JPH07231Y2 - 2段式脱酸素装置 - Google Patents
2段式脱酸素装置Info
- Publication number
- JPH07231Y2 JPH07231Y2 JP5478490U JP5478490U JPH07231Y2 JP H07231 Y2 JPH07231 Y2 JP H07231Y2 JP 5478490 U JP5478490 U JP 5478490U JP 5478490 U JP5478490 U JP 5478490U JP H07231 Y2 JPH07231 Y2 JP H07231Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- water
- vacuum pump
- module
- sealed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 75
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 12
- 238000009849 vacuum degassing Methods 0.000 claims description 8
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 17
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 17
- 238000006392 deoxygenation reaction Methods 0.000 description 12
- 239000012510 hollow fiber Substances 0.000 description 6
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 6
- 230000004044 response Effects 0.000 description 5
- 230000009471 action Effects 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000003915 air pollution Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 238000005536 corrosion prevention Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000008235 industrial water Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000008400 supply water Substances 0.000 description 1
- 239000008399 tap water Substances 0.000 description 1
- 235000020679 tap water Nutrition 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 235000020681 well water Nutrition 0.000 description 1
- 239000002349 well water Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この考案は、冷熱機器装置等への給水ライン中に適用さ
れる脱酸素装置に関するもので、さらに詳細には、処理
水の溶存酸素濃度をより低減するための装置の改良に係
るものである。
れる脱酸素装置に関するもので、さらに詳細には、処理
水の溶存酸素濃度をより低減するための装置の改良に係
るものである。
[従来の技術] 周知のように、ボイラー,温水器あるいは冷却機等の冷
熱機器類への給水は、これら機器類の腐食防止を目的と
する脱酸素装置を組み込んでおく必要がある。この脱酸
素装置は、使用機器への給水ライン中に脱酸素モジュー
ルを接続しておき、この脱酸素モジュール内に原水(水
道水,井戸水,その他工業用水等)を通水し、この通水
過程において、脱酸素モジュール内を真空引きし、原水
中の溶存気体を脱気除去する構成のものである。
熱機器類への給水は、これら機器類の腐食防止を目的と
する脱酸素装置を組み込んでおく必要がある。この脱酸
素装置は、使用機器への給水ライン中に脱酸素モジュー
ルを接続しておき、この脱酸素モジュール内に原水(水
道水,井戸水,その他工業用水等)を通水し、この通水
過程において、脱酸素モジュール内を真空引きし、原水
中の溶存気体を脱気除去する構成のものである。
従来、このような脱酸素装置において、真空引き処理の
ための手段として、構造が簡単で、安価な水封式真空ポ
ンプが多用されている。この水封式真空ポンプは、たと
えばほぼ円形をしたポンプ室を備えたケーシング内に適
量の封水を入れ、ケーシングの中心と若干偏心したイン
ペラの回転により、遠心力の作用で、封水をケーシング
の内壁に沿わせて流し、ケーシング中心部にほぼ円形の
空間を生ぜしめ、インペラの回転に伴う空間の変位によ
って、吸込みと吐出の作用を行う装置である。
ための手段として、構造が簡単で、安価な水封式真空ポ
ンプが多用されている。この水封式真空ポンプは、たと
えばほぼ円形をしたポンプ室を備えたケーシング内に適
量の封水を入れ、ケーシングの中心と若干偏心したイン
ペラの回転により、遠心力の作用で、封水をケーシング
の内壁に沿わせて流し、ケーシング中心部にほぼ円形の
空間を生ぜしめ、インペラの回転に伴う空間の変位によ
って、吸込みと吐出の作用を行う装置である。
ところで、従来の脱酸素装置は、第2図に示すように、
原水供給源31と処理水給配部32との間の給水ライン33中
に接続した脱酸素モジュール34およびフロースイッチ35
と、給水ライン33と水封式真空ポンプ36との間の封水供
給ライン37中に設けた封水用電磁弁38と、脱酸素モジュ
ール34と水封式真空ポンプ36との間の真空脱気ライン39
中に設けた停止時における真空保持用電磁弁40とを備え
ている。したがって、原水供給源31から給水ライン33に
原水が供給されると、フロースイッチ35が作動して水封
式真空ポンプ36を駆動するとともに、前記両電磁弁38,4
0を開いて、脱酸素モジュール34内を真空脱気する。そ
して、原水の給水が止まると、水封式真空ポンプ36が停
止し、前記両電磁弁38,40が閉じるようになっている。
原水供給源31と処理水給配部32との間の給水ライン33中
に接続した脱酸素モジュール34およびフロースイッチ35
と、給水ライン33と水封式真空ポンプ36との間の封水供
給ライン37中に設けた封水用電磁弁38と、脱酸素モジュ
ール34と水封式真空ポンプ36との間の真空脱気ライン39
中に設けた停止時における真空保持用電磁弁40とを備え
ている。したがって、原水供給源31から給水ライン33に
原水が供給されると、フロースイッチ35が作動して水封
式真空ポンプ36を駆動するとともに、前記両電磁弁38,4
0を開いて、脱酸素モジュール34内を真空脱気する。そ
して、原水の給水が止まると、水封式真空ポンプ36が停
止し、前記両電磁弁38,40が閉じるようになっている。
[考案が解決しようとする課題] しかしながら、前記従来の脱酸素装置によると、つぎの
ような問題点がある。すなわち、従来の脱酸素装置によ
る処理水の溶存酸素濃度を、脱酸素モジュール34内の中
空糸膜の外側気圧を10torrとし、原水中の酸素濃度約8p
pm(大気温下における通常の濃度)を0.5ppmまで低減す
ることができるが、これを0.1ppm以下の溶存酸素濃度と
するには、原水中の約8ppmの溶存酸素を1torrの真空状
態で吸引することが必要であり、そのためには、従来の
脱酸素装置における水封式真空ポンプの容量は、約10倍
の容量のものが必要となる。したがって、実際には、そ
のような大容量の水封式真空ポンプは望ましくないの
で、溶存酸素濃度を0.1ppm以下に下げることはほとんど
できなかった。
ような問題点がある。すなわち、従来の脱酸素装置によ
る処理水の溶存酸素濃度を、脱酸素モジュール34内の中
空糸膜の外側気圧を10torrとし、原水中の酸素濃度約8p
pm(大気温下における通常の濃度)を0.5ppmまで低減す
ることができるが、これを0.1ppm以下の溶存酸素濃度と
するには、原水中の約8ppmの溶存酸素を1torrの真空状
態で吸引することが必要であり、そのためには、従来の
脱酸素装置における水封式真空ポンプの容量は、約10倍
の容量のものが必要となる。したがって、実際には、そ
のような大容量の水封式真空ポンプは望ましくないの
で、溶存酸素濃度を0.1ppm以下に下げることはほとんど
できなかった。
[課題を解決するための手段] この考案は、前記課題を解決するためになされたもの
で、原水供給源と処理水給配部との間の給水ライン中
に、1段側脱酸素モジュールと2段側脱酸素モジュール
とを直列に接続し、前記1段側脱酸素モジュールに1段
側真空脱気ラインを介して1段側水封式真空ポンプを接
続し、前記2段側脱酸素モジュールに2段側真空脱気ラ
インを介して2段側水封式真空ポンプを接続し、さらに
前記2段側水封式真空ポンプの排出路を前記1段側真空
脱気ラインに接続したことを特徴としている。
で、原水供給源と処理水給配部との間の給水ライン中
に、1段側脱酸素モジュールと2段側脱酸素モジュール
とを直列に接続し、前記1段側脱酸素モジュールに1段
側真空脱気ラインを介して1段側水封式真空ポンプを接
続し、前記2段側脱酸素モジュールに2段側真空脱気ラ
インを介して2段側水封式真空ポンプを接続し、さらに
前記2段側水封式真空ポンプの排出路を前記1段側真空
脱気ラインに接続したことを特徴としている。
[作用] この考案によれば、原水は、給水ラインにおいて、1段
側脱酸素モジュールと2段側脱酸素モジュールを順次通
過して処理水給配部に至る。1段側水封式真空ポンプ
は、1段側脱酸素モジュール内を真空引きして、1段側
脱酸素モジュールを通過する原水中の溶存酸素の大部分
を脱気除去する。そして、2段側水封式真空ポンプも同
様に、2段側脱酸素モジュール内を真空引きして、2段
側脱酸素モジュールを通過する原水中の溶存酸素をさら
に脱気除去する。2段側水封式真空ポンプで脱気除去さ
れた排気は、2段側水封式真空ポンプの排出路から1段
側真空脱気ラインに流入し、1段側水封式真空ポンプに
よりもう一度真空ポンプ作用を受け、1段側水封式真空
ポンプの1段側排出路から大気中へ排出される。
側脱酸素モジュールと2段側脱酸素モジュールを順次通
過して処理水給配部に至る。1段側水封式真空ポンプ
は、1段側脱酸素モジュール内を真空引きして、1段側
脱酸素モジュールを通過する原水中の溶存酸素の大部分
を脱気除去する。そして、2段側水封式真空ポンプも同
様に、2段側脱酸素モジュール内を真空引きして、2段
側脱酸素モジュールを通過する原水中の溶存酸素をさら
に脱気除去する。2段側水封式真空ポンプで脱気除去さ
れた排気は、2段側水封式真空ポンプの排出路から1段
側真空脱気ラインに流入し、1段側水封式真空ポンプに
よりもう一度真空ポンプ作用を受け、1段側水封式真空
ポンプの1段側排出路から大気中へ排出される。
[実施例] 以下、この考案の好ましい実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。
に説明する。
この考案の一実施例を示す第1図は、この考案に係る2
段式脱酸素装置の各機器の配置を示す説明図である。
段式脱酸素装置の各機器の配置を示す説明図である。
第1図に示す2段式脱酸素装置は、原水供給源1と処理
水給配部2との間の給水ライン3中に、上流側より減圧
弁9,1段側脱酸素モジュール4,フロースイッチ10および
2段側脱酸素モジュール6を順次直列に接続してある。
水給配部2との間の給水ライン3中に、上流側より減圧
弁9,1段側脱酸素モジュール4,フロースイッチ10および
2段側脱酸素モジュール6を順次直列に接続してある。
この構成における減圧弁9は、1段側脱酸素モジュール
4と2段側脱酸素モジュール6に一定以上の供給水圧が
加わらないようにするためのもので、両脱酸素モジュー
ル4,6の破損防止を図っている。
4と2段側脱酸素モジュール6に一定以上の供給水圧が
加わらないようにするためのもので、両脱酸素モジュー
ル4,6の破損防止を図っている。
前記両脱酸素モジュール4,6は、たとえば多数の中空糸
膜を備え、この中空糸膜の内側に原水を通し、その外側
を真空に引いて、中空糸膜内を原水が通過する過程にお
いて、原水中の溶存酸素を除去するように構成されてい
る中空糸膜酸素モジュールである。
膜を備え、この中空糸膜の内側に原水を通し、その外側
を真空に引いて、中空糸膜内を原水が通過する過程にお
いて、原水中の溶存酸素を除去するように構成されてい
る中空糸膜酸素モジュールである。
そして、前記フロースイッチ10は、前記給水ライン3中
において、前記1段側脱酸素モジュール4の出口側に接
続されており、前記給水ライン3から前記1段側脱酸素
モジュール4内を通過した水が流通したことを検知して
電気信号を出力するようになっている。
において、前記1段側脱酸素モジュール4の出口側に接
続されており、前記給水ライン3から前記1段側脱酸素
モジュール4内を通過した水が流通したことを検知して
電気信号を出力するようになっている。
さて、この考案において、前記両脱酸素モジュール4,6
を真空脱気する手段として、水封式真空ポンプを適用し
ている。
を真空脱気する手段として、水封式真空ポンプを適用し
ている。
まず、前記1段側脱酸素モジュール4について説明する
と、この1段側脱酸素モジュール4には、1段側真空脱
気ライン12を介して1段側水封式真空ポンプ5が流路接
続されている。この1段側水封式真空ポンプ5は、その
封水を導入するために、前記給水ライン3に対して、1
段側封水供給ライン11を介して流路接続されている。ま
た、この1段側水封式真空ポンプ5は、前記フロースイ
ッチ10と電気的に接続されており、前記フロースイッチ
10の出力信号に応答して作動するようになっている。
と、この1段側脱酸素モジュール4には、1段側真空脱
気ライン12を介して1段側水封式真空ポンプ5が流路接
続されている。この1段側水封式真空ポンプ5は、その
封水を導入するために、前記給水ライン3に対して、1
段側封水供給ライン11を介して流路接続されている。ま
た、この1段側水封式真空ポンプ5は、前記フロースイ
ッチ10と電気的に接続されており、前記フロースイッチ
10の出力信号に応答して作動するようになっている。
そして、前記1段側封水供給ライン11には、1段側定流
量弁13と第一電磁弁14とが設けられている。また、前記
1段側真空脱気ライン12には、第二電磁弁15が設けられ
ており、前記第一電磁弁14とともに、前記フロースイッ
チ10に対して電気的に接続している。したがって、前記
フロースイッチ10が水の流通を検知した際、その検知信
号に応答して開弁作動を行う構成となっている。
量弁13と第一電磁弁14とが設けられている。また、前記
1段側真空脱気ライン12には、第二電磁弁15が設けられ
ており、前記第一電磁弁14とともに、前記フロースイッ
チ10に対して電気的に接続している。したがって、前記
フロースイッチ10が水の流通を検知した際、その検知信
号に応答して開弁作動を行う構成となっている。
つぎに、前記2段側脱酸素モジュール6について説明す
ると、この2段側脱酸素モジュール6には、2段側真空
脱気ライン17を介して2段側水封式真空ポンプ7が流路
接続されている。この2段側水封式真空ポンプ7は、そ
の封水を導入するために、前記1段側封水供給ライン11
から分岐した2段側封水供給ライン16を介して流路接続
されている。また、この2段側水封式真空ポンプ7は、
前記フロースイッチ10と電気的に接続されており、前記
フロースイッチ10の出力信号に応答して作動するように
なっている。
ると、この2段側脱酸素モジュール6には、2段側真空
脱気ライン17を介して2段側水封式真空ポンプ7が流路
接続されている。この2段側水封式真空ポンプ7は、そ
の封水を導入するために、前記1段側封水供給ライン11
から分岐した2段側封水供給ライン16を介して流路接続
されている。また、この2段側水封式真空ポンプ7は、
前記フロースイッチ10と電気的に接続されており、前記
フロースイッチ10の出力信号に応答して作動するように
なっている。
そして、前記2段側封水供給ライン16には、2段側定流
量弁18と第三電磁弁19とが設けられている。また、前記
2段側真空脱気ライン17には、第四電磁弁20が設けられ
ており、前記第三電磁弁19とともに、前記フロースイッ
チ10に対して電気的に接続している。したがって、前記
フロースイッチ10が水の流通を検知した際、その検知信
号に応答して開弁作動を行う構成となっている。
量弁18と第三電磁弁19とが設けられている。また、前記
2段側真空脱気ライン17には、第四電磁弁20が設けられ
ており、前記第三電磁弁19とともに、前記フロースイッ
チ10に対して電気的に接続している。したがって、前記
フロースイッチ10が水の流通を検知した際、その検知信
号に応答して開弁作動を行う構成となっている。
さらに、この考案において、前記2段側水封式真空ポン
プ7の排出路8は、前記1段側水封式真空ポンプ5にお
ける前記1段側真空脱気ライン12と連通接続しており、
前記1段側水封式真空ポンプ5の排気とともに、その1
段側排出路21を介して大気中へ排出される。すなわち、
前記排出路8を前記1段側水封式真空ポンプ5の吸引経
路に接続したものであるから、前記2段側水封式真空ポ
ンプ7において真空脱気された排気は、もう一度前記1
段側水封式真空ポンプ5の真空ポンプ作用を受けた後、
大気中へ排出される。
プ7の排出路8は、前記1段側水封式真空ポンプ5にお
ける前記1段側真空脱気ライン12と連通接続しており、
前記1段側水封式真空ポンプ5の排気とともに、その1
段側排出路21を介して大気中へ排出される。すなわち、
前記排出路8を前記1段側水封式真空ポンプ5の吸引経
路に接続したものであるから、前記2段側水封式真空ポ
ンプ7において真空脱気された排気は、もう一度前記1
段側水封式真空ポンプ5の真空ポンプ作用を受けた後、
大気中へ排出される。
なお、前記の構成において、前記2段側水封式真空ポン
プ7の容量は、前記1段側水封式真空ポンプ5の容量と
同容量のものとしている。
プ7の容量は、前記1段側水封式真空ポンプ5の容量と
同容量のものとしている。
以上のように、前記の構成においては、前記1段側脱酸
素モジュール4の出口では、原水の溶存酸素濃度を約8p
pmから約0.5ppmまで脱気することになり、前記2段側脱
酸素モジュール6内の中空糸膜の外側気圧を、前記1段
側脱酸素モジュール4の10分の1である1torr以下とし
ても、前記2段側水封式真空ポンプ7が吸引する体積
は、前記1段側水封式真空ポンプ5が吸引する体積と同
程度となる。この結果、前記2段側水封式真空ポンプ7
は、特別に大きな容量の水封式真空ポンプは必要ではな
く、前記1段側水封式真空ポンプ5の容量と同じ容量の
ものでよいことになる。また、前記2段側水封式真空ポ
ンプ7の排気を直接大気中に排出すると、その圧力比が
過大(約1000倍)となるため、前記1段側水封式真空ポ
ンプ5における前記1段側真空脱気ライン12に排出する
方が有利である。そのために、前記1段側水封式真空ポ
ンプ5の処理量は約5%程増加するが、処理可能範囲内
で、とくに問題ではない。
素モジュール4の出口では、原水の溶存酸素濃度を約8p
pmから約0.5ppmまで脱気することになり、前記2段側脱
酸素モジュール6内の中空糸膜の外側気圧を、前記1段
側脱酸素モジュール4の10分の1である1torr以下とし
ても、前記2段側水封式真空ポンプ7が吸引する体積
は、前記1段側水封式真空ポンプ5が吸引する体積と同
程度となる。この結果、前記2段側水封式真空ポンプ7
は、特別に大きな容量の水封式真空ポンプは必要ではな
く、前記1段側水封式真空ポンプ5の容量と同じ容量の
ものでよいことになる。また、前記2段側水封式真空ポ
ンプ7の排気を直接大気中に排出すると、その圧力比が
過大(約1000倍)となるため、前記1段側水封式真空ポ
ンプ5における前記1段側真空脱気ライン12に排出する
方が有利である。そのために、前記1段側水封式真空ポ
ンプ5の処理量は約5%程増加するが、処理可能範囲内
で、とくに問題ではない。
つぎに、前記実施例に係る2段式脱酸素装置の作動およ
び作用について説明する。
び作用について説明する。
原水供給源1から減圧弁9,給水ライン3および1段側脱
酸素モジュール4を通過した原水がフロースイッチ10を
流通すると、フロースイッチ10がこれを検知して、流水
検知信号を出力する。この検知信号に応答して、前記第
一電磁弁〜第四電磁弁14,15,19,20がそれぞれ開弁作動
を行うとともに、1段側水封式真空ポンプ5と2段側水
封式真空ポンプ7がそれぞれ駆動する。
酸素モジュール4を通過した原水がフロースイッチ10を
流通すると、フロースイッチ10がこれを検知して、流水
検知信号を出力する。この検知信号に応答して、前記第
一電磁弁〜第四電磁弁14,15,19,20がそれぞれ開弁作動
を行うとともに、1段側水封式真空ポンプ5と2段側水
封式真空ポンプ7がそれぞれ駆動する。
前記1段側脱酸素モジュール4は、1段側真空脱気ライ
ン12を介して前記1段側水封式真空ポンプ5により真空
引きされる。この真空引きされた排気と、ポンプ内から
の封水の排水は、1段側排出路21から排出される。
ン12を介して前記1段側水封式真空ポンプ5により真空
引きされる。この真空引きされた排気と、ポンプ内から
の封水の排水は、1段側排出路21から排出される。
そして、前記2段側脱酸素モジュール6は、前記1段側
脱酸素モジュール4と給水ライン3を介して直列に接続
されているので、前記1段側脱酸素モジュール4で脱気
され、溶存酸素濃度が約0.5ppmに処理された水の給水を
受け、この水をさらに高真空中(1torr以下)で脱気
し、溶存酸素濃度が約0.1ppm以下の処理水とし、これを
処理水給配部2へ供給する。この2段側脱酸素モジュー
ル6は、2段側真空脱気ライン17を介して前記2段側水
封式真空ポンプ7により、前記のように真空引きされ
る。この真空引きされた排気と、ポンプ内からの封水の
排水は、排出路8を介して前記1段側真空脱気ライン12
から前記1段側水封式真空ポンプ5内へ流入し、ここで
もう一度真空ポンプ作用を受け、前記1段側排出路21か
ら排出される。
脱酸素モジュール4と給水ライン3を介して直列に接続
されているので、前記1段側脱酸素モジュール4で脱気
され、溶存酸素濃度が約0.5ppmに処理された水の給水を
受け、この水をさらに高真空中(1torr以下)で脱気
し、溶存酸素濃度が約0.1ppm以下の処理水とし、これを
処理水給配部2へ供給する。この2段側脱酸素モジュー
ル6は、2段側真空脱気ライン17を介して前記2段側水
封式真空ポンプ7により、前記のように真空引きされ
る。この真空引きされた排気と、ポンプ内からの封水の
排水は、排出路8を介して前記1段側真空脱気ライン12
から前記1段側水封式真空ポンプ5内へ流入し、ここで
もう一度真空ポンプ作用を受け、前記1段側排出路21か
ら排出される。
[考案の効果] 以上のように、この考案によれば、1段側脱酸素モジュ
ールと2段側脱酸素モジュールとを直列に接続し、両脱
酸素モジュールを真空引きする水封式真空ポンプをそれ
ぞれ接続し、2段側水封式真空ポンプの排出路を、1段
側水封式真空ポンプの吸引経路に接続したものであるか
ら、原水の溶存酸素濃度を大気温下における通常の濃度
である当初の8ppmより1段側脱酸素モジュールで0.5ppm
とし、ついで2段側脱酸素モジュールでさらに脱気し、
溶存酸素濃度を0.1ppm以下とすることができる。
ールと2段側脱酸素モジュールとを直列に接続し、両脱
酸素モジュールを真空引きする水封式真空ポンプをそれ
ぞれ接続し、2段側水封式真空ポンプの排出路を、1段
側水封式真空ポンプの吸引経路に接続したものであるか
ら、原水の溶存酸素濃度を大気温下における通常の濃度
である当初の8ppmより1段側脱酸素モジュールで0.5ppm
とし、ついで2段側脱酸素モジュールでさらに脱気し、
溶存酸素濃度を0.1ppm以下とすることができる。
また、両水封式真空ポンプの容量も、従来の水封式真空
ポンプの容量と同程度のものが2台あればよく、特別に
大容量の水封式真空ポンプを必要とすることがない。
ポンプの容量と同程度のものが2台あればよく、特別に
大容量の水封式真空ポンプを必要とすることがない。
そして、溶存酸素濃度を0.1ppm以下とした処理水を得る
ことができるので、水を使用する冷熱機器類の腐食防止
効果を高めることができ、さらには大気汚染で問題とさ
れているフロンの代替として、超精密品(たとえば、半
導体)の洗浄水としても利用することができる。
ことができるので、水を使用する冷熱機器類の腐食防止
効果を高めることができ、さらには大気汚染で問題とさ
れているフロンの代替として、超精密品(たとえば、半
導体)の洗浄水としても利用することができる。
さらに、簡単な構成で溶存酸素濃度を下げることができ
るので、この種の脱酸素装置としては頗る効果的であ
る。
るので、この種の脱酸素装置としては頗る効果的であ
る。
第1図は、この考案の一実施例を示す2段式脱酸素装置
の各機器の配置を示す説明図、第2図は従来の脱酸素装
置の各機器の配置を示す説明図である。 1…原水供給源 2…処理水給配部 3…給水ライン 4…1段側脱酸素モジュール 5…1段側水封式真空ポンプ 6…2段側脱酸素モジュール 7…2段側水封式真空ポンプ 8…排出路 9…減圧弁 10…フロースイッチ 11…1段側封水供給ライン 12…1段側真空脱気ライン 13…1段側定流量弁 14…第一電磁弁 15…第二電磁弁 16…2段側封水供給ライン 17…2段側真空脱気ライン 18…2段側定流量弁 19…第三電磁弁 20…第四電磁弁 21…1段側排出路
の各機器の配置を示す説明図、第2図は従来の脱酸素装
置の各機器の配置を示す説明図である。 1…原水供給源 2…処理水給配部 3…給水ライン 4…1段側脱酸素モジュール 5…1段側水封式真空ポンプ 6…2段側脱酸素モジュール 7…2段側水封式真空ポンプ 8…排出路 9…減圧弁 10…フロースイッチ 11…1段側封水供給ライン 12…1段側真空脱気ライン 13…1段側定流量弁 14…第一電磁弁 15…第二電磁弁 16…2段側封水供給ライン 17…2段側真空脱気ライン 18…2段側定流量弁 19…第三電磁弁 20…第四電磁弁 21…1段側排出路
Claims (1)
- 【請求項1】原水供給源1と処理水給配部2との間の給
水ライン3中に、1段側脱酸素モジュール4と2段側脱
酸素モジュール6とを直列に接続し、前記1段側脱酸素
モジュール4に1段側真空脱気ライン12を介して1段側
水封式真空ポンプ5を接続し、前記2段側脱酸素モジュ
ール6に2段側真空脱気ライン17を介して2段側水封式
真空ポンプ7を接続し、さらに前記2段側水封式真空ポ
ンプ7の排出路8を前記1段側真空脱気ライン12に接続
したことを特徴とする2段式脱酸素装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5478490U JPH07231Y2 (ja) | 1990-05-24 | 1990-05-24 | 2段式脱酸素装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5478490U JPH07231Y2 (ja) | 1990-05-24 | 1990-05-24 | 2段式脱酸素装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0414188U JPH0414188U (ja) | 1992-02-05 |
| JPH07231Y2 true JPH07231Y2 (ja) | 1995-01-11 |
Family
ID=31577157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5478490U Expired - Lifetime JPH07231Y2 (ja) | 1990-05-24 | 1990-05-24 | 2段式脱酸素装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07231Y2 (ja) |
-
1990
- 1990-05-24 JP JP5478490U patent/JPH07231Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0414188U (ja) | 1992-02-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100221782B1 (ko) | 진공실을 급속히 진공시키기 위한 장치 | |
| US5584914A (en) | Membrane deaerator apparatus | |
| KR100884115B1 (ko) | 진공하에서 물체를 가공하기 위한 다중 챔버 장치, 상기 장치를 진공화하기 위한 방법 및 상기 방법을 위한 진공화 시스템 | |
| JP2006515666A (ja) | 試験ガス漏れ検出装置 | |
| JPH07231Y2 (ja) | 2段式脱酸素装置 | |
| JP2004052759A (ja) | 真空ポンプシステムとその制御方法 | |
| EP0788402B1 (en) | An arrangement in autoclaving systems | |
| JP2000292301A (ja) | 漏れ検査装置及び漏れ検査装置の校正方法 | |
| JP2781931B2 (ja) | 脱酸素装置 | |
| US4898006A (en) | Method and apparatus for drawing off low boiling media from pressure systems | |
| US5708194A (en) | Test gas leak detector | |
| JPS58104305A (ja) | 蒸気タ−ビン軸封部の漏洩蒸気処理系統 | |
| JPH0332792A (ja) | 脱酸素システムの制御装置 | |
| JPH03106432A (ja) | 真空装置の脱ガス方法及び脱ガス装置 | |
| JP2543910Y2 (ja) | 脱酸素装置のための溶存酸素一定化システム | |
| JP2538486B2 (ja) | 超脱気装置における水封式真空ポンプの接続構造 | |
| JPH0814183A (ja) | 脱気装置における水封式真空ポンプの封水冷却システム | |
| JPH04313308A (ja) | 分子拡散効果を利用した脱気方法 | |
| JP3315319B2 (ja) | 真空脱気装置 | |
| JP3275098B2 (ja) | 真空排気装置及びその起動方法 | |
| JPH075844Y2 (ja) | 脱酸素装置のための封水冷却システム | |
| JPH05103907A (ja) | 脱気装置における水封式真空ポンプの配置構造 | |
| JP2683988B2 (ja) | 超脱気装置における水封式真空ポンプの排水構造 | |
| JP3704744B2 (ja) | 膜脱気装置 | |
| JP2559318Y2 (ja) | 脱酸素装置における節水装置 |