装置の調整を行う場合、例えばピ
ント調整や視野調整が良好な状態にあるかどうかの判断
を正しく行うことは容易ではない。
【0007】本発明は、上記した欠点を解決するもの
で、調整が容易な欠陥検出装置の調整方法、および調整
装置、これに使用される基準板を提供することを目的と
する。
で、調整が容易な欠陥検出装置の調整方法、および調整
装置、これに使用される基準板を提供することを目的と
する。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の欠陥検出装置用
の基準板は、互いに離れた位置にそれぞれ所定の幅の第
1および第2の線が描かれ、そして、前記第1および第
2の線の挟まれた領域で、かつ前記第1および第2の線
と同じ面に互いに幅が異なる少なくとも2本の線が平行
に描かれている。
の基準板は、互いに離れた位置にそれぞれ所定の幅の第
1および第2の線が描かれ、そして、前記第1および第
2の線の挟まれた領域で、かつ前記第1および第2の線
と同じ面に互いに幅が異なる少なくとも2本の線が平行
に描かれている。
【0009】また、本発明の欠陥検出装置の調整装置
は、両端部分にそれぞれ所定の幅の第1および第2の線
が描かれ、そして、前記第1および第2の線の挟まれた
領域で、かつ前記第1および第2の線と同じ面に互いに
幅が異なる少なくとも2本の線が平行に描かれ、被検査
物の通路上またはその近傍に配置される欠陥検出装置用
の基準板と、前記各線が描かれた前記基準板の面に照明
光を照射する光源と、この光源によって照明光が照射さ
れた前記基準板面の光学画像を電気信号に変換するカメ
ラ装置と、このカメラ装置で変換された電気信号を可視
画像として観測する観測装置とで構成されている。
は、両端部分にそれぞれ所定の幅の第1および第2の線
が描かれ、そして、前記第1および第2の線の挟まれた
領域で、かつ前記第1および第2の線と同じ面に互いに
幅が異なる少なくとも2本の線が平行に描かれ、被検査
物の通路上またはその近傍に配置される欠陥検出装置用
の基準板と、前記各線が描かれた前記基準板の面に照明
光を照射する光源と、この光源によって照明光が照射さ
れた前記基準板面の光学画像を電気信号に変換するカメ
ラ装置と、このカメラ装置で変換された電気信号を可視
画像として観測する観測装置とで構成されている。
【0010】また、本発明の欠陥検出装置の調整方法
は、両端部分にそれぞれ所定の幅の第1および第2の線
が描かれ、そして、前記第1および第2の線の挟まれた
領域で、かつ前記第1および第2の線と同じ面に互いに
幅が異なる少なくとも2本の線が平行に描かれている欠
陥検出装置用の基準板を、順次送り出される被検査物の
通路上またはその近傍に配置する工程と、前記各線が描
かれた前記基準板の面に光源から照明光を照射する工程
と、前記光源によって照明光が照射された前記基準板面
の光学画像を電気信号に変換する工程と、この工程で変
換された電気信号を可視画像として観察する工程とから
なっている。
は、両端部分にそれぞれ所定の幅の第1および第2の線
が描かれ、そして、前記第1および第2の線の挟まれた
領域で、かつ前記第1および第2の線と同じ面に互いに
幅が異なる少なくとも2本の線が平行に描かれている欠
陥検出装置用の基準板を、順次送り出される被検査物の
通路上またはその近傍に配置する工程と、前記各線が描
かれた前記基準板の面に光源から照明光を照射する工程
と、前記光源によって照明光が照射された前記基準板面
の光学画像を電気信号に変換する工程と、この工程で変
換された電気信号を可視画像として観察する工程とから
なっている。
【0011】
【作用】上記の構成によれば、欠陥検出装置用の基準板
は、互いに離れた位置にそれぞれ所定の幅の第1および
第2の線が描かれ、そして、前記第1および第2の線の
挟まれた領域で、かつ前記第1および第2の線と同じ面
に互いに幅が異なる少なくとも2本の線が平行に描かれ
ている。そして、基準板に描かれたパターン即ち複数の
線が電気信号に変換され、その信号波形が観測される。
このとき、第1および第2の線を利用して、カメラ装置
の視野が調整される。また、幅が異なる線を利用して、
ピント調整ができる。また、信号波形の全体の観測から
出力調整ができる。また、複数の線の幅を相違させるこ
とにより、欠陥の大きさを判定する場合に欠陥の大きさ
の相違に応じて最適な基準を設定できる。
は、互いに離れた位置にそれぞれ所定の幅の第1および
第2の線が描かれ、そして、前記第1および第2の線の
挟まれた領域で、かつ前記第1および第2の線と同じ面
に互いに幅が異なる少なくとも2本の線が平行に描かれ
ている。そして、基準板に描かれたパターン即ち複数の
線が電気信号に変換され、その信号波形が観測される。
このとき、第1および第2の線を利用して、カメラ装置
の視野が調整される。また、幅が異なる線を利用して、
ピント調整ができる。また、信号波形の全体の観測から
出力調整ができる。また、複数の線の幅を相違させるこ
とにより、欠陥の大きさを判定する場合に欠陥の大きさ
の相違に応じて最適な基準を設定できる。
【0012】また、上記した構成の欠陥検出装置用の基
準板を利用することにより、欠陥検出装置の調整装置や
調整方法を実現できる。なお、基準板を配置する位置
は、被検査物の通路上に置いた方がその近傍に置く場合
より、正確な基準データが得られる。
準板を利用することにより、欠陥検出装置の調整装置や
調整方法を実現できる。なお、基準板を配置する位置
は、被検査物の通路上に置いた方がその近傍に置く場合
より、正確な基準データが得られる。
【0013】
【実施例】まず、本発明の一実施例の説明に先だって欠
陥検出装置について、図1を参照して説明する。図1
は、欠陥検出装置を横方向からみた概略の構成図であ
る。
陥検出装置について、図1を参照して説明する。図1
は、欠陥検出装置を横方向からみた概略の構成図であ
る。
【0014】11は、鉄などある幅をもったシート状の
被検査物である。被検査物11は、モータなどの駆動源
(図示せず)を利用して例えば矢印Y方向に順次送り出
される。また、シート状の被検査物11は、その幅いっ
ぱいに広がる直線状領域Zに光源12から照明光13が
照射されている。そして、照明光13が照射された領域
Zの被検査物11の光学画像がカメラ装置14に入力さ
れる。
被検査物である。被検査物11は、モータなどの駆動源
(図示せず)を利用して例えば矢印Y方向に順次送り出
される。また、シート状の被検査物11は、その幅いっ
ぱいに広がる直線状領域Zに光源12から照明光13が
照射されている。そして、照明光13が照射された領域
Zの被検査物11の光学画像がカメラ装置14に入力さ
れる。
【0015】なお、カメラ装置14に入力された光学画
像は電気信号に変換され、出力される。カメラ装置14
から出力される電気信号は信号処理装置15に加えられ
る。そして、信号処理装置15では、カメラ装置14か
ら送られてくる電気信号をもとに画像解析を行い、シー
ト状の被検査物の欠陥が検出される。
像は電気信号に変換され、出力される。カメラ装置14
から出力される電気信号は信号処理装置15に加えられ
る。そして、信号処理装置15では、カメラ装置14か
ら送られてくる電気信号をもとに画像解析を行い、シー
ト状の被検査物の欠陥が検出される。
【0016】ここで、上記した欠陥検出装置を構成する
カメラ装置14の調整、例えばピント調整や出力調整、
視野調整などの調整方法について説明する。
カメラ装置14の調整、例えばピント調整や出力調整、
視野調整などの調整方法について説明する。
【0017】カメラ装置を調整する場合、図2(a)に
示すような基準板21が、被検査物11の通路上、また
はその近傍で光源12から照明光13が照射される位置
に配置される。基準板21には、互いに離れた位置にそ
れぞれ所定の幅の第1および第2の線M、Nが描かれ、
そして、第1および第2の線M、Nに挟まれた領域で、
かつ第1および第2の線M、Nと同じ面に互いに幅が異
なる複数の線、例えば3本の線a、b、cが平行に描か
れている。この場合、第1および第2の線M、Nの位置
は被検査物21の幅に対応するもので、被検査物21の
欠陥を検出する場合、その両端が第1および第2の線
M、Nの位置からはみ出ないように制御される。そし
て、3本の線a、b、cは、それぞれ0.5mm、1.
0mm、1.5mmの幅で描かれている。
示すような基準板21が、被検査物11の通路上、また
はその近傍で光源12から照明光13が照射される位置
に配置される。基準板21には、互いに離れた位置にそ
れぞれ所定の幅の第1および第2の線M、Nが描かれ、
そして、第1および第2の線M、Nに挟まれた領域で、
かつ第1および第2の線M、Nと同じ面に互いに幅が異
なる複数の線、例えば3本の線a、b、cが平行に描か
れている。この場合、第1および第2の線M、Nの位置
は被検査物21の幅に対応するもので、被検査物21の
欠陥を検出する場合、その両端が第1および第2の線
M、Nの位置からはみ出ないように制御される。そし
て、3本の線a、b、cは、それぞれ0.5mm、1.
0mm、1.5mmの幅で描かれている。
【0018】この基準板に対し、光源12から照明光1
3を照射する。この照明光13の照射により、カメラ装
置14には、基準板21に描かれた線M、N、a、b、
cのパターンが入力される。そして、電気信号に変換さ
れる。この電気信号はオシロスコープなどの波形観測装
置に供給され、その信号波形が観測される。その模様を
示すと、例えば図2(b)のようになる。ここで、線
M、N、a、b、cに対応する信号波形に対し、それぞ
れ数字0を付してある。このとき、信号波形M0、N0
が検出されたことから、被検査物11の幅をカメラ装置
14の視野が十分にカバーしていることが確認される。
また、線a0、b0、c0の信号波形を観測し、この信
号の立上がりや立ち下がりが鋭くなっていることからピ
ントが合っているかどうかが判定できる。また、被検査
物の幅方向でその位置に関係なく出力が一様であるかど
うかは、信号波形のレベルLが全体に亘って一様である
ことによって判別できる。
3を照射する。この照明光13の照射により、カメラ装
置14には、基準板21に描かれた線M、N、a、b、
cのパターンが入力される。そして、電気信号に変換さ
れる。この電気信号はオシロスコープなどの波形観測装
置に供給され、その信号波形が観測される。その模様を
示すと、例えば図2(b)のようになる。ここで、線
M、N、a、b、cに対応する信号波形に対し、それぞ
れ数字0を付してある。このとき、信号波形M0、N0
が検出されたことから、被検査物11の幅をカメラ装置
14の視野が十分にカバーしていることが確認される。
また、線a0、b0、c0の信号波形を観測し、この信
号の立上がりや立ち下がりが鋭くなっていることからピ
ントが合っているかどうかが判定できる。また、被検査
物の幅方向でその位置に関係なく出力が一様であるかど
うかは、信号波形のレベルLが全体に亘って一様である
ことによって判別できる。
【0019】上記したように、基準板に描かれた線M、
N、a、b、cのパターンを利用することにより、カメ
ラ装置14の調整が容易に行える。また、線a、b、c
の幅を互いに相違させているが、これは次のような理由
によっている。
N、a、b、cのパターンを利用することにより、カメ
ラ装置14の調整が容易に行える。また、線a、b、c
の幅を互いに相違させているが、これは次のような理由
によっている。
【0020】例えば、被検査物の欠陥を検出する場合、
欠陥の幅方向の大きさの判定も必要とされる。この場
合、幅方向に小さい欠陥部分の信号は図3のPのように
鋭く変化する。しかし、幅方向に大きい欠陥部分の信号
は図3のQのように信号Pに比しなだらかに変化する。
このように欠陥部分の大きさによって信号波形が異なっ
てくる。したがって、1つの基準で欠陥部分の大きさを
判定すると誤差を生む原因になる。このため、線a、
b、cの幅を相違させれば、これら幅の相違する線a、
b、cによって信号波形がどのように変化するかを知る
ことができる。そして、線a、b、cから得られる信号
波形を基準にして、欠陥部分の幅方向の大きさを判定す
るようにすれば、欠陥部分の幅方向の大きさに適した基
準を設定できその大きさを正しく測定できる。
欠陥の幅方向の大きさの判定も必要とされる。この場
合、幅方向に小さい欠陥部分の信号は図3のPのように
鋭く変化する。しかし、幅方向に大きい欠陥部分の信号
は図3のQのように信号Pに比しなだらかに変化する。
このように欠陥部分の大きさによって信号波形が異なっ
てくる。したがって、1つの基準で欠陥部分の大きさを
判定すると誤差を生む原因になる。このため、線a、
b、cの幅を相違させれば、これら幅の相違する線a、
b、cによって信号波形がどのように変化するかを知る
ことができる。そして、線a、b、cから得られる信号
波形を基準にして、欠陥部分の幅方向の大きさを判定す
るようにすれば、欠陥部分の幅方向の大きさに適した基
準を設定できその大きさを正しく測定できる。
【0021】なお、上記した実施例では、欠陥部分の幅
方向の大きさの判定用に3本の線を利用にしている。し
かし、線の数を多くし、いろいろな幅の線を利用するよ
うにすれば、欠陥部分の幅方向の大きさの判定がその分
だけ正確に行える。
方向の大きさの判定用に3本の線を利用にしている。し
かし、線の数を多くし、いろいろな幅の線を利用するよ
うにすれば、欠陥部分の幅方向の大きさの判定がその分
だけ正確に行える。
【0022】また、上記した実施例では、欠陥部分の検
出に1台のカメラ装置が利用される場合で説明してい
る。しかし、被検査物の幅が広くなると、複数台のカメ
ラ装置が利用される。この場合、被検査物の幅を複数に
区分し、1台のカメラ装置がそれぞれ区分された1つの
区分を検査することになる。このように、被検査物の欠
陥の検出を例えば2台のカメラ装置で行う場合の基準板
について、図4で説明する。この場合、1つのカメラ装
置の調整に使用されるパターンが線M1、N1、a1、
b1、c1であり、もう1つのカメラ装置の調整に使用
されるパターンが線M2、N2、a2、b2、c2であ
る。欠陥の検出に2台のカメラ装置が使用される場合、
各カメラ装置の視野が隣接する部分で重畳するように設
定されるため、一方のカメラ装置の右側の視野N1と、
他方のカメラ装置の左側の視野M1とが互いに交差した
パターンになっている。
出に1台のカメラ装置が利用される場合で説明してい
る。しかし、被検査物の幅が広くなると、複数台のカメ
ラ装置が利用される。この場合、被検査物の幅を複数に
区分し、1台のカメラ装置がそれぞれ区分された1つの
区分を検査することになる。このように、被検査物の欠
陥の検出を例えば2台のカメラ装置で行う場合の基準板
について、図4で説明する。この場合、1つのカメラ装
置の調整に使用されるパターンが線M1、N1、a1、
b1、c1であり、もう1つのカメラ装置の調整に使用
されるパターンが線M2、N2、a2、b2、c2であ
る。欠陥の検出に2台のカメラ装置が使用される場合、
各カメラ装置の視野が隣接する部分で重畳するように設
定されるため、一方のカメラ装置の右側の視野N1と、
他方のカメラ装置の左側の視野M1とが互いに交差した
パターンになっている。
【0023】
【発明の効果】本発明によれば、調整が容易な欠陥検出
装置の調整方法、およびこれに使用される基準板を実現
できる。
装置の調整方法、およびこれに使用される基準板を実現
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を説明する構成図である。
【図2】本発明の一実施例を説明する図である。
【図3】本発明を説明する波形図である。
【図4】本発明の他の実施例を説明する図である。
11…被検査物 12…光源 13…照射光 14…カメラ装置 15…信号処理装置 21…基準板 M、N、a、b、c…線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G06T 7/00 1/00
Claims (3)
- 【請求項1】 互いに離れた位置にそれぞれ所定の幅の
第1および第2の線が描かれ、そして、前記第1および
第2の線の挟まれた領域で、かつ前記第1および第2の
線と同じ面に互いに幅が異なる少なくとも2本の線が平
行に描かれている欠陥検出装置用の基準板。 - 【請求項2】 両端部分にそれぞれ所定の幅の第1およ
び第2の線が描かれ、そして、前記第1および第2の線
の挟まれた領域で、かつ前記第1および第2の線と同じ
面に互いに幅が異なる少なくとも2本の線が平行に描か
れ、被検査物の通路上またはその近傍に配置される欠陥
検出装置用の基準板と、前記各線が描かれた前記基準板
の面に照明光を照射する光源と、この光源によって照明
光が照射された前記基準板面の光学画像を電気信号に変
換するカメラ装置と、このカメラ装置で変換された電気
信号を可視画像として観測する観測装置とを具備した欠
陥検出装置の調整装置。 - 【請求項3】 両端部分にそれぞれ所定の幅の第1およ
び第2の線が描かれ、そして、前記第1および第2の線
の挟まれた領域で、かつ前記第1および第2の線と同じ
面に互いに幅が異なる少なくとも2本の線が平行に描か
れている欠陥検出装置用の基準板を、順次送り出される
被検査物の通路上またはその近傍に配置する工程と、前
記各線が描かれた前記基準板の面に光源から照明光を照
射する工程と、前記光源によって照明光が照射された前
記基準板面の光学画像を電気信号に変換する工程と、こ
の工程で変換された電気信号を可視画像として観察する
工程とからなる欠陥検出装置の調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6271164A JPH08136473A (ja) | 1994-11-04 | 1994-11-04 | 欠陥検出装置の調整方法、調整装置およびその基準板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6271164A JPH08136473A (ja) | 1994-11-04 | 1994-11-04 | 欠陥検出装置の調整方法、調整装置およびその基準板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08136473A true JPH08136473A (ja) | 1996-05-31 |
Family
ID=17496237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6271164A Pending JPH08136473A (ja) | 1994-11-04 | 1994-11-04 | 欠陥検出装置の調整方法、調整装置およびその基準板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08136473A (ja) |
Cited By (1)
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1994
- 1994-11-04 JP JP6271164A patent/JPH08136473A/ja active Pending
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