JPH08139122A - ワイヤボンディング装置における放電用トーチ電極体の位置決め方法 - Google Patents
ワイヤボンディング装置における放電用トーチ電極体の位置決め方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ワイヤボンディング装置における放電用トー
チ電極体６を、キャピラリツール４に対して所定の相対
関係位置を保って取付けることが至極簡単に、且つ、正
確にできるようにする。 【構成】 ホーン２先端のキャピラリツール４を、その
下端がワーク部材に接当するように下降動した状態で、
このキャピラリツールに、外周に位置決め凹所１１ｂを
備えた筒型の治具体１１を、当該治具体が前記ホーンの
下面及び前記ワーク部材の上面との両方に接当するよう
に被嵌し、前記放電用トーチ電極体６を、その放電尖端
６ａを前記位置決め凹所６ａ内に挿入し、この状態で、
当該放電用トーチ電極体を位置調節不能に固定する。
チ電極体６を、キャピラリツール４に対して所定の相対
関係位置を保って取付けることが至極簡単に、且つ、正
確にできるようにする。 【構成】 ホーン２先端のキャピラリツール４を、その
下端がワーク部材に接当するように下降動した状態で、
このキャピラリツールに、外周に位置決め凹所１１ｂを
備えた筒型の治具体１１を、当該治具体が前記ホーンの
下面及び前記ワーク部材の上面との両方に接当するよう
に被嵌し、前記放電用トーチ電極体６を、その放電尖端
６ａを前記位置決め凹所６ａ内に挿入し、この状態で、
当該放電用トーチ電極体を位置調節不能に固定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ワイヤボンディング装
置のうち、キャピラリツールに挿通した金属ワイヤの下
端に、当該下端と放電用トーチ電極体における放電尖端
との間における放電によってボール部を形成し、このボ
ール部を半導体チップ等のボンディング部に対して押圧
接合するようにワイヤボンディング装置において、前記
放電用トーチ電極体における放電尖端のキャピラリツー
ルに対する相対位置を決める方法に関するものである。
置のうち、キャピラリツールに挿通した金属ワイヤの下
端に、当該下端と放電用トーチ電極体における放電尖端
との間における放電によってボール部を形成し、このボ
ール部を半導体チップ等のボンディング部に対して押圧
接合するようにワイヤボンディング装置において、前記
放電用トーチ電極体における放電尖端のキャピラリツー
ルに対する相対位置を決める方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、前記のように、金属ワイヤの下
端にボール部を形成するための放電用トーチ電極体を備
えたワイヤボンディング装置は、金属ワイヤを挿通した
キャビラリツールを、ワイヤボンディング装置における
可動ヘッドに上下回動自在に枢着したホーンの先端に取
付け、ホーンの上下回動によって上下動する一方、前記
金属ワイヤに対する放電用トーチ電極体を、前記可動ヘ
ッドに上下動不能に固定的にして取付け、前記キャピラ
リツールが上昇動した時点で、当該放電用トーチ電極体
における放電尖端と、前記金属ワイヤの下端との間で放
電するように構成している。
端にボール部を形成するための放電用トーチ電極体を備
えたワイヤボンディング装置は、金属ワイヤを挿通した
キャビラリツールを、ワイヤボンディング装置における
可動ヘッドに上下回動自在に枢着したホーンの先端に取
付け、ホーンの上下回動によって上下動する一方、前記
金属ワイヤに対する放電用トーチ電極体を、前記可動ヘ
ッドに上下動不能に固定的にして取付け、前記キャピラ
リツールが上昇動した時点で、当該放電用トーチ電極体
における放電尖端と、前記金属ワイヤの下端との間で放
電するように構成している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この種のワ
イヤボンディング装置では、前記したように、放電用ト
ーチ電極体を、上下動不能に固定的にして取付ける一
方、金属ワイヤを挿通したキャピラリツールの方を上下
動するものであるから、前記放電用トーチ電極体の取付
けに際しては、キャピラリツールを上昇したときこれに
挿通した金属ワイヤの下端と当該放電用トーチ電極体に
おける放電尖端との間に、所定の放電間隔を保持した状
態で、且つ、キャピラリツールを下降動したとき当該放
電用トーチ電極体における放電尖端がキャピラリツール
及びホーンのいずれにも接触しないような状態にして不
動に位置決めしなければならない。
イヤボンディング装置では、前記したように、放電用ト
ーチ電極体を、上下動不能に固定的にして取付ける一
方、金属ワイヤを挿通したキャピラリツールの方を上下
動するものであるから、前記放電用トーチ電極体の取付
けに際しては、キャピラリツールを上昇したときこれに
挿通した金属ワイヤの下端と当該放電用トーチ電極体に
おける放電尖端との間に、所定の放電間隔を保持した状
態で、且つ、キャピラリツールを下降動したとき当該放
電用トーチ電極体における放電尖端がキャピラリツール
及びホーンのいずれにも接触しないような状態にして不
動に位置決めしなければならない。
【０００４】しかし、従来におけるワイヤボンディング
装置においては、前記放電用トーチ電極体の取付けに際
して、その放電尖端のキャピラリツールに対する相対関
係の位置決めを作業者の目測によって行うようにしてい
るから、換言すると、前記放電用トーチ電極体の取付け
に際しては、その放電尖端のキャピラリツールに対する
相対関係を目測で位置決めした状態で、前記放電用トー
チ電極体を不動に固定するようにしているから、これに
多大の手数を必要とするばかりか、当該放電用トーチ電
極体における放電尖端とキャピラリツールに挿通した金
属ワイヤの下端との間における放電間隔が大きくバラ付
くことになって、放電時における電圧管理が困難である
と言う問題があった。
装置においては、前記放電用トーチ電極体の取付けに際
して、その放電尖端のキャピラリツールに対する相対関
係の位置決めを作業者の目測によって行うようにしてい
るから、換言すると、前記放電用トーチ電極体の取付け
に際しては、その放電尖端のキャピラリツールに対する
相対関係を目測で位置決めした状態で、前記放電用トー
チ電極体を不動に固定するようにしているから、これに
多大の手数を必要とするばかりか、当該放電用トーチ電
極体における放電尖端とキャピラリツールに挿通した金
属ワイヤの下端との間における放電間隔が大きくバラ付
くことになって、放電時における電圧管理が困難である
と言う問題があった。
【０００５】本発明は、前記放電用トーチ電極体の取付
けに際して、その放電尖端のキャピラリツールに対する
相対関係の位置決めが、至極簡単に、且つ、正確にでき
るようにした方法を提供することを技術的課題とするも
のである。
けに際して、その放電尖端のキャピラリツールに対する
相対関係の位置決めが、至極簡単に、且つ、正確にでき
るようにした方法を提供することを技術的課題とするも
のである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この技術的課題を達成す
るため本発明は、 「ワイヤボンディング装置における可動ヘッドに上下動
可能に枢着したホーンの先端に取付くキャピラリツール
を、その下端がワーク部材に接当するように下降動した
状態で、このキャピラリツールに、外周に位置決め凹所
を備えた筒型の治具体を、当該治具体が前記ホーンの下
面及び前記ワーク部材の上面との両方に接当するように
被嵌し、次いで、前記可動ヘッドに対して位置調節可能
に取付く放電用トーチ電極体を、その放電尖端を前記治
具体の外周における位置決め凹所内に挿入し、この状態
で、当該放電用トーチ電極体を位置調節不能に固定する
ことを特徴とする。」 ものである。
るため本発明は、 「ワイヤボンディング装置における可動ヘッドに上下動
可能に枢着したホーンの先端に取付くキャピラリツール
を、その下端がワーク部材に接当するように下降動した
状態で、このキャピラリツールに、外周に位置決め凹所
を備えた筒型の治具体を、当該治具体が前記ホーンの下
面及び前記ワーク部材の上面との両方に接当するように
被嵌し、次いで、前記可動ヘッドに対して位置調節可能
に取付く放電用トーチ電極体を、その放電尖端を前記治
具体の外周における位置決め凹所内に挿入し、この状態
で、当該放電用トーチ電極体を位置調節不能に固定する
ことを特徴とする。」 ものである。
【０００７】
【作 用】このように、ワーク部材に対して下降動し
たキャピラリツールに、筒型の治具体を被嵌する一方、
可動ヘッドに対して位置調節可能に取付く放電用トーチ
電極体を、その放電尖端を前記治具体の外周に設けた位
置決め凹所内に挿入し、この状態で、当該放電用トーチ
電極体を位置調節不能に固定することにより、前記放電
用トーチ電極体を、その放電尖端とキャピラリツール内
に挿通する金属ワイヤの下端との間に所定の放電隙間を
保持し、且つ、前記放電尖端がキャピラリツール及びホ
ーンのいずれにも接触しない状態の相対関係にして確実
に位置決めすることができるのである。
たキャピラリツールに、筒型の治具体を被嵌する一方、
可動ヘッドに対して位置調節可能に取付く放電用トーチ
電極体を、その放電尖端を前記治具体の外周に設けた位
置決め凹所内に挿入し、この状態で、当該放電用トーチ
電極体を位置調節不能に固定することにより、前記放電
用トーチ電極体を、その放電尖端とキャピラリツール内
に挿通する金属ワイヤの下端との間に所定の放電隙間を
保持し、且つ、前記放電尖端がキャピラリツール及びホ
ーンのいずれにも接触しない状態の相対関係にして確実
に位置決めすることができるのである。
【０００８】
【発明の効果】つまり、本発明は、治具体を使用して、
放電用トーチ電極体のキャピラリツールに対する相対関
係の位置決めを行うのもであるから、従来のように目測
で位置決めするものに比べて、位置決めが至極簡単にで
きて、これに要する手数を大幅に低減できると共に、こ
の放電用トーチ電極体における放電尖端とキャピラリツ
ールに挿通した金属ワイヤの下端との間における放電隙
間をバラ付きを小さくできて、放電時における電圧管理
が簡単である効果を有する。
放電用トーチ電極体のキャピラリツールに対する相対関
係の位置決めを行うのもであるから、従来のように目測
で位置決めするものに比べて、位置決めが至極簡単にで
きて、これに要する手数を大幅に低減できると共に、こ
の放電用トーチ電極体における放電尖端とキャピラリツ
ールに挿通した金属ワイヤの下端との間における放電隙
間をバラ付きを小さくできて、放電時における電圧管理
が簡単である効果を有する。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図１〜図７の図面
について説明する。この図において、符号１は、ワイヤ
ボンディング装置における可動ヘッドを、符号２は、細
長いテーパ状に構成されたホーンを各々示し、前記ホー
ン２は、前記可動ヘッド１に対してピン３にて上下動可
能に枢着され、その先端には、キャピラリツール４が取
付けられ、このキャピラリツール４内には、金等の金属
ワイヤ５が挿通されている。
について説明する。この図において、符号１は、ワイヤ
ボンディング装置における可動ヘッドを、符号２は、細
長いテーパ状に構成されたホーンを各々示し、前記ホー
ン２は、前記可動ヘッド１に対してピン３にて上下動可
能に枢着され、その先端には、キャピラリツール４が取
付けられ、このキャピラリツール４内には、金等の金属
ワイヤ５が挿通されている。
【００１０】また、符号６は、放電用トーチ電極体を示
し、この放電用トーチ電極体６は、前記可動ヘッド１に
対して調節用ボルト７にて調節可能に取付くブラケット
８に、調節用ボルト９にて調節可能に締結する等するこ
とにより、当該放電用トーチ電極体６における放電尖端
６ａと前記キャピラリツール４との間における相対関係
位置を自在に調節でき、そして、前記両調節用ボルト
７，９を固く締め付けることで、その調節位置に不動に
固定できるように取付けられている。
し、この放電用トーチ電極体６は、前記可動ヘッド１に
対して調節用ボルト７にて調節可能に取付くブラケット
８に、調節用ボルト９にて調節可能に締結する等するこ
とにより、当該放電用トーチ電極体６における放電尖端
６ａと前記キャピラリツール４との間における相対関係
位置を自在に調節でき、そして、前記両調節用ボルト
７，９を固く締め付けることで、その調節位置に不動に
固定できるように取付けられている。
【００１１】なお、前記ワイヤボンディング装置は、従
来から良く知られているように、前記キャピラリツール
４に挿通した金属ワイヤ５の下端に、当該下端と前記放
電用トーチ電極体６における放電尖端６ａとの間におけ
る放電によってボール部を形成すると、キャピラリツー
ル４が、ホーン２の下向き回動によって下降動し、前記
金属ワイヤ５におけるボール部を、リードフレーム又は
半導体チップ等のワーク部材１０における第１ボンディ
ング部に対して接合し、次いで、前記キャピラリツール
４が、上昇動したのち第２ボンディング部に移動し、下
降動することにより、前記金属ワイヤ５の途中を第２ボ
ンディング部に接合し、更に、前記金属ワイヤ５を切断
しながら上昇動して、元の状態に復帰することを繰り返
すことにより、所定のワイヤボンディングを行うのであ
る。
来から良く知られているように、前記キャピラリツール
４に挿通した金属ワイヤ５の下端に、当該下端と前記放
電用トーチ電極体６における放電尖端６ａとの間におけ
る放電によってボール部を形成すると、キャピラリツー
ル４が、ホーン２の下向き回動によって下降動し、前記
金属ワイヤ５におけるボール部を、リードフレーム又は
半導体チップ等のワーク部材１０における第１ボンディ
ング部に対して接合し、次いで、前記キャピラリツール
４が、上昇動したのち第２ボンディング部に移動し、下
降動することにより、前記金属ワイヤ５の途中を第２ボ
ンディング部に接合し、更に、前記金属ワイヤ５を切断
しながら上昇動して、元の状態に復帰することを繰り返
すことにより、所定のワイヤボンディングを行うのであ
る。
【００１２】そして、前記放電用トーチ電極体６を、そ
の放電尖端６ａとキャピラリツール４との間に所定の相
対関係位置を保った状態にして取付けるに際しては、先
づ、キャピラリツール４を、これに図３〜図５に示すよ
うに、筒型に形成し、且つ、上端面を円錐面１１ａに形
成し、更に、外周面に位置決め用凹所１１ｂを設けて成
る治具体１１を被嵌したのち、前記ホーン２の下向き回
動によって、当該キャピラリツール４の下端が前記ワー
ク部材１０における第２ボンディング部等の基準面１２
に接当するように下降動する。
の放電尖端６ａとキャピラリツール４との間に所定の相
対関係位置を保った状態にして取付けるに際しては、先
づ、キャピラリツール４を、これに図３〜図５に示すよ
うに、筒型に形成し、且つ、上端面を円錐面１１ａに形
成し、更に、外周面に位置決め用凹所１１ｂを設けて成
る治具体１１を被嵌したのち、前記ホーン２の下向き回
動によって、当該キャピラリツール４の下端が前記ワー
ク部材１０における第２ボンディング部等の基準面１２
に接当するように下降動する。
【００１３】このとき、前記治具体１１における長さ寸
法Ｌを、当該治具体１１の下端面１１ｃが前記基準面に
上端縁１１ｄが前記ホーン２の下面に各々接当するよう
に設定する。次いで、放電用トーチ電極体６を、両調節
用ボルト７，９を緩めた状態のもとで、その放電尖端６
ａが治具体１１における位置決め用凹所１１ｂ内に嵌め
た状態にして、この状態で、前記両調節用ボルト７，９
を固く締め付けることにより、前記した状態に位置調節
不能に固定するのである。
法Ｌを、当該治具体１１の下端面１１ｃが前記基準面に
上端縁１１ｄが前記ホーン２の下面に各々接当するよう
に設定する。次いで、放電用トーチ電極体６を、両調節
用ボルト７，９を緩めた状態のもとで、その放電尖端６
ａが治具体１１における位置決め用凹所１１ｂ内に嵌め
た状態にして、この状態で、前記両調節用ボルト７，９
を固く締め付けることにより、前記した状態に位置調節
不能に固定するのである。
【００１４】この場合において、前記治具体１１の外周
面における位置決め用凹所１１ｂを、前記キャピラリツ
ール４を上昇したときこれに挿通した金属ワイヤ５の下
端と当該放電用トーチ電極体６における放電尖端６ａと
の間に所定の放電間隔を保持し、且つ、キャピラリツー
ル４を下降動したとき当該放電用トーチ電極体６におけ
る放電尖端６ａとキャピラリツール４及びホーン２の両
方に対して所定の隙間寸法Ｓ，Ｔを得ることができる位
置に設けることにより、前記放電用トーチ電極体６を、
その放電尖端６ａとキャピラリツール４内に挿通する金
属ワイヤ５の下端との間に所定の放電隙間を保持し、且
つ、前記放電尖端６ａがキャピラリツール４及びホーン
２のいずれにも接触しない状態の相対関係にして確実に
位置決めすることができるのである。
面における位置決め用凹所１１ｂを、前記キャピラリツ
ール４を上昇したときこれに挿通した金属ワイヤ５の下
端と当該放電用トーチ電極体６における放電尖端６ａと
の間に所定の放電間隔を保持し、且つ、キャピラリツー
ル４を下降動したとき当該放電用トーチ電極体６におけ
る放電尖端６ａとキャピラリツール４及びホーン２の両
方に対して所定の隙間寸法Ｓ，Ｔを得ることができる位
置に設けることにより、前記放電用トーチ電極体６を、
その放電尖端６ａとキャピラリツール４内に挿通する金
属ワイヤ５の下端との間に所定の放電隙間を保持し、且
つ、前記放電尖端６ａがキャピラリツール４及びホーン
２のいずれにも接触しない状態の相対関係にして確実に
位置決めすることができるのである。
【００１５】なお、前記治具体１１における上端面を円
錐面１１ａに形成することにより、その上端縁１１ｄ
を、図７に示すように、テーパ状ホーン２の下面のうち
前記キャピラリツール４の付け根部に対して接当するこ
とができるから、前記の位置決めをより正確に行うこと
ができるのである。
錐面１１ａに形成することにより、その上端縁１１ｄ
を、図７に示すように、テーパ状ホーン２の下面のうち
前記キャピラリツール４の付け根部に対して接当するこ
とができるから、前記の位置決めをより正確に行うこと
ができるのである。
【図１】ワイヤボンディング装置の要部正面図である。
【図２】図１のII−II視拡大断面図である。
【図３】本発明の方法に使用する治具体の拡大斜視図で
ある。
ある。
【図４】図３のIV−IV視断面図である。
【図５】図３のＶ−Ｖ視断面図である。
【図６】本発明の方法を示す図である。
【図７】図６のVII −VII 視断面図である。
１ ワイヤボンディング装置の可動ヘ
ッド ２ ホーン ３ ピン ４ キャピラリツール ５ 金属ワイヤ ６ 放電用トーチ電極体 ６ａ 放電用トーチ電極体の放電尖端 ８ ブラケット ７，９ 調節用ボルト １０ ワーク部材 １１ 治具体 １１ａ 円錐面 １１ｂ 位置決め凹所 １１ｃ 下端面 １１ｄ 上端縁１１ｄ
ッド ２ ホーン ３ ピン ４ キャピラリツール ５ 金属ワイヤ ６ 放電用トーチ電極体 ６ａ 放電用トーチ電極体の放電尖端 ８ ブラケット ７，９ 調節用ボルト １０ ワーク部材 １１ 治具体 １１ａ 円錐面 １１ｂ 位置決め凹所 １１ｃ 下端面 １１ｄ 上端縁１１ｄ
Claims (1)
- 【請求項１】ワイヤボンディング装置における可動ヘッ
ドに上下動可能に枢着したホーンの先端に取付くキャピ
ラリツールを、その下端がワーク部材に接当するように
下降動した状態で、このキャピラリツールに、外周に位
置決め凹所を備えた筒型の治具体を、当該治具体が前記
ホーンの下面及び前記ワーク部材の上面との両方に接当
するように被嵌し、次いで、前記可動ヘッドに対して位
置調節可能に取付く放電用トーチ電極体を、その放電尖
端を前記治具体の外周における位置決め凹所内に挿入
し、この状態で、当該放電用トーチ電極体を位置調節不
能に固定することを特徴とするワイヤボンディング装置
における放電用トーチ電極体の位置決め方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27629094A JP3337574B2 (ja) | 1994-11-10 | 1994-11-10 | ワイヤボンディング装置における放電用トーチ電極体の位置決め方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27629094A JP3337574B2 (ja) | 1994-11-10 | 1994-11-10 | ワイヤボンディング装置における放電用トーチ電極体の位置決め方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08139122A true JPH08139122A (ja) | 1996-05-31 |
| JP3337574B2 JP3337574B2 (ja) | 2002-10-21 |
Family
ID=17567396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27629094A Expired - Fee Related JP3337574B2 (ja) | 1994-11-10 | 1994-11-10 | ワイヤボンディング装置における放電用トーチ電極体の位置決め方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3337574B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002118139A (ja) * | 2000-10-12 | 2002-04-19 | Nec Corp | ワイヤボンダ及びワイヤボンダの放電方法 |
| CN115410932A (zh) * | 2021-05-26 | 2022-11-29 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种打线工艺校准方法 |
-
1994
- 1994-11-10 JP JP27629094A patent/JP3337574B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002118139A (ja) * | 2000-10-12 | 2002-04-19 | Nec Corp | ワイヤボンダ及びワイヤボンダの放電方法 |
| CN115410932A (zh) * | 2021-05-26 | 2022-11-29 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种打线工艺校准方法 |
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| JP3337574B2 (ja) | 2002-10-21 |
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