JPH0814183A - 脱気装置における水封式真空ポンプの封水冷却システム - Google Patents
脱気装置における水封式真空ポンプの封水冷却システムInfo
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- JPH0814183A JPH0814183A JP17013894A JP17013894A JPH0814183A JP H0814183 A JPH0814183 A JP H0814183A JP 17013894 A JP17013894 A JP 17013894A JP 17013894 A JP17013894 A JP 17013894A JP H0814183 A JPH0814183 A JP H0814183A
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Landscapes
- Details Of Reciprocating Pumps (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 脱気装置における封水冷却システムを提供す
る。 【構成】 脱気モジュール4に真空吸引ライン5を介し
て水封式真空ポンプ6を接続した構成の脱気装置におい
て、前記水封式真空ポンプ6に封水を供給する温度セン
サ7を備えた封水タンク8を設け、この封水タンク8と
前記水封式真空ポンプ6との間を、給水ポンプ9と封水
切換弁10を備えた封水供給ライン11と排水切換弁12を備
えた封水還流ライン13とで接続し、前記封水切換弁10に
封水ライン14を接続するとともに排水切換弁12に封水排
出ライン15を接続し、前記真空吸引ライン5と前記封水
タンク8との間に電磁弁16を備えた真空吸引路17を設け
たことを特徴としている。
る。 【構成】 脱気モジュール4に真空吸引ライン5を介し
て水封式真空ポンプ6を接続した構成の脱気装置におい
て、前記水封式真空ポンプ6に封水を供給する温度セン
サ7を備えた封水タンク8を設け、この封水タンク8と
前記水封式真空ポンプ6との間を、給水ポンプ9と封水
切換弁10を備えた封水供給ライン11と排水切換弁12を備
えた封水還流ライン13とで接続し、前記封水切換弁10に
封水ライン14を接続するとともに排水切換弁12に封水排
出ライン15を接続し、前記真空吸引ライン5と前記封水
タンク8との間に電磁弁16を備えた真空吸引路17を設け
たことを特徴としている。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、冷熱機器等へ供給す
る給水および食品加工製造用水ラインに適用される脱気
装置に関するもので、より詳細には、脱気装置に用いる
水封式真空ポンプの封水冷却システムに関するものであ
る。
る給水および食品加工製造用水ラインに適用される脱気
装置に関するもので、より詳細には、脱気装置に用いる
水封式真空ポンプの封水冷却システムに関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】周知のように、ボイラ、温水器あるいは
冷却器等の冷熱機器類への給水ライン中には、これら機
器類の内部腐食防止を目的として脱気装置が組み込まれ
ている。又、近年ではビル、マンション等の建造物にお
ける給配水管の赤水防止対策としても脱気装置が用いら
れるようになってきている。さらに、食品の酸化防止の
ため食品加工製造用水の製造用としても脱気装置が用い
られつつある。
冷却器等の冷熱機器類への給水ライン中には、これら機
器類の内部腐食防止を目的として脱気装置が組み込まれ
ている。又、近年ではビル、マンション等の建造物にお
ける給配水管の赤水防止対策としても脱気装置が用いら
れるようになってきている。さらに、食品の酸化防止の
ため食品加工製造用水の製造用としても脱気装置が用い
られつつある。
【0003】前記脱気装置は、図3に示すように原水供
給部31より使用機器等への給水ライン32中に脱気モ
ジュール33を挿入し、この脱気モジュール33に真空
吸引ライン34を介して水封式真空ポンプ35を接続
し、前記脱気モジュール33内に原水(水道水、井戸
水、その他工業用水)を通水し、この通水過程において
前記脱気モジュール33内を真空引きして、前記原水中
の溶存気体を脱気除去する構成のものである。図中36
は封水供給ライン、37は排水ラインである。
給部31より使用機器等への給水ライン32中に脱気モ
ジュール33を挿入し、この脱気モジュール33に真空
吸引ライン34を介して水封式真空ポンプ35を接続
し、前記脱気モジュール33内に原水(水道水、井戸
水、その他工業用水)を通水し、この通水過程において
前記脱気モジュール33内を真空引きして、前記原水中
の溶存気体を脱気除去する構成のものである。図中36
は封水供給ライン、37は排水ラインである。
【0004】この種の脱気装置においては、真空引き処
理のための手段として、構造が簡単で安価な水封式真空
ポンプが多用される傾向にあるが、この水封式真空ポン
プは、例えば、略円形をしたポンプ室をもつケーシング
内に適量の封水を入れ、前記ケーシングの中心と若干偏
心したインペラの回転により、遠心力作用で、前記封水
を前記ケーシングの内壁に沿わせて周回させることによ
り、ケーシング中央部に略円形の空間を生ぜしめ、イン
ペラの回転に伴う空間の変位によって吸引と吐出の作用
を生じさせるようになっている。
理のための手段として、構造が簡単で安価な水封式真空
ポンプが多用される傾向にあるが、この水封式真空ポン
プは、例えば、略円形をしたポンプ室をもつケーシング
内に適量の封水を入れ、前記ケーシングの中心と若干偏
心したインペラの回転により、遠心力作用で、前記封水
を前記ケーシングの内壁に沿わせて周回させることによ
り、ケーシング中央部に略円形の空間を生ぜしめ、イン
ペラの回転に伴う空間の変位によって吸引と吐出の作用
を生じさせるようになっている。
【0005】しかしながら、上記構成の脱気装置では、
次のような問題がある。即ち、水封式真空ポンプ35で
使用する封水は、前記脱気モジュール33で真空脱気し
た排気とともに排水処理するため、多量の処理水を必要
とする大型ボイラやビルの給水では、脱気装置をフル運
転する結果、前記水封式真空ポンプ35で使用する封水
も相当な量となる。そのため最近では、多量の排水処理
している封水を封水タンクに還元し再利用するが、水封
式真空ポンプの回転熱により封水タンク内の水温が上昇
する。したがって、封水の温度が上昇するため、水封式
真空ポンプの性能が低下し、原水中の溶存気体の除去に
悪影響を及ぼすことになる。
次のような問題がある。即ち、水封式真空ポンプ35で
使用する封水は、前記脱気モジュール33で真空脱気し
た排気とともに排水処理するため、多量の処理水を必要
とする大型ボイラやビルの給水では、脱気装置をフル運
転する結果、前記水封式真空ポンプ35で使用する封水
も相当な量となる。そのため最近では、多量の排水処理
している封水を封水タンクに還元し再利用するが、水封
式真空ポンプの回転熱により封水タンク内の水温が上昇
する。したがって、封水の温度が上昇するため、水封式
真空ポンプの性能が低下し、原水中の溶存気体の除去に
悪影響を及ぼすことになる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、上述の問
題点に鑑み、封水タンクを設けて封水を循環利用すると
ともに、封水の温度が上昇するのを防止する封水冷却シ
ステムを提供することを目的とするものである。
題点に鑑み、封水タンクを設けて封水を循環利用すると
ともに、封水の温度が上昇するのを防止する封水冷却シ
ステムを提供することを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】即ち、この発明は、原水
供給部と処理水給配部との間の給水ライン中に脱気モジ
ュールを挿入し、この脱気モジュールに真空吸引ライン
を介して水封式真空ポンプを接続した構成の脱気装置に
おいて、前記水封式真空ポンプに封水を供給する温度セ
ンサを備えた封水タンクを設け、この封水タンクと前記
水封式真空ポンプとの間を、給水ポンプと封水切換弁を
備えた封水供給ラインと排水切換弁を備えた封水還流ラ
インとで接続し、前記封水切換弁に封水ラインを接続す
るとともに排水切換弁に封水排出ラインを接続し、前記
真空吸引ラインと前記封水タンクとの間に電磁弁を備え
た真空吸引路を設けたことを特徴としている。
供給部と処理水給配部との間の給水ライン中に脱気モジ
ュールを挿入し、この脱気モジュールに真空吸引ライン
を介して水封式真空ポンプを接続した構成の脱気装置に
おいて、前記水封式真空ポンプに封水を供給する温度セ
ンサを備えた封水タンクを設け、この封水タンクと前記
水封式真空ポンプとの間を、給水ポンプと封水切換弁を
備えた封水供給ラインと排水切換弁を備えた封水還流ラ
インとで接続し、前記封水切換弁に封水ラインを接続す
るとともに排水切換弁に封水排出ラインを接続し、前記
真空吸引ラインと前記封水タンクとの間に電磁弁を備え
た真空吸引路を設けたことを特徴としている。
【0008】
【作用】この発明によれば、封水タンク内の水温が上昇
し所定温度に達すると温度センサの信号により、封水タ
ンクからの封水供給を一時中断し、封水ラインより封水
を供給し使用済封水は排出ラインより排水する。そし
て、真空吸引路の電磁弁を開き脱気モジュール内の真空
吸引とともに封水タンク内も真空吸引し、封水タンク内
を飽和圧力以下にして封水を冷却する。封水の水温が低
下し所定温度になると前記電磁弁を閉じ、再び封水タン
クから封水を供給し封水ラインからの封水供給は停止す
る。以後このサイクルをくり返すことにより所定水温の
封水を維持する。
し所定温度に達すると温度センサの信号により、封水タ
ンクからの封水供給を一時中断し、封水ラインより封水
を供給し使用済封水は排出ラインより排水する。そし
て、真空吸引路の電磁弁を開き脱気モジュール内の真空
吸引とともに封水タンク内も真空吸引し、封水タンク内
を飽和圧力以下にして封水を冷却する。封水の水温が低
下し所定温度になると前記電磁弁を閉じ、再び封水タン
クから封水を供給し封水ラインからの封水供給は停止す
る。以後このサイクルをくり返すことにより所定水温の
封水を維持する。
【0009】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。図1は、この発明の脱気装置における水
封式真空ポンプの封水冷却システムの各機器の配置を示
す説明図である。この脱気装置は、原水供給部1と処理
水給配部2との間の給水ライン3中に膜式脱気モジュー
ル4を挿入し、この膜式脱気モジュール4に真空吸引ラ
イン5を介して水封式真空ポンプ6を接続している。こ
の発明に係る封水冷却システムは、前記水封式真空ポン
プ6に封水を供給する温度センサ7を備えた封水タンク
8を設け、この封水タンク8の下部と水封式真空ポンプ
6との間を封水供給ライン11で接続し、途中に給水ポ
ンプ9と二方向に切換可能な封水切換弁10を設けてい
る。一方、水封式真空ポンプ6と封水タンク8の上部と
の間を封水還流路13で接続し、途中に二方向に切換可能
な排水切換弁12を設け封水を循環させるようにしてい
る。そして、前記封水切換弁10の給水ポンプ9に接続
しない流路10aに封水ライン14を接続し、前記排水
切換弁12の封水タンク8に接続しない流路12bに封
水排出ライン15を接続している。
細に説明する。図1は、この発明の脱気装置における水
封式真空ポンプの封水冷却システムの各機器の配置を示
す説明図である。この脱気装置は、原水供給部1と処理
水給配部2との間の給水ライン3中に膜式脱気モジュー
ル4を挿入し、この膜式脱気モジュール4に真空吸引ラ
イン5を介して水封式真空ポンプ6を接続している。こ
の発明に係る封水冷却システムは、前記水封式真空ポン
プ6に封水を供給する温度センサ7を備えた封水タンク
8を設け、この封水タンク8の下部と水封式真空ポンプ
6との間を封水供給ライン11で接続し、途中に給水ポ
ンプ9と二方向に切換可能な封水切換弁10を設けてい
る。一方、水封式真空ポンプ6と封水タンク8の上部と
の間を封水還流路13で接続し、途中に二方向に切換可能
な排水切換弁12を設け封水を循環させるようにしてい
る。そして、前記封水切換弁10の給水ポンプ9に接続
しない流路10aに封水ライン14を接続し、前記排水
切換弁12の封水タンク8に接続しない流路12bに封
水排出ライン15を接続している。
【0010】前記封水タンク8は密閉容器であって、封
水タンク8内に所定量の(水位制御手段は図示省略)の
封水を供給する水補給ライン18を接続している。この
封水タンク8の上面と前記真空吸引ライン5との間を真
空吸引路17で接続し、途中に電磁弁16を挿入してい
る。図中19は、封水タンク8内へ空気を導入する吸引
路であって、先端部にフィルタ20を設け途中に電磁弁
21を挿入している。尚、前記温度センサ7、給水ポン
プ9、封水切換弁10、排水切換弁12および電磁弁1
6、21は、それぞれ図示省略の回線を介して制御器
(図示省略)に連通している。
水タンク8内に所定量の(水位制御手段は図示省略)の
封水を供給する水補給ライン18を接続している。この
封水タンク8の上面と前記真空吸引ライン5との間を真
空吸引路17で接続し、途中に電磁弁16を挿入してい
る。図中19は、封水タンク8内へ空気を導入する吸引
路であって、先端部にフィルタ20を設け途中に電磁弁
21を挿入している。尚、前記温度センサ7、給水ポン
プ9、封水切換弁10、排水切換弁12および電磁弁1
6、21は、それぞれ図示省略の回線を介して制御器
(図示省略)に連通している。
【0011】つぎに、上記構成の封水冷却システムの作
用を説明する。先ず、封水タンク8内に水補給ライン1
8を介して所定量の封水を貯留する。そして、原水供給
部1より給水ライン3に通水すると同時に、水封式真空
ポンプ6および給水ポンプ9を駆動し、封水タンク8か
ら封水供給ライン11を介して封水を供給し、使用済封
水は封水還流ライン13を介して封水タンク8内に還流
する。尚、運転開始時は、前記封水切換弁10の流路1
0aおよび排水切換弁12の流路12bは閉じている。
又、吸気路19の電磁弁21は開放し、真空吸引路17
の電磁弁16は閉じている。
用を説明する。先ず、封水タンク8内に水補給ライン1
8を介して所定量の封水を貯留する。そして、原水供給
部1より給水ライン3に通水すると同時に、水封式真空
ポンプ6および給水ポンプ9を駆動し、封水タンク8か
ら封水供給ライン11を介して封水を供給し、使用済封
水は封水還流ライン13を介して封水タンク8内に還流
する。尚、運転開始時は、前記封水切換弁10の流路1
0aおよび排水切換弁12の流路12bは閉じている。
又、吸気路19の電磁弁21は開放し、真空吸引路17
の電磁弁16は閉じている。
【0012】前記水封式真空ポンプ6の作動により、前
記膜式脱気モジュール4内を原水が通水中に溶存気体を
真空脱気する。そして、時間の経過とともに、水封式真
空ポンプ6の回転熱により前記封水タンク8内の水温が
上昇し、所定温度(例えば40℃)に達すると前記温度
センサ7が検知し、信号を制御器(図示省略)に通報す
る。制御器は温度センサ7の信号に基づき、前記給水ポ
ンプ9を停止するとともに、封水切換弁10の流路10
aを開き封水ライン14より封水を封水供給ライン11
を介して水封式真空ポンプ6へ供給する。一方、封水還
流ライン13の封水切換弁12の流路12aを閉じ、流
路12bを開いて封水ライン14より供給した使用済封
水を排水ライン15を介して系外に排出する。さらに、
制御器の信号により、前記吸気路19の電磁弁21を閉
じるとともに、真空吸引路17の電磁弁16を開いて前
記水封式真空ポンプ6により前記脱気モジュール4と同
時に前記封水タンク8内を真空引きする。封水タンク8
内を真空引きすることにより封水タンク8内の圧力は除
々に低下し、圧力が水の飽和圧力以下になると水の一部
が蒸発して真空冷却が行なわれる。そして、水温が所定
温度(例えば30℃)まで低下すると、前記温度センサ
7が検知し、信号を制御器へ通報する。
記膜式脱気モジュール4内を原水が通水中に溶存気体を
真空脱気する。そして、時間の経過とともに、水封式真
空ポンプ6の回転熱により前記封水タンク8内の水温が
上昇し、所定温度(例えば40℃)に達すると前記温度
センサ7が検知し、信号を制御器(図示省略)に通報す
る。制御器は温度センサ7の信号に基づき、前記給水ポ
ンプ9を停止するとともに、封水切換弁10の流路10
aを開き封水ライン14より封水を封水供給ライン11
を介して水封式真空ポンプ6へ供給する。一方、封水還
流ライン13の封水切換弁12の流路12aを閉じ、流
路12bを開いて封水ライン14より供給した使用済封
水を排水ライン15を介して系外に排出する。さらに、
制御器の信号により、前記吸気路19の電磁弁21を閉
じるとともに、真空吸引路17の電磁弁16を開いて前
記水封式真空ポンプ6により前記脱気モジュール4と同
時に前記封水タンク8内を真空引きする。封水タンク8
内を真空引きすることにより封水タンク8内の圧力は除
々に低下し、圧力が水の飽和圧力以下になると水の一部
が蒸発して真空冷却が行なわれる。そして、水温が所定
温度(例えば30℃)まで低下すると、前記温度センサ
7が検知し、信号を制御器へ通報する。
【0013】制御器は、温度センサ7の信号に基づき、
前記高温時と逆の手順で各機器へ信号を発する。即ち、
電磁弁16を閉じるとともに電磁弁21を開いて封水タ
ンク8内を大気圧に復圧する。そして、排水切換弁12
の流路12aを開くとともに流路12bを閉じ、封水切
換弁10の流路10aを閉じると同時に給水ポンプ9を
駆動し、封水タンク8より封水を供給し使用済封水は封
水還流ライン13を介して封水タンク8内に還流する。
以後このサイクルをくり返すことにより封水タンク8内
の水温を所定温度内に保つことができる。尚、真空冷却
により蒸発した封水の補給は、水位制御手段(図示省
略)の信号により水補給ライン18より所定量給水す
る。
前記高温時と逆の手順で各機器へ信号を発する。即ち、
電磁弁16を閉じるとともに電磁弁21を開いて封水タ
ンク8内を大気圧に復圧する。そして、排水切換弁12
の流路12aを開くとともに流路12bを閉じ、封水切
換弁10の流路10aを閉じると同時に給水ポンプ9を
駆動し、封水タンク8より封水を供給し使用済封水は封
水還流ライン13を介して封水タンク8内に還流する。
以後このサイクルをくり返すことにより封水タンク8内
の水温を所定温度内に保つことができる。尚、真空冷却
により蒸発した封水の補給は、水位制御手段(図示省
略)の信号により水補給ライン18より所定量給水す
る。
【0014】つぎに、この発明に係る水封式真空ポンプ
6を同時に共用使用したときの被脱気水に与える脱気度
の影響度と、封水タンク8内の封水温度の関係を実験値
に基づいて説明する。図2は、例えば、前記封水タンク
8内に封水10リットルを貯留し、封水タンク8の空間
容積を封水10リットルの約半分の5リットルに相当す
る空間とした場合の実験値に基づいて作成した線図であ
って、図示のように、通常運転時(封水温度40℃以
下)は、脱気モジュール4内の真空圧力は50torr以下
で脱気モジュール4の出口における溶存気体濃度は約1
ppm 弱となっている。そして、前記真空吸引路17の電
磁弁16を開き封水タンク8内を真空引きした時点で
は、瞬間的に脱気モジュール4の真空圧力は約400to
rrまで上昇するが、約3秒後には通常運転時の50torr
になるので、被脱気水の脱気度は通常使用において問題
ないことが判明した。一方、封水タンク8内の封水温度
は、40℃より30℃に冷却するまでの時間は図示のよ
うに約10分間必要である。
6を同時に共用使用したときの被脱気水に与える脱気度
の影響度と、封水タンク8内の封水温度の関係を実験値
に基づいて説明する。図2は、例えば、前記封水タンク
8内に封水10リットルを貯留し、封水タンク8の空間
容積を封水10リットルの約半分の5リットルに相当す
る空間とした場合の実験値に基づいて作成した線図であ
って、図示のように、通常運転時(封水温度40℃以
下)は、脱気モジュール4内の真空圧力は50torr以下
で脱気モジュール4の出口における溶存気体濃度は約1
ppm 弱となっている。そして、前記真空吸引路17の電
磁弁16を開き封水タンク8内を真空引きした時点で
は、瞬間的に脱気モジュール4の真空圧力は約400to
rrまで上昇するが、約3秒後には通常運転時の50torr
になるので、被脱気水の脱気度は通常使用において問題
ないことが判明した。一方、封水タンク8内の封水温度
は、40℃より30℃に冷却するまでの時間は図示のよ
うに約10分間必要である。
【0015】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、脱気装置に封水タンクを設け、該封水タンク内を脱
気モジュール内と同時に真空引きし、封水タンク内を飽
和圧力以下にして封水を冷却し循環使用するようにした
ので、従来の使用済封水をすべて排水していたものに比
し封水(水道水)を節約することができる。又、水封式
真空ポンプを共用使用できるので、封水タンクのみ新設
すればよく比較的簡単で設備費用も少額である。
ば、脱気装置に封水タンクを設け、該封水タンク内を脱
気モジュール内と同時に真空引きし、封水タンク内を飽
和圧力以下にして封水を冷却し循環使用するようにした
ので、従来の使用済封水をすべて排水していたものに比
し封水(水道水)を節約することができる。又、水封式
真空ポンプを共用使用できるので、封水タンクのみ新設
すればよく比較的簡単で設備費用も少額である。
【図1】この発明を実施した脱気装置における水封式真
空ポンプの封水冷却システムの構成を示す説明図であ
る。
空ポンプの封水冷却システムの構成を示す説明図であ
る。
【図2】図1の封水冷却システムの実験値に基づいて作
成した線図である。
成した線図である。
【図3】従来の脱気装置の構成を示す説明図である。
1 原水供給部 2 処理水給配部 3 給水ライン 4 脱気モジュール 5 真空吸引ライン 6 水封式真空ポンプ 7 温度センサ 8 封水タンク 9 給水ポンプ 10 封水切換弁 11 封水供給ライン 12 排水切換弁 13 封水還流ライン 14 封水ライン 15 封水排水ライン 16 電磁弁 17 真空吸引路
フロントページの続き (72)発明者 越智 正明 愛媛県松山市堀江町7番地 三浦工業株式 会社内
Claims (1)
- 【請求項1】 原水供給部1と処理水給配部2との間の
給水ライン3中に脱気モジュール4を挿入し、この脱気
モジュール4に真空吸引ライン5を介して水封式真空ポ
ンプ6を接続した構成の脱気装置において、前記水封式
真空ポンプ6に封水を供給する温度センサ7を備えた封
水タンク8を設け、この封水タンク8と前記水封式真空
ポンプ6との間を、給水ポンプ9と封水切換弁10を備
えた封水供給ライン11と排水切換弁12を備えた封水
還流ライン13とで接続し、前記封水切換弁10に封水
ライン14を接続するとともに排水切換弁12に封水排
出ライン15を接続し、前記真空吸引ライン5と前記封
水タンク8との間に電磁弁16を備えた真空吸引路17
を設けたことを特徴とする脱気装置における水封式真空
ポンプの封水冷却システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17013894A JPH0814183A (ja) | 1994-06-28 | 1994-06-28 | 脱気装置における水封式真空ポンプの封水冷却システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17013894A JPH0814183A (ja) | 1994-06-28 | 1994-06-28 | 脱気装置における水封式真空ポンプの封水冷却システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0814183A true JPH0814183A (ja) | 1996-01-16 |
Family
ID=15899374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17013894A Pending JPH0814183A (ja) | 1994-06-28 | 1994-06-28 | 脱気装置における水封式真空ポンプの封水冷却システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0814183A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015203391A (ja) * | 2014-04-16 | 2015-11-16 | 三浦工業株式会社 | 水封式真空ポンプを用いた減圧装置 |
| KR20160049846A (ko) * | 2014-10-28 | 2016-05-10 | 앤에스코리아주식회사 | 수봉식 진공펌프 운전 시스템 |
| CN108412740A (zh) * | 2018-03-16 | 2018-08-17 | 东莞市基富真空设备有限公司 | 一种低能耗的真空供应系统及其控制方法 |
-
1994
- 1994-06-28 JP JP17013894A patent/JPH0814183A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015203391A (ja) * | 2014-04-16 | 2015-11-16 | 三浦工業株式会社 | 水封式真空ポンプを用いた減圧装置 |
| KR20160049846A (ko) * | 2014-10-28 | 2016-05-10 | 앤에스코리아주식회사 | 수봉식 진공펌프 운전 시스템 |
| CN108412740A (zh) * | 2018-03-16 | 2018-08-17 | 东莞市基富真空设备有限公司 | 一种低能耗的真空供应系统及其控制方法 |
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